JP4668974B2 - 半導体装置の設計方法、半導体装置設計システム及びコンピュータプログラム - Google Patents
半導体装置の設計方法、半導体装置設計システム及びコンピュータプログラム Download PDFInfo
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Description
11 半導体基板
12 バス配線領域
13 パッド配置領域
14 レイアウト変更による縮小箇所
15 マスク領域
20 縮小プロセス製品の半導体装置のレイアウト
31 実配線層
31A 第1の配線層
31B 第2の配線層
31C 第3の配線層
32 仮想配線層
32A 第1の仮想配線層
32B 第2の仮想配線層
32C 第3の仮想配線層
33 メタル配線
33a 配線部分
33b 配線部分
33c 配線部分
35 仮想コンタクトプラグ
50 半導体装置設計システム
51 記憶装置
52 演算処理装置
53 入力装置
54 表示装置
55 レイアウト編集ツール
56 LPEツール
57 レイアウト検証ツール
61 RCライブラリ
62 ネットリスト
63 レイアウトデータ
64 寄生パラメータ付ネットリスト
65 及び配線長データ
Claims (8)
- 記憶装置及び入力装置を含むコンピュータシステムを用いて半導体装置のレイアウトを設計するための設計方法であって、
前記記憶装置から既存の半導体装置のレイアウトを示すデータを読み出す処理と、
前記入力装置からの指示に基づき、前記既存の半導体装置のレイアウト上においてレイアウト変更による縮小箇所を示すマスク領域の入力を受け付ける処理と、
前記マスク領域内にある前記レイアウトの実配線層の配線部分を仮想配線層の配線部分に変換する処理と、
前記仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを仮想コンタクトプラグで接続することにより電気的に連続的な配線を再生する処理と、
前記仮想配線層の配線部分及び前記仮想コンタクトプラグの寄生パラメータをゼロとして前記実配線層を含む前記既存の半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出する処理とを備えることを特徴とする半導体装置の設計方法。 - 半導体装置のレイアウトを設計するための半導体装置設計システムであって、
既存の半導体装置のレイアウトを示すデータが登録された記憶装置と、
コマンド又はデータを入力するための入力装置と、
前記半導体装置のレイアウトを編集するためのレイアウト編集ツールと、
前記半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出する寄生パラメータ抽出ツールとを備え、
前記レイアウト編集ツールは、
前記入力装置からの指示に基づき、前記既存の半導体装置のレイアウト上においてレイアウト変更による縮小箇所を示すマスク領域の入力を受け付け、
前記寄生パラメータ抽出ツールは、
前記マスク領域内にある前記レイアウトの実配線層の配線部分を仮想配線層の配線部分に変換し、
前記仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを仮想コンタクトプラグで接続することにより電気的に連続的な配線を再生し、
前記仮想配線層の配線部分及び前記仮想コンタクトプラグの寄生パラメータをゼロとして定義した後、前記実配線層を含む前記既存の半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出することを特徴とする半導体装置設計システム。 - コンピュータに、
レイアウト変更による縮小箇所を示すマスク領域を含む既存の半導体装置のレイアウトを示すデータの入力を受け付ける処理と、
前記マスク領域内にある前記レイアウトの実配線層の配線部分を仮想配線層の配線部分に変換する処理と、
前記仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを仮想コンタクトプラグで接続することにより電気的に連続的な配線を再生する処理と、
前記仮想配線層の配線部分及び前記仮想コンタクトプラグの寄生パラメータをゼロとして定義する処理と、
前記実配線層を含む前記既存の半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出する処理とを実行させるためのコンピュータプログラム。 - 記憶装置を含むコンピュータに、
前記記憶装置から既存の半導体装置のレイアウトを示すデータを読み出す処理と、
前記既存の半導体装置のレイアウト上においてレイアウト変更による縮小箇所を示すマスク領域の入力を受け付ける処理と、
前記マスク領域内にある前記レイアウトの実配線層の配線部分を仮想配線層の配線部分に変換する処理と、
前記仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを仮想コンタクトプラグで接続することにより電気的に連続的な配線を再生する処理と、
前記仮想配線層の配線部分及び前記仮想コンタクトプラグの寄生パラメータをゼロとして定義する処理と、
前記実配線層を含む前記既存の半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出する処理とを実行させるためのコンピュータプログラム。 - 記憶装置及び入力装置を含むコンピュータに、
前記記憶装置から既存の半導体装置のレイアウトを示すデータを読み出す処理と、
前記入力装置からの指示に基づき、前記既存の半導体装置のレイアウト上においてレイアウト変更による縮小箇所を示すマスク領域の入力を受け付ける処理と、
前記マスク領域内にある前記レイアウトの実配線層の配線部分を仮想配線層の配線部分に変換する処理と、
前記仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを仮想コンタクトプラグで接続することにより電気的に連続的な配線を再生する処理と、
前記仮想配線層の配線部分及び前記仮想コンタクトプラグの寄生パラメータをゼロとして定義する処理と、
前記実配線層を含む前記既存の半導体装置のレイアウト全体又は前記レイアウトの特定部分の寄生パラメータを抽出する処理とを実行させるためのコンピュータプログラム。 - 前記変換する処理は、
前記仮想配線層の配線部分を所定の長さだけ伸長する処理を含み、
前記仮想コンタクトプラグで接続する処理は、
前記伸長された仮想配線層の配線部分の端部と、前記実配線層の切断された配線の端部とを前記仮想コンタクトプラグで接続する処理を含む、ことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム。 - 前記仮想配線層を生成する処理は、
前記実配線層が複数ある場合に、各実配線層に対応する複数の仮想配線層を生成する処理を含むことを特徴とする請求項3乃至6のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム。 - 前記寄生パラメータは、寄生容量若しくは寄生抵抗又はそれらの両方であることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム。
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