JP4667734B2 - 光半導体素子の実装方法およびこれを用いて光モジュールを製造する方法 - Google Patents
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Description
(実装方法) 図2は、本実施の形態1に係る実装方法を説明する説明図である。位置の固定された素子観察用カメラ7および基板観察用カメラ8に、画像解析を行うソフトウェアが組込まれたコンピュータ(図示せず)が接続されている。このソフトウェアには、半導体レーザチップ1および実装基板2があらかじめ決められた正確な位置にある時の画像が、それぞれ参照パターンとして登録されている。
なお、y方向の位置決めについては、実装基板2に接するチップ表面(チップ裏面Bと反対側の面)から発光部9までの距離は、半導体レーザチップの個々の素子の間でほとんどばらつかないため、その距離の値を基にして実装基板2上における光ファイバ5(図1)の実装位置を設定すればよく、ここでは問題とならない。
1)図4(a)(b)(c)および図5は、作製途中における半導体レーザの断面図である。図4(a)に示すように、ウエハ状のp型半導体基板21上に、活性層22、n型クラッド層23を順次積層する。なお、図にはウエハの一部領域のみが示されている。次いで、幅1.5μmのストライプ状の誘電体マスク24a、24bをたとえば50μm間隔で成膜し、エッチングによりメサストライプを形成する。これにより、活性層22は活性層22aと活性層22bに分離される。これらの互いに隣接するメサストライプのうち、誘電体マスク24aが成膜された一方(すなわち、活性層22aを含む一方)は、のちに発光部を形成し、また、誘電体マスク24bが形成された他方(すなわち活性層22bを含む他方)は、図3に示したx基準線Rxをのちに形成するものである。
2)次いで、図4(b)に示すように、誘電体マスク24a、24bを選択成長マスクとして、p型埋込み層25、n型埋込み層26、p型埋込み層27を順次積層して、p/n/pの埋込み層を形成する。この際、誘電体マスク24a、24b上には埋込み層は形成されない(図4(b))。
4)次いで、フッ酸などで処理を行うことにより誘電体マスク24aが除去される。その後、誘電体マスク24b上のレジストマスク28を除去する。
5)次いで、図5に示すように、n型クラッド層29、n型コンタクト層30を積層する。この時、n型クラッド層29およびn型コンタクト層30は、活性層22aの上面には積層されるが、活性層22bの上面には、誘電体マスク24aの存在のため積層されない。したがって、活性層22bの上面には、開口幅10μmのストライプ溝31が形成される。
6)フォトリソグラフィを用いて、n型コンタクト層30表面にレジスト(図示せず)をパターニングし、更に真空蒸着法を用いてAuGeNiを蒸着し、リフトオフ法を用いてレジストを除去する。これにより、図6(a)の上面図に示すように幅10μmのn側ストライプ電極33およびz基準線形成用金属膜34ができる。また、A-A断面図を図6(b)に示す。
7)n型コンタクト層30およびn側ストライプ電極33の上部にフォトリソグラフィを用いてレジスト(図示せず)をパターニングする。このレジストをマスクとして、少なくともp型埋込み層25よりも下までウェットエッチングを行うことにより、図7に示すようにトレンチ35を形成する。その後、レジストを有機溶剤等を用いて除去する。
10)へき開により形成された端面38は半導体レーザの出射/反射端面となるため、端面保護および反射率調整を目的として、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化シリコン(SiO2)または窒化シリコン(SiNx)などによるコーティング膜(図示せず)をスパッタ法などにより形成する。この状態でレーザ発振が可能な状態であり、端面38の表面観察や、レーザ動作特性チェックなどの検査を適宜行う。続いて、バーを図8および図9における符号pで示された線に沿って割り出して個別のチップに分離することにより、図3に示した半導体レーザチップ1が完成する。なお、発光部9は、図4〜8で示した活性層22aの端面38における断面部分に相当する。
2 実装基板
3 矩形溝
4 V溝
5 光ファイバ
6 先端部
7 素子観察用カメラ
8 基板観察用カメラ
9 発光部
10 基準パターン
11 矩形溝の壁面
12 エピタキシャル層
15 誘電体膜
21 p型半導体基板
22、22a、22b 活性層
23 n型クラッド層
24a、24b 誘電体マスク
25 p型埋込み層
26 n型埋込み層
27 p型埋込み層
28 レジストマスク
29 n型クラッド層
30 n型コンタクト層
31 ストライプ溝
33 n側ストライプ電極
34 z基準線形成用金属膜
35 トレンチ
36 パッド電極
37 裏面電極
38 端面
39 ヒートシンク
40 半導体レーザチップ
41 出射端面
42 端部
43 モニタ用フォトダイオードチップ
44 受光端面
46 pn接合界面
47 メサ
48 受光部
49 コンタクト電極
50 パッド電極
51 z基準線形成用金属膜
52 第一レンズ
53 アイソレータ
54 第二レンズ
55 光ファイバ
57 ベース
58 ペルチェ素子
59 パッケージ
60 半導体レーザモジュール
B チップ裏面
Rx x基準線
Rz z基準線
L 共振器長
g ギャップ
Claims (7)
- 端面を有している光半導体素子を所定の部品に実装する光半導体素子の実装方法において、
前記光半導体素子の表面には、前記端面の少なくとも一部の辺と一致して、前記光半導体素子の発光部から出射される光の光軸方向の位置決め用の第1の基準線となる一辺を備え、画像認識するのに十分な幅を持った大きさの金属膜と、前記光半導体素子の発光部を形成する際に用いる誘電体マスクを用いて光軸方向に延びて形成されたストライプ溝とが形成され、前記ストライプ溝に沿って形成される第2の基準線を前記光軸方向と直交する方向の位置決め用とし、
前記光半導体素子と前記所定の部品とがあらかじめ決められた正確な位置にある時の画像を参照パターンとして登録する第1の工程と、
前記光半導体素子の表面の画像をカメラにより取り込む第2の工程と、
取り込まれた前記光半導体素子の画像と前記参照パターンとを、前記第1の基準線及び前記第2の基準線を用いて比較し、一致させるように位置決めする第3の工程と、
前記光半導体素子を前記所定の部品に実装する第4の工程と、
を有することを特徴とする光半導体素子の実装方法。 - 前記端面及び前記金属膜の一辺は、へき開により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子の実装方法。
- 前記端面は、光の出射端面であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光半導体素子の実装方法。
- 前記第3の工程の後に、前記光半導体素子を、前記所定の部品に実装される位置まで所定の距離移動させる工程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つの項に記載の光半導体素子の実装方法。
- 前記金属膜は高い光反射率を備えていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つの項に記載の光半導体素子の実装方法。
- 請求項1乃至5のいずれか1つの項に記載の実装方法により光半導体素子を前記所定の部品に実装する工程と、
前記所定の部品を所定のパッケージ内に実装する工程と、
を有することを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 端面を有する光半導体素子を所定の部品に実装するための実装装置において、
前記光半導体素子の表面には、前記端面の少なくとも一部の辺と一致して、前記光半導体素子の発光部から出射される光の光軸方向の位置決め用の第1の基準線となる一辺を備え、画像認識するのに十分な幅を持った大きさの金属膜と、前記光半導体素子の発光部を形成する際に用いる誘電体マスクを用いて光軸方向に延びて形成されたストライプ溝とが形成され、前記ストライプ溝に沿って形成される第2の基準線を前記光軸方向と直交する方向の位置決め用とし、
前記光半導体素子と前記所定の部品とがあらかじめ決められた正確な位置にある時の画像を参照パターンとして登録する第1の手段と、
前記光半導体素子の表面の画像をカメラにより取り込む第2の手段と、
取り込まれた前記光半導体素子の画像と前記参照パターンとを、前記第1の基準線及び前記第2の基準線を用いて比較し、一致させるように位置決めする第3の手段と、
前記光半導体素子を前記所定の部品に実装する第4の手段と、
を有することを特徴とする光半導体素子の実装装置
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