JP4624556B2 - 高分解能荷電粒子エネルギー検出ミラー分析システム及びその使用方法 - Google Patents
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Description
本発明は、概して、荷電粒子エネルギーを検出する円筒ミラー分析計に関し、詳細には、特定バンドのエネルギーを有する荷電粒子を、1つの段のみが使用される場合に可能なものと比べて改善された分解能で検出することができる、容易に位置決め可能な、コンパクト型・高分解能荷電粒子エネルギー検出・連続複段式伸縮自在型小径円筒ミラー分析システムに関する。
【0001】
(背景技術)
特定のエネルギー(すなわち、粒子エネルギー)を有する荷電粒子の検出を可能とするための円筒ミラー分析計の使用は、公知である。一般的に、円筒ミラー分析計は、これに受入角度範囲内の角度で入った一定のエネルギー範囲内のエネルギーを伴う荷電粒子(この一定のエネルギー範囲外のエネルギーを伴う荷電粒子ではない。)が、これから出て、検出器に導かれるようにする。円筒ミラー分析計を通過した荷電粒子の検出器における存在は、その荷電粒子が一定のエネルギー範囲内のエネルギーを有しており、かつ、円筒ミラー分析計に対して受入角度範囲内の角度で入ったことの“カウント的”表示である。操作パラメータ(例えば、後述する印加電圧)は、ユーザにより調節可能であり、よって、比較的に固定されたジオメトリの円筒ミラー分析システムを通過した後に検出することができる“エネルギー−荷電粒子−導入角度”の組合せを選択することが可能である。
【0002】
円筒ミラー分析計が、一般的には、有限長さの、伸長された、同心の、本質的に管状の2つの(すなわち、外側及び最中心の)要素を含んで構成され、典型的には、これら2つの有限長さの伸長された同心の本質的管状要素は、関数的な、本質的には、等しい長さであることは、本発明の理解を助けるために理解すべきである。これら2つの伸長された同心の本質的管状要素のそれぞれは、必要ではないが好ましくは、その断面が本質的に環状であり、同心の本質的管状最中心要素は、荷電粒子が、使用時においてこの同心の本質的管状最中心要素の第1及び第2の端部の孔を夫々通過して、前記外側及び最中心の伸長された同心の本質的管状要素の間に形成される環状空間に入りかつ出ることができるように、その長手方向に関して反対側の両端部近傍に管状壁を貫通する孔を有する。
【0003】
外側及び最中心の同心の本質的管状要素の間には、これらの間の前記形成された環状空間に電界が作用し、前記伸長された同心の本質的管状最中心要素の管状壁の第1の端部を貫通する前記孔を介して、あるエネルギーに関連した速度及び軌道角度でこの環状空間に入った荷電粒子が、この環状空間を介する及びその外部におけるそれらの更なる軌道を案内されるように、電圧が印加される。2つの伸長された同心の本質的管状要素の印加電圧(及び、大まかには、前記第1の孔から本質的管状最中心要素の壁部を貫通する第2の孔までの距離)により決定される範囲内のエネルギー(すなわち、速度)を有して入った荷電粒子は、外側及び最中心の本質的管状要素の間の前記環状空間を、伸長された同心の本質的管状最中心要素の長手方向に関して反対側の(例えば、第2の)端部において、この伸長された同心の本質的管状最中心要素の壁部を貫通する第2の孔を介して出るように、案内される。一般的には、荷電粒子を検出するための検出器が配設され、この出た荷電粒子を捕らえる。環状空間に入らなかったか、受入角度範囲外の角度で入ったか又は“検出”範囲(印加電圧と、伸長された同心の本質的管状最中心要素の壁部を貫通する前記第1及び第2の孔の間の距離とにより決定される。)外のエネルギーを有する荷電粒子は、この伸長された同心の本質的管状最中心要素の前記反対側の(すなわち、第2の)長手方向端部において前記壁部を貫通する前記孔を介して環状空間を出るために、それらの軌道を案内されることはない。代わりに、そのような“検出”範囲外のエネルギーを有する荷電粒子などは、典型的には、例えば、伸長された同心の本質的管状外側要素の本質的に管状の壁部の内表面や、あるいは、伸長された同心の本質的管状最中心要素の本質的に管状の壁部の外表面に衝突する。荷電粒子が受入角度範囲内の入口軌道角度を有すると仮定すれば、検出”範囲内のエネルギー(すなわち、質量、荷電量及び速度)を有しかつ同一性のある環状空間に入った粒子のみが、円筒ミラー分析計を通過して示された検出器に到達することを、期待することができる。また、ある一定の荷電量の荷電粒子を検出するために検出器に案内される荷電粒子のエネルギーの“検出”範囲は、2つの(外側及び最中心の)同心の本質的管状要素に印加される電圧及びその結果として前記環状空間に形成される電界の調節により、ユーザが容易に決定することができる。このことは、2つの(外側及び最中心の)同心の本質的管状要素に印加される電圧が実用範囲を超えて連続的に調節可能であるので、伸長された同心の本質的管状最中心要素の壁部の第1及び第2の孔の間の固定された物理的距離とは、適度な範囲で拘わりない問題である。荷電粒子は、質量と関連を有しており、また、ある電界中を移動する荷電粒子の軌跡は、その荷電粒子の質量により影響を受けるため、円筒ミラー分析計は、飛行時間型分圧真空計と同様な、荷電度合いが知られている場合の質量分析計としても採用することができることに留意される。
【0004】
円筒ミラー分析計により分析可能な高エネルギー荷電粒子の代表的な無限ソースは、オージェ光電子放出と、低エネルギー陽イオン散乱システムとを含む。つまり、陽電荷及び陰電荷を伴う双方の粒子を検出することが可能である。荷電粒子の特に適切なソースは、電子、光子及びイオンのビームなどの高エネルギー励起源により衝撃されるようにした材料サンプルシステムである。この衝撃する粒子、すなわち、光子と、材料サンプルシステムとの間の相互作用の結果として、荷電粒子は、この材料サンプルシステムから放出される。
【0005】
近年までは、典型的な公知の円筒ミラー分析計は、大規模で扱い難く、また、固定して設置するか又はかさばる位置制御装置に設置する必要があった。このことは、高分解能荷電粒子エネルギー検出を達成するには、大径の伸長された同心の本質的管状要素(すなわち、外側及び最中心)が不可欠であると考えられていたゆえの問題であった。しかしながら、Dowben等に対する1996年の特許第5541410号は、直径及び寸法が比較的に減少された単一通路式円筒ミラー分析計を開示しており、この寸法の減少された単一通路式円筒ミラー分析計は、この寸法の減少された単一通路式円筒ミラー分析計の、検出されるべき荷電粒子(この荷電粒子のエネルギーが調査される。)が存在する位置への差込み及びその位置からの引出しが、例えば、蛇腹式線形動作フィードスルー手段を利用して容易に遂行されうるように、フランジ装着型線形動作フィードスルーに容易に取り付けることができる。この場合の調整は、当時存在していた円筒ミラー分析システムに対して主要な利点及び改善を提供することに留意されている。さらに、‘410号特許に記載されているシステムにおける典型的な外側及び最中心の同心の本質的管状要素は、同心の本質的管状外側要素について30〜50mmの範囲内であり、同心の本質的管状最中心要素について15〜40mmの範囲内である。‘410号特許の円筒ミラー分析システムの長さは、およそ45mmであると記載されている。‘410号特許のシステムは、単一通路式円筒ミラー分析計の長手方向位置に関して42度18.5分の最適な受入角度に方向付けられた軌道に沿って入る荷電粒子を受けるために、寸法が設定されていることにも留意されている。さらに、‘410号特許の単一通路式円筒ミラー分析システムは、外側及び最中心の有限長さの伸長された同心の本質的管状要素の第1及び第2の端部にほぼ一致するように配置された第1及び第2の端部を有する円筒ハウジングをさらに含んで構成され、この円筒ハウジングは、前記同心の本質的管状外側要素の外側かつその周囲に、同中心的に配置されることに留意されている。円筒ハウジングは、その第1の端部において、荷電粒子の進入を許容するために設けられるアパーチャを有して提供される、典型的には、円錐状のキャップをさらに含んで構成されている。‘410号特許の単一通路式円筒ミラー分析計の第2の端部においては、荷電粒子が進入することができる位置に伸縮自在な単段式円筒ミラー分析システムを操作する際に使用するためのマニピュレータが設けられている。このマニピュレータは、使用時において蛇腹式線形動作フィードスルーに取り付けることができ、また、全体的なアセンブリは、コンフラット式フランジを含め、70〜200mmの範囲の直径を有する真空フランジに装着することが可能である。
【0006】
上記‘410号特許の寸法が減少された単段式の単一通路式円筒ミラー分析計の利益は、(真空系におけるその取付け及び位置決めの容易さに焦点を当てれば)顕著であるが、その使用により典型的に達成されうるよりも高い荷電粒子エネルギー検出分解能が望まれることが分かっている。本発明は、単段式の、コンパクトな、小径の、伸縮自在な円筒ミラー分析計が採用される場合に可能なものと比べて改善された分解能で荷電粒子エネルギーの検出を行う、コンパクトで、小径で、高い荷電粒子エネルギー検出分解能の、“複数の連続した段の”伸縮自在型円筒ミラー分析システムにより、上記高い荷電粒子エネルギー検出分解能が達成されることを教示する
さらに、それ程妥当ではないが、‘410号特許において引用されている公知特許には、Gerlach等及びGerlachに夫々発行された特許第4048498号及び第4205226号、Frohn等に発行された特許第5099117号がある。
【0007】
比較的には適当でないが、本発明者が認識している他の特許は、Watsonに発行された特許第3783280号である。このWatsonの‘280号特許には、図5が、一対の内側(62)及び外側(63)の同軸円筒管状電極が設けられた典型的な円筒ミラー二重通路構造を示すことが、特に明らかにされている。荷電粒子が通過することのできる複数の孔(61)、(65)、(68)及び(69)が、連続的な内側の円筒管状電極に設けられていることに留意される。図5の全体的な構造を通過する荷電粒子は、ほぼ完全な正弦状サイクルの軌跡をたどること、及び、そのような荷電粒子は、孔(61)又は孔(68)を介して入ったために、内側の(62)及び外側の(63)同軸円筒管状電極の間の環状空間で同じ電界を経由すること、にさらに留意されている。つまり、Watsonの‘280号特許には、内側の電極(62)が、その長さ全体に渡って電気的に不連続であることを示すものは、何ら存在しない。
【0008】
Lieblに発行された特許第3935453号及び第3949221号は、円筒ミラーシステムにおける複数の電極の存在を開示しているが、これらの複数の電極は、単一通路構造に形成されている。
本発明者が認識している円筒ミラーシステムを開示する他の特許は:
第4769542号(Rockett)、
第4218617号(Cazaux)、
第3761707号(Liebl)、
第4593196号(Yates)、
第4860224号(Cashell等)、
第5032723号(Kono)、及び
第4849641号(Berkowitz)である。
【0009】
粒子エネルギー分析用円筒ミラー及び/又は分析、又はその使用について開示する、本発明者が認識している科学文献は:
1.「A Novel Design For A Small Retractable Cylindrical Mirror Analy-zer 」,Mcllroy, Dowben & Ruhl, J. Vac. Sci. Technol. B, 13(5) Sep/Oct 1995 である。このリファレンスは、単一通路式システムを開示しており、内側の円筒電極が、大地電位に保持されている。
【0010】
2.「Angle-Resolving Photoelectron Energy Analyzer: Mode Calculations, Ray-Tracing, Analysis and Performance Evaluation」, Stevens et al., J. of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 32 (1983) である。
3.「Analysis Of The Energy Distribution In Cylindrical Electron Spe-ctrometers」, Aksela, The Review of Scientific Instruments, Vol. 42, No. 6, (1971)である。
【0011】
4.「An Electrostatic Mirror Spectrometer With Coaxial Electrodes For Multi-Detector Operation 」, Wannberg, Nuclear Instruments and Methods, 107 (1973) である。
5.「Cylindrical Capacitor As An Analyzer* I. Nonrelativistic Part 」, Sar-El, The Review of Scientific Instruments, Vol. 38, No. 9, (1967)である。
【0012】
6.「Internal Scattering In A Single Pass Cylindrical Mirror Analysis」, Bakush et al., J. of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 74, (1995) である。
7.「On The Image Properties Of An Electro-Static Cylindrical Electr-on Spectrometer 」, Karras et al., Annals Academiae Scientiarum Fennicae, (1968)である。
【0013】
8.「Criterion For Comparing Analyzers 」, Sar-El, The Review of Sci-entific Instruments, Vol. 41, No. 4, (1969) である。
9.「Adsorption And Bonding Of Molecular Icosahedra On Cu(100) 」, Z-eng et al., Surface Science, 313 (1994) である。
本願は、一般的には、上記‘410号特許(ここに、参照により組み込まれる。)とともに所有されることに留意される。ここでの開示におけるクレームには、接地された内側円筒電極の限定を伴わずに、単段式(すなわち、単一通路式)の、コンパクトな、小径の、伸縮自在型円筒ミラー分析計に焦点を当てたものもあることが明らかである。
【0014】
(発明の開示)
本発明の好ましい形態は、コンパクトで、小径で、高分解能荷電粒子エネルギー検出型の、複数(2つ)の連続した段の、伸縮自在な円筒ミラー分析システムである。本発明は、使用時において、単段式の円筒ミラー分析計のみが設けられる場合に可能なものと比べて改善された分解能で荷電粒子エネルギーの検出を可能とする。
【0015】
本発明に係る複数の連続段(第1段及び第2段)のそれぞれは、円筒ミラー分析計であって、
a)内表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素と、
b)外表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有し、該第1及び第2の端部の双方の近傍に該管状壁を貫通する孔を設けた、前記外側要素に対して同心に配置された略管状の最中心要素であって、前記外側要素の管状壁の内表面と、該最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間が形成されるように、前記外側要素の内部に設けられた最中心要素と、
c)前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて前記外側及び最中心の略管状要素の間の前記環状空間に独立に電界を形成可能に、各円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルを印加する手段と、を含んで構成される。
【0016】
第1段の円筒ミラー分析計の第2の端部は、第2段の円筒ミラー分析計の第1の端部に取り付けられる。使用時において、前記外側及び最中心の略管状要素の間の前記環状空間に、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において管状壁を貫通する孔を介して取り込まれた荷電粒子は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、また、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第2の端部において前記最中心要素を貫通する孔を介して、この第1段の円筒ミラー分析計の環状空間から出る。そして、この荷電粒子は、前記外側及び最中心の略管状要素の間の環状空間に、前記第2段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において管状壁を貫通する孔を介して入り、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、また、前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部において、前記最中心要素を貫通する孔を介して前記第2段の円筒ミラー分析計の環状空間から出る。
【0017】
前記第1段の円筒ミラー分析計に取り込まれた荷電粒子は、この荷電粒子が、ユーザが設定したエネルギー検出範囲内のエネルギーを有し、かつ、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の前記第1の端部において管状壁を貫通する前記孔を通過するために、前記第1段の円筒ミラー分析計に対して受入角度範囲内の角度で接近した場合にのみ、前記第2段の円筒ミラー分析計を出ることが理解されるであろう。前記エネルギー検出範囲は、少なくとも部分的には、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに印加される前記電気的ポテンシャルにより決定される。
【0018】
本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムは、少なくとも第3段の円筒ミラー分析計をさらに含んで構成することができ、前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部がこの第3段の円筒ミラー分析計の第1の端部に取り付けられて、システムを形成する。同様にして、第4、第5などの段を付加することも可能であるが、これらの段は、2段より多くの段により提供される改善分解能の利益に有益性があるとは判断されなかったため、通常は、利用されない。
【0019】
使用時において、本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムが有する、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により印加される電気的ポテンシャルは、前記第2段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により印加される電気的ポテンシャルと比べて同一の及びこれとは異なるものからなるグループから選択される。前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間の電界は、第2段の円筒ミラー分析計の環状空間の電界と比べて同一の及びこれより大きな及び小さなものからなるグループから選択されたものとなる。典型的な印加にあっては、連続する段の環状空間における電界は等しくなるが、連続する段における異なる電界の使用がより高い荷電粒子検出分解能を可能とすることも分かっている。
【0020】
本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムのすべての段は、第1及び第2の端部を有する円筒ハウジングをさらに含んで構成される。ある1つの段に対応する円筒ハウジングは、前記外側要素の外側の周囲に、外側要素及び最中心要素に対して同中心的に配置される。前記複数の連続段のうち少なくとも第1の連続段の円筒ハウジングは、その第1の端部において、荷電粒子の入口を形成するための略中央に配置されたアパーチャ(例えば、スリット)を有して設けられるキャップ(典型的には円錐状であり、以下「キャップ」という。)をさらに含んで構成される。円筒ハウジング(及びキャップ)のすべては、磁界を遮断するミューメタルから造られるのが好ましく、円筒ハウジング及びキャップの両方が設けられる場合には、前記要素は、連続する単一構造体とするか又は2つの結合要素とすることが可能であることに留意される。
【0021】
本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムの重要な特徴は、前記複数の連続段のうち最終の連続段の第2の端部が、円筒ミラー分析システムを荷電粒子が前記第1の連続段に入ることができる位置に操作するためのマニピュレータを、さらに含んで構成されることである。特に、前記マニピュレータには、ベローズ駆動型の線形モーションフィードスルーにより運動を伝達することができる。
【0022】
本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムの代表的な寸法を洞察すると、各段における外側要素は、典型的には、30〜50mmの範囲の内径を有し、設けられるすべての外側要素は、必要ではないが典型的には、同じ内径を有する。同様に、設けられるすべての最中心要素は、典型的には、15〜40mmの範囲の外径を有し、設けられるすべての最中心要素は、必要ではないが典型的には、同じ外径を有する。現在までに実際に動作する本発明システムでは、段ごとの長さが、45mmのオーダーで構成されていた。さらに、本発明に係る円筒ミラー分析システムの各段は、典型的には、最中心要素の入口アパーチャ前に、ミリメートルの公称値で、5〜10mmの焦点距離を有することに留意される。
【0023】
前述のように、本発明に係る連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムの、前記複数の連続段のうち最終の連続段の第2の端部のマニピュレータは、線形モーションフィードスルーであり、蛇腹式動作源に付加的に取り付けられ及びこれにより駆動される。本発明の全構成要素を組み立てた結果、70〜200mm(すなわち、2.75〜8インチ)の範囲の内径を有する真空フランジに容易に装着可能であり、この真空フランジは、コンフラット式とすることができる。
【0028】
荷電粒子エネルギーの改善された検出分解能を提供する荷電粒子の検出方法は、
a)後述のようにして円筒ミラー分析システムを提供するステップと、
b)前記マニピュレータの操作により、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記第1の端部を、検出されるべきエネルギーの荷電粒子近傍に位置させるステップと、
c)荷電粒子が円筒ミラー分析システムのうち前記第1段の円筒ミラー分析計に入り、そのすべての段を進み及びその最終段を出て、もって、検出器への入力が可能となるように、円筒ミラー分析計の各段の環状空間に電界を発生させるステップと、を含んで構成される。
【0029】
前記荷電粒子エネルギーの検出方法には、円筒ミラー分析システムのうち異なる段の環状空間に、同様であるか又は異なる電界を発生させるステップを含めることが可能である。後述のように、異なる段において異なる電界を利用することにより、荷電粒子エネルギー検出分解能を改善することができる。
【0030】
前記方法には、蛇腹式動作源により適宜に駆動される線形モーションフィードスルーにより、前記マニピュレータの運動を付加することにより、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記第1の端部を荷電粒子近傍に位置させるステップを含めることも可能である。
本発明は、添付の図面とともに本明細書の詳細な説明の項を参照して、より理解することができるであろう。
【0031】
(発明の要旨)
従って、本発明の第1の目的は、連続複段式の高エネルギー検出分解能伸縮型円筒ミラー分析システムを教示することである。
(発明を実施するための最良の形態)
ここで、図面を参照すると、図1には、本発明に係る円筒ミラー分析システムPIの外部斜視図が示されている。マニピュレータ手段MPと、磁界の影響を遮断するように作用する外部のミューメタル保護円筒ハウジングMUと、磁界を遮断するミューメタルから造られるのが好ましいキャップCCと、が示されている。キャップCCにはアパーチャAが設けられており、使用時において荷電粒子はこのアパーチャを通って入ることが可能である。便宜的に、図2は、ベローズ駆動型の線形モーションフィードスルーに取り付けられた本発明に係る円筒ミラー分析システムPIの側面図を示している。
【0032】
図2には、本発明に係る2段(SS1)(SS2)式の円筒ミラー分析システムPIが示されており、その機能が表されている。
本発明に係るこの複数の連続段SS1,SS2のそれぞれは、円筒ミラー分析計であって、a)内表面と第1(E1)及び第2(E2)の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素(本質的管状外側要素)COと、b)管状壁と第1(E1)及び第2(E2)の端部とを有し、該第1(H1)及び第2(H2)の端部の双方の近傍に該管状壁を貫通する孔を設けた、外側要素COに対して同心に配置された略管状の最中心要素(本質的管状最中心要素)CCMであって、前記本質的管状外側要素の管状壁の内表面と、前記本質的管状最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間ASが形成されるように、前記本質的管状外側要素CCの内部に設けられた、本質的管状最中心要素CCMと、c)前記同心の外側(CO)及び最中心(CMM)の本質的管状要素の間の前記環状空間ASに電界を形成すべく、前記同心の外側(CO)及び最中心(CCM)の本質的管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルV1,V2を印加するための手段と、を含んで構成される円筒ミラー分析計である。
【0033】
第1段の円筒ミラー分析計の第2の端部SEは、第2段の円筒ミラー分析計の第1の端部FEに取り付けられる。使用時において、荷電粒子(e−)は、前記同心の外側(CO)及び最中心(CCM)の本質的管状要素の間の前記環状空間ASに、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記本質的管状最中心要素CCMの第1の端部において管状壁を貫通する孔H1を介して取り込まれ、前記同心の外側(CO)及び最中心(CCM)の本質的管状要素に前記手段により電気的ポテンシャル(第1の電圧V1)を印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記本質的管状最中心要素CCMの第2の端部SEにおいて前記本質的管状最中心要素CCMを貫通する孔H2を介して、前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間から出る。そして、この荷電粒子は、前記同心の外側(CO’)及び最中心(CCM’)の本質的管状要素の間の環状空間AS’に、前記第2段の円筒ミラー分析計SS2の前記本質的管状最中心要素CCMの第1の端部E1’において管状壁を貫通する孔H1’を介して入り、前記同心の外側(CO’)及び最中心(CCM’)の本質的管状要素に前記手段により電気的ポテンシャル(第2の電圧V2)を印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、前記第2段の円筒ミラー分析計SS2の第2の端部E2’において前記本質的管状最中心要素CCM’を貫通する孔H2’を介して、前記第2段の円筒ミラー分析計SS2の環状空間から出る。仮に、孔H1,H2,H1’及びH2’がないとすれば、荷電粒子(e−)は、環状空間AS及びAS’に入ることができない。図示のように、孔H1において前記第1段の円筒ミラー分析計SS1に取り込まれた荷電粒子(e−)は、その荷電粒子(e−)が、ユーザが設定したエネルギー検出範囲内のエネルギーを有し、かつ、前記第1段の円筒ミラー分析計SS1の前記本質的管状最中心要素CCMの前記第1の端部E1において管状壁を貫通する前記孔H1を通過するために、前記第1段の円筒ミラー分析計SS1に対して受入角度範囲内の角度で接近した場合に、孔H2’を介して前記第2段の円筒ミラー分析計SS2を出る。このエネルギー検出範囲は、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計SS1,SS2のそれぞれにおいて、前記同心の外側(CO)及び最中心(CCM)の本質的管状要素のそれぞれに印加される前記電気的ポテンシャルにより、少なくとも部分的に決定される。
【0034】
本発明によると、同心の外側(CO)(CO’)又は最中心(CCM)(CCM’)の本質的管状要素のすべてを、外側のミューメタル保護円筒ハウジングMUと電気的に連続させたり、これらのすべてを不連続としたり、または、1つを連続させかつ他を不連続としたりすることができることが強調される。このことは、図4に示される実施形態についても、同様に適用される。
【0035】
図3は、本発明に係る好ましい2段(SS1)(SS2)式円筒ミラー分析システムPIの内部構造の側面断面図である。外側のミューメタル保護円筒ハウジングMUと、アパーチャAと、キャップCOと、第1段の円筒ミラー分析計(SS1)の本質的管状外側要素COと、前記管状壁を貫通する孔H1及びH2を有する、外側要素COに対して同心に配置された本質的管状最中心要素CCMと、第2段の円筒ミラー分析計(SS2)の本質的管状外側要素CO’と、前記管状壁を貫通する孔H1’及びH2’を有する、外側要素CO’に対して同心に配置された本質的管状最中心要素CCM’と、が示されている。本質的管状外側要素CO及びCO’は、外側のミューメタル保護円筒ハウジングMUからの突起部に、サファイアオフセット等の絶縁手段Iを介して取り付けられていることに留意すべきである。ねじ付の結合ロッドR、背面板BP及び位置決めマニピュレータMPも典型的に示されている。キャップCC及び背面板BPは、外側のミューメタル保護円筒ハウジングMU又は、これらに締結手段を介して取り付けられる、分離手段と連続させることが可能であることが理解されるであろう。CO及びCMMの間には、CO’及びCMM’の間に作用する電界に対して独立した電界が作用するように、図3において、本質的管状外側要素CO及びCO’は、相互に電気的に不連続に示されている(それぞれが外側のミューメタル保護円筒ハウジングMUに絶縁手段Iを介して固定されている)ことが、特に強調される。また、本質的管状最中心要素CCM及びCCM’は、相互に電気的に連続であってもよいし、不連続であってもよい。図3は、外側及び最中心の本質的管状要素CO,CO’,CCM及びCCM’のいずれの間にも電気的な連続性がない場合を表している。本発明に係る複数の段のうち異なる段において異なる又は同様な電界を独立に働かせることが可能であること、及び、使用時おいて、分離した管状要素CO,CO’,CCM及びCCM’のうちいずれをも大地電位に又はこれより高いか若しくは低い電位に設定してよいことは、本発明の特徴を提供する顕著な利便である。
【0037】
図3(及び4)の孔(すなわち、環状空間の“開口”CCH又はCCH’手段)H1,H2,H1’及びH2’は、CCM及びCCM’の端部からオフセットした位置に示されていることに留意される。図2は、このことが必要とされるものではないことを示している。
本発明に係る円筒ミラー分析システムの重要な特徴は、この円筒ミラー分析システムPIを、荷電粒子がその第1の連続段に入ることができる位置に操作するためのマニピュレータMPをさらに含んで、上記複数の連続段のうち最終の連続段(図3のSS2)の第2の端部を構成することが可能なことである。このマニピュレータMPは、必要ではないが典型的には、外側のミューメタル保護円筒ハウジングMUに取り付けられるか又はこれと連続する基板BPに取り付けられる。このマニピュレータMPを、ベローズ駆動型の線形モーションフィードスルーに取り付けるか又はその一部とすることが可能であることは、重要である(その機能を表す図2を参照)。
【0038】
本質的管状外側要素(CO)(CO’)は、典型的には、30〜50mmの範囲の内径を有し、また、本質的管状外側要素は、必要ではないが典型的には、同じ内径を有することに留意される。また、本質的管状最中心要素(CCM)(CCM’)は、典型的には、15〜40mmの範囲の外径を有し、また、本質的管状最中心要素は、必要ではないが典型的には、同じ外径を有する。現在までに実際に動作する本発明システムは、1つの段(SS1)(SS2)当たり4.5cmのオーダーで、かつ全体の外径がおよそ2.25cmで構成されている。さらに、本発明に係る円筒ミラー分析システムの各段は、最中心要素の入口アパーチャ前に、典型的には、公称値を6mmとして、5〜10mmの焦点距離を有することに留意される。
【0039】
前述のように、本発明に係る円筒ミラー分析システムの、複数の連続段のうち最終の連続段の第2の端部のマニピュレータは、線形モーションフィードスルーであり、蛇腹式動作源に適宜に取り付けられ及びこれにより駆動される(例えば、図2を参照)。本発明のすべての構成要素は、203mmより小さい直径を有する真空フランジに容易に装着できるように構成することが可能であり、また、この真空フランジは、コンフラット式であってよい。
【0040】
図6を参照すると、本発明にとって好ましい電気的バイアス制御及び検出器のスキームが示されている。本発明の一部を本来的に構成するものではないが、荷電粒子のソースMSSと、この荷電粒子(電子又は陽イオンとすることができる。)を受けるように配向された、本発明に係る円筒ミラー分析システムPIと、が示されている(図面の混雑を減らすため、単段の構成要素PIのみが示されており、適当な場合に、複数の前記構成要素の段がシステムPIに設けられると仮定すべきであることに留意する。)。さらに、本質的管状最中心要素(CCM)(CCM’)は、典型的には、大地電位に保持され、同心の本質的管状外側要素(CO)(CO’)は、電圧範囲をスイープされる。例えば、スイープジェネレータ34が示されており、0.0〜10ボルトの間の鋸刃状の電圧が形成され、レコーダ(図示せず)に参照出力が提供される。この鋸刃状の出力電圧は、0.0〜−1.5KVにランプされた鋸刃状出力を発生する−1. 5KVのEHT(extremely high tension)ジェネレータ36を駆動し、その出力は、シグナルモジュレータ38に供給される。シグナルモジュレータ38は、周波数がおよそ5KZの20ボルトの正弦波状の信号で、EHTジェネレータの出力信号を調整する。この正弦波は、オシレータ38により発生される。モジュレータ38の出力は、本質的管状外側要素(CO)(CO’)と、増幅器40とに供給される。これにより、荷電粒子流れの軌道30は影響を受けるが、これについては後述する。商用チャネルトロン42は、PIを出た荷電粒子流れ30を受け入れる。
【0041】
チャネルトロン42は、出力信号がアテニュエータ46により減衰される2KVのEHTジェネレータ44により発生された、0〜500ボルトの直流信号を受ける。また、EHTジェネレータ44は、2KVの直流信号が重畳される変動カットプット信号を提供するチャネルトロン42の出力に、その出力が接続される。このチャネルトロン42の出力は、ここから直流成分を除去する信号調整器48を通過する。出力信号は、増幅器40から参照入力信号をも受けるロックイン増幅器50に受け入れられる。ロックイン増幅器50の出力信号は、実験結果の解析のためのレコーダ(図示せず)に送られる。
【0042】
図7は、(図5に示すような)単段式バージョンの円筒ミラー分析システムを利用して得られたアルゴンLMMオージェスペクトル粒子解析結果を示しており、一方、図8は、本発明に係る円筒ミラー分析システムの(図2及び3に示すような)2段式バージョンが採用された場合に、分解能が改善されることを示している。各プロットは、3つのエネルギーレベルにおいて得られた結果を示す。3つのスペクトルのうちおよそ210eVのエネルギーに集中する特徴は、アルゴンオージェ電子に相当し、一方、スペクトルのうち120eV及び150eVにおける特徴は、光子エネルギーが370eV及び400eVのときに夫々得られたものであり、アルゴンの2Pコア電子励起から生ずる。繰り返すと、留意すべき重要なことは、図8の結果が、ピーク(LMM)幅の減少により明らかなように、改善された分解能を表していることである。
【0043】
先に指摘した‘410号特許において述べたように、オージェスペクトルの分解能の限界は、原子ビーム実験から得られる信号が、原子ビームと光子ビームとの交差点にあるサンプルボリュームからのものである場合には、小径円筒ミラー分析計に固有のものである。それは、このような調査ボリュームの焦点長さが、表面領域の効果が調査される場合のようにはうまく形成されていないからである。これにより、スペクトル的な特徴が広がることとなり、分析計の器械的分解能に悪影響を及ぼす。しかしながら、分析計が一定のエネルギーモードで運転される場合には、LMMオージェ電子収率測定は、より高い器械的分解能で行われる。単一通路(段)式の小径円筒ミラー分析計が、一斉減少した寸法及び充分な器械的分解能を提供し、この組合せにより、線形動作フィードスルー(多用性が向上される。)装着用に適する荷電粒子分析計に多用性を持たせることが可能となることは、‘410号特許おいて、そこで述べられている単一通路(段)式の小径円筒ミラー分析計に関して推断されたことである。これと同様な結論は、本発明に係る2重通路の2段式小径円筒ミラー分析計についても適用することができる。しかしながら、本発明に係る2重通路の2段式小径円筒ミラー分析計は、‘410号特許において開示されたシステムに対してより高く改善された分解能を提供することも可能である。
【0044】
本発明に係る使用方法は、本明細書の発明の開示の項で説明したので、ここでの説明は、省略する。
本発明の主題について説明したので、それらの教示を考慮すれば、本発明に係る多くの修正、代用又は変更が可能であることは明らかである。従って、本発明は、明示的に説明したもの限らず実施することができ、また、請求の範囲のみにより特定されることが理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る連続複段式の高荷電粒子エネルギー検出分解能伸縮型円筒ミラー分析システムの外部斜視図である。
【図2】 ベローズ駆動型の線形モーションフィードスルーに取り付けられた本発明に係る円筒ミラー分析システムの側面図である。
【図3】 2つの段を含んで構成される、本発明に係る好ましい円筒ミラー分析システムの内部要素の機能的な断面図である。
【図4】 2つの段を含んで構成される、本発明に係る好ましい円筒ミラー分析システムの内部要素の断面図である。
【図5】 1つの段を含んで構成される円筒ミラー分析システムの内部要素の断面図である。
【図6】 本発明とともに使用される好ましい電気的バイアス制御及び検出器のスキーム回路図である。
【図7】 単段式の円筒ミラー分析システムを利用して得られる様々なエネルギーでのLMMオージェスペクトルを示す。
【図8】 本発明に係る2段式の円筒ミラー分析システムを利用して得られる様々なエネルギーでのLMMオージェスペクトルを示し、本発明に係る複段式システムにより分解能が改善可能であることを表している。
Claims (25)
- 単段式の円筒ミラー分析計のみが設けられる場合に可能なものに比べて改善された分解能で荷電粒子エネルギーの検出を行う、連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出伸縮型円筒ミラー分析システムであって、
第1の端部及び第2の端部を夫々有する、連続した第1段及び第2段の円筒ミラー分析計を含んで構成され、
前記第1段の円筒ミラー分析計の第2の端部は、前記第2段の円筒ミラー分析計の第1の端部に接続され、
前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれは、
a)内表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素であって、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の外側要素の間に断続部を有し、これらの外側要素が該断続部において互いに電気的に絶縁された外側要素と、
b)外表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有し、該第1及び第2の端部の双方の近傍に該管状壁を通ずる開口を設けた、前記外側要素に対して同心に配置された略管状の最中心要素であって、前記外側要素の管状壁の内表面と、該最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間が形成されるように、前記外側要素の内部に設けられた最中心要素と、
c)前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて前記外側及び最中心の略管状要素の間の環状空間に独立に電界を形成可能に、各円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルを印加する手段と、
を含んで構成され、
前記荷電粒子が、ユーザが設定したエネルギー検出範囲内のエネルギーを有し、かつ、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において管状壁を通ずる開口を通過するために、前記第1段の円筒ミラー分析計に対して受入角度範囲内の角度で接近したことを条件として、
前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に取り込まれた荷電粒子は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第2の端部において前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間から出た後、
前記第2段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に入り、その軌道は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定され、前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部において前記第2段の円筒ミラー分析計の環状空間から出ることができ、
前記エネルギー検出範囲は、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに印加される前記電気的ポテンシャルにより、少なくとも部分的に決定されることを特徴とする円筒ミラー分析システム。 - 前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計に加え、少なくとも第3段の円筒ミラー分析計をさらに含んで構成され、
該第3段の円筒ミラー分析段は、
第1の端部及び第2の端部を有するとともに、
a)内表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素と、
b)外表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有し、該第1及び第2の端部の双方の近傍に該管状壁を通ずる開口を設けた、該第3段の円筒ミラー分析計の外側要素に対して同心に配置された略管状の最中心要素であって、前記外側要素の管状壁の内表面と、該最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間が形成されるように、前記外側要素の内部に設けられた最中心要素と、
c)前記外側及び最中心の略管状要素の間の環状空間に電界を形成すべく、前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルを印加する手段と、
を含んで構成され、
前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部が、前記第3段の円筒ミラー分析計の第1の端部に接続されたことを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。 - 前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間の電界が、前記第2段の円筒ミラー分析計の環状空間の電界と比較して同一であるか、それより大きいか又はそれより小さくなるように、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素に印加される電気的ポテンシャルは、前記第2段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素に印加される電気的ポテンシャルと同一であるか、又はこれとは異なることを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の外側要素は、前記手段により電気的ポテンシャルが印加されて、グランド電位、グランドより高電位又はグランドより低電位のポテンシャルを夫々有し、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて環状空間に電界が形成されるように、前記ポテンシャルは、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおける各対応の最中心要素に印加されるポテンシャルとは異なることを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計は、第1及び第2の端部を有する円筒ハウジングをさらに含んで構成され、
それぞれの段に対応する前記円筒ハウジングは、前記外側要素の外側の周囲に、前記外側要素及び前記最中心要素に対して同中心的に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。 - 前記第1段の円筒ミラー分析計の前記円筒ハウジングは、その第1の端部にキャップを有し、該キャップは、前記第1の端部に、前記第1段の円筒ミラー分析計に前記荷電粒子を取り込むためのアパーチャを形成することを特徴とする請求項5に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部に設けられ、円筒ミラー分析システムを、前記荷電粒子が前記アパーチャを介して前記第1段の円筒ミラー分析計に入ることができる位置に移動させるマニピュレータをさらに含んで構成される請求項6に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部に設けられ、円筒ミラー分析システムを、前記荷電粒子が前記第1段の円筒ミラー分析計に入ることができる位置に移動させるマニピュレータをさらに含んで構成され、
該マニピュレータは、ベローズ駆動型の線形モーションフィードスルーに取り付けられたことを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。 - 前記円筒ハウジングのそれぞれは、ミューメタルを材料とすることを特徴とする請求項5に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記外側要素をその外側から覆う円筒ハウジングをさらに含んで構成される請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記円筒ハウジングは、その内表面から前記外側要素の断続部に伸びる突起部を有し、
前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記外側要素の間に、該突起部が介在することを特徴とする請求項10に記載の円筒ミラー分析システム。 - 前記外側要素と前記円筒ハウジングの突起部との間に絶縁手段が設けられ、
前記外側要素は、該突起部に対し、前記絶縁手段を介して接触することを特徴とする請求項11に記載の円筒ミラー分析システム。 - 前記円筒ハウジングは、ミューメタルからなることを特徴とする請求項10〜12のいずれか1つに記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記外側要素のそれぞれは、30〜50mmの間の内径を有することを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記外側要素は、それぞれが同じ内径を有することを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記最中心要素のそれぞれは、15〜40mmの間の外径を有することを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記最中心要素は、それぞれが同じ外径を有することを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部の前記マニピュレータは、線形モーションフィードスルーに取り付けられたことを特徴とする請求項7に記載の円筒ミラー分析システム。
- 70〜200mmの範囲の内径を有する真空フランジに装着されたことを特徴とする請求項18に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記真空フランジは、コンフラット型であることを特徴とする請求項19に記載の円筒ミラー分析システム。
- 前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のうち少なくとも一方は、5〜10mmの焦点距離を有することを特徴とする請求項1に記載の円筒ミラー分析システム。
- 特定エネルギーの荷電粒子の検出方法であって、
a)単段式の円筒ミラー分析計のみが設けられる場合に可能なものに比べて改善された分解能で荷電粒子エネルギーの検出を行う、連続複段式の高分解能荷電粒子エネルギー検出円筒ミラー分析システムを提供するステップであって、第1の端部及び第2の端部を夫々有する、連続した第1段及び第2段の円筒ミラー分析計を含んで構成され、前記第1段の円筒ミラー分析計の第2の端部は、前記第2段の円筒ミラー分析計の第1の端部に接続され、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれが、
1)内表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有する略管状の外側要素であって、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の外側要素の間に断続部を有し、これらの外側要素が該断続部において互いに電気的に絶縁された外側要素と、
2)外表面と第1及び第2の端部とを伴う管状壁を有し、該第1及び第2の端部の双方の近傍に該管状壁を通ずる開口を設けた、前記外側要素に対して同心に配置された略管状の最中心要素であって、前記外側要素の管状壁の内表面と、該最中心要素の管状壁の外表面との間に環状空間が形成されるように、前記外側要素の内部に設けられた最中心要素と、
3)前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計のそれぞれにおいて前記外側及び最中心の略管状要素の間の環状空間に独立に電界を形成可能に、各円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに電気的ポテンシャルを印加する手段と、を含んで構成され、
前記荷電粒子が、ユーザが設定したエネルギー検出範囲内のエネルギーを有し、かつ、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において管状壁を通ずる開口を通過するために、前記第1段の円筒ミラー分析計に対して受入角度範囲内の角度で接近したこと条件として、
前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に取り込まれた荷電粒子は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定される軌道を有し、前記第1段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第2の端部において前記第1段の円筒ミラー分析計の環状空間から出た後、
前記第2段の円筒ミラー分析計の前記最中心要素の第1の端部において前記環状空間に入り、その軌道は、前記外側及び最中心の略管状要素に前記手段により電気的ポテンシャルを印加することにより発生する電界により決定され、前記第2段の円筒ミラー分析計の第2の端部において前記第2段の円筒ミラー分析計の環状空間から出ることができ、
前記エネルギー検出範囲は、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記外側及び最中心の略管状要素のそれぞれに印加される前記電気的ポテンシャルにより、少なくとも部分的に決定されるステップと、
b)マニピュレータの操作により、前記第1段の円筒ミラー分析計の第1の端部を、エネルギーを検出すべき荷電粒子の近傍に位置させるステップと、
c)前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の前記環状空間のぞれぞれに電界を発生させるステップと、
を含んで構成され、
所望の特定エネルギーの荷電粒子は、前記円筒ミラー分析システムの前記第1段の円筒ミラー分析計に入り、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計を通過して、検出器の入力に利用されることを特徴とする方法。 - 前記環状空間に電界を発生させるステップは、前記円筒ミラー分析システムの異なる段において、異なる大きさの電界を発生させることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記環状空間に電界を発生させるステップは、前記第1段及び第2段の円筒ミラー分析計の間で同じ大きさの電界を発生させることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 前記第1段の円筒ミラー分析計の第1の端部を荷電粒子の近傍に位置させるステップは、蛇腹式動作源を有する線形モーションフィードスルーにより、前記マニピュレータに動きを与えることを特徴とする請求項22に記載の方法。
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