JP4628419B2 - 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に従う微小構造体の検査システム1の概略構成図である。
図2に示されるように、基板10に形成されるチップTPには、複数のパッドPDがその周辺に配置されている。そして、電気信号をパッドに対して伝達あるいはパッドから伝達するために金属配線が設けられている。そして、中央部には、クローバ型を形成する4つの重錐体ARが配置されている。
図3を参照して、この3軸加速度センサはピエゾ抵抗型であり検出素子であるピエゾ抵抗素子が拡散抵抗として設けられている。このピエゾ抵抗型の加速度センサは、安価なICプロセスを利用することができるとともに、検出素子である抵抗素子を小さく形成しても感度低下がないため、小型化・低コスト化に有利である。
図5(a)は、X(Y)軸におけるホイートストンブリッジの回路構成図である。X軸およびY軸の出力電圧としてはそれぞれVxoutおよびVyoutとする。
図6に示されるようにセンサをX,Y,Z軸周りに回転させX,Y,Z軸それぞれのブリッジ出力をデジタルボルトメータで測定したものである。センサの電源としては低電圧電源+5Vを使用している。なお、図6に示される各測定点は、各軸出力のゼロ点オフセットを算術的に減じた値がプロットされている。
図7に示される入出力関係は、図6の傾斜角の余弦からX,Y,Z軸にそれぞれ関わっている重力加速度成分を計算し、重力加速度(入力)とセンサ出力との関係を求めてその入出力の線形性を評価したものである。すなわち加速度と出力電圧との関係はほぼ線形である。
図8に示されるようにX,Y,Z軸それぞれのセンサ出力の周波数特性は、一例として3軸ともに200Hz付近まではフラットな周波数特性を示しておりX軸においては602Hz、Y軸においては600Hz、Z軸においては883Hzにおいて共振している。
図10に示されるように2つの領域A,Bが示されている。具体的には、共振周波数領域Aと、非共振周波数領域Bが示されている。
各々の音源であるスピーカ2a,2bによるP点の速度ポテンシャルは、2πdsinθ/λの位相差がある。
本例においては、音源N=64、d/λ=2である。この場合には、θ=0以外にも(d/λ)sinθ=1を満足する角度(d/λ=sinθ)があると、その方向だけ音波が強く放射される。
上記の実施の形態1においては、音源の間隔を調整することにより、合成音場が最大となるように調整する場合について説明した。本実施の形態2においては、複数の音源において、各音源から出力される音波が可動部に到達する時刻を同一時刻に設定する方式いわゆるビームフォーカシングとも呼ばれる方式について説明する。
図21に示されるように中央部の回転部と、その外側の回転枠部と、回転枠部の外側の外周部とで構成されており、中央部の回転部およびその外側の回転枠部とは、それぞれ異なる回転軸で回転することが可能である。
上記の実施の形態2においては、マニピュレータ等の機械的方式に従って複数の音源位置を調整する方式について説明したが、本実施の形態3においては、簡易な方式に従って複数の音源の音源位置を調整可能な方式について説明する。
図23を参照して、本発明の実施の形態3に従うスピーカ部ARYは、行列状に配置された複数のスピーカユニットSPUと図示しないがスピーカユニットSPUのオン/オフを制御するためのスイッチ部とを含む。一例として、各スピーカユニットSPUの互いの距離は間隔dに設定されているものとする。
図24を参照して、ここでは、2×2のスピーカユニットの上面部の配線構造が示されている。一例としてここでは、スピーカユニットSPU1〜SPU4が示されている。
図25は、スピーカユニットSPUの断面構造図である。
図26を参照して、陽極酸化処理にあたっては、半導体基板40の陽極酸化処理の対象となる表面の部位の周囲にシール材を用いて外壁41を設け、その外壁の内側に電解液45を注入して、当該処理対象の表面の部位が電解液45に触れるように構成される。
図30は、本発明の実施の形態3の変形例に従う複数のスピーカユニットSPUの選択を説明する別の図である。
Claims (11)
- 基板上に形成された可動部を有する、少なくとも1つの微小構造体の特性を評価する微小構造体の検査装置であって、
テスト時において前記微小構造体に対して音波を出力する音波発生部を備え、
前記音波発生部は、
各々が前記音波を出力する複数の音源と、
前記複数の音源から出力される音波の合成波を所定のテスト音波に調整するための調整部とを有し、
前記テスト音波に応答した前記微小構造体の可動部の動きを検出し、検出結果に基づいて前記微小構造体の特性を評価するための評価部とをさらに備え、
各前記音源は、熱導電性の基板と、前記基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される発熱体とを含み、前記発熱体と周囲の空気との間の熱交換により音波を発生させる熱音響エンジンで構成される、微小構造体の検査装置。 - 前記複数の音源のそれぞれから前記可動部までの距離差が前記音波の波長の整数倍となるように前記複数の音源が配置される、請求項1記載の微小構造体の検査装置。
- 前記複数の音源のそれぞれから出力される前記音波が前記可動部に到達する時刻が等しくなるように設定される、請求項1記載の微小構造体の検査装置。
- 前記複数の音源は、等間隔に配置され、前記複数の音源の駆動時間を所定時間ずつ遅らせて前記音波を出力する、請求項3記載の微小構造体の検査装置。
- 前記微小構造体は、加速度センサおよび角速度センサの少なくとも一方に相当する、請求項1記載の微小構造体の検査装置。
- 前記加速度センサおよび角速度センサは、多軸加速度センサおよび多軸角速度センサのにそれぞれ相当する、請求項5記載の微小構造体の検査装置。
- 前記調整部は、指示に応答して前記複数の音源の位置を制御するための位置制御部を含み、
各前記音源は移動可能である、請求項1記載の微小構造体の検査装置。 - 前記複数の音源は、アレイ状に設けられ、
前記調整部は、前記複数の音源のオン/オフを制御するためのスイッチ部を含み、
前記アレイ状に設けられた前記複数の音源は、指示に応答した前記スイッチ部のスイッチ動作に従って選択される、請求項1記載の微小構造体の検査装置。 - 前記複数の音源は、前記熱導電性の同一基板にそれぞれ半導体プロセスにより一括して形成される、請求項1記載の微小構造体の検査装置。
- 基板上に形成された可動部を有する、少なくとも1つの微小構造体の特性を評価する微小構造体の検査方法であって、
テスト時において、
各音源が、熱導電性の基板と、前記基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される発熱体とを含み、前記発熱体と周囲の空気との間の熱交換により音波を発生させる熱音響エンジンで構成された、複数の音源から出力される音波の合成波を所定のテスト音波に調整して出力するステップと、
前記テスト音波に応答した前記微小構造体の可動部の動きを検出し、検出結果に基づいて前記微小構造体の特性を評価するステップとを備える、微小構造体の検査方法。 - 基板上に形成された可動部を有する、少なくとも1つの微小構造体の特性を評価する微小構造体の検査プログラムであって、
テスト時において、
各音源が、熱導電性の基板と、前記基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される発熱体とを含み、前記発熱体と周囲の空気との間の熱交換により音波を発生させる熱音響エンジンで構成された、複数の音源から出力される音波の合成波を所定のテスト音波に調整して出力するステップと、
前記テスト音波に応答した前記微小構造体の可動部の動きを検出し、検出結果に基づいて前記微小構造体の特性を評価するステップとを備える、微小構造体の検査方法をコンピュータに実行させる、微小構造体の検査プログラム。
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Families Citing this family (35)
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JP5121202B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2013-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカードおよび微小構造体の検査装置 |
US20090095095A1 (en) * | 2006-11-02 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Limited | Microstructure inspecting apparatus, microstructure inspecting method and substrate holding apparatus |
JP4954729B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2012-06-20 | 株式会社竹中工務店 | コンクリート杭の健全性評価支援装置、健全性評価支援方法及び健全性評価支援プログラム |
KR20100095560A (ko) | 2007-11-26 | 2010-08-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 미소 구조체 검사 장치 및 미소 구조체 검사 방법 |
US7973547B2 (en) | 2008-08-13 | 2011-07-05 | Infineon Technologies Ag | Method and apparatus for detecting a crack in a semiconductor wafer, and a wafer chuck |
DE102008054408A1 (de) * | 2008-12-09 | 2010-06-10 | Robert Bosch Gmbh | Messbrücke, Messeinheit und drehbar gelagerter Spiegel |
CN101876674B (zh) * | 2009-04-30 | 2012-11-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 特性阻抗测试系统及方法 |
TWI419575B (zh) * | 2009-08-19 | 2013-12-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 熱致發聲裝置及其製備方法 |
US8762091B1 (en) * | 2010-06-08 | 2014-06-24 | Thales Visionix, Inc. | Inertial measurement system |
DE102010037397A1 (de) * | 2010-09-08 | 2012-03-08 | Miele & Cie. Kg | Haushaltgerät, insbesondere grifflose Geschirrspülmaschine |
WO2012148390A1 (en) * | 2011-04-27 | 2012-11-01 | Empire Technology Development Llc | Measurement of 3d coordinates of transmitter |
WO2013035952A1 (en) | 2011-09-07 | 2013-03-14 | Lg Electronics Inc. | Mobile terminal, image display device mounted on vehicle and data processing method using the same |
CN103136084A (zh) * | 2011-12-01 | 2013-06-05 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 模拟测试卡 |
TW201338571A (zh) * | 2012-03-06 | 2013-09-16 | Askey Technology Jiangsu Ltd | 聲音品質檢測裝置 |
US9372111B2 (en) * | 2012-08-21 | 2016-06-21 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Acoustic sensor |
CN103841506B (zh) | 2012-11-20 | 2017-09-01 | 清华大学 | 热致发声器阵列的制备方法 |
CN103841507B (zh) | 2012-11-20 | 2017-05-17 | 清华大学 | 热致发声装置的制备方法 |
CN103841500B (zh) * | 2012-11-20 | 2018-01-30 | 清华大学 | 热致发声装置 |
CN103841482B (zh) * | 2012-11-20 | 2017-01-25 | 清华大学 | 耳机 |
WO2014138300A1 (en) | 2013-03-06 | 2014-09-12 | Tiskerling Dynamics Llc | System and method for robust simultaneous driver measurement for a speaker system |
FR3014094B1 (fr) * | 2013-11-29 | 2016-01-22 | Commissariat Energie Atomique | Systeme mecanique micro-usine (nems) avec resistances d'adaptation |
US9360418B2 (en) * | 2014-07-17 | 2016-06-07 | The Boeing Company | Nondestructive inspection using hypersound |
DE102014112841A1 (de) | 2014-09-05 | 2016-03-10 | USound GmbH | MEMS-Lautsprecheranordnung mit einem Schallerzeuger und einem Schallverstärker |
US10134649B2 (en) | 2016-01-06 | 2018-11-20 | International Business Machines Corporation | Scanning acoustic microscope sensor array for chip-packaging interaction package reliability monitoring |
WO2017199542A1 (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-23 | 株式会社東芝 | 構造物評価システム、構造物評価装置及び構造物評価方法 |
CN106813886A (zh) * | 2017-01-11 | 2017-06-09 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种模拟gpu机械冲击振动治具 |
GB2560878B (en) | 2017-02-24 | 2021-10-27 | Google Llc | A panel loudspeaker controller and a panel loudspeaker |
KR102120756B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2020-06-09 | 퓨처메인 주식회사 | 실시간 진동 분석을 이용한 회전기계의 자동진단방법 |
KR102120753B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2020-06-09 | 퓨처메인 주식회사 | 진동 특성 분석을 이용한 공구 수명 예측 방법 |
EP3654041B1 (en) * | 2018-11-16 | 2022-10-19 | Siemens Industry Software NV | Volume acceleration sensor calibration |
CN109612660B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-02-18 | 大连理工大学 | 一种动态特性测试的超声波激励装置及其工作方法 |
CN109668703B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-02-18 | 大连理工大学 | 一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法 |
CN109682558B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-05-19 | 大连理工大学 | 一种动态特性测试的激波聚焦激励装置及其工作方法 |
CN109668702B (zh) * | 2018-12-17 | 2020-02-21 | 大连理工大学 | 一种加载高温环境的压电式激励装置及其工作方法 |
US20220408185A1 (en) * | 2021-06-17 | 2022-12-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Acoustic devices with feedback control of acoustic resistance |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5120892A (ja) * | 1974-08-12 | 1976-02-19 | Nissan Motor | |
JPS61207964A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 反射音波による物体検査装置 |
JPH0267956A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 電子部品のリード・オープン不良検出装置 |
JPH0933500A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 超音波ビームの指向性制御方法および超音波探傷装置 |
JPH112643A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Denso Corp | 加速度センサの周波数特性検査装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0534371A (ja) | 1991-07-31 | 1993-02-09 | Tokai Rika Co Ltd | 半導体加速度センサの感度測定装置 |
US6651504B1 (en) * | 1999-09-16 | 2003-11-25 | Ut-Battelle, Llc | Acoustic sensors using microstructures tunable with energy other than acoustic energy |
US6595058B2 (en) * | 2001-06-19 | 2003-07-22 | Computed Ultrasound Global Inc. | Method and apparatus for determining dynamic response of microstructure by using pulsed broad bandwidth ultrasonic transducer as BAW hammer |
US6836336B2 (en) * | 2002-10-08 | 2004-12-28 | Bechtel Bwxt Idaho, Llc | Inspection system calibration methods |
US20050253571A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | MEMS waveform generator and adiabatic logic circuits using the same |
JP4387987B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2009-12-24 | 株式会社オクテック | 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム |
JP4573794B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2010-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカードおよび微小構造体の検査装置 |
US7732241B2 (en) * | 2005-11-30 | 2010-06-08 | Semiconductor Energy Labortory Co., Ltd. | Microstructure and manufacturing method thereof and microelectromechanical system |
US20090095095A1 (en) * | 2006-11-02 | 2009-04-16 | Tokyo Electron Limited | Microstructure inspecting apparatus, microstructure inspecting method and substrate holding apparatus |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5120892A (ja) * | 1974-08-12 | 1976-02-19 | Nissan Motor | |
JPS61207964A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 反射音波による物体検査装置 |
JPH0267956A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 電子部品のリード・オープン不良検出装置 |
JPH0933500A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 超音波ビームの指向性制御方法および超音波探傷装置 |
JPH112643A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Denso Corp | 加速度センサの周波数特性検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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