JP4647339B2 - 水晶発振器及びその製造方法 - Google Patents

水晶発振器及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4647339B2
JP4647339B2 JP2005052322A JP2005052322A JP4647339B2 JP 4647339 B2 JP4647339 B2 JP 4647339B2 JP 2005052322 A JP2005052322 A JP 2005052322A JP 2005052322 A JP2005052322 A JP 2005052322A JP 4647339 B2 JP4647339 B2 JP 4647339B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
space
concave
space portion
insulating base
integrated circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005052322A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006238246A (ja
Inventor
弘伸 新徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
Priority to JP2005052322A priority Critical patent/JP4647339B2/ja
Publication of JP2006238246A publication Critical patent/JP2006238246A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4647339B2 publication Critical patent/JP4647339B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Description

本発明は、携帯用通信機器等の電子機器に用いられる水晶発振器、及びその製造方法に関するものである。
従来より、携帯用通信機器等の電子機器に水晶発振器が用いられている。
かかる従来の水晶発振器としては、例えば図4に示す如く、内部に図中には示されていないが、水晶振動素子が収容されている第1の積層基板23を、空間部25内に前記の水晶振動素子の振動に基づいて発振出力を制御する集積回路素子26やコンデンサ等の電子部品素子が収容されている第2の積層基板21上に取着させた構造のものが知られており、かかる水晶発振器をマザーボード等の外部配線基板上に載置させた上、第2の積層基板21の下面に設けられている外部端子を外部配線基板の配線に半田接合することにより外部配線基板上に実装される。
なお、第1の積層基板23や第2の積層基板21は、通常、セラミック材料によって形成されており、その内部や表面には配線導体が形成され、従来周知のセラミックグリーンシート積層法等を採用することにより製作される。
また、前記集積回路素子26の内部には、水晶振動素子の温度特性に応じて作成された温度補償データに基づいて水晶発振器の発振周波数を補正するための温度補償回路が設けられており、水晶発振器を組み立てた後、上述の温度補償データを集積回路素子26のメモリ内に格納すべく、第2の積層基板21の下面や外側面等には温度補償データ書込用の書込制御端子27が設けられていた。この書込制御端子27に温度補償データ書込装置のプローブ針を当てて集積回路素子26内のメモリに温度補償データを入力することにより、温度補償データが集積回路素子26のメモリ内に格納される。
特開2004−129090号公報
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
しかしながら、上述した従来の水晶発振器の集積回路素子26が第2の積層基板21の空間部25に配置させてある場合、水晶発振器が小型化するにつれ、第2の積層基板21の凹形状の空間部25と集積回路素子26間の隙間が狭くなり、集積回路素子26の回路形成面(下面)と第2の積層基板21の側壁間に樹脂を注入するのが困難となり、水晶発振器の生産性が著しく低下するという欠点を有していた。
本発明は上記欠点に鑑み考え出されたものであり、従ってその目的は、取り扱いが簡便で、かつ、生産性にも優れ小型化対応も可能な水晶発振器を提供することにある。
本発明の水晶発振器の製造方法は、捨て代部と成る第1の絶縁性基体部と水晶発振器の底部と成る第2の絶縁性基体部が多数個縦横に連続して形成されたシート状基板上のそれぞれの第2の絶縁性基体部の表主面に凹形状の第1の空間部を設け、該第1の空間部内の第2の絶縁性基体部の表主面上に発振回路が組み込まれた略矩形状の集積回路素子、及び電子部品素子を搭載し、第2の絶縁性基体部の第1の空間部上面に集積回路素子、及び電子部品素子と電気的に接続する水晶振動素子が収容される凹形状の第2の空間部を設け、第2の空間部の開口上縁部に蓋体を載置して気密封止する水晶発振器の製造方法において、捨て代部に形成され第1の空間部へ開いた第1の絶縁性基体部に形成された溝状の樹脂注入口から、溝状の樹脂注入口の内縁に沿って形成された溝部と、溝状の樹脂注入口の側からみた凹形状の第1の空間部を成す積層基板の第1の空間部内側の左右側壁に形成された側壁上縁部高さの水平方向突出部を有する第1の空間部のなかに、樹脂を注入することを特徴とする。
本発明の水晶発振器の製造方法によれば、捨て代部に形成され第1の空間部へ開いた第1の絶縁性基体部に形成された溝状の樹脂注入口から、溝状の樹脂注入口の内縁に沿って形成された溝部と、溝状の樹脂注入口の側からみた凹形状の第1の空間部を成す積層基板の第1の空間部内側の左右側壁に形成された側壁上縁部高さの水平方向突出部を有する第1の空間部のなかに、樹脂を注入することから、シート状基板の状態で捨て代部の開放部周辺箇所に樹脂を注入することができるので、水晶発振器の製造方法においてその作業性、生産性の向上が可能となる。
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
図1は本発明の水晶発振器の製造方法で製造された水晶発振器の図2のX−X’線で切断した場合の断面図であり、図2は絶縁性のシート状基板30から切断された1個の第2の絶縁性基体部Aとその一端の捨て代部と成る第1の絶縁性基体部Bを示した凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の上面図である。
また、図3はそのシート状基板30の上面図である。
図1に示す水晶発振器は、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の下面に外部接続電極端子19が設けられ、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の上面には集積回路素子7、電子部品素子8が搭載されている。
また、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の凹形状の第1の空間部15を囲う側面には側壁13、側壁13の外側面には複数個の書込制御端子11が形成されている。
また、本発明の水晶発振器の製造方法で製造された水晶発振器においては側壁13の一部には開放部9が形成されている。
更に側壁13の内周と開放部9と接する部分には樹脂注入口の内縁に沿って溝部20が形成されており、溝状の樹脂注入口の側からみた凹形状の第1の空間部15を成す積層基板10の第1の空間部15内側の左右側壁13に側壁13上縁部高さに形成された水平方向突出部12が構成されている。
また、図1に示すように側壁13の上面には、内部に水晶振動素子5が収容されている水晶振動子1を載置して固定した構造を有している。
また、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10とその上面に搭載された集積回路素子7間には樹脂14が充填されており、集積回路素子7の回路形成面(下面)を保護している。
図1において水晶振動子1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成る基板2と、基板2と同様のセラミック材料から成る側壁3、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成る蓋体4とから成り、基板2の上面に側壁3を取着させ、その上面に蓋体4を載置して固定させることによって水晶振動子1が構成され、側壁3の内側に位置する基板2の上面に水晶振動素子5が実装されている。
また、図2において集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の開放部9は第1の絶縁性基体部Bまで開口されており、第1の絶縁性基体部Bの開放部9は積層基板10の凹形状の第1の空間部15に配置された集積回路素子7の回路形成面(下面)を保護するための樹脂14を注入するための注入口とし利用される。
水晶振動子1は、その内部に、具体的には、基板2の上面と側壁3の内面と蓋体4の下面とで囲まれる空間部内に水晶振動素子5を収容して気密封止されており、基板2の上面には水晶振動素子5の振動電極に接続される一対の搭載パッド等が、基板2の下面には後述する積層基板10上の側壁13に接続される複数個の接続用端子17がそれぞれ設けられ、これらのパッドや端子は基板2表面の配線パターンや基板内部に埋設されているビアホール等を介して、対応するもの同士、相互に電気的に接続されている。
一方、水晶振動子1の内部に収容される水晶振動素子5は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極を被着・形成して成り、外部からの変動電圧が一対の振動電極を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こす。
ここで水晶振動子1の蓋体4を水晶振動子1の接続用端子17や積層基板10の接続用端子18を介して後述するグランド端子用の外部接続電極端子19に接続させておけば、その使用時に、金属から成る蓋体4が基準電位に接続されてシールド機能が付与されることと成るため、水晶振動素子5や集積回路素子7を外部からの不要な電気的作用から良好に保護することができる。従って、水晶振動子1の蓋体4は水晶振動子1の接続用端子17や積層基板10の接続用端子18を介してグランド端子用の外部接続電極端子19に接続させておくことが好ましい。
そして、上述した水晶振動子1が取着される集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10は概略矩形状を成しており、ガラス布基材エポキシ樹脂やポリカーボネイト,エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂等の樹脂材料やガラス−セラミック,アルミナセラミックス等のセラミック材料等によって平板状を成すように形成されている。
集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10は、第2の絶縁性基体部Aの下面の四隅部に4つの外部接続電極端子19(電源電圧端子、グランド端子、発振出力端子、発振制御端子)が形成され、上面の四隅部を囲む周縁には側壁13が、また上面の中央域にはフリップチップ型の集積回路素子7が、更に四隅部間の側壁13の外側側面には書込制御端子11が設けられている。
集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の下面に設けられている4つの外部接続電極端子19は、水晶発振器をマザーボード等の外部配線基板に接続するための端子として機能するものであり、水晶発振器を外部配線基板上に搭載する際、外部配線基板の回路配線と半田等の導電性接合材を介して電気的に接続されるように成っている。
また、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の上面に設けられる側壁13は、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10と水晶振動子1との間に、集積回路素子7や電子部品素子8を配置させるのに必要な所定の間隔を確保しつつ、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の接続用端子18を水晶振動子1の接続用端子17に接続するためのものである。
更に、上述した集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の中央域には、複数個の電極パッドが設けられており、これら電極パッドに集積回路素子7の接続パッドをAuバンプや半田、異方性導電接着材等の導電性接合材を介して電気的、及び機械的に接続させることによって集積回路素子7が凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10上の所定位置に取着される。
集積回路素子7は、その回路形成面(下面)に、周囲の温度状態を検知するサーミスタといった感温素子、水晶振動素子5の温度特性を補償する温度補償データを格納するメモリ、メモリ内の温度補償データに基づいて水晶振動素子5の振動特性を温度変化に応じて補正する温度補償回路、先の温度補償回路に接続されて所定の発振出力を生成する発振回路等が設けられており、この発振回路で生成された発振出力は、外部に出力された後、例えば、クロック信号等の基準信号として利用される。
なお、上述した集積回路素子7と凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10との間にはエポキシ樹脂等から成る樹脂14が介在されており、この樹脂14は集積回路素子7の回路形成面(下面)と側面の一部を被覆するように被着されている。
これにより、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10に対する集積回路素子7の取着強度が向上されるとともに、集積回路素子7の回路形成面が樹脂14によって良好に被覆され、回路形成面の電子回路が大気中の水分等によって腐食されるのを有効に防止することができる。
ここで、本発明の水晶発振器の製造方法で製造された水晶発振器の特徴部分は図1、図2に示すように、シート状基板30に多数個縦横に連続して複数配置され、集積回路素子7を収納する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10と、積層基板10の凹形状の第1の空間部15に搭載する密閉構造を持った水晶振動子1とによって構成され、集積回路素子7を収納する積層基板10の側壁13の一部に開放部9を有するとともに開放部9から積層基板10内に収納する集積回路素子7の実装部分に樹脂14を注入する構造を持つ水晶発振器において、捨て代部に形成され第1の空間部15へ開いた捨て代部に成る第1の絶縁性基体部Bに形成された溝状の樹脂注入口の内縁に沿って溝部20を形成したことから、溝部20が樹脂14の通路となり、溝部20周辺から先に樹脂14が流入され集積回路素子7中心に向かって樹脂14が流入されるので、樹脂14の浸入経路が規則的になり、樹脂14の硬化後の形状を個々の水晶発振器でほぼ同一形状とすることが可能となる。
また、溝状の樹脂注入口の側からみた凹形状の第1の空間部15を成す積層基板10の第1の空間部15内側の左右側壁13に、側壁13上縁部高さに形成された水平方向突出部12を有することから、水平方向突出部12で樹脂14の這い上がりが止まり、側壁13の上部まで樹脂14が達することを防止することが可能となる。
また、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有する積層基板10の凹形状の第1の空間部15を囲う側壁13の一部には、側壁13頂部より凹形状の第1の空間部15底面に至る開放部9が形成されていることから、第2の絶縁性基体部A内の開放部9にコンデンサ等の電子部品素子8を搭載することで、集積回路素子7を収容する凹形状の第1の空間部15を有効に利用可能となり、水晶発振器の更なる小型化が可能となる。
また、本発明の水晶発振器の製造方法によれば、シート状基板30に多数個縦横に連続して複数配置された形態を有し、側壁13の一部の少なくとも開放部9周辺箇所は、シート状基板30の捨て代部と成る第1の絶縁性基体部Bであることから、シート状基板30の状態で捨て代部と成る第1の絶縁性基体部Bの開放部9周辺箇所に樹脂14を注入することができるので、水晶発振器の製造方法においてその作業性、生産性の向上が可能となる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、上述の実施形態においては、図1に示すように溝状の樹脂注入口の側からみた凹形状の第1の空間部15を成す積層基板10の第1の空間部15内側の左右側壁13に、側壁13上縁部高さに形成された水平方向突出部12が形成されているが、側壁13の内周の全周にわたって水平方向突出部12を形成しても構わない。この場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
本発明の実施形態にかかる水晶発振器の概略の断面図である。 本発明の実施形態にかかる水晶発振器の絶縁性のシート状基板から切断された1個の第2の絶縁性基体部とその一端の第1の絶縁性基体部を示した凹形状の第1の空間部を有する積層基板の上面図である。 本発明の実施形態にかかる水晶発振器に用いられるシート状基板の上面図である。 従来の水晶発振器の概略の斜視図である。
符号の説明
1・・・水晶振動子
2・・・基板
3・・・側壁
4・・・蓋体
5・・・水晶振動素子
6・・・凹形状の第2の空間部
7・・・集積回路素子
8・・・電子部品素子
9・・・開放部
10・・・積層基板
11・・・書込制御端子
12・・・水平方向突出部
13・・・側壁
14・・・樹脂
15・・・凹形状の第1の空間部
17・・・水晶振動子の接続用端子
18・・・積層基板の接続用端子
19・・・外部接続電極端子
20・・・溝部
30・・・シート状基板
A・・・第2の絶縁性基体部
B・・・第1の絶縁性基体部

Claims (1)

  1. 捨て代部と成る第1の絶縁性基体部と水晶発振器の底部と成る第2の絶縁性基体部が多数個縦横に連続して形成されたシート状基板上のそれぞれの該第2の絶縁性基体部の表主面に凹形状の第1の空間部を設け、該第1の空間部内の該第2の絶縁性基体部の表主面上に発振回路が組み込まれた略矩形状の集積回路素子、及び電子部品素子を搭載し、該第2の絶縁性基体部の第1の空間部上面に該集積回路素子、及び該電子部品素子と電気的に接続する水晶振動素子が収容される凹形状の第2の空間部を設け、該第2の空間部の開口上縁部に蓋体を載置して気密封止する水晶発振器の製造方法において、該捨て代部に形成され該第1の空間部へ開いた該第1の絶縁性基体部に形成された溝状の樹脂注入口から、該溝状の樹脂注入口の内縁に沿って形成された溝部と、該溝状の樹脂注入口の側からみた該凹形状の第1の空間部を成す積層基板の該第1の空間部内側の左右側壁に形成された該側壁上縁部高さの水平方向突出部を有する該第1の空間部のなかに、樹脂を注入する水晶発振器の製造方法。
JP2005052322A 2005-02-28 2005-02-28 水晶発振器及びその製造方法 Expired - Fee Related JP4647339B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005052322A JP4647339B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 水晶発振器及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005052322A JP4647339B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 水晶発振器及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006238246A JP2006238246A (ja) 2006-09-07
JP4647339B2 true JP4647339B2 (ja) 2011-03-09

Family

ID=37045381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005052322A Expired - Fee Related JP4647339B2 (ja) 2005-02-28 2005-02-28 水晶発振器及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4647339B2 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001077247A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Kinseki Ltd 電子部品容器
JP2002329839A (ja) * 2001-02-27 2002-11-15 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装用電子部品、その製造方法、及びシート状母材
JP2004056512A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器及びその製造方法
JP2004072649A (ja) * 2002-08-09 2004-03-04 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶発振器
JP2004129089A (ja) * 2002-10-04 2004-04-22 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器、その製造方法、及びシート状基板母材

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001077247A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Kinseki Ltd 電子部品容器
JP2002329839A (ja) * 2001-02-27 2002-11-15 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装用電子部品、その製造方法、及びシート状母材
JP2004056512A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器及びその製造方法
JP2004072649A (ja) * 2002-08-09 2004-03-04 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装水晶発振器
JP2004129089A (ja) * 2002-10-04 2004-04-22 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器、その製造方法、及びシート状基板母材

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006238246A (ja) 2006-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4916775B2 (ja) 圧電発振器
JP2008263564A (ja) 温度補償型圧電発振器
JP4890914B2 (ja) 水晶振動片の支持部構造
JP2007324933A (ja) 圧電発振器とその製造方法
JP4647339B2 (ja) 水晶発振器及びその製造方法
JP2007208464A (ja) 圧電発振器
JP4685461B2 (ja) 圧電発振器及びその製造方法
JP4817929B2 (ja) 水晶振動片の支持部構造
JP4986529B2 (ja) 水晶発振器
JP2006238252A (ja) 水晶発振器及びその製造方法
JP2007067135A (ja) ランドパターン形状を有する基板とそこに実装する圧電部品
JP2008035175A (ja) 圧電発振器
JP4376148B2 (ja) 圧電発振器
JP4585847B2 (ja) 水晶発振器及びその製造方法
JP4336213B2 (ja) 圧電発振器
JP4471787B2 (ja) 圧電発振器
JP2006287593A (ja) 水晶発振器、及びその製造方法
JP4328226B2 (ja) 圧電発振器
JP2006211407A (ja) 圧電発振器
JP4328225B2 (ja) 温度補償型水晶発振器
JP2007013572A (ja) 圧電発振器
JP2008061043A (ja) 水晶発振器及びその製造方法
JP2007036808A (ja) 圧電発振器
JP2007013721A (ja) 圧電発振器
JP2005244641A (ja) 温度補償型水晶発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100902

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100907

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101108

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101130

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101208

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4647339

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees