JP4683239B2 - 印刷用凹版の製造方法、電気基板の製造方法、および表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
d1>[A×ρ×W1 4 ]+[t×ρ/E]・・・(1)
図1は、本発明の印刷用凹版の作製方法の第1例を示す断面工程図であり、以下この図に基づいて反転印刷法に用いる印刷用凹版の製造方法の実施形態を説明する。
図3は、本発明の印刷用凹版の作製方法の第2例を示す断面工程図であり、以下この図に基づいて反転印刷法に用いる印刷用凹版の製造方法の実施形態を説明する。この図に示す印刷用凹版の製造方法は、ポジ型の感光性樹脂膜を用いた例である。
次に、上述した製造方法によって得られた印刷用凹版10を用いて電子基板を製造する方法を説明する。ここでは電子基板の一例として、図4(a)の回路図および図4(b)の画素部平面図に示すような液晶表示装置の駆動基板(いわゆるバックプレーン)の製造方法を説明する。
次に、以上のようにして作製した駆動基板(電子基板)20を用いた液晶表示装置の製造方法を説明する。
先ず図1(1)に示すように、ガラス基板1上にネガ型レジスト(SU8:マイクロケム社製商品名)を塗布し3.3μmの厚さTの感光性樹脂膜3を成膜した。次に、図1(2)に示すように、フォトマスク5を用いたパターン露光を行った。次いで、図1(3)に示すように、各開口幅W1,W2でそれぞれの深さd1,d2となるように現像液で現像を行った。その後、図1(4)に示すように、乾燥処理を行い、再び全面露光を行い、さらにベイク処理を施して感光性樹脂膜を密着硬化させ、印刷用凹版10を作製した。
凹パターンの最大開口幅W1=200μm、
凹パターンの最大深さd1=3.3μm
印加圧力(最大)ρ=20kPaE
ブランケットのヤング率=3MPa、
ブランケットの厚さt=200μm、
ブランケットの定数A=100Pa×m-4
ガラス基板1上の感光性樹脂膜3を膜厚T=1.2μmで成膜下こと以外は、実施例と同様の手順で印刷を行った。この場合、最大開口幅W1の深さd1=1.2μm<設定値D=[A×ρ×W14]+[t×ρ/E]≒1.3となり、実施形態で示した範囲を外れた。
Claims (4)
- 基板上に感光性樹脂膜を塗布成膜する工程と、
前記感光性樹脂膜に対して複数の凹パターンを形成するためのパターン露光を行う工程と、
前記各凹パターンの開口幅に対応して順次大きくなる深さに当該凹パターンが形成される条件で前記感光性樹脂膜を現像処理する工程とを含み、
前記凹パターンのうち最大開口幅W1の凹パターンの深さd1を、前記凹パターンが形成された面に押し圧されるインク層付きブランケットに対する印加圧力ρ、前記ブランケットのヤング率E、当該ブランケットの厚さt、前記ブランケットが有する定数Aから、下記式(1)に基づいて設定する
印刷用凹版の製造方法。
(数1)
d1>[A×ρ×W1 4 ]+[t×ρ/E]・・・(1) - 前記感光性樹脂膜を塗布成膜する工程の前に、
前記定数Aを、予備実験に基づいて算出する工程を行う
請求項1記載の印刷用凹版の製造方法。 - 開口幅に対応して順次大きくなる深さに形成された複数の凹パターンを有する感光性樹脂膜を基板上に設けてなる印刷用凹版を作製する工程と、
前記印刷用凹版における凹パターンの形成面に、導電性インク層を対向配置した状態で当該インク層を有するブランケットを押し圧して引き剥がすことにより、前記ブランケット側にインク層を残してインクパターンを形成する工程と、
前記ブランケット側のインクパターンを装置基板上に転写して導電性パターンを形成する工程とを含み、
前記凹パターンのうち最大開口幅W1の凹パターンの深さd1を、前記凹パターンが形成された面に押し圧されるインク層付きブランケットに対する印加圧力ρ、前記ブランケットのヤング率E、当該ブランケットの厚さt、前記ブランケットが有する定数Aから、下記式(1)に基づいて設定する
電子基板の製造方法。
(数2)
d1>[A×ρ×W1 4 ]+[t×ρ/E]・・・(1) - 開口幅に対応して順次大きくなる深さに形成された複数の凹パターンを有する感光性樹脂膜を基板上に設けてなる印刷用凹版を作製する工程と、
前記印刷用凹版における凹パターンの形成面に、導電性インク層を対向配置した状態で当該インク層を有するブランケットを押し圧して引き剥がすことにより、前記ブランケット側にインク層を残してインクパターンを形成する工程と、
前記ブランケット側のインクパターンを装置基板上に転写して画素電極を含む導電性パターンを形成する工程とを含み、
前記凹パターンのうち最大開口幅W1の凹パターンの深さd1を、前記凹パターンが形成された面に押し圧されるインク層付きブランケットに対する印加圧力ρ、前記ブランケットのヤング率E、当該ブランケットの厚さt、前記ブランケットが有する定数Aから、下記式(1)に基づいて設定する
表示装置の製造方法。
(数3)
d1>[A×ρ×W1 4 ]+[t×ρ/E]・・・(1)
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