JP4646768B2 - Soft magnetic material, dust core, and method for producing soft magnetic material - Google Patents

Soft magnetic material, dust core, and method for producing soft magnetic material Download PDF

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Description

本発明は、軟磁性材料、圧粉磁心、および軟磁性材料の製造方法に関し、より特定的には、鉄損を低下することができる軟磁性材料、圧粉磁心、および軟磁性材料の製造方法に関する。   The present invention relates to a soft magnetic material, a dust core, and a method of manufacturing a soft magnetic material, and more specifically, a soft magnetic material, a dust core, and a method of manufacturing a soft magnetic material that can reduce iron loss. About.

一般に、電磁弁、モータ、または電源回路などを有する電気機器には、電磁鋼板が軟磁性部品として使用されている。軟磁性部品には、小さな磁場の印加で大きな磁束密度を得ることができ、外部からの磁界変化に対して敏感に反応できる磁気的特性が求められる。   In general, an electromagnetic steel plate is used as a soft magnetic component in an electric device having a solenoid valve, a motor, or a power supply circuit. A soft magnetic component is required to have a magnetic property that can obtain a large magnetic flux density by applying a small magnetic field and can respond sensitively to changes in the magnetic field from the outside.

この軟磁性部品を交流磁場で使用した場合、鉄損と呼ばれるエネルギー損失が生じる。この鉄損は、ヒステリシス損と渦電流損との和で表わされる。ヒステリシス損とは、軟磁性部品の磁束密度を変化させるために必要なエネルギーに相当するものである。ヒステリシス損は作動周波数に比例するので、主に、1kHz以下の低周波領域において支配的になる。また、ここで言う渦電流損とは、主として軟磁性部品内を流れる渦電流によって生じるエネルギー損失をいう。渦電流損は作動周波数の2乗に比例するので、主に、1kHz以上の高周波領域において支配的になる。   When this soft magnetic component is used in an alternating magnetic field, energy loss called iron loss occurs. This iron loss is represented by the sum of hysteresis loss and eddy current loss. Hysteresis loss corresponds to the energy required to change the magnetic flux density of the soft magnetic component. Since the hysteresis loss is proportional to the operating frequency, it becomes dominant mainly in the low frequency region of 1 kHz or less. The eddy current loss referred to here is energy loss mainly caused by eddy current flowing in the soft magnetic component. Since the eddy current loss is proportional to the square of the operating frequency, the eddy current loss becomes dominant mainly in a high frequency region of 1 kHz or more.

軟磁性部品には、この鉄損の発生を小さくする磁気的特性が求められる。これを実現するためには、軟磁性部品の透磁率μ、飽和磁束密度Bsおよび電気抵抗率ρを大きくし、軟磁性部品の保磁力Hを小さくすることが必要となる。 Soft magnetic parts are required to have magnetic characteristics that reduce the occurrence of this iron loss. To achieve this, the magnetic permeability μ of the soft magnetic part, by increasing the saturation magnetic flux density Bs and the electrical resistivity [rho, it is necessary to reduce the coercive force H c of the soft magnetic component.

近年、機器の高出力化、高効率化に向けて、作動周波数の高周波化が進んでいる為に、電磁鋼板に比べて渦電流損が小さい圧粉磁心が注目されている。この圧粉磁心は、複数の複合磁性粒子よりなっており、複合磁性粒子は金属磁性粒子と、その表面を被覆するガラス状の絶縁被膜とを有している。金属磁性粒子は、Fe、Fe−Si系合金、Fe−Al(アルミニウム)系合金、Fe−N(窒素)系合金、Fe−Ni(ニッケル)系合金、Fe−C(炭素)系合金、Fe−B(ホウ素)系合金、Fe−Co(コバルト)系合金、Fe−P系合金、Fe−Ni−Co系合金、Fe−Cr(クロム)系合金あるいはFe−Al−Si系合金などから形成されている。   In recent years, since the operating frequency has been increased toward higher output and higher efficiency of equipment, a dust core having a smaller eddy current loss than a magnetic steel sheet has attracted attention. The dust core is composed of a plurality of composite magnetic particles, and the composite magnetic particles have metal magnetic particles and a glass-like insulating coating covering the surface thereof. Metal magnetic particles are Fe, Fe-Si alloy, Fe-Al (aluminum) alloy, Fe-N (nitrogen) alloy, Fe-Ni (nickel) alloy, Fe-C (carbon) alloy, Fe -B (boron) based alloy, Fe-Co (cobalt) based alloy, Fe-P based alloy, Fe-Ni-Co based alloy, Fe-Cr (chromium) based alloy or Fe-Al-Si based alloy Has been.

圧粉磁心の鉄損のうち、ヒステリシス損を低下させるためには、金属磁性粒子内の歪や転位を除去して磁壁の移動を容易にすることで、圧粉磁心の保磁力Hcを小さくすればよい。金属磁性粒子内の歪や転位を十分に除去するためには、成形した圧粉磁心を400℃以上の高温、好ましくは550℃以上の高温、さらに好ましくは650℃以上の高温で熱処理する必要がある。   In order to reduce the hysteresis loss among the iron loss of the dust core, the coercive force Hc of the dust core can be reduced by removing the distortion and dislocation in the metal magnetic particles to facilitate the domain wall movement. That's fine. In order to sufficiently remove the distortion and dislocation in the metal magnetic particles, it is necessary to heat-treat the molded dust core at a high temperature of 400 ° C. or higher, preferably 550 ° C. or higher, more preferably 650 ° C. or higher. is there.

ところが、絶縁被膜は、成形時の粉末変形への耐性が求められる理由からたとえばリン酸鉄化合物などの非晶質化合物よりなっており、十分な高温安定性が得られていない。すなわち、圧粉磁心を400℃以上の高温で熱処理しようとすると、金属磁性粒子の構成金属元素が非晶質中へ拡散侵入するなどにより絶縁性が失われてしまう。このため、高温熱処理によってヒステリシス損を低下させようとすると、圧粉磁心の電気抵抗率ρが低下し、渦電流損が大きくなってしまうという問題があった。特に、電気機器の小型化、効率化、および大出力化が近年要求されており、これらの要求を満たすためには、電気機器をより高周波領域で使用することが必要である。高周波領域での渦電流損が大きくなれば、電気機器の小型化、効率化、および大出力化の妨げになってしまう。   However, the insulating coating is made of an amorphous compound such as an iron phosphate compound for the reason that resistance to powder deformation during molding is required, and sufficient high-temperature stability is not obtained. That is, when the dust core is to be heat-treated at a high temperature of 400 ° C. or higher, the insulating property is lost due to the diffusion of metal elements constituting the metal magnetic particles into the amorphous state. For this reason, when trying to reduce the hysteresis loss by high-temperature heat treatment, there has been a problem that the electrical resistivity ρ of the dust core is lowered and the eddy current loss is increased. Particularly, in recent years, there has been a demand for reduction in size, efficiency, and increase in output of electrical equipment. In order to satisfy these demands, it is necessary to use electrical equipment in a higher frequency region. If the eddy current loss in the high frequency region becomes large, it will hinder the miniaturization, efficiency, and high output of the electrical equipment.

そこで、絶縁被膜の高温安定性を向上し得る技術が、たとえば特開2003−272911号公報(特許文献1)や特開2003−303711号公報(特許文献2)に開示されている。上記特許文献1には、高温安定性の高いリン酸アルミニウム系の絶縁被膜を有する複合磁性粒子よりなる軟磁性材料が開示されている。上記特許文献1では、以下の方法により軟磁性材料が製造されている。まず、アルミニウムを含むリン酸塩と、たとえばカリウム等を含む重クロム塩とを含む絶縁被覆水溶液が鉄粉に噴射される。次に、絶縁被覆水溶液が噴射された鉄粉が300℃で30分間保持され、100℃で60分間保持される。これにより、鉄粉に形成された絶縁被膜が乾燥される。次に、絶縁被膜が形成された鉄粉が加圧成形され、加圧成形後に熱処理され、軟磁性材料が完成する。   Therefore, techniques that can improve the high-temperature stability of the insulating coating are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-272911 (Patent Document 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-303711 (Patent Document 2). Patent Document 1 discloses a soft magnetic material made of composite magnetic particles having an aluminum phosphate-based insulating coating with high temperature stability. In Patent Document 1, a soft magnetic material is manufactured by the following method. First, an insulating coating aqueous solution containing a phosphate containing aluminum and a heavy chromium salt containing potassium or the like is sprayed onto the iron powder. Next, the iron powder sprayed with the insulating coating aqueous solution is held at 300 ° C. for 30 minutes and held at 100 ° C. for 60 minutes. Thereby, the insulating coating formed on the iron powder is dried. Next, the iron powder on which the insulating coating is formed is pressure-molded and heat-treated after the pressure-molding to complete the soft magnetic material.

また、上記特許文献2には、鉄を主成分とする粉末の表面がシリコーン樹脂および顔料を含有する被膜で被覆されている鉄基粉末であって、シリコーン樹脂および顔料を含有する被膜の下層として、リン化合物を含む被膜を有する鉄基粉末が開示されている。
特開2003−272911号公報 特開2003−303711号公報
Patent Document 2 discloses an iron-based powder in which the surface of a powder containing iron as a main component is coated with a coating containing a silicone resin and a pigment, and is used as a lower layer of the coating containing a silicone resin and a pigment. An iron-based powder having a coating containing a phosphorus compound is disclosed.
JP 2003-272911 A JP 2003-303711 A

しかしながら、上記特許文献1に開示された技術においては、リン酸アルミニウムと金属磁性粒子との密着性が不十分であり、リン酸アルミニウム系絶縁被膜の可撓性が低いという欠点がある。このため、リン酸アルミニウム系絶縁被膜が形成された鉄粉を加圧成形すると、絶縁被膜が圧力を受けて破損し、軟磁性材料の電気抵抗率ρが低下していた。その結果、渦電流損が増大するという問題があった。また、上記特許文献2に開示された技術においても、耐熱性および可撓性の両方を改善することはできず、鉄損を十分に低下することはできなかった。   However, the technique disclosed in Patent Document 1 has a drawback that the adhesion between the aluminum phosphate and the metal magnetic particles is insufficient, and the flexibility of the aluminum phosphate insulating coating is low. For this reason, when the iron powder on which the aluminum phosphate insulating coating is formed is pressure-molded, the insulating coating is damaged by pressure, and the electrical resistivity ρ of the soft magnetic material is reduced. As a result, there is a problem that eddy current loss increases. In the technique disclosed in Patent Document 2, both heat resistance and flexibility cannot be improved, and the iron loss cannot be sufficiently reduced.

したがって、本発明の目的は、鉄損を低下することができる軟磁性材料、圧粉磁心、および軟磁性材料の製造方法を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a soft magnetic material, a powder magnetic core, and a method for producing a soft magnetic material that can reduce iron loss.

本発明の軟磁性材料は、Fe(鉄)を主成分とする金属磁性粒子と、金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料であって、絶縁被膜はリン酸と、Feと、Al、Si(珪素)、Ti(チタン)、およびZr(ジルコニウム)よりなる群から選ばれる1種以上の原子とを含んでいる。金属磁性粒子と接触する絶縁被膜の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。金属磁性粒子と接触する絶縁被膜の接触面に含まれる上記1種以上の原子の原子比は、絶縁被膜の表面に含まれる上記1種以上の原子の原子比よりも小さい。 The soft magnetic material of the present invention is a soft magnetic material including composite magnetic particles having metal magnetic particles mainly composed of Fe (iron) and an insulating film covering the metal magnetic particles, wherein the insulating film is phosphoric acid. And Fe and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si (silicon), Ti (titanium), and Zr (zirconium) . The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating that comes into contact with the metal magnetic particles is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating. The atomic ratio of the one or more atoms included in the contact surface of the insulating coating that contacts the metal magnetic particles is smaller than the atomic ratio of the one or more atoms included in the surface of the insulating coating.

本発明の軟磁性材料によれば、金属磁性粒子と接触する絶縁被膜の接触面は、リン酸とFeとを多く含む層で形成される。リン酸とFeとを多く含む層は、Feに対して高い密着性を有するので、金属磁性粒子と絶縁被膜との密着性を向上できる。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなり、渦電流損の増大を抑止することができる。また、絶縁被膜の表面は、リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを多く含む層で形成される。リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを多く含む層は、リン酸とFeとを多く含む層に比べて高温安定性を有するので、軟磁性材料を高温で熱処理しても破損しない。また、金属磁性粒子と接触する絶縁被膜の接触面に形成された層の分解を防ぐ役割も果たす。したがって、絶縁被膜の耐熱性を向上することができ、この軟磁性材料を加圧成形した圧粉磁心のヒステリシス損を、渦電流損を悪化させることなく低下することができる。以上により、圧粉磁心の鉄損を低下することができる。 According to the soft magnetic material of the present invention, the contact surface of the insulating coating that contacts the metal magnetic particles is formed of a layer containing a large amount of phosphoric acid and Fe. Since the layer containing a large amount of phosphoric acid and Fe has high adhesion to Fe, the adhesion between the metal magnetic particles and the insulating coating can be improved. Therefore, the insulating coating is less likely to be damaged during pressure molding, and an increase in eddy current loss can be suppressed. The surface of the insulating coating is formed of a layer containing a large amount of phosphoric acid and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr . A layer containing a large amount of phosphoric acid and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr has higher temperature stability than a layer containing a large amount of phosphoric acid and Fe. Even if the magnetic material is heat-treated at high temperature, it does not break. Also, it plays a role of preventing the decomposition of the layer formed on the contact surface of the insulating coating that contacts the metal magnetic particles. Therefore, the heat resistance of the insulating coating can be improved, and the hysteresis loss of the dust core obtained by press-molding this soft magnetic material can be reduced without deteriorating the eddy current loss. As described above, the iron loss of the dust core can be reduced.

本発明の軟磁性材料におい、絶縁被膜は、金属磁性粒子を被覆する第1絶縁被膜と、第1絶縁被膜を被覆する第2絶縁被膜とを有している。第1絶縁被膜はリン酸とFeからなり、第2絶縁被膜はリン酸と前記1種以上の原子とを含んでいる。 Te soft magnetic material odor of the present invention, the insulating film includes a first insulating coating covering the metal magnetic particles, and a second insulating film covering the first insulating coating. The first insulating coating consists phosphate and Fe, a second insulating coating contains said one or more atoms with phosphoric acid.

これにより、絶縁被膜は、金属磁性粒子との密着性が良好である第1絶縁被膜と、第1絶縁被膜よりも高温安定性を有し、第1絶縁被膜を被覆する第2絶縁被膜との2層構造となる。第1絶縁被膜により金属磁性粒子と絶縁被膜との密着性を向上することができ、第2絶縁被膜により絶縁被膜の耐熱性を向上することができる。   As a result, the insulating coating includes a first insulating coating that has good adhesion to the metal magnetic particles, and a second insulating coating that has higher temperature stability than the first insulating coating and covers the first insulating coating. It becomes a two-layer structure. The first insulating coating can improve the adhesion between the magnetic metal particles and the insulating coating, and the second insulating coating can improve the heat resistance of the insulating coating.

本発明の軟磁性材料において好ましくは、複合磁性粒子は、絶縁被膜の表面を被覆する絶縁性を示すSiを含む被膜をさらに有している。これにより、金属磁性粒子同士の絶縁がSiを含む被膜により確保されるので、この軟磁性材料を加圧成形した圧粉磁心の渦電流損増大をさらに抑止することができる。   In the soft magnetic material of the present invention, preferably, the composite magnetic particles further have a coating film containing Si that exhibits insulating properties to cover the surface of the insulating coating film. Thereby, since insulation between metal magnetic particles is ensured by the coating film containing Si, an increase in eddy current loss of the powder magnetic core obtained by press-forming this soft magnetic material can be further suppressed.

本発明の圧粉磁心は、上記軟磁性材料を加圧成形することにより作製される。
本発明の一の局面に従う軟磁性材料の製造方法は、Feを主成分とする金属磁性粒子と、金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜を形成する工程を備えている。絶縁被膜を形成する工程は、Feイオンとリン酸イオンとを含む化合物または溶液を金属磁性粒子に被覆処理することにより、第1絶縁被膜を形成する第1被覆工程と、第1被覆工程後、Alイオン、Siイオン、Mnイオン、Tiイオン、Zrイオン、およびZnイオンよりなる群から選ばれる1種以上のイオンと、リン酸イオンとを含む化合物または溶液を第1絶縁被膜上に被覆処理することにより、第2絶縁被膜を形成する第2被覆工程とを含んでいる。
The dust core of the present invention is produced by pressure-molding the soft magnetic material.
A method for producing a soft magnetic material according to one aspect of the present invention is a method for producing a soft magnetic material including composite magnetic particles having metal magnetic particles mainly composed of Fe and an insulating film covering the metal magnetic particles. And a step of forming an insulating film covering the metal magnetic particles. The step of forming the insulating coating includes a first coating step of forming a first insulating coating by coating a metal magnetic particle with a compound or solution containing Fe ions and phosphate ions, and after the first coating step, The first insulating film is coated with a compound or solution containing one or more ions selected from the group consisting of Al ions, Si ions, Mn ions, Ti ions, Zr ions, and Zn ions and phosphate ions. Thus, a second covering step of forming a second insulating film is included.

本発明の他の局面に従う軟磁性材料の製造方法は、Feを主成分とする金属磁性粒子と、金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、金属磁性粒子を被覆する前記絶縁被膜を形成する工程を備えている。絶縁被膜を形成する工程は、軟磁性粒子粉末を有機溶剤に分散した懸濁液中にリン酸溶液を加え、混合・攪拌することにより、第1絶縁被膜を形成する第1被覆工程と、第1被覆工程後、リン酸と、Al、Si、Ti、およびZよりなる群から選ばれる1種以上の原子を含有する金属アルコキシドの溶液を懸濁液中に加え、混合・攪拌することにより、第2絶縁被膜を形成する第2被覆工程とを含んでいる。 A method for producing a soft magnetic material according to another aspect of the present invention is a method for producing a soft magnetic material including composite magnetic particles having metal magnetic particles mainly composed of Fe and an insulating film covering the metal magnetic particles. And a step of forming the insulating coating for coating the metal magnetic particles. The step of forming the insulating coating includes a first coating step of forming a first insulating coating by adding a phosphoric acid solution to a suspension in which soft magnetic particle powder is dispersed in an organic solvent, and mixing and stirring. after one coating step, a phosphoric acid, Al, Si, Ti, and Z r than made solution of a metal alkoxide containing one or more atoms selected from the group added to the suspension in, by mixing and stirring And a second covering step for forming a second insulating film.

本発明の軟磁性材料の製造方法によれば、金属磁性粒子と接触する絶縁被膜の接触面は、リン酸とFeとを含む第1絶縁被膜で形成される。リン酸とFeとを多く含む層は、Feに対して高い密着性を有するので、金属磁性粒子と絶縁被膜との密着性を向上できる。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなり、この軟磁性材料を加圧成形した圧粉磁心の渦電流損増大を抑止することができる。また、絶縁被膜の表面は、リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを含む第2絶縁被膜で形成される。リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを多く含む層は、リン酸とFeとを含む第1絶縁被膜と比較して高温安定性を有するので、軟磁性材料を高温で熱処理しても絶縁性が劣化しない。また、第2絶縁被膜は第1絶縁被膜の分解を防ぐ役割も果たす。したがって、絶縁被膜の耐熱性を向上することができ、この軟磁性材料を加圧成形した圧粉磁心のヒステリシス損を低減することができる。以上により、圧粉磁心の鉄損を低下することができる。   According to the method for producing a soft magnetic material of the present invention, the contact surface of the insulating coating that contacts the metal magnetic particles is formed of the first insulating coating containing phosphoric acid and Fe. Since the layer containing a large amount of phosphoric acid and Fe has high adhesion to Fe, the adhesion between the metal magnetic particles and the insulating coating can be improved. Accordingly, the insulating coating is less likely to be damaged during pressure molding, and an increase in eddy current loss of the powder magnetic core obtained by pressure molding this soft magnetic material can be suppressed. The surface of the insulating coating is formed of a second insulating coating containing phosphoric acid and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr. The layer containing a large amount of phosphoric acid and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr has high-temperature stability as compared with the first insulating film containing phosphoric acid and Fe. Therefore, the insulating property does not deteriorate even if the soft magnetic material is heat-treated at a high temperature. The second insulating film also serves to prevent decomposition of the first insulating film. Therefore, the heat resistance of the insulating coating can be improved, and the hysteresis loss of the dust core obtained by press-molding this soft magnetic material can be reduced. As described above, the iron loss of the dust core can be reduced.

なお、本明細書中における「Feを主成分とする」とは、Feの割合が50質量%以上であることを意味している。   In the present specification, “having Fe as a main component” means that the proportion of Fe is 50% by mass or more.

本発明の軟磁性材料、圧粉磁心、および軟磁性材料の製造方法によれば、加圧成形の際に絶縁被膜が破損しにくくなり、圧粉磁心の渦電流損増大を抑止することができる。また、絶縁被膜の耐熱性を向上することができ、ヒステリシス損を低下することができる。したがって、圧粉磁心の鉄損を低下することができる。   According to the soft magnetic material, the powder magnetic core, and the method for producing the soft magnetic material of the present invention, the insulating coating is less likely to be damaged during pressure molding, and an increase in eddy current loss of the powder magnetic core can be suppressed. . In addition, the heat resistance of the insulating coating can be improved, and the hysteresis loss can be reduced. Therefore, the iron loss of the dust core can be reduced.

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。図1に示すように、本実施の形態における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心は、金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10の表面を被覆する絶縁被膜20とを有する複数の複合磁性粒子30を含んでいる。複数の複合磁性粒子30の各々は、たとえば図示しない有機物や、複合磁性粒子30が有する凹凸の噛み合わせなどによって接合されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an enlarged schematic view showing a dust core produced using the soft magnetic material according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, the dust core produced using the soft magnetic material in the present embodiment includes a plurality of composites having metal magnetic particles 10 and insulating coatings 20 that cover the surfaces of the metal magnetic particles 10. Magnetic particles 30 are included. Each of the plurality of composite magnetic particles 30 is bonded by, for example, an organic substance (not shown) or the engagement of the unevenness of the composite magnetic particle 30.

金属磁性粒子10は、たとえばFe、Fe−Si系合金、Fe−Al系合金、Fe−N(窒素)系合金、Fe−Ni(ニッケル)系合金、Fe−C(炭素)系合金、Fe−B(ホウ素)系合金、Fe−Co(コバルト)系合金、Fe−P系合金、Fe−Ni−Co系合金、Fe−Cr(クロム)系合金あるいはFe−Al−Si系合金などから形成されている。金属磁性粒子10はFeを主成分としていればよく、金属単体でも合金でもよい。   The metal magnetic particles 10 are, for example, Fe, Fe—Si based alloy, Fe—Al based alloy, Fe—N (nitrogen) based alloy, Fe—Ni (nickel) based alloy, Fe—C (carbon) based alloy, Fe— B (boron) based alloy, Fe—Co (cobalt) based alloy, Fe—P based alloy, Fe—Ni—Co based alloy, Fe—Cr (chromium) based alloy, Fe—Al—Si based alloy, etc. ing. The metal magnetic particles 10 need only contain Fe as a main component, and may be a single metal or an alloy.

金属磁性粒子10の平均粒径は、5μm以上300μm以下であることが好ましい。金属磁性粒子10の平均粒径が5μm以上である場合、金属が酸化されにくくなるため、軟磁性材料の磁気的特性の低下を抑止できる。また、金属磁性粒子10の平均粒径が300μm以下である場合、後に続く成形工程時において混合粉末の圧縮性が低下することを抑止できる。これにより、成形工程によって得られた成形体の密度が低下せず、取り扱いが困難になることを防ぐことができる。   The average particle diameter of the metal magnetic particles 10 is preferably 5 μm or more and 300 μm or less. When the average particle diameter of the metal magnetic particles 10 is 5 μm or more, the metal is not easily oxidized, so that it is possible to suppress a decrease in the magnetic characteristics of the soft magnetic material. Moreover, when the average particle diameter of the metal magnetic particle 10 is 300 micrometers or less, it can suppress that the compressibility of mixed powder falls at the time of the subsequent shaping | molding process. Thereby, it can prevent that the density of the molded object obtained by the formation process does not fall, and handling becomes difficult.

なお、平均粒径とは、ふるい法によって測定した粒径のヒストグラム中、粒径の小さいほうからの質量の和が総質量の50%に達する粒子の粒径、つまり50%粒径Dをいう。   The average particle diameter is a particle diameter of particles in which the sum of masses from the smaller particle diameter reaches 50% of the total mass in the histogram of particle diameters measured by the sieving method, that is, 50% particle diameter D. .

絶縁被膜20は、たとえばリン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20aと、たとえばリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bとを有している。金属磁性粒子10を絶縁被膜20aが被覆しており、絶縁被膜20aを絶縁被膜20bが被覆している。つまり、金属磁性粒子10は2層構造の絶縁被膜20により覆われている。絶縁被膜20は、金属磁性粒子10間の絶縁層として機能する。金属磁性粒子10を絶縁被膜20で覆うことによって、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心の電気抵抗率ρを大きくすることができる。これにより、金属磁性粒子10間に渦電流が流れるのを抑制して、圧粉磁心の渦電流損を低減させることができる。なお、本実施の形態においては、絶縁被膜20bがリン酸アルミニウム化合物よりなる場合について示したが、本発明はこのような場合の他、絶縁被膜20bがリン酸マンガン化合物や、リン酸亜鉛化合物よりなっていてもよい。   The insulating coating 20 has an insulating coating 20a made of, for example, an iron phosphate compound, and an insulating coating 20b made of, for example, an aluminum phosphate compound. The metal magnetic particles 10 are covered with an insulating coating 20a, and the insulating coating 20a is covered with an insulating coating 20b. That is, the metal magnetic particles 10 are covered with the insulating film 20 having a two-layer structure. The insulating coating 20 functions as an insulating layer between the metal magnetic particles 10. By covering the metal magnetic particles 10 with the insulating coating 20, it is possible to increase the electrical resistivity ρ of the dust core obtained by pressure-molding this soft magnetic material. Thereby, it can suppress that an eddy current flows between the metal magnetic particles 10, and can reduce the eddy current loss of a powder magnetic core. In the present embodiment, the case where the insulating coating 20b is made of an aluminum phosphate compound has been described. However, in the present invention, in addition to such a case, the insulating coating 20b is made of a manganese phosphate compound or a zinc phosphate compound. It may be.

絶縁被膜20の厚みは、0.005μm以上20μm以下であることが好ましい。絶縁被膜20の厚みを0.005μm以上とすることによって、渦電流によるエネルギー損失を効果的に抑制することができる。また、絶縁被膜20の厚みを20μm以下とすることによって、軟磁性材料に占める絶縁被膜20の割合が大きくなりすぎない。このため、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心の磁束密度が著しく低下することを防止できる。   The thickness of the insulating coating 20 is preferably 0.005 μm or more and 20 μm or less. By setting the thickness of the insulating coating 20 to 0.005 μm or more, energy loss due to eddy current can be effectively suppressed. Further, by setting the thickness of the insulating coating 20 to 20 μm or less, the proportion of the insulating coating 20 in the soft magnetic material does not become too large. For this reason, it can prevent that the magnetic flux density of the powder magnetic core obtained by pressure-molding this soft magnetic material falls remarkably.

図2(a)は、図1における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。図2(b)は、図2(a)の絶縁被膜におけるII−II線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。   FIG. 2A is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. FIG. 2B is a diagram showing changes in the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the line II-II in the insulating film of FIG.

図2(a),(b)を参照して、絶縁被膜20aにはFeが一定量含まれており、Alは含まれていない。そして、絶縁被膜20aと絶縁被膜20bとの境界面においてFeの原子比およびAlの原子比が不連続的に変化しており、絶縁被膜20bにはFeが含まれておらず、Alは一定量含まれている。つまり、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   Referring to FIGS. 2A and 2B, the insulating coating 20a contains a certain amount of Fe and does not contain Al. The atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al change discontinuously at the boundary surface between the insulating coating 20a and the insulating coating 20b. The insulating coating 20b does not contain Fe, and a certain amount of Al is present. include. That is, the atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. Further, the atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

続いて、図1に示す圧粉磁心を製造する方法について説明する。
図3は、本発明の実施の形態1における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。図3を参照して、Feを主成分としており、たとえば純鉄や、Fe、Fe−Si系合金、またはFe−Co系合金などよりなる金属磁性粒子10を準備し、金属磁性粒子10を温度400℃以上900℃未満で熱処理する(ステップS1)。熱処理の温度は、700℃以上900℃未満であることがさらに好ましい。熱処理前の金属磁性粒子10の内部には、多数の歪み(転位、欠陥)が存在している。金属磁性粒子10に熱処理を実施することによって、この歪みを低減させることができる。なお、この熱処理は省略されてもよい。
Then, the method to manufacture the powder magnetic core shown in FIG. 1 is demonstrated.
FIG. 3 is a diagram showing a method of manufacturing a dust core according to Embodiment 1 of the present invention in the order of steps. Referring to FIG. 3, metal magnetic particles 10 which are mainly composed of Fe and are made of, for example, pure iron, Fe, Fe—Si alloy, or Fe—Co alloy are prepared. Heat treatment is performed at 400 ° C. or higher and lower than 900 ° C. (step S1). The heat treatment temperature is more preferably 700 ° C. or higher and lower than 900 ° C. Numerous strains (dislocations and defects) exist inside the metal magnetic particles 10 before the heat treatment. This distortion can be reduced by performing heat treatment on the metal magnetic particles 10. This heat treatment may be omitted.

次に、たとえば湿式処理法により絶縁被膜20aを形成する(ステップS2)。この工程について詳細に説明する。まず、金属磁性粒子10を水溶液中に浸漬することにより、金属磁性粒子10に水溶液が塗布される。本実施の形態で用いられる水溶液として、FeイオンとPO4(リン酸)イオンとを含む水溶液(第1溶液)が用いられる。また、水溶液のpHは、たとえばNaOHを用いて調整されている。なお、金属磁性粒子10の浸漬時間はたとえば10分であり、浸漬中には金属磁性粒子10が底に沈殿しないように水溶液が攪拌され続ける。金属磁性粒子10に水溶液が塗布されることにより、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20aで金属磁性粒子10が被覆される。その後、絶縁被膜20aで被覆された金属磁性粒子10は、水およびアセトンを用いて洗浄される。 Next, the insulating coating 20a is formed by, for example, a wet processing method (step S2). This process will be described in detail. First, an aqueous solution is applied to the metal magnetic particles 10 by immersing the metal magnetic particles 10 in the aqueous solution. As an aqueous solution used in the present embodiment, an aqueous solution (first solution) containing Fe ions and PO 4 (phosphate) ions is used. The pH of the aqueous solution is adjusted using, for example, NaOH. The immersion time of the metal magnetic particles 10 is, for example, 10 minutes. During the immersion, the aqueous solution is continuously stirred so that the metal magnetic particles 10 do not settle on the bottom. By applying an aqueous solution to the metal magnetic particles 10, the metal magnetic particles 10 are covered with an insulating coating 20a made of an iron phosphate compound. Thereafter, the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20a are washed with water and acetone.

次に、絶縁被膜20aで被覆された金属磁性粒子10が乾燥される(ステップS3)。乾燥は150℃以下の温度で行なわれ、好ましくは100℃以下の温度で行なわれる。また、乾燥はたとえば120分間行なわれる。   Next, the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20a are dried (step S3). Drying is performed at a temperature of 150 ° C. or lower, preferably at a temperature of 100 ° C. or lower. Moreover, drying is performed for 120 minutes, for example.

次に、たとえば湿式処理法によりリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bを形成する(ステップS4)。具体的には、絶縁被膜20aが形成された金属磁性粒子10を水溶液中に浸漬することにより、絶縁被膜20aに水溶液(第2溶液)が塗布される。本実施の形態で用いられる水溶液として、AlイオンとPO4イオンとを含む水溶液が用いられる。なお、これ以外の詳細な条件は絶縁被膜20aを形成する場合の条件とほぼ同じであるので、その説明を省略する。 Next, an insulating coating 20b made of an aluminum phosphate compound is formed by, for example, a wet processing method (step S4). Specifically, the aqueous solution (second solution) is applied to the insulating coating 20a by immersing the metal magnetic particles 10 with the insulating coating 20a formed in the aqueous solution. As the aqueous solution used in this embodiment, an aqueous solution containing Al ions and PO 4 ions is used. The detailed conditions other than this are substantially the same as the conditions for forming the insulating coating 20a, and the description thereof is omitted.

また、本実施の形態ではリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bが形成される場合について示したが、AlイオンとPO4イオンとを含む水溶液の代わりに、MnイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いてリン酸マンガン化合物よりなる絶縁被膜20bを形成してもよい。または、ZnイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いてリン酸亜鉛化合物よりなる絶縁被膜20bを形成してもよい。 Further, in the present embodiment, the case where the insulating coating 20b made of an aluminum phosphate compound is formed is shown, but an aqueous solution containing Mn ions and PO 4 ions instead of an aqueous solution containing Al ions and PO 4 ions. May be used to form the insulating coating 20b made of a manganese phosphate compound. Alternatively, the insulating coating 20b made of a zinc phosphate compound may be formed using an aqueous solution containing Zn ions and PO 4 ions.

次に、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10が乾燥される(ステップS5)。乾燥は150℃以下の温度で行なわれ、好ましくは100℃以下の温度で行なわれる。また、乾燥はたとえば120分間行なわれる。   Next, the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b are dried (step S5). Drying is performed at a temperature of 150 ° C. or lower, preferably at a temperature of 100 ° C. or lower. Moreover, drying is performed for 120 minutes, for example.

以上の工程により、本実施の形態の軟磁性材料が完成する。なお、圧粉磁心を作製する場合には、さらに以下の工程を行なう。   Through the above steps, the soft magnetic material of the present embodiment is completed. In addition, when producing a powder magnetic core, the following processes are further performed.

次に、得られた軟磁性材料の粉末を金型に入れ、たとえば390(MPa)から1500(MPa)までの圧力で加圧成形する(ステップS6)。これにより、金属磁性粒子10の粉末が圧縮された圧粉成形体が得られる。なお、加圧成形する雰囲気は、不活性ガス雰囲気または減圧雰囲気とすることが好ましい。この場合、大気中の酸素によって混合粉末が酸化されるのを抑制することができる。   Next, the obtained powder of the soft magnetic material is put into a mold, and pressure-molded with a pressure of, for example, 390 (MPa) to 1500 (MPa) (step S6). Thereby, the compacting body in which the powder of the metal magnetic particle 10 was compressed is obtained. Note that the pressure forming atmosphere is preferably an inert gas atmosphere or a reduced pressure atmosphere. In this case, the mixed powder can be prevented from being oxidized by oxygen in the atmosphere.

次に、加圧成形によって得られた圧粉成形体を温度400℃以上900℃以下で熱処理する(ステップS7)。加圧成形の工程を経た圧粉成形体の内部には歪や転位が多数発生しているので、熱処理により、このような歪や転位を取り除くことができる。以上に説明した工程により、図1に示す圧粉磁心が完成する。   Next, the green compact obtained by pressure molding is heat-treated at a temperature of 400 ° C. or higher and 900 ° C. or lower (step S7). Since many distortions and dislocations are generated in the green compact after the pressure forming step, such distortions and dislocations can be removed by heat treatment. The dust core shown in FIG. 1 is completed by the steps described above.

本実施の形態の軟磁性材料は、Feを主成分とする金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜20とを有する複合磁性粒子30を含む軟磁性材料であって、絶縁被膜20はリン酸鉄化合物と、リン酸アルミニウム化合物とを含んでいる。金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   The soft magnetic material of the present embodiment is a soft magnetic material including composite magnetic particles 30 having metal magnetic particles 10 containing Fe as a main component and an insulating film 20 covering the metal magnetic particles 10. 20 contains an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound. The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. The atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

本実施の形態の軟磁性材料によれば、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面は、リン酸鉄化合物で形成される。Feとリン酸鉄化合物との密着性は、Feとリン酸アルミニウム化合物との密着性や、Feと珪リン酸化合物との密着性や、Feとリン酸マンガン化合物との密着性や、Feとリン酸亜鉛化合物との密着性などよりも優れているので、金属磁性粒子10と絶縁被膜20との密着性を向上できる。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜20が破損しにくくなり、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心の渦電流損増大を抑止することができる。また、絶縁被膜20の表面は、リン酸アルミニウム化合物で形成される。リン酸アルミニウム化合物は、リン酸鉄化合物に比べて高温安定性を有するので、軟磁性材料を高温で熱処理しても絶縁被膜20bは絶縁性が劣化しない。また、絶縁被膜20aの分解を防ぐ役割も果たす。したがって、絶縁被膜20の耐熱性を向上することができ、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心のヒステリシス損を低減することができる。以上により、圧粉磁心の鉄損を低減することができる。   According to the soft magnetic material of the present embodiment, the contact surface of the insulating coating 20 that contacts the metal magnetic particles 10 is formed of an iron phosphate compound. The adhesion between Fe and the iron phosphate compound includes the adhesion between Fe and the aluminum phosphate compound, the adhesion between Fe and the silicic acid compound, the adhesion between Fe and the manganese phosphate compound, Since the adhesion with the zinc phosphate compound is superior, the adhesion between the metal magnetic particles 10 and the insulating coating 20 can be improved. Therefore, the insulating coating 20 is less likely to be damaged during pressure molding, and an increase in eddy current loss of the powder magnetic core obtained by pressure molding this soft magnetic material can be suppressed. Further, the surface of the insulating coating 20 is formed of an aluminum phosphate compound. Since the aluminum phosphate compound has higher temperature stability than the iron phosphate compound, even if the soft magnetic material is heat-treated at a high temperature, the insulating coating 20b does not deteriorate the insulating property. It also plays a role of preventing the insulating coating 20a from being decomposed. Therefore, the heat resistance of the insulating coating 20 can be improved, and the hysteresis loss of the powder magnetic core obtained by pressure molding this soft magnetic material can be reduced. As described above, the iron loss of the dust core can be reduced.

本実施の形態の軟磁性材料において、絶縁被膜20は、金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜20aと、絶縁被膜20aを被覆する絶縁被膜20bとを有している。絶縁被膜20aはリン酸鉄化合物よりなっており、絶縁被膜20bはリン酸アルミニウム化合物よりなっている。   In the soft magnetic material of the present embodiment, the insulating coating 20 has an insulating coating 20a that covers the metal magnetic particles 10 and an insulating coating 20b that covers the insulating coating 20a. The insulating coating 20a is made of an iron phosphate compound, and the insulating coating 20b is made of an aluminum phosphate compound.

これにより、絶縁被膜20は、金属磁性粒子10との密着性が良好である絶縁被膜20aと、絶縁被膜20aより良好な高温安定性を有し、絶縁被膜20aを被覆する絶縁被膜20bとの2層構造となる。絶縁被膜20aにより金属磁性粒子10と絶縁被膜20との密着性を向上することができ、絶縁被膜20bにより絶縁被膜20の耐熱性を向上することができる。   As a result, the insulating coating 20 has two properties: an insulating coating 20a that has good adhesion to the metal magnetic particles 10, and an insulating coating 20b that has better high temperature stability than the insulating coating 20a and covers the insulating coating 20a. It becomes a layer structure. The insulating coating 20a can improve the adhesion between the metal magnetic particles 10 and the insulating coating 20, and the insulating coating 20b can improve the heat resistance of the insulating coating 20.

本実施の形態の軟磁性材料の製造方法は、Feを主成分とする金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜20とを有する複合磁性粒子30を含む軟磁性材料の製造方法であって、金属磁性粒子10を被覆する絶縁被膜20を形成する工程を備えている。絶縁被膜20を形成する工程は、以下の工程を含んでいる。Feイオンとリン酸イオンとを含む化合物または溶液を金属磁性粒子10に被覆処理することにより、絶縁被膜20aを形成する。絶縁被膜20aを形成後、Alイオンとリン酸イオンとを含む化合物または溶液を絶縁被膜20aに被覆処理することにより、絶縁被膜20bを形成する。   The method of manufacturing a soft magnetic material according to the present embodiment is a method of manufacturing a soft magnetic material including composite magnetic particles 30 having metal magnetic particles 10 containing Fe as a main component and an insulating coating 20 covering the metal magnetic particles 10. And the process of forming the insulating film 20 which coat | covers the metal magnetic particle 10 is provided. The step of forming the insulating coating 20 includes the following steps. By coating the metal magnetic particles 10 with a compound or solution containing Fe ions and phosphate ions, the insulating coating 20a is formed. After forming the insulating coating 20a, the insulating coating 20b is formed by coating the insulating coating 20a with a compound or solution containing Al ions and phosphate ions.

本実施の形態の軟磁性材料の製造方法によれば、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面は、リン酸鉄化合物を含む絶縁被膜20aで形成される。Feとリン酸鉄化合物とは高い密着性を有するので、金属磁性粒子10と絶縁被膜20との密着性を向上できる。したがって、加圧成形の際に絶縁被膜20が破損しにくくなり、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心の渦電流損増大を抑止することができる。また、絶縁被膜20の表面は、リン酸アルミニウム化合物を含む絶縁被膜20bで形成される。リン酸アルミニウム化合物はリン酸鉄化合物を含む絶縁被膜20aより良好な高温安定性を有するので、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心を高温で熱処理しても絶縁性の劣化が小さい。また、絶縁被膜20bは絶縁被膜20aの分解を防ぐ役割も果たす。したがって、絶縁被膜20の耐熱性を向上することができ、圧粉磁心のヒステリシス損を低下することができる。以上により、圧粉磁心の鉄損を低下することができる。   According to the method for manufacturing a soft magnetic material of the present embodiment, the contact surface of the insulating coating 20 that contacts the metal magnetic particles 10 is formed of the insulating coating 20a containing an iron phosphate compound. Since Fe and the iron phosphate compound have high adhesion, the adhesion between the metal magnetic particles 10 and the insulating coating 20 can be improved. Therefore, the insulating coating 20 is less likely to be damaged during pressure molding, and an increase in eddy current loss of the powder magnetic core obtained by pressure molding this soft magnetic material can be suppressed. Further, the surface of the insulating coating 20 is formed of an insulating coating 20b containing an aluminum phosphate compound. Since the aluminum phosphate compound has better high-temperature stability than the insulating coating 20a containing the iron phosphate compound, the insulation deterioration is caused even if the powder magnetic core obtained by pressure-molding this soft magnetic material is heat-treated at a high temperature. Is small. The insulating film 20b also serves to prevent the insulating film 20a from being decomposed. Therefore, the heat resistance of the insulating coating 20 can be improved, and the hysteresis loss of the dust core can be reduced. As described above, the iron loss of the dust core can be reduced.

なお、実施の形態1においては湿式塗布処理により絶縁被膜20を形成する場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、湿式塗布処理の代わりに、絶縁被膜20の成分の固形粉末状化合物と金属磁性粒子10を機械混合し成膜するメカニカルアロイング法や、スパッタ法などにより絶縁被膜20を形成してもよい。   In the first embodiment, the case where the insulating coating 20 is formed by the wet coating process is shown. However, the present invention is not limited to such a case, and instead of the wet coating process, the insulating coating 20 is formed. The insulating coating 20 may be formed by a mechanical alloying method in which the solid powdery compound of the component and the metal magnetic particles 10 are mechanically mixed to form a film, a sputtering method, or the like.

また、本実施の形態においては、絶縁被膜20aがリン酸鉄化合物よりなり、絶縁被膜20bがリン酸アルミニウム化合物よりなっている場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、絶縁被膜20aがリン酸とFeとを含んでおり、絶縁被膜20bがリン酸と、Al、Si、Mn、Ti、Zr、およびZnよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを含んでいればよい。   In the present embodiment, the case where the insulating coating 20a is made of an iron phosphate compound and the insulating coating 20b is made of an aluminum phosphate compound has been shown, but the present invention is limited to such a case. Instead, the insulating coating 20a contains phosphoric acid and Fe, and the insulating coating 20b contains phosphoric acid and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Mn, Ti, Zr, and Zn. It only has to be included.

(実施の形態2)
図4は、本発明の実施の形態2における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。図4に示すように、本実施の形態における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心は、金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10の表面を被覆する絶縁被膜20とを有する複数の複合磁性粒子30を含んでいる。絶縁被膜20は、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20aと、リン酸鉄化合物およびリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bと、リン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20cとを有している。金属磁性粒子10を絶縁被膜20aが被覆しており、絶縁被膜20aを絶縁被膜20bが被覆しており、絶縁被膜20bを絶縁被膜20cが被覆している。つまり、金属磁性粒子10は3層構造の絶縁被膜20により覆われている。
(Embodiment 2)
FIG. 4 is an enlarged schematic view showing a dust core produced using the soft magnetic material according to Embodiment 2 of the present invention. As shown in FIG. 4, the dust core produced using the soft magnetic material in the present embodiment includes a plurality of composites having metal magnetic particles 10 and insulating coatings 20 that cover the surfaces of the metal magnetic particles 10. Magnetic particles 30 are included. The insulating coating 20 has an insulating coating 20a made of an iron phosphate compound, an insulating coating 20b made of an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound, and an insulating coating 20c made of an aluminum phosphate compound. The metal magnetic particles 10 are covered with an insulating coating 20a, the insulating coating 20a is covered with an insulating coating 20b, and the insulating coating 20b is covered with an insulating coating 20c. That is, the metal magnetic particles 10 are covered with the insulating film 20 having a three-layer structure.

図5(a)は、図4における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。図5(b)は、図5(a)の絶縁被膜におけるV−V線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。   FIG. 5A is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. FIG. 5B is a diagram showing changes in the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the VV line in the insulating film of FIG.

図5(a),(b)を参照して、絶縁被膜20aにはFeが一定量含まれており、Alは含まれていない。そして、絶縁被膜20aと絶縁被膜20bとの境界面においてFeの原子比およびAlの原子比が不連続的に変化しており、絶縁被膜20bには、Feが絶縁被膜20aよりも少ない量で含まれており、Alも一定量含まれている。そして、絶縁被膜20bと絶縁被膜20cとの境界面においてFeの原子比およびAlの原子比が不連続的に変化しており、絶縁被膜20cには、Feが含まれておらず、Alが絶縁被膜20bよりも多い量で含まれている。金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   5A and 5B, the insulating coating 20a contains a certain amount of Fe and does not contain Al. The atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al change discontinuously at the boundary surface between the insulating coating 20a and the insulating coating 20b, and the insulating coating 20b contains Fe in a smaller amount than the insulating coating 20a. A certain amount of Al is also included. Then, the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al change discontinuously at the boundary surface between the insulating coating 20b and the insulating coating 20c. The insulating coating 20c does not contain Fe, and Al is insulated. It is contained in a larger amount than the coating 20b. The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. Further, the atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

続いて、図4に示す圧粉磁心を製造する方法について説明する。
図6は、本発明の実施の形態2における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。図6を参照して、本実施の形態の製造方法は、絶縁被膜20bの形成の際に用いる水溶液が実施の形態1と異なっている。また、絶縁被膜20bの乾燥(ステップS5)後、絶縁被膜20cを形成し(ステップS5a)、絶縁被膜20cを乾燥する(ステップS5b)点で、実施の形態1と異なっている。
Then, the method to manufacture the powder magnetic core shown in FIG. 4 is demonstrated.
FIG. 6 is a diagram showing a method of manufacturing a dust core according to Embodiment 2 of the present invention in the order of steps. Referring to FIG. 6, in the manufacturing method of the present embodiment, the aqueous solution used in forming insulating coating 20b is different from that of the first embodiment. Further, after the insulating coating 20b is dried (step S5), the insulating coating 20c is formed (step S5a), and the insulating coating 20c is dried (step S5b), which is different from the first embodiment.

具体的には、絶縁被膜20bを形成する(ステップS4)際、AlイオンとPO4イオンとを含む水溶液の代わりに、FeイオンとAlイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いる。この水溶液に含まれるFeイオンの濃度は、絶縁被膜20aを形成する際に用いられた水溶液に含まれるFeイオンの濃度よりも小さい。このような水溶液を用いることによって、リン酸鉄化合物とリン酸アルミニウム化合物とよりなり、かつFeが絶縁被膜20aよりも少ない量で含まれている絶縁被膜20bを形成することができる。 Specifically, an insulating film 20b (Step S4) When, instead of the aqueous solution containing Al ions and PO 4 ions, an aqueous solution containing the Fe ions and Al ions and PO 4 ions. The concentration of Fe ions contained in this aqueous solution is smaller than the concentration of Fe ions contained in the aqueous solution used when forming the insulating coating 20a. By using such an aqueous solution, it is possible to form the insulating coating 20b made of an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound and containing Fe in a smaller amount than the insulating coating 20a.

次に、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10が乾燥される(ステップS5)。続いて、たとえばボンデ法によりリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20cを形成する(ステップS5a)。具体的には、絶縁被膜20bが形成された金属磁性粒子10を水溶液中に浸漬することにより、絶縁被膜20bに水溶液が塗布される。本実施の形態で用いられる水溶液として、AlイオンとPO4イオンとを含む水溶液が用いられる。その後、絶縁被膜20cで被覆された金属磁性粒子10が乾燥される(ステップS5b)。 Next, the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b are dried (step S5). Subsequently, an insulating film 20c made of an aluminum phosphate compound is formed by, for example, a bond method (step S5a). Specifically, the aqueous solution is applied to the insulating coating 20b by immersing the metal magnetic particles 10 with the insulating coating 20b formed in the aqueous solution. As the aqueous solution used in this embodiment, an aqueous solution containing Al ions and PO 4 ions is used. Thereafter, the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20c are dried (step S5b).

なお、これ以外の圧粉磁心の構造およびその製造方法は、実施の形態1に示す圧粉磁心の構造およびその製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。   Since the structure of the dust core and the manufacturing method thereof other than the above are substantially the same as the structure of the dust core and the manufacturing method shown in the first embodiment, description thereof is omitted.

本実施の形態のように、絶縁被膜20が3層の絶縁被膜20a〜20cよりなっていても、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比が絶縁被膜の表面に含まれるFeの原子比よりも大きく、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるアルミニウムの原子比が絶縁被膜20の表面に含まれるアルミニウムの原子比よりも小さい限り、本発明の効果を得ることができる。   As in the present embodiment, even if the insulating coating 20 is composed of three layers of insulating coatings 20a to 20c, the atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is that of the insulating coating. As long as it is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface and the atomic ratio of aluminum contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of aluminum contained in the surface of the insulating coating 20, The effects of the present invention can be obtained.

(実施の形態3)
本実施の形態における軟磁性材料を用いた圧粉磁心は、絶縁被膜20a〜20cに含まれるFeおよびAlの原子比が実施の形態2の場合と異なっている。すなわち、絶縁被膜20は、リン酸鉄化合物およびリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20aと、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20bと、リン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20cとを有している。
(Embodiment 3)
In the dust core using the soft magnetic material in the present embodiment, the atomic ratio of Fe and Al contained in the insulating coatings 20a to 20c is different from that in the second embodiment. That is, the insulating coating 20 has an insulating coating 20a made of an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound, an insulating coating 20b made of an iron phosphate compound, and an insulating coating 20c made of an aluminum phosphate compound.

図7は、本発明の実施の形態3の絶縁被膜における図5(a)のV−V線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。図7を参照して、絶縁被膜20aにはFeおよびAlが一定量含まれている。そして、絶縁被膜20aと絶縁被膜20bとの境界面においてFeの原子比およびAlの原子比が不連続的に変化しており、絶縁被膜20bには、Feが絶縁被膜20aよりも多い量で含まれており、Alは含まれていない。そして、絶縁被膜20bと絶縁被膜20cとの境界面においてFeの原子比およびAlの原子比が不連続的に変化しており、絶縁被膜20cには、Feが含まれておらず、Alが絶縁被膜20aよりも多い量で含まれている。金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   FIG. 7 is a diagram showing changes in the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the line VV in FIG. 5A in the insulating coating according to the third embodiment of the present invention. Referring to FIG. 7, the insulating coating 20a contains a certain amount of Fe and Al. The atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al change discontinuously at the boundary surface between the insulating coating 20a and the insulating coating 20b, and the insulating coating 20b contains Fe in a larger amount than the insulating coating 20a. Al is not included. Then, the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al change discontinuously at the boundary surface between the insulating coating 20b and the insulating coating 20c. The insulating coating 20c does not contain Fe, and Al is insulated. It is contained in a larger amount than the coating 20a. The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. Further, the atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

本実施の形態における軟磁性材料の製造方法は、絶縁被膜20aおよび20bの形成の際に用いる水溶液が実施の形態2と異なっている。具体的には、絶縁被膜20aを形成する(ステップS2)際、FeイオンとPO4イオンとを含む水溶液の代わりに、FeイオンとAlイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いる。この水溶液に含まれるAlイオンの濃度は、絶縁被膜20cを形成する際に用いられる水溶液に含まれるAlイオンの濃度よりも小さい。このような水溶液を用いることによって、リン酸鉄化合物とリン酸アルミニウム化合物とよりなる絶縁被膜20aを形成することができる。また、絶縁被膜20bを形成する(ステップS4)際、FeイオンとAlイオンとPO4イオンとを含む水溶液の代わりに、FeイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いる。このような水溶液を用いることによって、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20bを形成することができる。 The manufacturing method of the soft magnetic material in the present embodiment is different from that in the second embodiment in the aqueous solution used in forming the insulating coatings 20a and 20b. Specifically, an insulating film 20a (step S2) when, in place of the aqueous solution containing Fe ions and PO 4 ions, an aqueous solution containing the Fe ions and Al ions and PO 4 ions. The concentration of Al ions contained in this aqueous solution is smaller than the concentration of Al ions contained in the aqueous solution used when forming the insulating coating 20c. By using such an aqueous solution, it is possible to form an insulating coating 20a made of an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound. When forming the insulating coating 20b (step S4), an aqueous solution containing Fe ions and PO 4 ions is used instead of an aqueous solution containing Fe ions, Al ions, and PO 4 ions. By using such an aqueous solution, the insulating coating 20b made of an iron phosphate compound can be formed.

なお、これ以外の圧粉磁心の構造およびその製造方法は、実施の形態2に示す圧粉磁心の構造およびその製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。   The other structure and manufacturing method of the dust core are substantially the same as the structure and manufacturing method of the dust core shown in the second embodiment, and a description thereof will be omitted.

本実施の形態のように、絶縁被膜20が3層の絶縁被膜20a〜20cよりなっており、絶縁被膜20aに含まれるFeの原子比よりも絶縁被膜20bに含まれるFeの原子比の方が多く、絶縁被膜20aに含まれるAlの原子比よりも絶縁被膜20bに含まれるAlの原子比の方が少なくても、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比が絶縁被膜の表面に含まれるFeの原子比よりも大きく、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるアルミニウムの原子比が絶縁被膜20の表面に含まれるアルミニウムの原子比よりも小さい限り、本発明の効果を得ることができる。   As in the present embodiment, the insulating coating 20 is composed of three insulating coatings 20a to 20c, and the atomic ratio of Fe contained in the insulating coating 20b is greater than the atomic ratio of Fe contained in the insulating coating 20a. In many cases, even if the atomic ratio of Al contained in the insulating coating 20b is smaller than the atomic ratio of Al contained in the insulating coating 20a, Fe atoms contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 The atomic ratio of aluminum contained in the surface of the insulating coating 20 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating, and the atomic ratio of aluminum contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 The effect of the present invention can be obtained as long as it is smaller.

(実施の形態4)
図8は、本発明の実施の形態4における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。図8に示すように、本実施の形態における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心は、金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10の表面を被覆する絶縁被膜20とを有する複数の複合磁性粒子30を含んでいる。絶縁被膜20は、リン酸鉄化合物およびリン酸アルミニウム化合物よりなる単一の絶縁被膜である。
(Embodiment 4)
FIG. 8 is an enlarged schematic view showing a dust core produced using the soft magnetic material according to Embodiment 4 of the present invention. As shown in FIG. 8, the dust core produced using the soft magnetic material in the present embodiment includes a plurality of composites having metal magnetic particles 10 and insulating coatings 20 covering the surfaces of the metal magnetic particles 10. Magnetic particles 30 are included. The insulating film 20 is a single insulating film made of an iron phosphate compound and an aluminum phosphate compound.

図9(a)は、図8における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。図9(b)は、図9(a)の絶縁被膜におけるIX−IX線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。   FIG. 9A is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. FIG. 9B is a diagram showing changes in the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the line IX-IX in the insulating film of FIG.

図9(a),(b)を参照して、Feの原子比は、金属磁性粒子10と接触する接触面から絶縁被膜20の表面へ向かって単調減少している。また、Alの原子比は、金属磁性粒子10と接触する接触面から絶縁被膜20の表面へ向かって単調増加している。つまり、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   Referring to FIGS. 9A and 9B, the atomic ratio of Fe monotonously decreases from the contact surface in contact with metal magnetic particle 10 toward the surface of insulating coating 20. The atomic ratio of Al monotonously increases from the contact surface in contact with the metal magnetic particles 10 toward the surface of the insulating coating 20. That is, the atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. Further, the atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

続いて、軟磁性材料から図8に示す圧粉磁心を製造する方法について説明する。
図10は、本発明の実施の形態4における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。図10を参照して、本実施の形態の製造方法は、絶縁被膜20bの乾燥(ステップS5)後、絶縁被膜20aおよび20bを熱処理する(ステップS5c)点で実施の形態1と異なっている。
Next, a method for manufacturing the dust core shown in FIG. 8 from a soft magnetic material will be described.
FIG. 10 is a diagram illustrating a method of manufacturing a dust core according to Embodiment 4 of the present invention in the order of steps. Referring to FIG. 10, the manufacturing method of the present embodiment is different from that of the first embodiment in that insulating coatings 20a and 20b are heat-treated (step S5c) after insulating coating 20b is dried (step S5).

具体的には、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10が乾燥され(ステップS5)た後、たとえば250℃の温度で5時間、絶縁被膜20aおよび20bが熱処理される(ステップS5c)。これにより、絶縁被膜20a中のFe原子が絶縁被膜20b中へ拡散し、絶縁被膜20b中のAl原子が絶縁被膜20a中へ拡散する。その結果、絶縁被膜20aと絶縁被膜20bとの境界がなくなり単一の絶縁被膜20が形成される。   Specifically, after the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b are dried (step S5), the insulating coatings 20a and 20b are heat-treated at a temperature of, for example, 250 ° C. for 5 hours (step S5c). As a result, Fe atoms in the insulating coating 20a diffuse into the insulating coating 20b, and Al atoms in the insulating coating 20b diffuse into the insulating coating 20a. As a result, the boundary between the insulating coating 20a and the insulating coating 20b disappears and a single insulating coating 20 is formed.

なお、これ以外の圧粉磁心の構造およびその製造方法は、実施の形態1に示す圧粉磁心の構造およびその製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。   Since the structure of the dust core and the manufacturing method thereof other than the above are substantially the same as the structure of the dust core and the manufacturing method shown in the first embodiment, description thereof is omitted.

本実施の形態のように、絶縁被膜20が単一の層の絶縁被膜20よりなっていても、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比が絶縁被膜の表面に含まれるFeの原子比よりも大きく、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるアルミニウムの原子比が絶縁被膜20の表面に含まれるアルミニウムの原子比よりも小さい限り、本発明の効果を得ることができる。   As in the present embodiment, even if the insulating coating 20 is composed of a single layer of the insulating coating 20, the atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is that of the insulating coating. As long as it is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface and the atomic ratio of aluminum contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of aluminum contained in the surface of the insulating coating 20, The effects of the present invention can be obtained.

(実施の形態5)
図11は、本発明の実施の形態5における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。図11に示すように、本実施の形態における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心は、金属磁性粒子10と、金属磁性粒子10の表面を被覆する絶縁被膜20と、絶縁被膜20を被覆するシリコーン樹脂よりなる被膜25とを有する複数の複合磁性粒子30を含んでいる。
(Embodiment 5)
FIG. 11 is an enlarged schematic view showing a dust core produced using the soft magnetic material according to Embodiment 5 of the present invention. As shown in FIG. 11, the dust core made of the soft magnetic material according to the present embodiment includes a metal magnetic particle 10, an insulating film 20 that covers the surface of the metal magnetic particle 10, and an insulating film 20. A plurality of composite magnetic particles 30 having a coating 25 made of a silicone resin to be coated are included.

続いて、図11に示す圧粉磁心を製造する方法について説明する。
図12は、本発明の実施の形態5における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。図12を参照して、本実施の形態の製造方法は、絶縁被膜20bの乾燥(ステップS5)後、シリコーン樹脂よりなる被膜25を形成する(ステップS5d)点で、実施の形態1と異なっている。
Then, the method to manufacture the powder magnetic core shown in FIG. 11 is demonstrated.
FIG. 12 is a diagram illustrating a method of manufacturing a dust core according to the fifth embodiment of the present invention in the order of steps. Referring to FIG. 12, the manufacturing method of the present embodiment is different from that of Embodiment 1 in that after insulating coating 20b is dried (step S5), film 25 made of silicone resin is formed (step S5d). Yes.

具体的には、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10を乾燥した(ステップS5)後、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10と、シリコーン樹脂および顔料を含有する塗料とを混合する。あるいは、絶縁被膜20bで被覆された金属磁性粒子10に、シリコーン樹脂および顔料を含有する塗料を噴霧する。その後、塗料を乾燥させ、溶媒を除去する。これにより、シリコ−ン樹脂よりなる被膜25が形成される。   Specifically, after the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b are dried (step S5), the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b and the paint containing a silicone resin and a pigment are mixed. . Alternatively, a paint containing a silicone resin and a pigment is sprayed on the metal magnetic particles 10 coated with the insulating coating 20b. Thereafter, the paint is dried and the solvent is removed. Thereby, the coating film 25 made of a silicone resin is formed.

なお、これ以外の圧粉磁心の構造およびその製造方法は、実施の形態1に示す圧粉磁心の構造およびその製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。   Since the structure of the dust core and the manufacturing method thereof other than the above are substantially the same as the structure of the dust core and the manufacturing method shown in the first embodiment, description thereof is omitted.

本実施の形態の軟磁性材料において、複合磁性粒子30は、絶縁被膜20の表面を被覆するシリコーン樹脂よりなる被膜25をさらに有している。これにより、金属磁性粒子10同士の絶縁が被膜25により確保されるので、この軟磁性材料を加圧成形して得られる圧粉磁心の渦電流損増大をさらに抑止することができる。   In the soft magnetic material of the present embodiment, the composite magnetic particle 30 further has a coating 25 made of a silicone resin that covers the surface of the insulating coating 20. Thereby, since insulation between the metal magnetic particles 10 is ensured by the coating film 25, an increase in eddy current loss of the powder magnetic core obtained by pressure-molding this soft magnetic material can be further suppressed.

なお、本実施の形態においては、シリコーン樹脂よりなる被膜25が形成される場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、Siを含む被膜が形成されればよい。   In the present embodiment, the case where the film 25 made of a silicone resin is formed has been described, but the present invention is not limited to such a case, and a film containing Si may be formed. .

なお、実施の形態1〜5においては、絶縁被膜20がリン酸アルミニウム化合物を含んでいる場合について示したが、絶縁被膜20がリン酸アルミニウム化合物を含んでいる代わりに、リン酸マンガン化合物や、リン酸亜鉛化合物を含んでいても本発明の効果を得ることができる。これらの化合物を含む絶縁被膜20は、AlイオンとPO4イオンとを含む水溶液の代わりに、SiイオンとPO4イオンとを含む水溶液や、MnイオンとPO4イオンとを含む水溶液や、TiイオンとPO4イオンとを含む水溶液や、ZrイオンとPO4イオンとを含む水溶液や、ZnイオンとPO4イオンとを含む水溶液を用いることで形成できる。 In the first to fifth embodiments, the insulating coating 20 includes an aluminum phosphate compound, but instead of the insulating coating 20 including an aluminum phosphate compound, a manganese phosphate compound, The effect of the present invention can be obtained even if a zinc phosphate compound is included. The insulating coating 20 containing these compounds is an aqueous solution containing Si ions and PO 4 ions, an aqueous solution containing Mn ions and PO 4 ions, Ti ions, instead of an aqueous solution containing Al ions and PO 4 ions. and and aqueous solution containing PO 4 ion, and an aqueous solution containing a Zr ions and PO 4 ions can be formed by using an aqueous solution containing Zn ions and PO 4 ions.

(実施の形態6)
図13(a)は、本発明の実施の形態6における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。図13(b)は、図13(a)の絶縁被膜におけるXIII−XIII線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。図13を参照して、本実施の形態における軟磁性材料を用いた圧粉磁心は、絶縁被膜20aおよび20bに含まれるFeおよびAlの原子比が実施の形態1の場合と異なっている。すなわち、絶縁被膜20は、金属磁性粒子10の表面に存在する鉄とリン酸とが反応して形成された絶縁被膜20aと、リン酸およびアルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bとを有している。
(Embodiment 6)
FIG. 13 (a) is an enlarged view showing one composite magnetic particle in the sixth embodiment of the present invention. FIG. 13B is a diagram showing changes in the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the line XIII-XIII in the insulating film of FIG. Referring to FIG. 13, in the dust core using the soft magnetic material in the present embodiment, the atomic ratio of Fe and Al contained in insulating coatings 20a and 20b is different from that in the first embodiment. That is, the insulating coating 20 has an insulating coating 20a formed by the reaction of iron and phosphoric acid present on the surface of the metal magnetic particles 10, and an insulating coating 20b made of phosphoric acid and an aluminum compound.

絶縁被膜20aにはFeが一定量含まれており、Alは含まれていない。そして、絶縁被膜20aと絶縁被膜20bの境界領域20dにおいてFeの原子比が減少し、Alの原子比が増加している。そして、絶縁被膜20bには、Feが絶縁被膜20aよりも少ない量で含まれており、Alも一定量含まれている。金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるFeの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるFeの原子比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と接触する絶縁被膜20の接触面に含まれるAlの原子比は、絶縁被膜20の表面に含まれるAlの原子比よりも小さい。   The insulating coating 20a contains a certain amount of Fe and does not contain Al. In the boundary region 20d between the insulating coating 20a and the insulating coating 20b, the atomic ratio of Fe decreases and the atomic ratio of Al increases. The insulating coating 20b contains Fe in a smaller amount than the insulating coating 20a, and also contains a certain amount of Al. The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating 20. Further, the atomic ratio of Al contained in the contact surface of the insulating coating 20 in contact with the metal magnetic particles 10 is smaller than the atomic ratio of Al contained in the surface of the insulating coating 20.

続いて、図13に示す圧粉磁心を製造する方法について説明する。
図14は、本発明の実施の形態6における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。図14を参照して、本実施の形態の製造方法は、絶縁被膜20の形成方法およびその後の処理が実施の形態1と異なっている。
Then, the method to manufacture the powder magnetic core shown in FIG. 13 is demonstrated.
FIG. 14 is a diagram illustrating a method of manufacturing a dust core according to the sixth embodiment of the present invention in the order of steps. Referring to FIG. 14, the manufacturing method of the present embodiment is different from that of the first embodiment in the method of forming insulating film 20 and the subsequent processing.

本実施の形態では、金属磁性粒子10を熱処理した(ステップS1)後で、金属磁性粒子10を有機溶剤に分散した懸濁液中にリン酸溶液を加え、混合・攪拌する。これにより、金属磁性粉末10の表面に存在する鉄と、リン酸とが反応して、金属磁性粒子10の表面に絶縁被膜20aが形成される(ステップS12)。続いて、絶縁被膜20aの形成の際に用いた懸濁液に、リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる原子を含有する1種以上の金属アルコキシドの溶液を加え、混合・攪拌する。このとき、金属アルコキシドは水と反応して加水分解し、金属酸化物または金属含水酸化物が生成する。これにより、金属磁性粒子10の表面にリン酸と金属化合物とよりなる絶縁被膜20bが形成される(ステップS13)。そして、絶縁被膜20で被覆された金属磁性粒子10が乾燥される(ステップS14)。具体的には、室温のドラフト中で3〜24時間乾燥させた後、60〜120℃の温度範囲で乾燥させるか、もしくは減圧雰囲気で30〜80℃の温度範囲で乾燥させる。また、空気中またはN2ガスなどの不活性ガス雰囲気下のいずれでも乾燥させることができるが、金属磁性粒子の酸化防止の観点から、N2ガスなどの不活性ガス雰囲気下で乾燥させることが好ましい。これにより、本実施の形態の軟磁性材料が得られる。 In the present embodiment, after heat-treating the metal magnetic particles 10 (step S1), a phosphoric acid solution is added to a suspension in which the metal magnetic particles 10 are dispersed in an organic solvent, and mixed and stirred. Thereby, iron and phosphoric acid which exist on the surface of the metal magnetic powder 10 react, and the insulating coating 20a is formed on the surface of the metal magnetic particle 10 (step S12). Subsequently, a solution of at least one metal alkoxide containing phosphoric acid and atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr is added to the suspension used in forming the insulating coating 20a. Mix and stir. At this time, the metal alkoxide reacts with water and is hydrolyzed to produce a metal oxide or a metal hydrated oxide. Thereby, the insulating coating 20b which consists of phosphoric acid and a metal compound is formed in the surface of the metal magnetic particle 10 (step S13). And the metal magnetic particle 10 coat | covered with the insulating film 20 is dried (step S14). Specifically, after drying in a draft at room temperature for 3 to 24 hours, drying is performed in a temperature range of 60 to 120 ° C., or drying is performed in a temperature range of 30 to 80 ° C. in a reduced pressure atmosphere. In addition, it can be dried either in air or in an inert gas atmosphere such as N 2 gas, but from the viewpoint of preventing oxidation of metal magnetic particles, it can be dried in an inert gas atmosphere such as N 2 gas. preferable. Thereby, the soft magnetic material of this Embodiment is obtained.

なお、本実施の形態に用いられる有機溶剤は、一般的に用いられる有機溶剤であればよく、水溶性の有機溶剤が好ましい。具体的には、エチルアルコール、プロピルアルコールまたはブチルアルコールなどのアルコール系溶剤、アセトンまたはメチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピルセロソルブまたはブチルセロソルブなどのグリコールエーテル系溶剤、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、またはトリプロピレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのオキシエチレン、オキシプロピレン付加重合体、エチレングリコール、プロピレングリコール又は1,2,6−ヘキサントリオールなどのアルキレングリコール、グリセリン、2−ピロリドンなどである。特に、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコールなどのアルコール系溶剤、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤が好ましい。   Note that the organic solvent used in the present embodiment may be a generally used organic solvent, and a water-soluble organic solvent is preferable. Specifically, alcohol solvents such as ethyl alcohol, propyl alcohol or butyl alcohol, ketone solvents such as acetone or methyl ethyl ketone, glycol ether solvents such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cellosolve or butyl cellosolve, diethylene glycol, triethylene glycol , Polyethylene glycol, dipropylene glycol, or oxyethylene such as tripropylene glycol or polypropylene glycol, oxypropylene addition polymers, alkylene glycol such as ethylene glycol, propylene glycol or 1,2,6-hexanetriol, glycerin, 2-pyrrolidone Etc. In particular, alcohol solvents such as ethyl alcohol, propyl alcohol, and butyl alcohol, and ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone are preferable.

本実施の形態に用いられるリン酸は、五酸化二リンが水和してできる酸であればよい。具体的には、メタリン酸、ピロリン酸、オルトリン酸、三リン酸、四リン酸などである。特にオルトリン酸が好ましい。   The phosphoric acid used in this embodiment may be an acid formed by hydration of diphosphorus pentoxide. Specific examples include metaphosphoric acid, pyrophosphoric acid, orthophosphoric acid, triphosphoric acid, and tetraphosphoric acid. Orthophosphoric acid is particularly preferable.

本実施の形態に用いる金属アルコキシドは、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる原子を含有するアルコキシドである。アルコキシドとしては、メトキシド、エトキシド、プロポキシド、イソプロポキシド、オキシイソプロポキシド、ブトキシドなどを用いることができる。またアルコキシドとして、テトラエトキシシランまたはテトラメトキシシランを部分的に加水分解・縮合することにより得られるエチルシリケートまたはメチルシリケートを用いることができる。処理の均一性及び処理効果を考慮すれば、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン、メチルシリケート、アルミニウムトリイソプロポキシド、アルミニウムトリブトキシド、ジルコニウムテトライソプロポキシド、チタニウムテトライソプロポキシドなどがアルコキシドとして用いられることが特に好ましい。   The metal alkoxide used in the present embodiment is an alkoxide containing an atom selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr. As the alkoxide, methoxide, ethoxide, propoxide, isopropoxide, oxyisopropoxide, butoxide and the like can be used. As the alkoxide, ethyl silicate or methyl silicate obtained by partially hydrolyzing and condensing tetraethoxysilane or tetramethoxysilane can be used. Considering the uniformity of treatment and treatment effect, tetraethoxysilane, tetramethoxysilane, methyl silicate, aluminum triisopropoxide, aluminum tributoxide, zirconium tetraisopropoxide, titanium tetraisopropoxide, etc. are used as alkoxides. It is particularly preferred.

金属磁性粒子粉末とリン酸溶液および金属アルコキシド溶液とを混合するための機器としては、たとえば高速アジテート型ミキサーが使用され、具体的にはヘンシェルミキサー、スピードミキサー、ボールカッター、パワーミキサー、ハイブリッドミキサー、コーンブレンダーなどが使用される。   As an apparatus for mixing the metal magnetic particle powder with the phosphoric acid solution and the metal alkoxide solution, for example, a high-speed agitate type mixer is used. Specifically, a Henschel mixer, a speed mixer, a ball cutter, a power mixer, a hybrid mixer, A corn blender or the like is used.

金属磁性粒子粉末とリン酸溶液及び金属アルコキシド溶液との混合・攪拌は、室温以上であって用いる有機溶剤の沸点以下の温度で行なうことが好ましい。また、金属磁性粒子粉末の酸化防止の観点から、N2ガスなどの不活性ガス雰囲気下で反応を行なうことが好ましい。 The mixing / stirring of the metal magnetic particle powder with the phosphoric acid solution and the metal alkoxide solution is preferably performed at a temperature of room temperature or higher and lower than the boiling point of the organic solvent used. From the viewpoint of oxidation prevention of metal magnetic particles, it is preferred to conduct the reaction under an inert gas atmosphere such as N 2 gas.

なお、これ以外の圧粉磁心の製造方法は、実施の形態1に示す圧粉磁心の構造およびその製造方法とほぼ同様であるので、その説明を省略する。   The other methods of manufacturing the powder magnetic core are substantially the same as the structure of the powder magnetic core shown in the first embodiment and the method of manufacturing the same, and thus the description thereof is omitted.

本実施の形態の軟磁性材料によれば、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。   According to the soft magnetic material of the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

以下、本発明の実施例について説明する。本実施例では、本発明の軟磁性材料を加圧成形して得られた圧粉磁心における鉄損の低減および耐熱性の向上の効果を調べた。始めに、軟磁性材料である試料1〜6を以下の方法により作製した。   Examples of the present invention will be described below. In this example, the effects of reducing iron loss and improving heat resistance in a powder magnetic core obtained by press molding the soft magnetic material of the present invention were investigated. First, samples 1 to 6 which are soft magnetic materials were produced by the following method.

試料1(発明例):実施の形態1の製造方法に従って作製した。具体的には、鉄の純度が99.8%以上であるヘガネスAB社製のABC100.30を金属磁性粒子10として準備し、これをリン酸鉄水溶液に浸漬することにより、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20aを平均厚さ50nmで金属磁性粒子10の表面に形成した。次に、リン酸アルミニウム水溶液に浸漬することにより、リン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bを平均厚さ50nmで絶縁被膜20aの表面に形成し、試料1となる軟磁性材料を得た。   Sample 1 (Invention Example): Prepared according to the manufacturing method of Embodiment 1. Specifically, by preparing ABC100.30 manufactured by Höganäs AB, whose iron purity is 99.8% or more, as metal magnetic particles 10 and immersing it in an aqueous iron phosphate solution, The insulating coating 20a to be formed was formed on the surface of the metal magnetic particle 10 with an average thickness of 50 nm. Next, by dipping in an aluminum phosphate aqueous solution, an insulating coating 20b made of an aluminum phosphate compound was formed on the surface of the insulating coating 20a with an average thickness of 50 nm, and a soft magnetic material serving as Sample 1 was obtained.

試料2(発明例):実施の形態5の製造方法に従って作製した。具体的には、試料1の製造方法と同様の方法で得られた軟磁性材料を準備し、エチルアルコールにシリコーン樹脂を溶解および分散させた溶液にこの軟磁性材料を浸漬した。これにより平均厚さ100nmのシリコーン樹脂よりなる被膜25を絶縁被膜20の表面に形成し、試料2となる軟磁性材料を得た。   Sample 2 (Invention Example): Prepared according to the manufacturing method of Embodiment 5. Specifically, a soft magnetic material obtained by a method similar to the manufacturing method of Sample 1 was prepared, and this soft magnetic material was immersed in a solution in which a silicone resin was dissolved and dispersed in ethyl alcohol. As a result, a film 25 made of a silicone resin having an average thickness of 100 nm was formed on the surface of the insulating film 20, and a soft magnetic material to be the sample 2 was obtained.

試料3(比較例):リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜のみを形成した。具体的には、ヘガネスAB社製のABC100.30を金属磁性粒子として準備し、これをリン酸鉄水溶液に浸漬することにより、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜を平均厚さ100nmで金属磁性粒子の表面に形成し、試料3となる軟磁性材料を得た。   Sample 3 (Comparative Example): Only an insulating film made of an iron phosphate compound was formed. Specifically, ABC100.30 manufactured by Höganäs AB was prepared as metal magnetic particles, and this was immersed in an iron phosphate aqueous solution to form an insulating coating made of an iron phosphate compound with an average thickness of 100 nm. A soft magnetic material to be sample 3 was obtained.

試料4(比較例):リン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜のみを形成した。具体的には、ヘガネスAB社製のABC100.30を金属磁性粒子として準備し、これをリン酸アルミニウム水溶液に浸漬することにより、リン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜を平均厚さ100nmで金属磁性粒子10の表面に形成し、試料4となる軟磁性材料を得た。   Sample 4 (Comparative Example): Only an insulating film made of an aluminum phosphate compound was formed. Specifically, ABC100.30 manufactured by Höganäs AB was prepared as metal magnetic particles, and this was immersed in an aluminum phosphate aqueous solution to form an insulating coating made of an aluminum phosphate compound with an average thickness of 100 nm. A soft magnetic material that was formed on the surface of No. 10 and became Sample 4 was obtained.

試料5(発明例):鉄の純度が99.8%以上であるヘガネスAB社製のABC100.30をアセトンに懸濁させた懸濁液に、リン酸水溶液(リン酸含有量85重量%)を滴下し、N2気流下、反応温度45℃において、20分間攪拌・混合を行った。次いで、前記混合溶液中に、アルミニウムイソプロポキシドを分散させたアセトン溶液を加えた後、テトラエトキシシランを加え、20分間攪拌・混合を行った。得られた混合溶液を45℃において減圧乾燥を行ない、試料5となる軟磁性材料を得た。 Sample 5 (Invention Example): An aqueous solution of phosphoric acid (phosphoric acid content: 85% by weight) in a suspension obtained by suspending ABC100.30 manufactured by Höganäs AB, whose purity of iron is 99.8% or more, in acetone. Was added dropwise and stirred and mixed at a reaction temperature of 45 ° C. for 20 minutes under a N 2 stream. Next, an acetone solution in which aluminum isopropoxide was dispersed was added to the mixed solution, and then tetraethoxysilane was added, followed by stirring and mixing for 20 minutes. The obtained mixed solution was dried under reduced pressure at 45 ° C., and a soft magnetic material to be sample 5 was obtained.

試料6(発明例):試料5の絶縁被膜の表面にシリコーンよりなる絶縁被膜を形成した。具体的には、平均厚さ100nmのシリコーン樹脂よりなる被膜を試料5の絶縁被膜の表面に形成し、試料6となる軟磁性材料を得た。   Sample 6 (Invention): An insulating coating made of silicone was formed on the surface of the insulating coating of Sample 5. Specifically, a film made of a silicone resin having an average thickness of 100 nm was formed on the surface of the insulating film of Sample 5, and a soft magnetic material to be Sample 6 was obtained.

次に、作製した試料1〜6に関し、「X線光電子分析装置 ESCA3500」(島津製作所(株))を用い、高速Arイオンエッチングによりエッチング処理を行ないながら深さ方向の各原子の存在比の測定を行なった。また、FIB(Focused Ion Beam)により切断加工し、絶縁被膜20の断面についてEDX(Energy-Dispersive X-ray diffraction)を用いて組成分析を行なった。組成の評価に関しては、P、Fe、Al各元素のKαスペクトルのピーク面積を計測し、Feピーク面積とPピーク面積との比およびAlピーク面積とPピーク面積との比(Fe/P原子存在比、Al/P原子存在比)を指標として用いた。   Next, with respect to the produced samples 1 to 6, using the “X-ray photoelectron analyzer ESCA3500” (Shimadzu Corporation), measurement of the abundance ratio of each atom in the depth direction while performing etching by high-speed Ar ion etching Was done. Moreover, it cut | disconnected by FIB (Focused Ion Beam) and the composition analysis was performed about the cross section of the insulating coating 20 using EDX (Energy-Dispersive X-ray diffraction). For the composition evaluation, the peak area of the Kα spectrum of each element of P, Fe, and Al was measured, the ratio of the Fe peak area to the P peak area, and the ratio of the Al peak area to the P peak area (the presence of Fe / P atoms). Ratio, Al / P atom abundance ratio) was used as an index.

軟磁性材料の耐熱性は、下記の方法により求めた。まず、試料粉末0.5gを量りとり、KBr錠剤成形器(株式会社島津製作所)を用いて、13.72MPaの圧力で加圧成形を行ない、円柱状の被測定試料を作製した。次いで、被測定試料を温度25℃、相対湿度60%の環境下に12時間以上暴露した後、この被測定試料をステンレス電極の間にセットし、電気抵抗測定装置(model 4329A 横河北辰電気株式会社製)で15Vの電圧を印加して抵抗値R(mΩ)を測定した。 The heat resistance of the soft magnetic material was determined by the following method. First, 0.5 g of sample powder was weighed and subjected to pressure molding at a pressure of 13.72 MPa using a KBr tablet molding machine (Shimadzu Corporation) to prepare a cylindrical sample to be measured. Then, the temperature 25 ° C. The sample to be measured, after exposure for 12 hours or more under a relative humidity of 60% environment, sets this measured sample between stainless steel electrodes, the electric resistance measuring apparatus (model 4329A lateral Hokushin electric The resistance value R (mΩ) was measured by applying a voltage of 15V.

次いで、被測定(円柱状)試料の上面の面積A(cm2)と厚みt0(cm)を測定し、下記式1にそれぞれの測定値を挿入して、体積固有抵抗値(mΩ・cm)を求めた。 Next, the area A (cm 2 ) and the thickness t0 (cm) of the upper surface of the sample to be measured (cylindrical) are measured, and each measured value is inserted into the following equation 1 to determine the volume resistivity (mΩ · cm). Asked.

体積固有抵抗値(mΩ・cm)=R×(A/t0) ・・・(1)
上記被測定用試料を電気炉に入れ、電気炉の温度を種々変化させて各温度において1時間加熱処理を行ない、各温度における加熱前後での体積固有抵抗値を測定し、下記式2に加熱前後の体積固有抵抗値を挿入して、体積固有抵抗値の変化率を求め、片対数グラフを用いて横軸に加熱温度を、縦軸に体積固有抵抗値の変化率をプロットし、体積固有抵抗値の変化率がちょうど10%となるときの温度を軟磁性材料の耐熱温度とした。
Volume resistivity (mΩ · cm) = R × (A / t0) (1)
The sample to be measured is put into an electric furnace, the temperature of the electric furnace is changed variously, heat treatment is performed at each temperature for 1 hour, the volume resistivity value before and after heating at each temperature is measured, and the following formula 2 is heated. Insert the volume resistivity values before and after to determine the rate of change in volume resistivity, plot the heating temperature on the horizontal axis and the rate of change in volume resistivity on the vertical axis using a semilogarithmic graph, The temperature at which the rate of change in resistance value was exactly 10% was defined as the heat resistant temperature of the soft magnetic material.

加熱前後の体積固有抵抗値の変化率(%)={体積固有抵抗値(加熱前)−体積固有抵抗値(加熱後)}/体積固有抵抗値(加熱前)×100 ・・・(2)
続いて、試料1〜6を1275MPaの圧力で加圧成形し、リング形状の圧粉磁心を作製した。次に、窒素雰囲気で550℃の温度で1時間熱処理を行なった。そして、試料1〜6について周波数を変化させて励起磁束密度1.0(T)における鉄損を測定することにより、渦電流損係数bを評価した。試料1〜6についての、リン酸鉄化合物の平均厚さ、リン酸アルミニウム化合物の平均厚さ、シリコーン樹脂の平均厚さ、および渦電流損係数bを表1に示す。なお、渦電流損係数bとは、鉄損Wを
W=a×f+b×f2 (f:周波数、a,b:定数)
と表わした場合の定数bである。
Change rate of volume resistivity value before and after heating (%) = {volume resistivity value (before heating) −volume resistivity value (after heating)} / volume resistivity value (before heating) × 100 (2)
Subsequently, Samples 1 to 6 were pressure-molded at a pressure of 1275 MPa to produce a ring-shaped dust core. Next, heat treatment was performed at a temperature of 550 ° C. for 1 hour in a nitrogen atmosphere. And the frequency was changed about the samples 1-6, and the eddy current loss coefficient b was evaluated by measuring the iron loss in excitation magnetic flux density 1.0 (T). Table 1 shows the average thickness of the iron phosphate compound, the average thickness of the aluminum phosphate compound, the average thickness of the silicone resin, and the eddy current loss coefficient b for Samples 1 to 6. The eddy current loss coefficient b is the iron loss W W = a × f + b × f 2 (f: frequency, a, b: constant)
Is a constant b.

Figure 0004646768
Figure 0004646768

表1に示すように、渦電流損係数bに関して、試料1の渦電流損係数bは0.025(×10-3W・s2/kg)であり、試料2の渦電流損係数bは0.021(×10-3W・s2/kg)であった。一方、試料3の渦電流損係数bは0.022(×10-3W・s2/kg)であり、試料4の渦電流損係数bは0.048(×10-3W・s2/kg)であった。試料5の渦電流損係数bは0.024(×10-3W・s2/kg)であり、試料6の渦電流損係数bは0.016(×10-3W・s2/kg)であった。また、試料1、2、5、および6の耐熱性は試料3の耐熱性よりも優れており、試料の耐熱性と同等であった。 As shown in Table 1, with respect to the eddy current loss coefficient b, the eddy current loss coefficient b of the sample 1 is 0.025 (× 10 −3 W · s 2 / kg), and the eddy current loss coefficient b of the sample 2 is It was 0.021 (× 10 −3 W · s 2 / kg). On the other hand, the eddy current loss coefficient b of the sample 3 is 0.022 (× 10 −3 W · s 2 / kg), and the eddy current loss coefficient b of the sample 4 is 0.048 (× 10 −3 W · s 2). / Kg). The eddy current loss coefficient b of the sample 5 is 0.024 (× 10 −3 W · s 2 / kg), and the eddy current loss coefficient b of the sample 6 is 0.016 (× 10 −3 W · s 2 / kg). )Met. Further, the heat resistance of Samples 1, 2, 5, and 6 was superior to that of Sample 3, and was equivalent to that of Sample 4 .

このように、試料1、2、5、および6は、試料3よりも耐熱温度におけるヒステリシス損係数aが小さく、かつ試料3と同等の渦電流損係数bを示していることから、試料1、2、5、および6は試料3よりも鉄損が小さいことが分かる。また、試料1、2、5、および6は、試料4と耐熱温度におけるヒステリシス損係数aの値が近く、かつ試料4よりも渦電流損係数bの値が小さいことから、試料1、2、5、および6は試料4よりも鉄損が小さいことが分かる。すなわち、リン酸鉄化合物よりなる絶縁被膜20aおよびリン酸アルミニウム化合物よりなる絶縁被膜20bを形成することにより鉄損を低減できることが分かる。また、試料2および6の各々の耐熱性が試料1および5の各々の耐熱性よりもそれぞれ上昇しているので、シリコーン樹脂よりなる被膜25を形成することにより、ヒステリシス損が一層低下することが分かる。さらに、試料2および6の各々の渦電流損係数bが試料1および5の各々の渦電流損係数bよりもそれぞれ小さくなっているので、シリコーン樹脂よりなる被膜25を形成することにより、渦電流損が一層低下することが分かる。以上より、シリコーン樹脂よりなる被膜25を形成することにより、より一層鉄損を低減できることが分かる。 Thus, samples 1, 2, 5, and 6 have a smaller hysteresis loss coefficient a at the heat-resistant temperature than sample 3, and exhibit an eddy current loss coefficient b equivalent to that of sample 3. It can be seen that 2, 5, and 6 have a lower iron loss than Sample 3. Samples 1, 2, 5, and 6 are similar to Sample 4 in that the value of hysteresis loss coefficient a at the heat-resistant temperature is close to that of Sample 4, and the value of eddy current loss coefficient b is smaller than that of Sample 4. 5 and 6 show that the iron loss is smaller than that of the sample 4. That is, it can be seen that iron loss can be reduced by forming the insulating coating 20a made of an iron phosphate compound and the insulating coating 20b made of an aluminum phosphate compound. Moreover, since the heat resistance of each of the samples 2 and 6 is higher than that of each of the samples 1 and 5, the hysteresis loss can be further reduced by forming the film 25 made of silicone resin. I understand. Further, since the eddy current loss coefficient b of each of the samples 2 and 6 is smaller than the eddy current loss coefficient b of each of the samples 1 and 5, the eddy current is formed by forming the coating 25 made of silicone resin. It can be seen that the loss is further reduced. From the above, it can be seen that the iron loss can be further reduced by forming the coating 25 made of silicone resin.

なお、試料5および6に関しては、平均粒子径が100μmであり、絶縁被膜の膜厚は、第1絶縁被膜である絶縁被膜20aが50nmであり、第2絶縁被膜である絶縁被膜20bが50nmであった。X線光電子分析装置を用いて評価した金属磁性粒子10と絶縁被膜20との接触面におけるFe/P原子存在比は12.9または13.6であり、絶縁被膜の表面におけるFe/P原子存在比は3.3または3.0であった。このことから、金属磁性粒子10と絶縁被膜20との接触面におけるFe/P原子存在比の方が、絶縁被膜の表面におけるFe/P原子存在比よりも大きい。また、金属磁性粒子10と絶縁被膜20との接触面におけるAl/P原子存在比は、0.7または0.8であり、絶縁被膜の表面におけるAl/P原子存在比は2.2または2.0であることから、金属磁性粒子10と絶縁被膜20との接触面におけるAl/P原子存在比の方が、絶縁被膜の表面におけるAl/P原子存在比よりも小さい。   Regarding Samples 5 and 6, the average particle diameter is 100 μm, and the thickness of the insulating coating is 50 nm for the insulating coating 20a, which is the first insulating coating, and 50 nm for the insulating coating 20b, which is the second insulating coating. there were. The Fe / P atom abundance ratio at the contact surface between the metal magnetic particle 10 and the insulating coating 20 evaluated using an X-ray photoelectron analyzer is 12.9 or 13.6, and the presence of Fe / P atoms on the surface of the insulating coating. The ratio was 3.3 or 3.0. Therefore, the Fe / P atom abundance ratio at the contact surface between the metal magnetic particles 10 and the insulating coating 20 is larger than the Fe / P atom abundance ratio at the surface of the insulating coating. The Al / P atom abundance ratio at the contact surface between the metal magnetic particle 10 and the insulating coating 20 is 0.7 or 0.8, and the Al / P atom abundance ratio at the surface of the insulating coating is 2.2 or 2 Therefore, the Al / P atom abundance ratio at the contact surface between the metal magnetic particles 10 and the insulating coating 20 is smaller than the Al / P atom abundance ratio at the surface of the insulating coating.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments and examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の実施の形態1における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。It is the schematic diagram which expanded and showed the powder magnetic core produced using the soft-magnetic material in Embodiment 1 of this invention. (a)は、図1における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。(b)は、(a)の絶縁被膜におけるII−II線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。(A) is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. (B) is a figure which shows the change of the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the II-II line in the insulating film of (a). 本発明の実施の形態1における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the powder magnetic core in Embodiment 1 of this invention in order of a process. 本発明の実施の形態2における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。It is the schematic diagram which expanded and showed the powder magnetic core produced using the soft-magnetic material in Embodiment 2 of this invention. (a)は、図4における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。(b)は、(a)の絶縁被膜におけるV−V線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。(A) is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. (B) is a figure which shows the change of the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the VV line in the insulating film of (a). 本発明の実施の形態2における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the powder magnetic core in Embodiment 2 of this invention in order of a process. 本発明の実施の形態3の絶縁被膜における図5(a)のV−V線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the VV line | wire of Fig.5 (a) in the insulating film of Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。It is the schematic diagram which expanded and showed the powder magnetic core produced using the soft-magnetic material in Embodiment 4 of this invention. (a)は、図8における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。(b)は、(a)の絶縁被膜におけるIX−IX線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。(A) is an enlarged view showing one composite magnetic particle in FIG. (B) is a figure which shows the change of the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the IX-IX line in the insulating film of (a). 本発明の実施の形態4における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the powder magnetic core in Embodiment 4 of this invention in order of a process. 本発明の実施の形態5における軟磁性材料を用いて作製された圧粉磁心を拡大して示した模式図である。It is the schematic diagram which expanded and showed the powder magnetic core produced using the soft-magnetic material in Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施の形態5における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the powder magnetic core in Embodiment 5 of this invention in order of a process. (a)本発明の実施の形態6における1個の複合磁性粒子を示す拡大図である。(b)(a)の絶縁被膜におけるXIII−XIII線に沿ったFeの原子比およびAlの原子比の変化を示す図である。(A) It is an enlarged view which shows one composite magnetic particle in Embodiment 6 of this invention. (B) It is a figure which shows the change of the atomic ratio of Fe and the atomic ratio of Al along the XIII-XIII line in the insulating film of (a). 本発明の実施の形態6における圧粉磁心の製造方法を工程順に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the powder magnetic core in Embodiment 6 of this invention in order of a process.

符号の説明Explanation of symbols

10 金属磁性粒子、20,20a〜20c 絶縁被膜、20d 境界領域、25 被膜、30 複合磁性粒子。   10 metal magnetic particles, 20, 20a to 20c insulating coating, 20d boundary region, 25 coating, 30 composite magnetic particles.

Claims (5)

Feを主成分とする金属磁性粒子と、前記金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料であって、
前記絶縁被膜はリン酸と、Feと、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子とを含み、
前記金属磁性粒子と接触する前記絶縁被膜の接触面に含まれるFeの原子比は、前記絶縁被膜の表面に含まれるFeの原子比よりも大きく、
前記金属磁性粒子と接触する前記絶縁被膜の接触面に含まれる前記1種以上の原子の原子比は、前記絶縁被膜の表面に含まれる前記1種以上の原子の原子比よりも小さ
前記絶縁被膜は、前記金属磁性粒子を被覆する第1絶縁被膜と、前記第1絶縁被膜を被覆する第2絶縁被膜とを有し、
前記第1絶縁被膜はリン酸とFeからなり、前記第2絶縁被膜はリン酸と前記1種以上の原子とを含む、軟磁性材料。
A soft magnetic material including composite magnetic particles having metal magnetic particles containing Fe as a main component and an insulating film covering the metal magnetic particles,
The insulating coating includes phosphoric acid, Fe , and one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr ,
The atomic ratio of Fe contained in the contact surface of the insulating coating in contact with the metal magnetic particles is larger than the atomic ratio of Fe contained in the surface of the insulating coating,
The atomic ratio of the one or more atoms contained in the contact surface of the insulating coating in contact with metal magnetic particles, rather smaller than the atomic ratio of the one or more atoms contained in the surface of the insulating coating,
The insulating coating has a first insulating coating that covers the metal magnetic particles, and a second insulating coating that covers the first insulating coating,
The first insulating coating is made of phosphoric acid and Fe, and the second insulating coating is a soft magnetic material containing phosphoric acid and the one or more atoms .
前記複合磁性粒子は、前記絶縁被膜の表面を被覆するSiを含む被膜をさらに有する、請求項に記載の軟磁性材料。 The soft magnetic material according to claim 1 , wherein the composite magnetic particle further has a coating film containing Si that covers a surface of the insulating coating film. 請求項1または2に記載の軟磁性材料を加圧成形することにより作製された圧粉磁心。 A dust core produced by pressure-molding the soft magnetic material according to claim 1 . Feを主成分とする金属磁性粒子と、前記金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、
前記金属磁性粒子を被覆する前記絶縁被膜を形成する工程を備え、
前記絶縁被膜を形成する工程は、
Feイオンとリン酸イオンとを含む化合物または溶液を前記金属磁性粒子に被覆処理することにより、第1絶縁被膜を形成する第1被覆工程と、
前記第1被覆工程後、Alイオン、Siイオン、Mnイオン、Tiイオン、Zrイオン、およびZnイオンよりなる群から選ばれる1種以上のイオンと、リン酸イオンとを含む化合物または溶液を前記第1絶縁被膜上に被覆処理することにより、第2絶縁被膜を形成する第2被覆工程とを含む、軟磁性材料の製造方法。
A method for producing a soft magnetic material comprising composite magnetic particles having metal magnetic particles containing Fe as a main component and an insulating film covering the metal magnetic particles,
Comprising the step of forming the insulating coating covering the metal magnetic particles,
The step of forming the insulating film includes
A first coating step of forming a first insulating film by coating the metal magnetic particles with a compound or solution containing Fe ions and phosphate ions;
After the first coating step, a compound or solution containing one or more ions selected from the group consisting of Al ions, Si ions, Mn ions, Ti ions, Zr ions, and Zn ions, and phosphate ions is added to the first coating step. A method for producing a soft magnetic material, comprising: a second coating step of forming a second insulating coating by coating the first insulating coating.
Feを主成分とする金属磁性粒子と、前記金属磁性粒子を被覆する絶縁被膜とを有する複合磁性粒子を含む軟磁性材料の製造方法であって、
前記金属磁性粒子を被覆する前記絶縁被膜を形成する工程を備え、
前記絶縁被膜を形成する工程は、
軟磁性粒子粉末を有機溶剤に分散した懸濁液中にリン酸溶液を加え、混合・攪拌することにより、第1絶縁被膜を形成する第1被覆工程と、
前記第1被覆工程後、リン酸と、Al、Si、Ti、およびZrよりなる群から選ばれる1種以上の原子を含有する金属アルコキシドの溶液を前記懸濁液中に加え、混合・攪拌することにより、第2絶縁被膜を形成する第2被覆工程とを含む、軟磁性材料の製造方法。
A method for producing a soft magnetic material comprising composite magnetic particles having metal magnetic particles containing Fe as a main component and an insulating film covering the metal magnetic particles,
Comprising the step of forming the insulating coating covering the metal magnetic particles,
The step of forming the insulating film includes
A first coating step of forming a first insulating film by adding a phosphoric acid solution to a suspension in which soft magnetic particle powder is dispersed in an organic solvent, and mixing and stirring;
After the first coating step, a solution of phosphoric acid and a metal alkoxide containing one or more atoms selected from the group consisting of Al, Si, Ti, and Zr is added to the suspension and mixed and stirred. Thus, the manufacturing method of a soft-magnetic material including the 2nd coating process which forms a 2nd insulating film.
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