JP4666693B2 - センサの調整方法及びセンサの調整構造 - Google Patents

センサの調整方法及びセンサの調整構造 Download PDF

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Description

本発明は、点光源を有する投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に点光源から発散光を投影してその拡大された影を受光部で検出して検出体の幅を測定するセンサの調整方法及びセンサの調整構造に関する。
近年、プリント回路基板の高密度実装化に伴い多層化が図られてきており、またプリント回路基板にスルーホールを形成して複数の層間を電気的に接続することも行われている。このようなスルーホールは、極めて微小であり、直径が50〜100μm程度のドリル刃を持つ穿孔装置(以下、マシニングセンタという)により穿設されている。このような微小径のドリル刃の径(以下「ドリル径」という)を機械的に計測することは極めて困難である。
そこで、図10に示すように投光部としての点光源1から発せられた単色光(レーザ光)の影が拡大されて受光部としてのラインセンサ2の受光面に投影される拡大光学系を構成し、光路中に位置付けられた検出体としてのドリル刃3による影(ドリル径2r)が、点光源1とラインセンサ2との距離SDと、ドリル刃3とラインセンサ2との距離WDとの比により定まる拡大率(遮光倍率)「(SD−WD)/SD」によりラインセンサ2上に投影されることに着目し、拡大されたドリル刃3の影の幅2aを計測することにより前記拡大率の分だけ計測精度を高くしてドリル径(2r=2a×(SD−WD)/SD)を計測するようにした検出装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
尚、厳密には図10においてドリル刃3は、丸棒状をなしており、エッジの位置は、点光源1を通る接線上の位置になり、ラインセンサ2上で求められる影の幅2aは、ドリル刃3の真の径2rよりも若干狭くなるが、点光源1とラインセンサ2との距離SD、ドリル刃3とラインセンサ2との距離WDが明かであるので、
2r=2a(SD−WD)/{(2a)+SD1/2
としてドリル刃3の真の径2rをμmオーダの分解能で容易に測定することができる。
特開2005−224901号公報(9−10頁、図9)
このような検出装置は、外装をなすハウジングと、このハウジングの内部に搭載された光学系(点光源1、ラインセンサ2)とにより実現され、マシニングセンタとは別体として製造組立された後にマシニングセンタに設置される。このとき検出装置のハウジングの内部で光学系が適切な位置をとるように予め調整されていれば、ハウジングをマシニングセンタの所定の位置に正確に固定するだけで所期の機能が発揮される。それゆえ、検出装置の製造工程においてハウジング内部の光学系の位置を精密に調整するための簡易な手段が望まれている。
本発明の目的は、点光源を有する投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に点光源から発散光を投影して拡大された影を受光部で検出して検出体の幅を測定するセンサの基準位置から投光部及び受光部までの間隔を容易に調整することができるようにしたセンサの調整方法及びセンサの調整構造に関する。
上述した課題を解決するために、本発明に係るセンサの調整方法は、点光源を有する投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に前記点光源から発散光を投影してその拡大された影を前記受光部で検出して前記検出体の幅を測定するセンサの調整方法であって、前記投光部と受光部とを同一の支持部材上に固定し、前記支持部材のみを水平面上で移動させて前記基準位置に対して所定の遮光倍率となるような投光部と受光部の位置及び光軸の中心位置の調整を行い、前記支持部材をハウジングに固定することを特徴としている。
同一の支持部材上に投光部と受光部とを離隔対向させて位置決め固定しておき、この支持部材のみをハウジングの取付け位置において水平面上で移動させて所定の遮光倍率となるように基準位置から投光部及び受光部までの間隔、及び投光部と受光部との光軸の中心位置を調整する。そして、支持部材を位置決め調整した後ハウジングに固定する。これにより、調整箇所が支持部材の取付け位置のみとなり、調整作業が容易となる。
また、本発明の請求項2に記載のセンサの調整構造は、点光源から発散光を投光する投光部と、前記発散光を受光する受光幅を有する受光部とを備え、前記投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に前記発散光を投影してその拡大された影を前記受光部で検出して前記検出体の幅を測定するセンサの調整構造であって、前記投光部と受光部とを同一の支持部材上に固定し、該支持部材のみをハウジングの支持部材取付面上で水平に移動させて前記基準位置に対して所定の遮光倍率となるような投光部と受光部の位置及び光軸の中心位置を位置決めし、固定手段により前記ハウジングに固定することを特徴としている。
同一の支持部材上に投光部と受光部とを離隔対向させて位置決め固定しておき、この支持部材のみをハウジングの取付け位置において水平面上で移動させて所定の遮光倍率となるように基準位置から投光部及び受光部までの間隔、及び投光部と受光部との光軸の中心位置を調整する。そして、支持部材を位置決め調整した後固定手段によりハウジングに固定する。
また、本発明の請求項3に記載のセンサの調整構造は、請求項2に記載のセンサの調整構造において、前記支持部材はプレートであり、前記固定手段は前記ハウジングのプレート取付面の所定位置に形成された複数のねじ穴と、前記プレートの前記ねじ穴と対応する位置に前記ねじ穴よりも大径に穿設された取付穴と、前記プレートの取付穴を挿通して前記ねじ穴に螺合し前記ハウジングのプレート取付面に前記プレートを固定するボルトからなり、前記プレートを取付穴とボルトとの径差分移動可能としかつ固定することを特徴としている。
プレートは、ハウジングのプレート取付面に載置された状態において取付穴とボルトとの径差分だけ水平面上で二次元的に移動可能とされる。そして、プレートを位置決め調整した後ボルトを締め付けてハウジングに固定する。これにより、簡単な構成でプレートの位置決め及び固定ができる。
また、本発明の請求項4に記載のセンサの調整構造は、請求項2又は請求項3に記載のセンサの調整構造において、前記基準位置から前記投光部及び受光部までの間隔は同じ間隔とされ、前記遮光倍率は2倍であることを特徴としている。
ハウジングの基準位置から投光部及び受光部までの間隔を同一にして遮光倍率を2倍に設定することにより、プレート上への投光部と受光部との取付け位置の設定を容易に行うことが可能となる。
また、本発明の請求項5に記載のセンサの調整構造は、請求項2乃至請求項4の何れかに記載のセンサの調整構造において、前記投光部の点光源は単色光を発散投光する半導体レーザダイオードであり、前記受光部は複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したリニアイメージセンサであることを特徴としている。
投光部として半導体レーザダイオードを使用することで単色光を発散する点光源を容易に構成することができ、受光部として複数の受光セルを一方向に所定ピッチで配列することで投光部からの発散光を全幅に亘り受光することができる。これにより、投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に発散光を投影してその拡大された影を受光部で検出して検出体の幅を測定することができる。
本発明によると、投光部と受光部を同一支持部材上に固定した支持部材のみをハウジングの基準位置に対して所定の遮光倍率となるように位置決めすることで、調整箇所が支持部材のみとなり、調整作業が簡単となり、センサの組付効率の大幅な向上が図られる。また、調整構造も極めて簡単であり、調整作業が容易である。
以下、本発明の一実施形態に係るセンサの調整方法を適用した光学センサについて図面に基づいて説明する。図1及び図2に示すように光学センサ11のハウジング12は、上方から見て横長の長方形をなし、正面から見て上下に薄い長方形をなす扁平な直方体形状の箱体をなし、上部の開口部にカバー13が装着されている。ハウジング12及びカバー13の前壁部略中央位置に上方から見て略正方形をなす凹部14及び凹部14と対応する切欠13aが形成されている。そして、この凹部14に形成された基準位置Sに検出体例えば前述した外径が50〜100μm程度の極細のドリル刃等を上方から挿入可能とされている。尚、基準位置Sは、分かりやすくするために+で示してある。また、ハウジング12の前壁部12aの凹部14の開口部には当該凹部14の前側を覆うダストシール15が取り付けられている。
図3に示すようにハウジング12内には支持部材としてのベースプレート21が収容されており、このベースプレート21に投光部22、受光部23、プリント配線板24が搭載されている。プリント配線板24は、図示しない回路部品が実装されておりケーブル25を介して図示しない本体装置に接続される。
図4に示すようにハウジング12は、前壁部12aの略中央位置に上端から底板12b(図7参照)の上面12cまで開口する開口部12eが形成されており、上端面にカバー13を固定するためのねじ穴12g、及び当該光学センサ11を例えばマシニングセンタの定盤等に取り付けて固定するための取付穴12hが形成されている。また、前壁部12aの開口部12eの周縁部12e’は、ダストシール15を前壁部12aの前面に面一に貼着するためにダストシール15の厚みに応じた凹部とされている。
そして、開口部12eに上方から見て略角形U字状をなす隔壁部と前記隔壁部に垂直で凹部14の上面12cと接する平面部18を有する隔壁部材16が載置されて、図1、図3及び図7に示すようにねじ止め固定されている。この隔壁部材16によりハウジング12の前部に内側に凹型をなす凹部14が形成され、上面12cの凹部14内に位置する所定位置に基準位置Sを設定するための基準位置設定穴17が垂直に穿設されている。そして、この基準位置設定穴17の中心位置が基準位置Sとされる。また、平面部18には基準位置設定穴17と対応する位置に当該基準位置設定穴17と同径又は僅かに大径の穴18aが形成されている。
ハウジング12の上面12cには2点鎖線で示すベースプレート21を載置するベースプレート取付面12c’の所定箇所例えば四隅の位置にベースプレート21を位置決め固定するためのねじ穴12iが形成されている。また、ケーブル25を固定するための取付金具26の取付用ボス12jが形成されその上面にねじ穴12kが形成されている。ハウジング12の一側の側壁部12fにはケーブル25を外部に引き出すための図1乃至図3に示すケーブルクランプ27の取付穴12mが形成されている。
このハウジング12は、金属部材例えばアルミダイキャストにより形成されており、図7に示すように底板12bの下面12dと上面12cのベースプレート取付面12c’とは平行な平面をなしかつ所定の板厚に高精度に加工されている。また、カバー13は、アルミニウム合金板により形成されている。
隔壁部材16は、対向する左右両側部16a,16bに図7に示すように基準位置Sを通る垂線HSに対してベースプレート取付面12c’から所定の高さ位置で直交する水平な線Lと対応する位置に所定の大きさ及び形状の窓16cと窓16dが対向して形成されている。そして、水平な線Lは、これらの窓16c,16dの中心を通る。一側の窓16cは投光部側の窓、他側の窓16dは受光部側の窓とされ、それぞれフィルタ19,20が嵌め込まれている。これらのフィルタ19,20はガラス板で形成されており、投光部22、受光部23を保護する機能も有している。
この隔壁部材16は、例えば樹脂部材により形成されている。隔壁部材16は、両側部16a,16bに窓16c,16dを形成するためにハウジング12と別体に形成され、図4に示すようにハウジング12の開口部12eに装着されねじにより固定されている。これにより、ハウジング12の金型構造が簡単となり安価となる。
図5に示すようにベースプレート21は、図4に示すハウジング12のベースプレート取付面12c’に載置されかつ取付面12c’よりも僅かに小さい大きさに形成され、隔壁部材16と対応する前部略中央位置に隔壁部材16よりも僅かに大きい凹部21cが形成されている。そして、図4に示すベースプレート取付面12c’の四隅に形成されたねじ穴12iと対応する四隅の位置に取付穴21dが穿設されている。この取付穴21dは、ねじ穴12i即ちハッチングで示す取付用のボルト55のボルト径よりも僅かに大径(例えば、1.5倍程度)とされている。因みに、ボルト55の径が3mmの場合取付穴径21dの径が4.4mm程度とされている。
これにより、ベースプレート21は、ベースプレート取付面12c’に載置された状態において取付穴21dとボルト55との径差分だけ水平面上で矢印X−X’,Y−Y’で示す前後、左右方向即ち二次元的に水平に移動可能とされる。そして、取付穴21dとボルト55との径差、即ちベースプレート21の移動可能範囲は、基準位置Sから投光部22及び受光部23までの間隔の調整範囲よりも大きく設定されている。これらの取付穴21dとボルト55とにより固定手段が形成されている。
ベースプレート21の凹部21cの図中左側所定位置に2点鎖線で示す投光部22の保持部材32(図3参照)を位置決めするための位置決めピン42が垂設され、その前後両側に保持部材32の取付穴21eが穿設されている。凹部21cの右側所定位置には2点鎖線で示す受光部23のベース部材33(図3参照)を位置決めするための位置決めピン43が前後方向に間隔を存して2本垂設され、その略中央かつ凹部21c側にベース部材33の取付用のねじ穴21fが穿設されている。取付穴21eは、図6に示すように下面21bの開口端部が深座ぐり加工されて取付用のボルトの頭がベースプレート21の下面21bから突出しないようにされている。
ベースプレート21の左右両側略中央位置に位置決め調整時の冶具穴21gが穿設されている。これらの冶具穴21gは、ベースプレート21をハウジング12に位置決め調整する際に調整装置の冶具(ピン)を嵌合させるためのものである。また、ベースプレート21の上面21aには凹部21cの後側に2点鎖線で示すプリント配線板24の四隅を載置して支持するための円柱状のスペーサ28が設けられている。これらのスペーサ28は、上面中央にねじ穴28aが形成されている。このベースプレート21は、金属部材例えばアルミニウム合金板により形成されており、図6に示すように上面21aと下面21bとは平行な平面をなしかつ所定の板厚に高精度に加工されている。
図3に示す投光部22を収容する保持部材32の下面にはベースプレート21の位置決めピン42及び取付穴21eと対応して位置決めピン42が嵌合する図示しない位置決め穴及びねじ穴が形成されており、保持部材32の上部所定高さ位置に図7に破線で示すように投光部22が設けられている。
保持部材32は、図5にベースプレート21の凹部21cの左側に2点鎖線で示す位置に載置されて位置決めピン42により位置決めされ、ベースプレート21の下側から取付穴21eを通して前記ねじ穴に螺合する図示しないボルトで図7に示すようにベースプレート21に固定される。投光部22は、ベースプレート21に固定された状態において図7に示すようにその光軸が隔壁部材16の投光側の窓16cと受光側の窓16dの中心を通る水平な線L(以下光軸Lという)と一致するように設定されている。
投光部22は、点光源とされ図3及び図9に示すように上方から見て前後方向(幅方向)拡がる発散光を投光する。この点光源としての投光部22は、例えば単色光を発生する半導体レーザダイオードが使用されている。
図3に示す受光部23を取り付けるベース部材33は、厚板状をなしベースプレート21の2本の位置決めピン43及びねじ穴21fと対応して位置決めピン43が嵌合する2つの位置決め穴33a,33b及び図示しない取付穴が上面から下面まで貫通して形成されている。一側の位置決め穴33bは長穴とされて誤差を吸収可能とされている。受光部23は、支持板34の上部前面に固定され、該支持板34の下端部がベース部材33の前面に固定されている。
ベース部材33は、図5にベースプレート21の凹部21cの右側に2点鎖線で示す位置に載置されて位置決めピン43により位置決めされ、図7に示すように上方から前記取付穴を挿通してボルト51によりベースプレート21のねじ穴21fに固定される。そして、受光部23は、投光部22と凹部21cを挟んで離隔対向しかつその光軸が前記光軸Lと一致するように設定される。このとき、図7に示すようにベースプレート21とベース部材33との間に必要に応じてスペーサ35を介在させて受光部23の光軸が光軸Lと一致するように高さ調整を行う。
受光部23は、複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したリニアイメージセンサ(ラインセンサ)により構成されており、図3及び図9に示すように上方から見て前後方向(幅方向)拡がる投光部22から投光される発散光を受光する受光幅を有している。このようにして、ベースプレート21の凹部21cの両側に投光部22と受光部23とが間隔を存して固定されている。
図3に示すプリント配線板24に実装されている図示しない回路部品と投光部22、受光部23とが電気的に接続されている。このプリント配線板24は、図5に2点鎖線で示すように4つのスペーサ28上に四隅を載置されて図3に示すようにボルト52で固定される。このようにして、1枚のベースプレート21上に投光部22、受光部23及びプリント配線板24が一体に配設固定されてベースプレート組立体が形成されている。
次に、上記ベースプレート21をハウジング12に収容して位置決め調整する方法について説明する。図3及び図7に示すようにベースプレート21に投光部22と受光部23とを所定の間隔Dで固定した場合、この間隔Dは、部品精度、加工精度上どうしても誤差ΔDが発生する。そして、この誤差ΔDは、各ベースプレート組立体毎に異なる。即ちベースプレート21に配設された投光部22と受光部23との間隔Dは、個体毎にバラツキがある。
先ず、図4に示すようにハウジング12を水平に配置してベースプレート21を収容して2点鎖線で示すベースプレート取付面12c’に載置し、図5に示すように四隅の取付穴21dにそれぞれボルト55を挿通してハウジング12のねじ穴12iに軽く螺合して仮止めする。この状態においてベースプレート21は、取付穴21dとボルト55との径差分だけベースプレート取付面12c’上(水平面上)を矢印X−X’,Y−Y’方向に自由に移動可能とされている。
本実施形態において遮光倍率は2倍とされており、この状態においてハウジング12の基準位置Sから投光部22、受光部23までの間隔は略同じ間隔になっており、投光部23と受光部23との光軸Lが隔壁部材16の略中央に位置している。
次に、図5に示すベースプレート21の両側部の冶具穴21gに図示しない調整装置の冶具(ピン)を上方から嵌合させ、図8に示すように基準位置Sの真上(垂線HS上)に基準の検出体例えば外径既知のドリル刃3を垂直に挿入し、図9に示すように投光部22から発散光を投光してその拡大された影の幅SWを受光部23で検出し、ドリル刃3の幅をμmオーダの分解能で測定しながら所定倍率となるような投光部22及び受光部23の位置及び光軸の中心位置の調整を行う。
本実施形態においては前述したように遮光倍率が2倍とされており、基準位置Sから投光部22及び受光部23までの間隔SD1及びSD2が等しくなる(SD1=SD2=D/2)ようにベースプレート21を移動させてμmオーダで位置調整を行う。投光部22及び受光部23は、ベースプレート21に予め位置決めされて固定されており、従って、ベースプレート21のみをハウジング12の基準位置Sに対して位置調整すれば良く調整が容易でありかつ極めて効率的である。このようにしてベースプレート21の位置決め調整が終了した後ボルト55を締め付けてハウジング12にベースプレート21を固定する。
次いで、図3に示すようにプリント配線板24から引き出されたケーブル25を取付金具26によりハウジング12の取付用ボス12jにボルト56で固定する。ケーブル25は、ハウジング12の一側の側壁部12fに取り付けられたケーブルクランプ27を通して外部に導出される。
また、図8に示すように例えばマシニングセンタの定盤60の基準位置に設けた位置決めピン61にハウジング12の基準位置設定穴17を嵌合して定盤60に光学センサ11を設置し、検出体としてのドリル刃3を光軸Lに沿って水平に矢印X方向又はX’方向に水平に移動させることにより、拡大倍率を容易に変更することができる。
図8に示すマシニングセンタにおいて、ピン61とドリル刃3との位置関係が精密に決められており、ピン61の中心とドリル刃3の中心とが一致している場合について記述したが、これらのピン61とドリル刃3の位置関係が正確でありさえすればよく、必ずしも一致している必要はない。
また、基準位置設定穴17とピン61は、JIS規格の「はめあい公差」の寸法に仕上げられており、従って、基準位置設定穴17とピン61とを嵌め合わせると、光学センサ11のハウジング12とドリル刃3との位置関係が十分な精度をもって決定される。
従って、光学センサ11の出荷前に基準位置設定穴17に対してセンサの光学系の位置決めを正確に合わせておくことにより、使用者がマシニングセンタのピン61に光学センサ11の基準位置設定穴17を嵌め合わせるだけで、マシニングセンタに装着されているドリル刃3と光学センサ11の光学系との位置関係を精密に合わせることができる。即ち、本願発明の光学センサ11は、出荷前に基準位置設定穴17から導かれるドリル刃位置に対して光学系の位置を簡単に合わせこむことができる。
なお、上記実施形態においては光学センサ11の遮光倍率を2倍として基準位置Sから投光部22及び受光部23までの間隔SD1及びSD2を(D/2)即ち1:1となるようにベースプレート21を位置決め調整する場合について記述したが、これに限るものではなく基準位置Sから投光部22及び受光部23までの間隔SD1及びSD2をm:nに設定する場合についても同様にしてベースプレートのみを水平面上で移動させることで容易に位置決め調整することが可能である。
なお、上記実施形態においては投光部22と受光部23とを同一に支持する支持部材としてベースプレートを使用したがこれに限るものではなく、ブロック体を使用しても良い。
本発明の一実施形態に係る光学センサの平面図である。 図1に示した光学センサの正面図である。 図1に示した光学センサのカバーを取り除いた状態の平面図である。 図3に示したハウジングの平面図である。 図3に示したベースプレートの平面図である。 図5に示したベースプレートの矢線VI−VIに沿う断面図である。 図3に示した光学センサの矢線VII−VIIに沿う断面図である。 図7に示した光学センサの要部拡大図である。 図7に示した光学センサのハウジングの基準位置から投光部及び受光部までの間隔の調整方法の説明図である。 従来の光学センサによる検出体の測定方法の説明図である。
符号の説明
1 点光源
2 ラインセンサ
2a ドリル刃(検出体)の影の幅
3 ドリル刃(検出体)
SD 点光源とラインセンサとの距離
WD ドリル刃とラインセンサとの距離
2r ドリル径
11 光学センサ
12 ハウジング
12a 前壁部
12b 底板
12c 上面
12c’ ベースプレート取付面
12d 下面
12e 開口部
12e’ 周縁部(凹部)
12f 側壁部
12g ねじ穴
12h 取付穴
12i ねじ穴
12j 取付用ボス
12k ねじ穴
12m 取付穴
13 カバー
13a 切欠
14 凹部
15 ダストシール
16 隔壁部材
16a,16b 側部
16c,16d 窓
17 基準位置設定穴
18 平面部
18a 穴
19,20 フィルタ
21 ベースプレート(支持部材)
21a 上面
21b 下面
21c 凹部
21d 取付穴
21e 取付穴
21f ねじ穴
21g 冶具穴
22 投光部
23 受光部
24 プリント配線板
25 ケーブル
26 取付金具
27 ケーブルクランプ
28 スペーサ
28a ねじ穴
32 保持部材
33 ベース部材
33a、33b 位置決め穴
34 支持板
35 スペーサ
42 位置決めピン
43 位置決めピン
51、52,55,56 ボルト
60 定盤
61 位置決めピン
S 基準位置
HS 垂線
L 光軸(水平な線)
D 投光部と受光部との間隔
SD1 基準位置から投光部までの間隔
SD2 基準位置から受光部までの間隔
SW 検出体の影の幅

Claims (5)

  1. 点光源を有する投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に前記点光源から発散光を投影してその拡大された影を前記受光部で検出して前記検出体の幅を測定するセンサの調整方法であって、
    前記投光部と受光部とを同一の支持部材上に固定し、前記支持部材のみを水平面上で移動させて前記基準位置に対して所定の遮光倍率となるような投光部と受光部の位置及び光軸の中心位置の調整を行い、前記支持部材をハウジングに固定することを特徴とするセンサの調整方法。
  2. 点光源から発散光を投光する投光部と、前記発散光を受光する受光幅を有する受光部とを備え、前記投光部と受光部の光軸上の基準位置に挿入された検出体に前記発散光を投影してその拡大された影を前記受光部で検出して前記検出体の幅を測定するセンサの調整構造であって、
    前記投光部と受光部とを同一の支持部材上に固定し、該支持部材のみをハウジングの支持部材取付面上で水平に移動させて前記基準位置に対して所定の遮光倍率となるような投光部と受光部の位置及び光軸の中心位置を位置決めし、固定手段により前記ハウジングに固定することを特徴とするセンサの調整構造。
  3. 前記支持部材はプレートであり、
    前記固定手段は前記ハウジングのプレート取付面の所定位置に形成された複数のねじ穴と、前記プレートの前記ねじ穴と対応する位置に前記ねじ穴よりも大径に穿設された取付穴と、前記プレートの取付穴を挿通して前記ねじ穴に螺合し前記ハウジングのプレート取付面に前記プレートを固定するボルトからなり、前記プレートを取付穴とボルトとの径差分移動可能としかつ固定することを特徴とする、請求項2に記載のセンサの調整構造。
  4. 前記基準位置から前記投光部及び受光部までの間隔は同じ間隔とされ、前記遮光倍率は2倍であることを特徴とする、請求項2又は請求項3に記載のセンサの調整構造。
  5. 前記投光部の点光源は単色光を発散投光する半導体レーザダイオードであり、前記受光部は複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したリニアイメージセンサであることを特徴とする、請求項2乃至請求項4の何れかに記載のセンサの調整構造。
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