JP4668635B2 - マイクロバルブの流量調節方法 - Google Patents
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Description
2 バルブ室
21 下壁
22 上壁
23 バルブ室用の貫通孔a
24 バルブ室用の貫通孔b
25、28 第1のバルブ室用の貫通孔
26、29 第2のバルブ室用の貫通孔
27 狭隘部
3、31、32、33 弁体
34 浮遊弁体
4、41、42、43 流体注入用の開口部
5 流体排出用の開口部
51、52、53 流体排出用の貫通孔
6 ピエゾ素子
61、62、63 ピエゾ素子接触部
7 第1の板状基板
8 第1のスペーサー
81 スペーサー
9 第2のスペーサー
10 第2の板状基板
11 第3の板状基板
12 圧力伝達部材
13 一端部
14 他端部
Claims (6)
- 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの、第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれ、該貫通孔b内に少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が固定されている第2のスペーサー及び流体注入用の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、貫通孔a、弁体及び流体注入用の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第1のスペーサー及び/又は第2のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔a及び/又はbから側壁に連通する流体排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第1の板状基板に、貫通孔a、弁体及び流体注入用の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより弁体を第2の板状基板方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
- 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの、第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれ、該貫通孔b内に少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第2のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入用の開口部及び流体排出用の貫通孔が打抜かれている第2の板状基板が、貫通孔a、各弁体及び各流体注入用の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第1の板状基板に、貫通孔a、各弁体及び各流体注入用の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより各弁体を第2の板状基板方向に押圧し、各流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
- 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの、第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれ、該貫通孔b内に少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第2のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入用の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、貫通孔a、各弁体及び各流体注入用の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第1のスペーサー及び/又は第2のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔a及び/又はbから側壁に連通する流体排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第1の板状基板に、貫通孔a、各弁体及び各流体注入用の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより各弁体を第2の板状基板方向に押圧し、各流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
- 第2のスペーサーは、板状の弁体を残してバルブ室用の貫通孔bが打抜かれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
- 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの、第1の板状基板、狭隘部を介して第1のバルブ室と第2のバルブ室が接続されているバルブ室用の貫通孔が打抜かれているスペーサー及び流体注入用の開口部及び流体排出用の貫通孔が打抜かれている第2の板状基板が、第1のバルブ室及び流体注入用の開口部が略一直線になり、第2のバルブ室及び流体排出用の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第1のバルブ室に常に流体注入用の開口部を覆い、狭隘部を通過しない大きさであって、スペーサーの厚さより薄い浮遊弁体が収納されているマイクロバルブの第1の板状基板に、第1のバルブ室用の貫通孔、浮遊弁体及び流体注入用の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより浮遊弁体を第2の板状基板方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
- 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの、第1の板状基板、狭隘部を介して第1のバルブ室と第2のバルブ室が接続されているバルブ室用の貫通孔が打抜かれているスペーサー及び流体注入用の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、第1のバルブ室及び流体注入用の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、該スペーサーに第2のバルブ室からスペーサーの側壁に連通する流体排出用の貫通孔が打抜かれ、第1のバルブ室に常に流体注入用の開口部を覆い、狭隘部を通過しない大きさであって、スペーサーの厚さより薄い浮遊弁体が収納されているマイクロバルブの第1の板状基板に、第1のバルブ室用の貫通孔、浮遊弁体及び流体注入用の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより浮遊弁体を第2の板状基板方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
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JP2015062360A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 積水化学工業株式会社 | 試料の加熱方法、並びに、マイクロチップ |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0632850U (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-28 | 横河電機株式会社 | シリコンマイクロバルブ |
JPH09512075A (ja) * | 1994-01-14 | 1997-12-02 | ウエストンブリッヂ・インターナショナル・リミテッド | マイクロポンプ |
JP2000186776A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | シャトル弁 |
JP2002219697A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-08-06 | Kawamura Inst Of Chem Res | バルブ機構を有するマイクロ流体デバイス及びその流量調節方法 |
JP2002228033A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分離型マイクロバルブ |
JP2003120851A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロバルブ |
JP2003139662A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Kawamura Inst Of Chem Res | マイクロ流体デバイス |
JP2003214349A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロポンプおよびその製作方法 |
JP2003225898A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Fuji Electric Co Ltd | 多層基板型マイクロ構造物の製造方法及びマイクロポンプ |
JP2003326499A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-18 | Rohm Co Ltd | 半導体デバイス及びその製造方法 |
JP2004516949A (ja) * | 2001-01-08 | 2004-06-10 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | マイクロ流体システム用の弁およびポンプならびにマイクロ流体システムを作製するための方法 |
JP2005003200A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Lg Electron Inc | マイクロアクチュエータ及びその製造方法並びにマイクロ作動バルブ |
JP2006214493A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Sekisui Chem Co Ltd | マイクロバルブの流量調節方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4923793Y1 (ja) * | 1970-12-04 | 1974-06-26 | ||
JPH09108579A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-04-28 | Shimadzu Corp | マイクロピペット |
JP3529226B2 (ja) * | 1996-09-04 | 2004-05-24 | 株式会社リコー | インクジェットプリンタ |
JP4058130B2 (ja) * | 1997-04-08 | 2008-03-05 | 宮崎沖電気株式会社 | 薬液切り替え弁及びウエハ洗浄装置 |
-
2005
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0632850U (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-28 | 横河電機株式会社 | シリコンマイクロバルブ |
JPH09512075A (ja) * | 1994-01-14 | 1997-12-02 | ウエストンブリッヂ・インターナショナル・リミテッド | マイクロポンプ |
JP2000186776A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | シャトル弁 |
JP2002219697A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-08-06 | Kawamura Inst Of Chem Res | バルブ機構を有するマイクロ流体デバイス及びその流量調節方法 |
JP2004516949A (ja) * | 2001-01-08 | 2004-06-10 | プレジデント・アンド・フェローズ・オブ・ハーバード・カレッジ | マイクロ流体システム用の弁およびポンプならびにマイクロ流体システムを作製するための方法 |
JP2002228033A (ja) * | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分離型マイクロバルブ |
JP2003120851A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体マイクロバルブ |
JP2003139662A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Kawamura Inst Of Chem Res | マイクロ流体デバイス |
JP2003214349A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マイクロポンプおよびその製作方法 |
JP2003225898A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Fuji Electric Co Ltd | 多層基板型マイクロ構造物の製造方法及びマイクロポンプ |
JP2003326499A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-18 | Rohm Co Ltd | 半導体デバイス及びその製造方法 |
JP2005003200A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Lg Electron Inc | マイクロアクチュエータ及びその製造方法並びにマイクロ作動バルブ |
JP2006214493A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Sekisui Chem Co Ltd | マイクロバルブの流量調節方法 |
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