JP4626424B2 - 単結晶引上げ装置 - Google Patents
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Description
従来の単結晶引上げ装置1’は、チョクラルスキー法(CZ法)によって原料融液20’から単結晶19’を成長させ、引上げるものであって、メインチャンバー2’内に、多結晶原料を収容するルツボ3’、該ルツボ3’の周囲にヒータ5’が配置され、さらにヒータ5’の周囲に断熱材6’等を収納して構成されている。また、ルツボ3’は支持軸4’で支えられ、モータ25’により回転することができる。メインチャンバー2’の上端には引上げられた単結晶19’を取り出すためのプルチャンバー8’が接続されている。そして、メインチャンバー2’の上端部とプルチャンバー8’との間には、メインチャンバー2’の上端の開口部を開閉するアイソレーションバルブ7’が設けられている。また、プルチャンバー8’上方には、先端に種保持具13’が取りつけられたワイヤ12’を巻き上げるための巻上ドラム11’を収容するボックス10’、すなわち巻上装置9’が設けられている。
このように、プルチャンバーの内部に固定され、前記バーを載せて支持する凹部を有するバー支持具を具備するものであれば、開口部に向かって倒れてきた単結晶を支持するバーへの荷重は主に水平方向にかかり、上方向にはかからないので、荷重のかかったバーを支持具の凹部で支持することができ、単結晶を開口部より外部に倒れさせることなく、確実にプルチャンバー内に留めておくことができる。
また、このようなバー支持具であれば、バーを支持具の凹部から簡単に取り外しをすることが可能であるので、低コストで高い安全性を確保することができる。
このように、プルチャンバーが、前記バーを収納するバー収納部と、該バー収納部から前記バーを出し入れするバー出し入れ手段を具備するものであれば、高温、高重量の単結晶に近づかないでバーの出し入れの操作ができるので、便利でありかつより高い安全性を確保することができる。
このように、前記バー出し入れ手段がエアー駆動によるものであれば、バー出し入れの操作負担が軽減し、操作がより確実なものとなる。
従来の単結晶引上げ装置では、成長して引上げられてプルチャンバー内に格納された単結晶の取り出しを行う際に、横方向の応力やねじれ応力により、結晶直径の細い部分やワイヤが破断してしまい、単結晶がプルチャンバーの開口部から外部に倒れてしまう可能性があった。
まず、図1は本発明の単結晶引上げ装置の一例を示す断面概略図である。この単結晶引上げ装置1は、ステンレス製のメインチャンバー2とプルチャンバー8を有しており、アイソレーションバルブ7を介して両チャンバー2、8は連接されている。
そして、本発明では、プルチャンバー8の内部に、単結晶が外部に倒れるのを防止するためのバー21が水平に配置されている。バー21の材質は例えばステンレスが好適であるが、高純度で耐熱性に優れ、結晶重量に耐えることができる材質であれば構わない。
さらに、単結晶19の長さは1〜3m程度であるので、この単結晶19の中央部より上方を支持できるようバー21が設置されていることが好ましい。単結晶19が長い場合には、バー21を複数用意して設置することが好ましい。
図2は本発明の単結晶引上げ装置のプルチャンバーの一例を示す正面概略図である。また、図3はバーを配置したプルチャンバーの一例を示す平面図であり、図4は別のプルチャンバーの一例を示す平面図である。図5の(a)は、バー支持具がバーを支持する様子を示す平面図、及び(b)は(a)のA矢視図である。そして図6では、絞り部分が破断し、倒れかかった単結晶をバーが支持している様子を示している。
上記荷重は一例であるが、このような荷重に耐えられることができるようなバー21およびバー支持具27であればよく、上述したように、特に限定されるものではないことを再度述べておく。
そして、図2に示すように、単結晶19が例えば長い場合には、バー21を複数設置することにより、より安全に、確実に外部に倒れるのを防止することが可能である。バー21の設置する数は、例えば、1〜10本とすることができ、単結晶19の長さや重量等から適宜判断すれば良い。
そして、凹部30にバー21を載せるような構造であるため、バー21を極簡単に設置したり、取り外しをすることができ、コストをかけることなく高い安全性を確保することが可能である。
そして、この出し入れ手段29をエアー駆動によるものとすることができ、自動で出し入れしてもよい。本例ではエアシリンダーを用いたが、これにより例えば手動に比べて簡便で作業負担が軽減されるとともに、確実にバー21の出し入れを行うことが可能である。
2、2’…メインチャンバー、 3、3’…ルツボ、
4、4’…支持軸、 5、5’…ヒータ、 6、6’…断熱材、
7、7’…アイソレーションバルブ、 8、8’…プルチャンバー、
9、9’…巻上装置、 10、10’…ボックス、
11、11’…巻上ドラム、 12、12’…ワイヤ、
13、13’…種保持具、 14、14’…種結晶、
16、16’…ガス供給管、 18、18’…ガス排気管、
19、19’…単結晶、 20、20’…原料融液、
21、21’…バー、 22…バー収納部、 23…プルチャンバー開口部、
24…プルチャンバードア、 25、25’…モータ、
27…バー支持具、 28…シール、 29…バー出し入れ手段、
30…凹部、 F…単結晶からバーにかかる荷重、
W…単結晶の重量、 θ…単結晶の鉛直方向に対する傾き角度。
Claims (3)
- 少なくとも、ルツボを収納するメインチャンバーと、該メインチャンバーの上部にアイソレーションバルブを介して連接され、成長した単結晶を取り出すための開口部を側壁に有するプルチャンバーを備えた単結晶引上げ装置であって、前記プルチャンバーの内部に、少なくとも1つ以上のバーを具備し、該バーは前記開口部と前記単結晶の間に配置されており、前記開口部から外部に倒れようとする単結晶を支持することができ、前記プルチャンバーは、前記バーを収納するバー収納部と、該バー収納部から前記バーを出し入れするバー出し入れ手段を具備するものであることを特徴とする単結晶引上げ装置。
- 前記プルチャンバーの内部に固定され、前記バーを載せて支持する凹部を有するバー支持具を具備するものであることを特徴とする請求項1に記載の単結晶引上げ装置。
- 前記バー出し入れ手段がエアー駆動によるものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の単結晶引上げ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005200774A JP4626424B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 単結晶引上げ装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005200774A JP4626424B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 単結晶引上げ装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007015899A JP2007015899A (ja) | 2007-01-25 |
JP4626424B2 true JP4626424B2 (ja) | 2011-02-09 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200774A Active JP4626424B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 単結晶引上げ装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4626424B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4893441B2 (ja) * | 2007-04-17 | 2012-03-07 | 信越半導体株式会社 | 単結晶取出し装置 |
JP6122685B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2017-04-26 | 三菱マテリアルテクノ株式会社 | 粉塵除去装置及び粉塵除去方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003048532A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-18 | Seiko Epson Corp | 搬送装置 |
JP2003238288A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | インゴット取出治具 |
JP2004243031A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Koichi Muramatsu | ハーブ製品用キット |
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---|---|---|---|---|
JP2003048532A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-18 | Seiko Epson Corp | 搬送装置 |
JP2003238288A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | インゴット取出治具 |
JP2004243031A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Koichi Muramatsu | ハーブ製品用キット |
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---|---|
JP2007015899A (ja) | 2007-01-25 |
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