JP4622395B2 - 分光透過率測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置などに用いられるカラーフィルタの分光透過率の測定に関するものであり、特に、製造中のカラーフィルタの各色の分光透過率を簡便に測定することのできる分光透過率測定方法、及び分光透過率測定装置に関する。

図７は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図８は、図７に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図７、及び図８に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）が形成されたものである。
図７、及び図８はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（５２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。

ブラックマトリックス（５１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、開口部の形状、面積は各色共に同一で均一なものである。また、着色画素（５２）は、例えば、赤色、緑色、青色の色再現フィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックス（５１）は、ブラックマトリックス上にその周縁部を重ねて形成される着色画素の位置を定め、カラーフィルタとして機能する着色画素の形状、面積を均一なものとしている。また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。

また、カラーフィルタの周縁部は、額縁と称している部分である。図７、及び図８に示すカラーフィルタは、額縁の部分、すなわち、ガラス基板の周縁部の端までブラックマトリックス（５１）が形成された例である。
バックライトからの直接光をカラーフィルタの周縁部の端まで遮蔽し、またカラーフィルタの端面から入射する迷光を低減させ画像のコントラストを向上させる機能をもたせたものである。

このブラックマトリックス（５１）の形成は、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯ_X ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分をエッチング及びエッチングレジストパターンの剥離を行い、Ｃｒ、ＣｒＯ_X などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（５１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（５１）を形成するといった方法がとられている。

また、着色画素（５２）は、このブラックマトリックス（５１）が形成されたガラス基板（５０）上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィ法によって、すなわち、感光性樹脂の塗布膜へのフォトマスクを介した露光、現像処理によって着色画素として形成されたものである。赤色、緑色、青色の各色の着色画素は、３回のフォトリソグラフィ法によって順次に形成される。

カラーフィルタを大量に製造する際には、一基の液晶表示装置に対応したカラーフィルタを大サイズのガラス基板に面付けした状態で製造する。例えば、対角１７インチのカラーフィルタを６５０ｍｍ×８５０ｍｍ程度の大サイズのガラス基板に４面付けして製造する。
ガラス基板が大サイズ化するに伴い、ブラックマトリックスの材料としてクロムなどの金属を用い真空装置で薄膜を成膜するブラックマトリックスよりも、黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成する樹脂ブラックマトリックスの方が価格的に有利なものとなり、次第に樹脂を用いたブラックマトリックスへと移行が進んでいる。
この移行は、ガラス基板が更に大サイズ化するに伴い著しくなるものと思われる。また、環境に配慮してクロムなどの金属を用いることを回避する傾向もある。

カラーフィルタを大量に製造する際には、各色の着色画素の形成時に、各色毎に分光光度計を用いた分光透過率の測定を行い色度管理を行っている。図９は、着色画素の分光透過率を測定する測定方法の一例を示す説明図である。
図９に示すように、カラーフィルタの下方から入射した白色光（白太矢印）（３１）は、例えば、赤色の着色画素（５２Ｒ）を経て赤色光（矢印）（３２）となり、入射ピンホール（３３）を経て分光光度計の顕微鏡の対物レンズ（３４）に達する。

入射ピンホール（３３）は、顕微鏡に装着されているものであり、入射ピンホール（３３）の大きさは略３０μｍφ程度である。測定する位置は、赤色の着色画素（５２Ｒ）の幅（Ｗ）の略中央部である。
すなわち、着色画素の分光透過率の測定は、形成した着色画素の略中央部の狭い範囲、言わば、ミクロな範囲の測定を行っている。
従って、このようなミクロな範囲の測定を行う際には、カラーフィルタ基板の特定位置を正確に位置決めすることのできる位置決め機能を備えた分光光度計が用いられる。例えば、分光光度計の顕微鏡の下方に、カラーフィルタ基板を載置し、位置決めするＸＹステージと、着色画素の色を判別する画像処理装置を備えた分光光度計である。

この例に示す分光光度計の場合の位置決めは、以下の様にして行う。
１）予め、分光光度計に、ａ）ガラス基板に面付けしたカラーフィルタの面付け位置情報、ｂ）着色画素の配列情報、ｃ）画素サイズ及び画素ピッチ情報、ｄ）図１０に示す、各色の受光強度プロファイル情報、などを入力しておく。
なお、受光強度プロファイル情報は、各色の可視光線領域における透過率の累積に相当するものであり、各色固有の値を有している。

２）先ず、カラーフィルタ基板をＸＹステージ上に載置し、カラーフィルタ基板上の着色画素の色、及び測定位置を正確に設定する。ＸＹステージは、予め入力された上記情報を基に、設定されたカラーフィルタ基板上の測定位置を分光光度計の顕微鏡の直下近傍まで移動させる。

３）次に、予め入力された各色の受光強度プロファイル情報を基に、設定された着色画素の色を判別し、その色の着色画素内に設定されている測定位置を顕微鏡の直下に移動し、正確な位置決めを行う。

この分光光度計は、例えば、製造ラインの近くに設置され、着色画素の分光透過率を測定する際には、製造ラインからカラーフィルタ基板を取り出して測定を行う。すなわち、オフラインによる分光透過率の測定である。
この測定は、各色の着色画素がフォトリソグラフィ法によって順次に形成される度毎に行うことになる。

しかし、このように、製造ラインから人手によってカラーフィルタ基板を取り出すことは、ガラス基板が更に大サイズ化するのに伴い危険が増大し好ましいものではない。また、装置化には相応のスペース及び設備費を要し好ましいものではない。また、オフラインによる分光透過率の測定には、相応の時間を費やしている。
すなわち、製造ラインからカラーフィルタ基板を取り出すことなく、比較的簡単な機構の装置によって、リアルタイムで簡便に着色画素の分光透過率を測定することのできる分光透過率測定方法、及び分光透過率測定装置が要望されている。
特開昭５７−２０７８４１号公報

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板に形成された各色の着色画素の分光透過率を測定する際に、カラーフィルタ基板を製造ラインから取り出すことなく、インラインでリアルタイムに、また、カラーフィルタ基板をミクロな範囲に正確に位置決めせずに、簡便に測定することのできる分光透過率測定方法を提供することを課題とするものである。
また、上記分光透過率測定方法を採用した比較的簡単な機構の分光透過率測定装置を提供することを課題とする。

本発明は、ガラス基板上に３色の着色画素が順次に同一面積で、同一個数形成されたカラーフィルタの、着色画素の分光透過率を各色毎に測定する分光透過率測定方法であって、以下の工程で各色毎の分光透過率を測定することを特徴とする分光透過率測定方法である。
１）ガラス基板にブラックマトリックスが形成された時点で、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位が多数繰り返されるガラス基板の領域であるマクロな範囲における分光透過率を測定し、該分光透過率を透過率１００％と定義する工程。２）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−１ を測定する工程。
３）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素及び第二色の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−２ を測定する工程。
４）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素と第二色の着色画素及び第三の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−３ を測定する工程。
５）前記分光透過率Ｔ _Ｍ−１ を用いて、以下の式１を計算して第一色分光透過率Ｔ _１ を計算し、
（式１） Ｔ _１ ＝（Ｔ _Ｍ−１ ×３）−２００％
前記分光透過率Ｔ _Ｍ−２ と前記第一色分光透過率Ｔ _１ を用いて、以下の式２を計算して第二色分光透過率Ｔ _２ を計算し、
（式２） Ｔ _２ ＝（Ｔ _Ｍ−２ ×３）−Ｔ _１ −１００％
前記分光透過率Ｔ _Ｍ−３ と前記第一色分光透過率Ｔ _１ と前記第二色分光透過率Ｔ _２ を用いて、以下の式３を計算して第三色分光透過率Ｔ _３ を計算する工程。
（式３） Ｔ _３ ＝（Ｔ _Ｍ−３ ×３）−Ｔ _１ −Ｔ _２

また、本発明は、上記発明による分光透過率測定方法において、前記ガラス基板が、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板であることを特徴とする分光透過率測定方法である。

また、本発明は、上記発明による分光透過率測定方法において、前記測定が、製造ライン上でガラス基板を移動させながら行う測定であることを特徴とする分光透過率測定方法である。

本発明は、互いに隣接する３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせを色再現フィルタの単位とし、この単位の多数が占めるマクロな範囲を測定対象にして、各色の着色画素が形成された時点毎に、分光透過率の測定を行い、前記数式１から第一色の分光透過率を、数式２から第二色の分光透過率を、数式３から第三色の分光透過率を算出するので、カラーフィルタ基板に形成された各色の着色画素の分光透過率を測定する際に、製造ラインからカラーフィルタ基板を取り出すことなく、インラインでリアルタイムに、また、カラーフィルタ基板をミクロな範囲に正確に位置決めせずに、簡便に測定する
ことのできる分光透過率測定方法となる。

また、ブラックマトリックスが形成されていないカラーフィルタにおいても適用され、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタに近似した精度で各色の着色画素の分光透過率が得られる。
また、製造ラインからカラーフィルタ基板を取り出すことなく、且つ製造ライン上でカラーフィルタ基板を移動させながらの測定も可能となる。

また、本発明は、上記分光透過率測定方法を採用した分光透過率測定装置であるので、比較的簡単な機構の廉価な分光透過率測定装置となる。

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明による分光透過率の測定方法においては、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、着色画素が順次に形成されたカラーフィルタを例にとると、図１に示すように、互いに隣接する各一個の赤色の着色画素（５２Ｒ）、緑色の着色画素（５２Ｇ）、青色の着色画素（５２Ｂ）と、それらを囲むブラックマトリックス（５１）の組み合わせを色再現フィルタの単位とみている。
そして、分光透過率の測定に際しては、各色の着色画素が形成された時点毎に、この単位を対象にして測定を行い順次に各色の分光透過率を算出する。

すなわち、赤色を第一色に形成した際には、赤色の着色画素（５２Ｒ）が形成された時点で、図２（ａ）に示す色再現フィルタの単位を対象として、この対象領域の分光透過率を測定する。得られた分光透過率から、未だ、緑色の着色画素、及び青色の着色画素が形成されていない部分（Ｗ１、Ｗ２）の分光透過率を減算し、赤色の着色画素（５２Ｒ）の分光透過率を得る。
尚、ブラックマトリックスは、予め、ブラックマトリックス（５１）が形成された時点で、その分光透過率を測定しておき、レファレンスとして補正に用いる。

次に、緑色を第二色に形成した際には、緑色の着色画素（５２Ｇ）が形成された時点で、図２（ｂ）に示す色再現フィルタの単位を対象として、この対象領域の分光透過率を測定する。
得られた分光透過率から、未だ、青色の着色画素が形成されていない部分（Ｗ２）の分光透過率、及び既に形成されている赤色の着色画素（５２Ｒ）の分光透過率を減算し、緑色の着色画素（５２Ｇ）の分光透過率を得る。

次に、青色を第三色に形成した際には、青色の着色画素（５２Ｂ）が形成された時点で、図２（ｃ）に示す色再現フィルタの単位を対象として、この対象領域の分光透過率を測定する。
得られた分光透過率から、既に形成されている赤色の着色画素（５２Ｒ）の分光透過率、及び緑色の着色画素（５２Ｇ）の分光透過率を減算し、青色の着色画素（５２Ｂ）の分光透過率を得る。

しかし、このような３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせを単位とする領域を測定するとなると、前記ミクロな範囲の測定、すなわち、１着色画素内の中央部の測定を行う場合の位置決めと同様に、正確な位置決めが必要となる。本発明においては、簡便に着色画素の分光透過率を測定するために、正確な位置決めをせずに、ミクロな範囲を粗い位置決めで測定することを特徴としている。
本発明におけるマクロな範囲とは、特定な１着色画素内の中央部ではなく、或いは、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位ではなく、例えば、１０ｍ
ｍφといった、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位が多数繰り返されているガラス基板上の領域を意味している。

前記ミクロな範囲は、１着色画素の中央部であり、分光光度計の顕微鏡の入射ピンホールは３０μｍφ程度のものである。しかるに、本発明におけるマクロな範囲は１０ｍｍφ以上といった領域である。従って、正確な位置決めは不要であり、また、顕微鏡を用いずに測定を行うことができる。

ガラス基板上では、３色の着色画素とブラックマトリックスの位置は、規則的ではあるが局在している。従って、例えば、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位が小単位である狭い領域の場合に、この同一の狭い領域を多数回測定した際には、測定毎に互いに近傍ではあるが異なった領域を測定し、測定誤差が生じることがある。
本発明では、このような測定誤差を回避するために、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位を多数にして測定している。

この測定誤差を許容内にするためには、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位数は、数百程度で略良好であるが、求められる測定精度、時間などからして、千以上（１０ｍｍφ以上）であることが望ましい。

図３（ａ）〜（ｄ）は、本発明による分光透過率測定方法の説明図である。
（マクロブラックマトリックス分光透過率の測定）
図３（ａ）に示すように、分光光度計を用いて、ブラックマトリックス（１１）が形成されたガラス基板（１０）のマクロな範囲に、ガラス基板（１０）の下方から照射した入射光（Ｉ₀ ）とガラス基板（１０）の上方へ射出した射出光（Ｉ’）からマクロブラックマトリックス分光透過率（Ｔ_RE、Ｔ_RE＝Ｉ’／Ｉ₀ ）を測定する。
このマクロブラックマトリックス分光透過率（Ｔ_RE）を、以後に測定される各色の着色画素のレファレンスとし、このマクロブラックマトリックス分光透過率（Ｔ_RE）を透過率１００％とする。

（マクロ第一色分光透過率の測定）
図３（ｂ）に示すように、分光光度計を用いて、ブラックマトリックス（１１）及び第一色の着色画素（１２−１）が形成されたガラス基板（１０）のマクロな範囲に、ガラス基板（１０）の下方から照射した入射光（Ｉ₀ ）とガラス基板（１０）の上方へ射出した射出光（Ｉ₁ ）からマクロ第一色分光透過率（Ｔ_M-1 、Ｔ_M-1 ＝Ｉ₁ ／Ｉ₀ ）を測定する。

（第一色分光透過率の算出）
各色の着色画素の形状及び面積は同一で、且つ同一個数であるので、マクロ第一色分光透過率（Ｔ_M1）と、求める第一色分光透過率（Ｔ₁ ）との関係は、下記の式で表される。
Ｔ_M-1 ＝（Ｔ₁ ＋１００％＋１００％）／３
この式から、第一色分光透過率（Ｔ₁ ）を求める数式１が導かれる。

（マクロ第二色分光透過率の測定）
図３（ｃ）に示すように、分光光度計を用いて、ブラックマトリックス（１１）、第一色の着色画素（１２−１）及び第二色の着色画素（１２−２）が形成されたガラス基板（１０）のマクロな範囲に、ガラス基板（１０）の下方から照射した入射光（Ｉ₀ ）とガラス基板（１０）の上方へ射出した射出光（Ｉ₂ ）からマクロ第二色分光透過率（Ｔ_M-2 、Ｔ_M-2 ＝Ｉ₂ ／Ｉ₀ ）を測定する。

（第二色分光透過率の算出）
各色の着色画素の形状及び面積は同一で、且つ同一個数であるので、マクロ第二色分光透過率（Ｔ_M-2 ）と、求める第二色分光透過率（Ｔ₂ ）との関係は、下記の式で表される。Ｔ_M-2 ＝（Ｔ₁ ＋Ｔ₂ ＋１００％）／３
この式から、第二色分光透過率（Ｔ₂ ）を求める数式２が導かれる。

（マクロ第三色分光透過率の測定）
図３（ｄ）に示すように、分光光度計を用いて、ブラックマトリックス（１１）、第一色の着色画素（１２−１）、第二色の着色画素（１２−２）、及び第三色の着色画素（１２−３）が形成されたガラス基板（１０）のマクロな範囲に、ガラス基板（１０）の下方から照射した入射光（Ｉ₀ ）とガラス基板（１０）の上方へ射出した射出光（Ｉ₃ ）からマクロ第三色分光透過率（Ｔ_M-3 、Ｔ_M-3 ＝Ｉ₃ ／Ｉ₀ ）を測定する。

（第三色分光透過率の算出）
各色の着色画素の形状及び面積は同一で、且つ同一個数であるので、マクロ第三色分光透過率（Ｔ_M-3 ）と、求める第三色分光透過率（Ｔ₃ ）との関係は、下記の式で表される。Ｔ_M-3 ＝（Ｔ₁ ＋Ｔ₂ ＋Ｔ₃ ）／３
この式から、第三色分光透過率（Ｔ₃ ）を求める数式３が導かれる。

図４、図５、及び図６は、第一色に赤色、第二色に緑色、第三色に青色を形成した際に測定された各色のマクロ分光透過率曲線、及びそれから算出された各色の分光透過率曲線の例を示した説明図である。
図４において、（ＴＭ−Ｒ）は、測定したマクロ赤色分光透過率を表しており、また、（ＴＲ）は、算出した赤色分光透過率、すなわち、赤色の着色画素の分光透過率を表している。

図４に示すように、６００〜７００ｎｍにおいて、マクロ赤色分光透過率（ＴＭ−Ｒ）は、赤色分光透過率（ＴＲ）より高い透過率を有し、また、４００〜６００ｎｍにおいては、後に形成される緑色、青色が欠落しているために、マクロ赤色分光透過率（ＴＭ−Ｒ）は、赤色分光透過率（ＴＲ）より著しく高い透過率を有している。このマクロ赤色分光透過率（ＴＭ−Ｒ）から数式１を用い赤色分光透過率（ＴＲ）を算出することにより点線で示す赤色分光透過率曲線が得られる。

図５において、（ＴＭ−Ｇ）は、緑色の着色画素が形成された時点で測定したマクロ緑色分光透過率を表しており、また、（ＴＧ）は、算出した緑色分光透過率、すなわち、緑色の着色画素の分光透過率を表している。
赤色の着色画素は既に形成されており、赤色分光透過率（ＴＲ）は既知であり、また、青色の着色画素は未だ形成されていないことからして、マクロ緑色分光透過率（ＴＭ−Ｇ）は、図５に表される分光透過率曲線となっている。
このマクロ緑色分光透過率（ＴＭ−Ｇ）から数式２を用い緑色分光透過率（ＴＧ）を算出することにより点線で示す緑色の着色画素の分光透過率が得られる。

同様に、図６中の実線は、青色の着色画素が形成された時点で測定したマクロ青色分光透過率（ＴＭ−Ｂ）を表しており、また、点線は、それから数式３を用いて算出した青色分光透過率（ＴＢ）を表している。

上記のように、本発明による分光透過率測定方法は、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせをマクロな範囲で測定するので、カラーフィルタ基板を正確に
位置決めする必要がない。従って、比較的簡単な機構の分光光度計でよい。
例えば、製造ライン中に測定ステーションを設け、ここにカラーフィルタ基板を滞留させて測定を行うことができる。カラーフィルタ基板を製造ラインから取り出すことなく、インラインで着色画素の分光透過率を測定することが可能となる。つまり、本発明による分光透過率測定方法は、着色画素の分光透過率を測定する簡便、且つ効率のよい測定方法であり、また、この測定方法を採用した装置は廉価な測定装置となる。

また、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとしては、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタが一般的であるが、本発明による分光透過率測定方法は、ブラックマトリックスが形成されていないカラーフィルタにおいても適用される。
その際は、形成される着色画素の形状、面積の精度に依存するが、上記図３（ａ）〜（ｄ）に示す、ブラックマトリックスが形成されたカラーフィルタにおける測定に近似した精度で各色の着色画素の分光透過率が得られる。

また、本発明は、着色画素の分光透過率の測定を製造ライン上でカラーフィルタ基板を移動させながら行うことを特徴としている。
本発明による分光透過率測定方法は、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせをマクロな範囲で測定するので、カラーフィルタ基板を正確に位置決めする必要がない。従って、カラーフィルタ基板を製造ラインから取り出すことなく、且つ製造ライン上でカラーフィルタ基板を移動させながらの測定も可能となる。

３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位の説明図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明による分光透過率測定方法の説明図である。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明による分光透過率測定方法の説明図である。 第一色に赤色を形成した際に測定されたマクロ赤色分光透過率曲線、及び赤色分光透過率曲線の例を示した説明図である。 第二色に緑色を形成した際に測定されたマクロ緑色分光透過率曲線、及び緑色分光透過率曲線の例を示した説明図である。 第三色に青色を形成した際に測定されたマクロ青色分光透過率曲線、及び青色分光透過率曲線の例を示した説明図である。 液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。 図７に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。 着色画素の分光透過率を測定する測定方法の一例を示す説明図である。 受光強度プロファイルの説明図である。

符号の説明

１・・・色再現フィルタの単位
１０、５０・・・ガラス基板
１１、５１・・・ブラックマトリックス
１２−１・・・第一色の着色画素
１２−２・・・第二色の着色画素
１２−３・・・第三色の着色画素
３１・・・白色光
３２・・・赤色光
３３・・・入射ピンホール
３４・・・対物レンズ
３１・・・白色光
５２・・・着色画素
５２Ｒ・・・赤色の着色画素
５２Ｇ・・・緑色の着色画素
５２Ｂ・・・青色の着色画素
Ｉ₀ ・・・入射光
Ｉ’・・・射出光
Ｉ₁ ・・・第一色時の射出光
Ｉ₂ ・・・第二色時の射出光
Ｉ₃ ・・・第三色時の射出光
Ｒ・・・赤色の受光強度プロファイル
Ｇ・・・緑色の受光強度プロファイル
Ｂ・・・青色の受光強度プロファイル
Ｔ₁ ・・・第一色分光透過率
Ｔ₂ ・・・第二色分光透過率
Ｔ₃ ・・・第三色分光透過率
Ｔ_M-1 ・・・マクロ第一色分光透過率
Ｔ_M-2 ・・・マクロ第二色分光透過率
Ｔ_M-3 ・・・マクロ第三色分光透過率
ＴＭ−Ｒ・・・マクロ赤色分光透過率
ＴＭ−Ｇ・・・マクロ緑色分光透過率
ＴＭ−Ｂ・・・マクロ青色分光透過率
ＴＲ・・・赤色分光透過率
ＴＧ・・・緑色分光透過率
ＴＢ・・・青色分光透過率
Ｔ_RE・・・マクロブラックマトリックス分光透過率
Ｗ１、Ｗ２・・・着色画素が形成されていない部分

Claims (3)

1. ガラス基板上に３色の着色画素が順次に同一面積で、同一個数形成されたカラーフィルタの、着色画素の分光透過率を各色毎に測定する分光透過率測定方法であって、以下の工程で各色毎の分光透過率を測定することを特徴とする分光透過率測定方法。
   １）ガラス基板にブラックマトリックスが形成された時点で、３色各一個の着色画素とブラックマトリックスの組み合わせの単位が多数繰り返されるガラス基板の領域であるマクロな範囲における分光透過率を測定し、該分光透過率を透過率１００％と定義する工程。２）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−１ を測定する工程。
   ３）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素及び第二色の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−２ を測定する工程。
   ４）ガラス基板にブラックマトリックス及び第一色の着色画素と第二色の着色画素及び第三の着色画素が形成された時点で、前記マクロな範囲における分光透過率Ｔ _Ｍ−３ を測定する工程。
   ５）前記分光透過率Ｔ _Ｍ−１ を用いて、以下の式１を計算して第一色分光透過率Ｔ _１ を計算し、
   （式１） Ｔ _１ ＝（Ｔ _Ｍ−１ ×３）−２００％
   前記分光透過率Ｔ _Ｍ−２ と前記第一色分光透過率Ｔ _１ を用いて、以下の式２を計算して第二色分光透過率Ｔ _２ を計算し、
   （式２） Ｔ _２ ＝（Ｔ _Ｍ−２ ×３）−Ｔ _１ −１００％
   前記分光透過率Ｔ _Ｍ−３ と前記第一色分光透過率Ｔ _１ と前記第二色分光透過率Ｔ _２ を用いて、以下の式３を計算して第三色分光透過率Ｔ _３ を計算する工程。
   （式３） Ｔ _３ ＝（Ｔ _Ｍ−３ ×３）−Ｔ _１ −Ｔ _２
2. 前記ガラス基板が、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板であることを特徴とする請求項１記載の分光透過率測定方法。
3. 前記測定が、製造ライン上でガラス基板を移動させながら行う測定であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の分光透過率測定方法。

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