JP4644037B2 - 洗浄剤 - Google Patents
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Description
表1の組成となるように洗浄剤を調製した。カオトロピックイオンとしては、SCN−またはI−を使用した。
◎:基板上にシミ、パーティクル、ムラが全く認められなく、洗浄表面も平滑的である
○:基板上にシミ、パーティクル、ムラが殆んど認められなく、洗浄表面もほぼ平滑的である
△:基板上にシミ、パーティクル、ムラが若干認められ、洗浄表面も多少荒れがある
×:基板上にシミ、パーティクル、ムラが相当数認められ、洗浄表面もかなり荒れている。
○:洗浄剤のpHを変えることにより、問題なく洗浄速度をコントロールできる
△:洗浄剤のpHを変えることにより、大まかに洗浄速度をコントロールできる
×:洗浄剤のpHを変えても、洗浄速度をコントロールできない
なお、洗浄速度は、各pHの洗浄剤を用いて一定時間洗浄を行ったあとに試料の電気伝導度を測定することにより評価した。洗浄速度が速いほど、金属膜がエッチングされ電気伝導度が小さくなる。
実施例1−4で使用した洗浄剤の代わりに、洗浄剤として表1に示す組成のものを用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で洗浄剤の洗浄力を評価した。結果を表1に示す。
TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム
NaOH:水酸化ナトリウム
NaSCN:チオシアン酸ナトリウム
NaI:ヨウ化ナトリウム
NaCl:水酸化ナトリウム
Triton X−100:ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル
Claims (4)
- 金属表面を有する物品あるいは装置、または金属が付着した物品あるいは装置を洗浄するための洗浄剤であって、アルカリ性化合物、カオトロピックイオン、及び水からなるpHが10以上の水溶液であることを特徴とする洗浄剤。
- カオトロピックイオンがSCN−、I−、ClO4 −、NO3 −またはBr−である請求項1に記載の洗浄剤。
- カオトロピックイオンの濃度が0.1モル/l以上である請求項1または2に記載の洗浄剤。
- 金属が付着した物品又は装置を請求項1に記載の洗浄剤を用いて洗浄することを特徴とする洗浄方法。
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