JP4631655B2 - 光伝送モジュール、光伝送モジュールの製造方法、光インターコネクション回路及び電子機器 - Google Patents
光伝送モジュール、光伝送モジュールの製造方法、光インターコネクション回路及び電子機器 Download PDFInfo
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この構成によれば、光素子から射出された光を全てコリメート光に変換することができるため、光配線の接続に関してコリメート光の光軸方向の位置合わせが不要になり、実質的に2次元の自由度で位置合わせを行なうことが可能になる。また、光素子と光配線との位置合わせを、光素子と回転放物面の焦点との位置合わせ、及び光配線とコリメート光の光軸との位置合わせ、の2つの工程に分けて行なうことができるため、光素子と光配線とをそれぞれ3次元の自由度で同時に調節しなければならない従来の方法に比べて、接続作業が格段に容易になる。
この構成によれば、単に光配線をガイド溝に嵌め込むだけで位置決めができるため、光配線の接続作業が非常に簡単になる。
この構成によれば、半導体基板の任意の位置に微小タイル状素子を取り付けることで、半導体基板の入出力信号を光信号に変換することができる。また、微小タイル状素子を非常に小さな形状(例えば、数百μm四方以下の面積と数十μm以下の厚さをもつもの)にすることで、非常にコンパクトな構成でありながら、従来よりも高速に信号処理することが可能になる。
この構成によれば、光反射面を備えた部材が、モジュール本体部をなす基板とは別に設けられるため、個々の部材の取り扱いが容易になり、歩留まりも向上する。また、このような部材は射出成形等で製造することができるため、光反射面に回転放物面の形状を精度良く形成したり、光素子が設置される面上に回転放物面の焦点を正確に配置させたりすることも容易である。この場合、光素子の位置の調節は当該部材の面上、すなわち当該面内の2軸方向の調節のみで行なうことができるため、調節作業が非常に簡単になる。
この方法によれば、光配線の接続に関してコリメート光の光軸方向の位置合わせが不要になり、また光素子と光配線との位置合わせを、光素子と回転放物面の焦点との位置合わせ、及び光配線とコリメート光の光軸との位置合わせ、の2つの位置合わせ工程に分けて行なうことができるため、光素子と光配線とをそれぞれ3次元の自由度で同時に調節しなければならない従来の方法に比べて、接続作業が格段に容易になる。
また、光反射面を備えた部材が、モジュール本体部をなす基板とは別に設けられるため、これらを一体に形成した場合に比べて、個々の部材の取り扱いが容易になり、歩留まりも向上する。また、このような部材は射出成形等で精度良く製造できるため、回転放物面の焦点を光素子の設置される面上に正確に配置することも容易であり、この場合には、光素子の配置位置の調節は当該部材の面上、すなわち当該面内の2軸方向の調節のみで行なうことができるため、調節作業が非常に簡単になる。
この方法によれば、確実に光素子を回転放物面の焦点に配置することができる。
この方法によれば、より簡単に光素子の配置作業を行なうことができる。
この方法によれば、より簡単に基板に部材を接合することができる。また、部材を嵌め込むための溝と、光配線を位置決めするための溝とが一体に形成されているので、より高い精度で光配線の光軸と回転放物面の中心軸との位置決めを行なうことができる。
この構成によれば、データ伝送効率の高い光インターコネクション回路及び電子機器を提供することができる。
なお、以下の各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせている。
[光伝送モジュール]
図1は、本発明の第1実施形態に係る光伝送モジュール1を用いた光インターコネクション回路を示す概略構成図である。図1(a)は、その要部を示す分解斜視図であり、図1(b)は、その要部の部分断面図である。
次に、光伝送モジュール1の製造方法について、図3及び図4を参照して説明する。
なお、本製造方法では、光素子61a,61bとして化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を用い、これを基板71となるシリコン・LSIチップ上に接合する場合について説明するが、半導体デバイスの種類及びLSIチップの種類は必ずしもこれに限定されない。また、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物質から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物質であれば「半導体基板」に含まれる。
図3は、光伝送モジュール1の製造方法の第1工程を示す概略断面図である。
本工程においては、上述シリコン・LSIチップを光伝送基板100に接合する。この工程においては、光素子61(面発光レーザ61a、フォトダイオード61b)が光反射面120における回転放物面の焦点Fに配置されるように、基板71の位置を調節する。
図4では、Z軸方向からカメラ300で観察し、光反射面120に光素子61の動作部13が結像するように、基板71の位置を調節している。この方法では、動作部13が発光素子又は受光素子のいずれであっても適用することが可能である。
以上により、光伝送モジュール1が完成したら、光伝送基板100のガイド溝130に光ファイバを設置する。
光ファイバは、図1(b)に示したコリメートレンズ180を備えたものを用いる。このような光ファイバは、例えば特開2005−128093号公報に開示された方法により製造することができる。具体的には、前述したスリーブ170に光ファイバを挿入し、固定する。そして、砲弾型のコリメートレンズ180の底面に透明接着剤を設け、スリーブ170に接着する。接着剤が硬化する前に、コリメートレンズ180のアライメントを行なう。コリメートレンズ180のアライメントは、レンズ面側から画像認識又は目視で行なう。また、光ファイバ側からレーザ光を伝送し、レンズ面側に波面計測器を置いて観察してもよい。砲弾型のレンズを用いるので、レンズ光軸とスリーブ170の軸は自動的に平行になる。
[光伝送モジュール]
図15は、本発明の第2実施形態に係る光伝送モジュール2を用いた光インターコネクション回路の要部を示す分解斜視図である。なお、第1実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
次に、光伝送モジュール2の製造方法について説明する。
まず、面発光レーザ61a及びフォトダイオード61bを設置するための透明部材500を製造する。透明部材500は、型抜き、型押し、射出成形、切削加工等によって製造することができる。これらの方法によれば、透明部材500の内部に所望の溝510を安いコストで精度良く形成することができる。溝510には、高反射率の光反射膜を形成する。光反射膜の形成は、スパッタ法、蒸着法、メッキ法、インクジェット法、スプレー法等の種々の方法を用いることができ、いずれの方法でも十分な反射率を有する光反射面120を形成することできる。ただし、透明部材500の界面の屈折率差が大きい場合には、光反射膜を形成しなくても当該界面で全反射を生じさせることができるため、この場合には、光反射膜を省略することができる。
図7では、光ファイバが配置される方向(Z軸方向)から光反射面520に対してコリメート光Lrを照射し、光反射面520で反射された光をカメラ300で観察しつつ、この光が焦点を結ぶ位置に光素子が配置されるように、光素子の位置を調節している。透明部材500の上面503にピントを合わせたカメラ300でY軸方向(光素子が配置される方向)から見ると、光が焦点を結ぶ位置Fが観察できるため、この焦点位置を基準にアライメントすれば、光素子の位置を正確に位置決めすることが可能である。
次に、上記光伝送モジュールを用いた光インターコネクション回路について説明する。
図19は、一般的な短距離の通信に上記実施形態の光伝送モジュールを用いた例を示す模式概念図である。パーソナルコンピュータ1001から出力された電気信号は、電気ケーブル1002を通って上記実施形態の光伝送モジュール2000に伝送される。この電気信号は、光伝送モジュール2000において光信号に変換されて光ファイバー150(150a,150b)へ出力される。この光信号は、光ファイバー150を通って通信相手の光伝送モジュール2000に伝送される。この光信号は、光伝送モジュール2000において電気信号に変換されて、インターネット、LAN、プロジェクター又は外部モニタなどの周辺機器などへ出力される。なお、これらの信号の流れと逆方向へも上記と同様にして信号を伝送することができる。
次に、上記光伝送モジュールを備えた電子機器について説明する。
図10は、ノート型パーソナルコンピュータの構成要素として上記実施形態の光伝送モジュールを用いた例を示す模式概念図である。ノート型パーソナルコンピュータ1001は、CPU1011とビデオコントローラ1012と一対の光伝送モジュール2000と光ファイバ150(150a,150b)とディスプレイ1013とを有して構成されている。CPU1011から出力された画像を示す信号は、ビデオコントローラ1012に入力されて所望の画像信号に変換される。この画像信号は、ノート型パーソナルコンピュータ1001の本体側(キーボード側)に配置されている光伝送モジュール2000に入力されて光信号に変換され、光ファイバ150へ出力される。この光信号は、光ファイバ150を通って、ノート型パーソナルコンピュータ1001の蓋側(ディスプレイ側)に配置されている光伝送モジュール2000に入力されて電気信号に変換され、ディスプレイ1013へ出力される。これらにより、CPUから出力された画像を示す信号に対応する画像がディスプレイ1013に表示される。
Claims (7)
- 光配線を介して光信号の送信又は受信を行なう光伝送モジュールであって、
基板と、
前記光信号を送信又は受信可能な光素子と、
前記光素子と前記光配線との間の光路上に設けられた光反射面とを有し、
前記光反射面は回転放物面の形状を有し、
前記回転放物面の焦点に前記光素子が配置され、
前記基板が、前記光配線の光軸を前記回転放物面の中心軸と平行な方向に位置決めするためのガイド溝と、前記ガイド溝の一端側に設けられた嵌合用の溝とを有しており、
前記光反射面が、前記基板とは異なる部材に形成されており、
前記部材が、前記嵌合用の溝に嵌め込まれており、
前記部材が、前記光信号に対して透明性を有する部材からなり、
前記部材の所定の面に、前記光反射面を形成するための前記回転放物面の形状を有する溝が設けられ、
前記部材の前記所定の面とは反対側の面であって前記光反射面と対向する位置に、前記光素子が接合されており、
前記部材は、前記所定の面を前記基板と対向させて前記嵌合用の溝に嵌め込まれており、
前記部材の前記光素子が接合された面と前記基板の前記嵌合用の溝が形成されていない面とは連続した平面となっており、
前記部材は、前記光素子が接合された面に、前記光素子と接続された第1のパッドを有し、前記基板は、前記嵌合用の溝が形成されてない面に第2のパッドを有し、前記第1のパッドと前記第2のパッドは金属配線で接続されていることを特徴とする光伝送モジュール。 - 光配線を介して光信号の送信又は受信を行なう光伝送モジュールの製造方法であって、
前記光信号を送信又は受信可能な光素子を、前記光信号に対して透明性を有し、且つ内部に回転放物面の形状を有する光反射面を備えた部材上に接合する工程と、
前記部材を、前記光配線が接続される基板に接合する工程とを有し、
前記光素子の接合工程においては、前記部材として、前記光反射面と対向する面上に前記回転放物面の焦点を有する部材を用い、前記面上の前記焦点の位置に前記光素子が配置されるように、前記光素子の位置を調節し、
前記部材の接合工程においては、前記基板として、前記光配線の光軸を前記回転放物面の中心軸と平行な方向に位置決めするためのガイド溝と、前記ガイド溝の一端側に設けられた嵌合用の溝とを有する基板を用い、前記部材の前記光素子が接合された面と対向する面を前記基板と対向させて前記部材を前記嵌合用の溝に嵌め込むことにより、前記部材を前記基板に接合し、
前記部材の前記光素子が接合された面と前記基板の前記嵌合用の溝が形成されていない面とは連続した平面となっており、
前記部材は、前記光素子が接合された面に、前記光素子と接続された第1のパッドを有し、前記基板は、前記嵌合用の溝が形成されてない面に第2のパッドを有し、前記第1のパッドと前記第2のパッドは金属配線で接続されることを特徴とする光伝送モジュールの製造方法。 - 前記光素子の接合工程においては、前記光配線が配置される方向から前記光反射面に対してコリメート光を照射し、前記光反射面で反射された前記コリメート光を観察しつつ、前記コリメート光が焦点を結ぶ位置に前記光素子が配置されるように、前記光素子の位置を調節することを特徴とする請求項2記載の光伝送モジュールの製造方法。
- 前記光素子の接合工程においては、前記部材に予めアライメントマークを形成しておき、前記アライメントマークを基準として、前記光素子の位置を調節することを特徴とする請求項2記載の光伝送モジュールの製造方法。
- 請求項1に記載の光伝送モジュールを備えたことを特徴とする光インターコネクション回路。
- 前記ガイド溝には、コリメータレンズと前記光配線とが接続されたスリーブが配置されていることを特徴とする請求項5記載の光インターコネクション回路。
- 請求項1に記載の光伝送モジュールを備えたことを特徴とする電子機器。
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