JP4659459B2 - 調節可能な光学デバイスにおける温度調節部品の温度を感知するための方法および装置 - Google Patents

調節可能な光学デバイスにおける温度調節部品の温度を感知するための方法および装置 Download PDF

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Description

本願は、本願と同日に出願された、米国出願番号[代理人記録簿番号:42P15597]「遠隔基準抵抗」に関連する。
本発明の複数の実施形態は、一般的には、調節可能な光学デバイスに関し、より具体的だが非限定的には、調節可能な光学装置における温度調節素子における温度感知に関する。
複数の調節可能な外部共振器レーザ(「ECL」)は、光波試験および測定装置において幅広く用いられており、急速に拡大する波長分割多重化(「WDM」)光通信の分野にとって必須の複数の要素として認識され始めている。この分野内において行われる数多くの応用の際には、数多くの互いに異なる複数の組の性能仕様が必要であるが、いくつかの典型的な必要条件は以下の通りである。光学機械アセンブリおよび制御システムが小さな形式要素であること、出力レーザ波長に対する制御、レーザアセンブリの信頼性、および製作コストが安価であることである。
なお、本出願に対応する外国の特許出願においては下記の文献が発見または提出されている。
米国特許第5936987号明細書 英国特許第936613号明細書
1つのECLのレーザ光線を発する中心波長を選択的に調節する1つの既知の方法は、1つの楔形状の光学フィルタをレーザビームの経路内に設置することである。楔形フィルタを光路に渡って移動させることによって、調節を得る。調節は、レーザビームと交差する楔形状フィルタの厚みの違いに起因して生じる。代わりに、1つの平らな光学フィルタをレーザビーム経路内で回転させると、レーザビームが光学フィルタを介して横切らなければならない経路長を調整することによって、所望の調節効果を得るだろう。
1つのECLを調節する複数のこれらの方法は、ある応用においては望ましくない。なぜなら、これらの方法は、モータなどの1つの機械的なアクチュエータを設置して、光学フィルタの所望の変換または回転を生じさせることを必要とするからである。ECLモジュール内に1つのモータを設置すると、1つのECLを含む他の高感度の光学要素を破壊し、破壊電磁障害を生じさせることがある。さらに、モータは、今日の複数のECLモジュールを小型化するための必要条件に対して1つの厳しい制約となる。複数の小さなモータは、比較的高価なことがあり、可動部品を伴う任意の機械デバイスの使用は、固定された機械的および電子的な代替物に比べて信頼性が低い傾向にある。
本発明の複数の非制限的かつ非網羅的な実施形態を、以下の図面を参照して説明する。そこにおいて、様々な図面全体に渡って、複数の同様の参照符号は、特に指定されていない限り、複数の同様の部分を指す。
以下の詳細な説明において、多数の具体的な詳細を示す。しかしながら、本発明の複数の実施形態は、これらの具体的な詳細がなくても実施されてもよいことが理解される。他の複数の場合において、既知の複数の回路、複数の構造、複数の技法は、この説明の理解を不明瞭にしないために、詳細に示されていない。これらの複数の実施形態は、当業者が本発明を実施できるのに充分に説明される。したがって、以下の詳細な説明は、1つの限定的な意味で受け取られるべきものではなく、本発明の範囲は、添付の複数のクレームによってのみ規定される。
図1は、本発明の一実施形態に係る調整可能な光学ユニット100を示す。調節可能な光学ユニット100は、1つの選択された波長で動作するために調整可能である(例えば、1つの光学フィルタ、1つの光送信器、1つの光受信器、または他の光学デバイスとして)。本実施形態において、調節可能な光学ユニット100は、1つの励起源102と、1つの抵抗温度デバイス(RTD)16を有する1つの温度調節部品104と、1つの基準抵抗108と、1つの測定回路110とを含む。いくつかの複数の実施形態において、RTD106は、薄膜堆積処理による温度調節部品104の1つの必須の部分であってもよい。他の実施形態において、RTD106は、1つのサーミスタを用いて実施されてもよい。
一実施形態において、励起源102は、例えば1つの選択された電圧信号または1つの選択された電流信号のような、1つの電気信号を出力する。RTD106は、温度と共に変化する1つの抵抗を有する1つのデバイスである。一実施形態において、RTD106は、プラチナから形成された1つの構成を用いて実施され、プラチナは、1つの比較的大きな温度範囲に渡るその温度に直線的に関連する1つの抵抗を有利に有し、それによって調節動作を簡素化している。基準抵抗108は、既知の抵抗を有する1つの抵抗デバイスである。一実施形態において、基準抵抗は、カリフォルニア州サンタクララのビシェイ社から入手可能なモデルVSM0805抵抗器のような、1つの精密低音係数抵抗器を用いて実施される。測定回路110は、抵抗、電圧、電流などの1つの電気パラメータを測定するように設計された1つの回路である。
本実施形態において、励起源102は、RTD106の1つのノード114に接続された1つの出力リード線を有する。RTD106は、1つの配線117を介して基準抵抗108の1つのノード116に接続された他のノード115を有した。この状況において用いられたように、1つの配線は、1つ以上の導電相互接続または1つのバスのことを指しうる。基準抵抗108は、1つの配線119を介して1つの供給線V2(例えば、接地)に接続された他のノード118を有する。配線121および122は、それぞれ、RTD106のノード114および115を測定回路110の1つの入力ポート123に接続する。同様に、配線124および125は、それぞれ、基準抵抗のノード116および118を測定回路110の1つの入力ポート126に接続する。測定回路110は、1つの配線128において1つの出力信号を与える。
一実施形態において、配線128は、1つの制御回路(図示せず)に接続される。調節可能な光学ユニット110は、1つの選択された波長について動作を調整する際に、図1および2に関連して以下に説明するように動作する。
図2は、本発明の一実施形態に係る、調節可能な光学ユニット100(図1)の1つの動作フローを示す。図1および2を参照して、調節可能な光学ユニット100は以下のように動作する。
1つの調節動作において、1つの励起信号は、温度調節部品104のRTD106を伝播する。一実施形態において、励起源102は、励起信号を出力し、励起信号は、配線113を介してRTD106のノード114に伝播する。例えば、いくつかの複数の実施形態において、励起源は、1つの定電圧源または1つの定電流源であってもよく、1つの電気信号をRTD106に与える。RTD106は、その後、励起信号をノード115を介して配線117に伝播する。いくつかの複数の実施形態において、励起信号は、その後、配線117を介して基準抵抗108のノード116に伝播し、基準抵抗を通ってノード118に伝播して、配線119を介して供給線V2へ伝播する。動作フローは、図2の1つのブロック201に表される。
その後、RTD106から影響される励起信号の1つの電気パラメータが感知される。本実施形態において、測定回路110は、選択された電気パラメータを感知する。例えば、一実施形態において、測定回路110は、配線121および122を介するRTD106の両端における電圧降下を測定する。一実施形態において、測定回路110は、電圧をサンプリングし、電圧降下に対応する1つのデジタル値を生成し、デジタル値をバッファリングして必要な場合に配線128を介して出力させることができる。いくつかの複数の実施形態において、基準抵抗108によって影響される励起信号の1つの電気パラメータも感知される。例えば、測定回路110は、RTD106の両端における電圧降下を測定するための上述と同様の方法で、配線124および125を介する基準抵抗108の両端における電圧降下も測定することができる。この動作フローは、図2の1つのブロック203によって表される。
その後、温度調整部品104の温度が、感知された(複数の)電気パラメータの1つの関数として制御される。本実施形態において、測定回路110は、感知された電気パラメータに依存する1つの信号を配線128を介して出力し、当該信号は、その後、他の回路(図示せず)によって用いられて、温度調節部品104の温度を1つの所望のレベルに調整する。例えば、調節可能な光学ユニット100は、1つの選択された波長の光信号を送信する1つの光送信器であってもよい。温度調節部品104の温度は、フィードバックループを介して制御されて、出力光信号の波長を所望の波長に維持するようにしてもよい。
測定装置110がRTD106および基準抵抗108の両端における電圧降下を測定するいくつかの複数の実施形態において、RTD106の抵抗は、1つの定電流の励起信号を用いて、RTD106の両端における電圧降下を基準抵抗108の両端における電圧降下で除算することによって、レシオメトリックに決定することができる。他の複数の実施形態において、励起信号は、低電圧であってもよい。基準電圧108の抵抗値は比較的正確にわかり、電流は共用されるので、電流値は割合から相殺される。よって、都合のよいことには、RTD106の抵抗を決定するには、電流値が既知である必要はない。さらに、レシオメトリック測定は、励起信号の複数の変動および雑音に対して比較的感度が悪い。
加えて、電圧測定は配線121および122間の差の測定であるので、測定回路110は、配線121および122上の一般モード雑音に対して比較的感度が悪い。
RTD106の抵抗は温度に対応するので、温度調節部品104の温度が決定できる。したがって、既知の制御システム手法を用いて、温度調節部品104を電圧測定を用いて調整することができるこの動作フローは、図2の1つのブロック205によって表される。
図3は、本発明の一実施形態に係る、1つの温度調節されたレーザ300、すなわち、実質上、調節可能な光学ユニット100(図1)の一実施例を示す。本実施形態において、温度調節されたレーザ300は、調節可能な光学ユニット100(図1)におけるのと同様に、励起源102と、基準抵抗108と、測定回路110とを含む。加えて、温度調節されたレーザ300は、反射体302および303によって規定された1つのレーザ光路301と、温度調節部品104A及び104B(それぞれ、図1に関連して上述した温度調節部品104に実質的に同様である)と、1つの電圧基準305と、1つのスイッチ306と、アナログデジタル(ADC)回路308とを含む。本実施形態において、1つの較正抵抗309が含まれるが、複数の他の実施形態では省略可能である。本実施形態において、温度調節部品104Aおよび104B(それぞれRTD106Aおよび106Bを含む)は、複数の温度調節された光学フィルタである。スイッチ306は、1つの共通端子と、1つの第1の出力端子と、1つの第2の出力端子とを有する。
本実施形態において、電圧基準305およびスイッチ306は、励起源102の部分であり、電圧基準305は、その出力端子がスイッチ306の共通端子に接続されている。励起源が配線113を1つの実質的に一定の電圧に選択的に維持できるように、スイッチ306の第1の出力端子は配線113に接続される。スイッチ306の第2の出力端子は、本実施形態において、配線117に接続される。
RTD106Aおよび106Bは、レーザ光路301に配置され、配線317を介して直列に接続される。特に、RTD106Aは、配線113に接続された1つのノードと、配線317に接続された他の1つのノードとを有する。RTD106Bは、配線317に接続された1つのノードと、配線117に接続された他の1つのノードとを有する。基準抵抗108は、配線117に接続され、本実施形態において、配線119を介して接地される。
本実施形態において、ADC回路308は、測定回路110の一部であり、測定回路110は、配線121Aおよび122Aを介してRTD106に接続され、配線121B及び122Bを介してRTD106Bに接続される。加えて、測定回路110は、配線128を介して(本実施形態において、温度調節されたレーザ300の外側にある)1つの制御ユニット310に接続される。制御ユニット310は、1つの配線319を介して温度調節された光学フィルタ104Aおよび104Bに接続される。いくつかの複数の実施形態において、制御ユニット310は、ファームウェアおよびソフトウェアを含んで、(以下に説明するものを含む)所望の複数の制御機能を行う、プロセッサベースのユニットである。
1つの調節動作において、温度調節されたレーザ300は、調節可能な光学ユニット100(図1)に関して上述したようなものと実質的に同様のやり方で動作する。いくつかの複数の実施形態において、制御ユニット310は、温度調節された光学フィルタ104Aおよび104Bの温度を感知して、互いに異なる温度を有するように制御することができる。このように、レーザ出力の波長は、制御できる。
より具体的には、本実施形態において、制御回路310は、較正抵抗は開路のままとしつつ、スイッチ306が電圧基準305の出力端子を結合するようにする。よって、基準抵抗108およびRTD106Aおよび106Bは直列に結合して、実施的に同一の電流を通す。これら複数の部品を通る電流のあらゆる違いは、1つの較正動作(以下に説明する一実施形態)において説明できる。ADC回路308は、基準抵抗108、RTD106A、およびRTD106Bの各両端における電圧降下を測定する。いくつかの複数の実施形態において、ADC回路308は、1つのマルチポートADCを含み、他方で他の複数の実施形態において、ADC回路308は、3ポート多重器を伴う1つの単一のADCを含んで、これら3つの部品の両端における電圧降下を選択的に測定する。調節可能な光学ユニット100(図1)について上述したように、RTD106Aおよび106Bの電圧降下(よって抵抗)は、上述のレシオメトリック手法を用いて正確に測定することができ、その結果、レーザ出力が所望の(複数の)波長を有するように、温度調節された複数の光学フィルタの温度を制御するように用いられる。さらに、いくつかの複数の実施形態において、励起信号における複数の変動および/または雑音は両方の測定において共通するように、電圧降下は、実質的に同時に測定され、複数のレシオメトリック測定手法を介する相殺に対処できる。
本実施形態において、温度調節されたレーザ300は、較正動作を行うことができる。1つの較正動作において、制御ユニット310は、スイッチ306が電圧基準305の出力端子を配線117に接続するようにさせ、それにより、RTD106AおよびRTD106Bを迂回して、1つの既知の抵抗を有する較正抵抗309にこれらを置き換える。励起源102および基準抵抗108が、非較正モードにおけるのと同じように、較正モードにおいて実質的に同様の状態を経験するように、較正抵抗309が与えられる。その後、測定回路110は、RT106Aおよび106の両端における複数の電圧を測定する。測定された複数の電圧は、ADC回路308における漏れおよび相互接続抵抗によって、同様である。測定回路110は、電圧測定デバイスを用いて、電流の実質的にどの部分も当該電圧測定デバイスを通して伝わらないように基準抵抗の両端における電圧を測定してもよい。制御ユニット310は、非較正動作中にこれら複数の測定値を用いて、より精度を向上させることができる。他の複数の実施形態において、他の複数の較正のやり方が用いられてもよい。
図4は、本発明の一実施形態に係る、温度調整された光学フィルタ104A(図3)を示す。本実施形態において、温度調節された光学フィルタ104Aは、温度調節された1つのエタロン401と、1つの加熱器ユニット403と、1つの光信号伝播領域406(複数の点線で示す)を囲むようにエタロン401の1つの表面上に配置された1つの加熱器部品404とを含む。本実施形態において、RTD106Aは、エタロン401の同一の表面上に配置され、加熱器部品404を実質的に囲む。一実施形態において、RTD106は、従来の堆積および写真食刻手法を用いて、エタロン401の表面上に掲載されたプラチナからなる。
図5は、本発明の一実施形態に係る、図3の温度調整されたレーザを用いる1つの光通信システムを示す1つのブロック図である。
調節可能な光学デバイスの温度調節部品の温度感知のための方法および装置の複数の実施形態をここに説明する。上述の説明において、(複数のRTDを実施するために用いられる材料、温度を正確に測定するための手法など)数多くの特定の詳細を示して、本発明の複数の実施形態の1つの完全な理解を提供する。しかしながら、本発明の複数の実施形態は、1つ以上の特定の詳細がなく、または他の複数の方法、構成要素、材料などと共に、実施可能であることを、当業者は認識するであろう。他の複数の場合において、説明を不明瞭にするのを避けるため、周知の構造、材料、または動作は、示さず、または詳細に説明されていない。
本明細書を通して、「一実施形態」または「1つの実施形態」という言及は、実施形態に関連して説明された特定の1つの特色、構成、または特徴が本発明の少なくとも一実施形態に含まれることを意味する。よって、「一実施形態において」または「1つの実施形態において」という句が、本明細書を通して様々な箇所で登場するのは、必ずしもすべて同一の実施形態を指しているものではない。さらに、特定の特色、構造、または特徴は、1以上の実施形態において、あらゆる適切なやり方で組み合わせられてもよい。
加えて、本説明の複数の実施形態は、1つの半導体チップ内においてのみでなく、機械読み取り可能な媒体内においても実施されてもよい。例えば、上述のような設計が、複数の半導体デバイスを設計するために用いられる1つの設計ツールに関連した機械読み取り可能な複数の媒体内に格納または埋め込まれていてもよい。複数の例としては、VHSICハードウェア記述言語(VHDL)言語、ベリログ言語、またはSPICE言語でフォーマット化された1つのネットリストが含まれる。いくつかの複数のネットリストの例としては、1つの挙動レベルネットリスト、1つのレジスタ転送レベル(RTL)ネットリスト、1つのゲートレベルネットリスト、および1つのトランジスタレベルネットリストが挙げられる。機械読み取り可能な複数の媒体としては、GDS−IIファイルのようなレイアウト情報を有する複数の媒体も含まれる。さらに、複数のネットリストファイルまたは他の半導体チップ設計のための複数の機械読み取り可能な媒体は、模擬環境において用いられて、上述の複数の教示の複数の方法を行ってもよい。
よって、本発明の複数の実施形態を、(1つのコンピュータのCPUのような)処理コアのある形式に対して実行されるか、またはそうでなければ機械読み取り可能な1つの媒体上またはその内部において実施または実現される、1つのソフトウェアとしてまたはそれを支援するように用いてもよい。機械読み取り可能な媒体には、1つの機械が読み取り可能な1つの形式で情報を格納または送信するためのいかなる機構が含まれる。例えば、1つの機械読み取り可能な媒体としては、1つの読み出し専用メモリ(ROM)、1つのランダムアクセスメモリ(RAM)、1つの磁気ディスク格納媒体、1つの光学格納媒体、およびフラッシュメモリデバイスなどが含まれる。加えて、1つの機械読み取り可能な媒体としては、電気、光、音、または他の形式のような、複数の伝播信号が含まれる(例えば、複数の搬送波、複数の赤外線信号、複数のデジタル信号など)。
要約書において説明されたものを含む、本発明の図解した複数の実施形態の上記説明は、網羅的または開示された厳密な形式に対する制約を意図するものではない。本発明の特定の複数の実施形態およびそのための例を例示の目的でここに説明してきたが、該当技術の当業者が認識するように、様々な等価の複数の修正が可能である。
これらの複数の修正は、上記詳細な説明に照らして、本発明の複数の実施形態に対して行うことができる。以下の複数の請求項において用いられる複数の用語は、本明細書および複数の請求項において開示された特定の複数の実施形態に限定するものと解釈されるべきではない。むしろ、範囲は、以下の複数の請求項によって全体的に決定されるべきものであり、請求項解釈の確立された複数の見解に従って解釈されるべきものである。
本発明の一実施形態に係る1つの調節可能な光学ユニットを示す1つのブロック図である。 本発明の一実施形態に係る、図1の調節可能な光学ユニットの1つの動作フローを示す1つのブロック図である。 本発明の一実施形態に係る、図1の調節可能な光学ユニットの1つの温度調節されたレーザの実施を示す1つのブロック図である。 本発明の一実施形態に係る、図3の1つの温度調節された光学フィルタの1つの温度調節されたエタロンを示す1つのブロック図である。 本発明の一実施形態に係る、図3の温度調節されたレーザを用いる1つの光通信システムを示す1つのブロック図である。

Claims (21)

  1. 光学デバイスの温度調節部品の温度に依存する抵抗を有する抵抗温度デバイス(RTD)が定電圧源または定電流源に直列に接続され、かつ前記RTDに直列に基準抵抗が接続されている非較正モードにおいて、
    前記RTDを通って、前記定電圧源または前記定電流源が出力する電気信号を伝播する段階と、
    前記基準抵抗を通って前記電気信号を伝播する段階と、
    前記基準抵抗の両端における第1の電圧を測定する段階と、
    前記RTDの両端における第2の電圧を測定する段階と、
    前記第1の電圧および前記第2の電圧に応答して、前記温度調節部品の温度を選択的に調整する段階と、を有し、
    較正モードにおいて、
    前記定電圧源または前記定電流源および前記基準抵抗が前記非較正モードにおける状態と実質的に同じ状態のまま前記電気信号が前記RTDを迂回すべく、前記RTDに換えて較正抵抗を前記定電圧源または前記定電流源に直列に接続し、かつ当該較正抵抗を前記基準抵抗に直列に接続する段階と、
    前記電気信号が前記RTDを迂回した状態で、当該RTDの電圧を測定する段階と、
    を有する、方法。
  2. 前記定電圧源または前記定電流源が、前記非較正モードにおいて前記RTDおよび前記基準抵抗に対して同一の電流を伝える、請求項1に記載の方法。
  3. 前記RTDの前記抵抗の値を、前記第1および第2の電圧の比に基づいて決定することにより、前記温度を調整する段階を更に備える、請求項2に記載の方法。
  4. 前記第1および第2の電圧が、実質的に同時に測定される、請求項3に記載の方法。
  5. 前記較正モードにおいて前記RTDの両端における前記第2の電圧を測定する段階が、
    前記電気信号を前記較正抵抗を介して前記基準抵抗に伝える段階と、
    電圧測定デバイスを用いて、前記電気信号による電流の実質的にどの部分も前記電圧測定デバイスを通して伝わらないように前記基準抵抗の両端における電圧を測定する段階と
    を備える、請求項4に記載の方法。
  6. 前記電圧測定デバイスが、アナログデジタル変換器を備える、請求項5に記載の方法。
  7. 前記温度調節部品の前記温度が、調節可能なレーザ内で調節される、請求項1に記載の方法。
  8. 前記温度調節部品が、光学フィルタを備える、請求項1に記載の方法。
  9. 前記光学フィルタが、エタロンを備える、請求項8に記載の方法。
  10. 電気信号を出力する定電圧源または定電流源と、
    非較正モードにおいて前記定電圧源または前記定電流源に直列に接続され、調節可能な光学デバイスの温度調節部品の温度に依存する抵抗を有する抵抗温度デバイス(RTD)と、
    前記RTDに直列に接続された基準抵抗と、
    前記基準抵抗の両端における第1の電圧および前記RTDの両端における第2の電圧を計測する測定回路と、
    前記第1の電圧および前記第2の電圧に応答して、前記温度調節部品の温度を選択的に調節する制御ユニットと、
    較正モードにおいて、前記定電圧源または前記定電流源および前記基準抵抗が前記非較正モードにおける状態と実質的に同じ状態のまま前記電気信号が前記RTDを迂回すべく、前記RTDに換えて前記定電圧源または前記定電流源に直列に接続されかつ前記基準抵抗と直列に接続された較正抵抗と、を備え、
    前記較正モードにおいて、前記測定回路が、前記電気信号が前記RTDを迂回した状態で当該RTDの電圧を測定する装置。
  11. 前記定電圧源または前記定電流源が、前記非較正モードにおいて前記RTDおよび前記基準抵抗に対して同一の電流を伝える請求項10に記載の装置。
  12. 前記測定回路が前記RTDの前記抵抗の値を、前記第1の電圧および前記第2の電圧の比に基づいて決定し、当該結果を用いて前記制御ユニットが前記温度を調整する請求項11に記載の装置。
  13. 前記測定回路が、前記RTDおよび前記基準抵抗における複数の電圧を実質的に同時に測定する、請求項12に記載の装置。
  14. 前記測定回路が、アナログデジタル変換器を備える、請求項10に記載の装置。
  15. 前記アナログデジタル変換器が、マルチポートアナログデジタル変換器である、請求項14に記載の装置。
  16. 光受信器と、
    光信号を前記光受信器へ送信する1つの光送信器と
    を備え、前記光送信器が、
    電気信号を出力する定電圧源または定電流源と、
    非較正モードにおいて前記定電圧源または前記定電流源に直列に接続され、調節可能な光学デバイスの温度調節部品の温度に依存する抵抗を有する抵抗温度デバイス(RTD)と、
    前記RTDに直列に接続された基準抵抗と、
    前記基準抵抗の両端における第1の電圧および前記RTDの両端における第2の電圧を測定する測定回路と、
    前記第1の電圧および前記第2の電圧に応答して、前記温度調節部品の温度を選択的に調節する制御ユニットと、
    較正モードにおいて、前記定電圧源または前記定電流源および前記基準抵抗が前記非較正モードにおける状態と実質的に同じ状態のまま前記電気信号が前記RTDを迂回すべく、前記RTDに換えて前記定電圧源または前記定電流源に直列に接続され、かつ前記基準抵抗と直列に接続された較正抵抗と、
    を備え、
    前記較正モードにおいて、前記測定回路が、前記電気信号が前記RTDを迂回した状態で当該RTDの電圧を測定する、システム。
  17. 前記定電圧源または前記定電流源が、前記非較正モードにおいて前記RTDおよび前記基準抵抗に対して同一の電流を伝える請求項16に記載のシステム。
  18. 前記測定回路が、前記RTDの前記抵抗の値を、前記第1および第2の電圧に基づいて決定し、当該結果を用いて前記制御ユニットが前記温度を調整する請求項16に記載のシステム。
  19. 前記測定回路が、前記RTDおよび前記基準抵抗における複数の電圧を実質的に同時に測定する、請求項16に記載のシステム。
  20. 前記測定回路が、アナログデジタル変換器を備える、請求項16に記載のシステム。
  21. 前記アナログデジタル変換器が、マルチポートアナログデジタル変換器である、請求項20に記載のシステム。
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