JP4673025B2 - プラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法 - Google Patents
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Description
3 温度調節機構 4 終点検出用窓
5 モノクロメータ 6 圧力計
7 上部電極 8 下部電極
9 排気口 10 チャンバー
11 ガス導入口 12 RF電源
14 マスフローコントローラ
15 ガス噴射孔
Claims (6)
- 薄膜がアルミニウム薄膜もしくはアルミニウムを含む積層膜である薄膜形成基板が順次搬入されるプラズマエッチング装置のチャンバー内で前記薄膜形成基板に対してその枚葉毎に行われるプラズマエッチングにおいて、前記薄膜形成基板へのプラズマ処理の度毎に前記チャンバーをガスでパージし、前記チャンバーのパージの後、同じ前記チャンバーにおいて、前記プラズマ処理が行われた前記薄膜形成基板に対してフッ素系の混合ガス下でのプラズマ処理によって前記基板上に残留する塩素ガスを取り除くアフタートリートメントを行うことを特徴とするプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
- パージ用の前記ガスは、前記プラズマ処理で用いられる混合ガスに含まれるガスであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
- パージ用の前記ガスは、前記プラズマ処理の段階から供給を停止することなく前記チャンバーへの供給が継続されることを特徴とする請求項2に記載のプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
- パージ用の前記ガスは、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス等の不活性ガスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
- 前記プラズマエッチング装置はプラズマ発生用としてシャワ状のガス噴射孔が形成された上部電極と前記上部電極に対向配置される下部電極とを備えており、前記パージ用のガスは、前記ガス噴射孔を通して前記チャンバー内に供給されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
- エッチングガスは塩素ガスを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマエッチングにおけるチャンバークリーニング方法。
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