JP4617210B2 - Drawing apparatus and exposure apparatus equipped with the same - Google Patents

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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  • Memory System Of A Hierarchy Structure (AREA)

Description

本発明は、プリント基板の製造過程においてCAD(Computer Aided Design;コンピュータ援用設計)等で設計した配線パターンデータをプリント基板に露光する露光装置に用いられる新規な描画装置及びそれを搭載した露光装置に関する。   The present invention relates to a novel drawing apparatus used in an exposure apparatus for exposing wiring pattern data designed by CAD (Computer Aided Design) or the like in a printed circuit board manufacturing process to a printed circuit board, and an exposure apparatus equipped with the same. .

露光装置の1つである直接露光装置はマスクフィルムを用いずにプリント基板に配線パターンを露光する装置であり、CAD等で設計した配線パターンを露光パターンへと変換する手段として描画装置が用いられる。   A direct exposure apparatus, which is one of exposure apparatuses, is an apparatus that exposes a wiring pattern on a printed circuit board without using a mask film, and a drawing apparatus is used as means for converting a wiring pattern designed by CAD or the like into an exposure pattern. .

ここで描画装置ではベクトル画像である配線パターンからビットマップ画像である露光パターンへと変換するラスタ変換処理が行われる。この描画装置においては変換時にはビットマップ画像はビットマップメモリに書き込まれ、露光時にはビットマップ画像はビットマップメモリから読み出され、露光ユニットへ送られる。   Here, the rendering apparatus performs raster conversion processing for converting a wiring pattern that is a vector image into an exposure pattern that is a bitmap image. In this drawing apparatus, the bitmap image is written into the bitmap memory at the time of conversion, and the bitmap image is read from the bitmap memory at the time of exposure and sent to the exposure unit.

描画装置の性能はラスタ変換処理の性能はもとより、ビットマップメモリへのアクセス性能に影響され、ビットマップメモリへのアクセス性能が低いとラスタ変換処理が高速であっても描画装置としての性能の低下につながる。またビットマップメモリはラスタ変換処理の高速化、配線パターンの高解像度化に伴い数GBの容量が必要となる。   The performance of the rendering device is influenced by the access performance to the bitmap memory as well as the performance of the raster conversion processing. If the access performance to the bitmap memory is low, the performance of the rendering device deteriorates even if the raster conversion processing is fast. Leads to. In addition, the bit map memory requires a capacity of several GB as the raster conversion processing speed increases and the wiring pattern resolution increases.

ビットマップメモリへの高速アクセスを実現するには高速なSRAM(Static Random Access Memory;電源を加えている間記憶できるメモリー)を用いることが有効であるが、高価、実装面積が大きい等の理由により装置価格の高騰、装置の肥大化につながるという欠点がある。   It is effective to use a high-speed SRAM (Static Random Access Memory; a memory that can be stored while the power is applied) to achieve high-speed access to the bitmap memory, but it is expensive and has a large mounting area. There is a drawback that the price of the equipment rises and the equipment is enlarged.

安価で実装面積が小さいDRAM(Dynamic Random Access Memory;随時書き込み読み出しメモリー)を用いた場合は装置の低価格化、コンパクト化が見込めるが、ビットマップメモリへのランダムアクセスが多く発生する配線パターンを描画する場合、バーストアクセスを前提としたDRAMではビットマップメモリへのアクセス性能が低下し、結果として描画装置の性能が低下するという欠点がある。   When using DRAM (Dynamic Random Access Memory), which is inexpensive and has a small mounting area, it is possible to reduce the cost of the device and make it compact, but it draws a wiring pattern that frequently causes random access to the bitmap memory. In such a case, the DRAM assuming burst access has a drawback that the access performance to the bitmap memory is lowered, and as a result, the performance of the drawing apparatus is lowered.

安価で実装面積が小さいDRAMをビットマップメモリとして用いた場合でも、描画性能を維持できる手段として、従来はフレームキャッシュを用いてランダムアクセスをバーストアクセスに変換する手段が用いられている。これは、メモリ容量が小さいが、高速にランダムアクセスが可能なSRAMを用いてこれをフレームキャッシュとし、ビットマップメモリをフレームキャッシュと同サイズの複数の領域とするキャッシュ領域に区切り、ビットマップメモリへラスタ変換されたビットマップ画像を書き込む際には、該当するキャッシュ領域をビットマップメモリからフレームキャッシュへ読み出し、ビットマップ画像をフレームキャッシュに書き込んだ後に、フレームキャッシュの内容をビットマップメモリに書き戻すという方式である。   Even when an inexpensive DRAM with a small mounting area is used as a bitmap memory, conventionally, means for converting random access to burst access using a frame cache has been used as means for maintaining drawing performance. This is a small-capacity SRAM that can be randomly accessed at high speed. This is used as a frame cache, and the bitmap memory is divided into multiple cache areas of the same size as the frame cache. When writing a raster-converted bitmap image, the corresponding cache area is read from the bitmap memory to the frame cache, the bitmap image is written to the frame cache, and then the contents of the frame cache are written back to the bitmap memory. It is a method.

また、ビットマップ画像をフレームキャッシュへ書き込むまでのレイテンシを短縮するために、ラスタ変換する前に書き込むべきキャッシュ領域をフレームキャッシュへ伝えておき、事前にビットマップメモリからフレームキャッシュへの読み込みを完了しておく手段も併せて用いる方式もある。この例として特許文献1が知られている。   In order to reduce the latency until bitmap images are written to the frame cache, the cache area to be written is communicated to the frame cache before raster conversion, and the reading from the bitmap memory to the frame cache is completed in advance. There is also a method that uses a means to keep it together. Patent Document 1 is known as an example of this.

特開平9−212661号公報JP-A-9-212661

特許文献1に記載されるディスプレイ装置等に出力して表示する画像データと比較して、露光装置等に用いられる描画装置で扱う画像データは縦横比のサイズが数百Kビット×数百Kビットと大きいためビットマップメモリのサイズも大きくなる。従ってキャッシュ領域の数も多くなり、異なるキャッシュ領域へ連続して書き込む処理が発生する確率も高くなる。このようなフレームキャッシュを用いた方式は、一度フレームキャッシュに読み込んだ領域への書き込みが連続して発生する場合には効率が良いが、異なるキャッシュ領域への書き込みが連続して発生する場合にはフレームキャッシュの読み込み及び書き戻しが多数発生し、結果的にアクセス効率の低下を招く結果となる。本発明はこのような実情に鑑みてなされたものである。   Compared with image data that is output and displayed on a display device or the like described in Patent Document 1, the image data handled by a drawing device used in an exposure device or the like has an aspect ratio size of several hundred K bits × several hundred K bits. Therefore, the size of the bitmap memory also increases. Therefore, the number of cache areas also increases, and the probability that a process of successively writing to different cache areas will increase. Such a method using the frame cache is efficient when writing to an area once read into the frame cache occurs continuously, but when writing to different cache areas occurs continuously. Many frame cache reads and write backs occur, resulting in a decrease in access efficiency. The present invention has been made in view of such circumstances.

本発明の目的は、実装面積が小さいDRAMをビットマップメモリとして用いた場合でも、描画性能を維持でき、更にフレームキャッシュ及びビットマップメモリへのアクセス効率を向上させることができる描画装置及びそれを搭載した露光装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a drawing apparatus capable of maintaining drawing performance even when a DRAM having a small mounting area is used as a bit map memory and further improving access efficiency to a frame cache and bit map memory, and the same. An exposure apparatus is provided.

本発明は、ベクトル画像をビットマップ画像に変換するラスタ変換処理手段と、変換されたビットマップ画像を格納するDRAMで構成されるビットマップメモリと、DRAMで構成された前記ビットマップメモリへのアクセス効率を向上させるためのフレームキャッシュを前記ラスタ変換処理手段と前記ビットマップメモリとの間に備える描画装置において、前記ラスタ変換手段から出力される前記ビットマップ画像の前記ビットマップメモリへの書き込みアドレスを含む領域(キャッシュ領域)を前記ビットマップメモリから前記フレームキャッシュに読み出す際には、前記ラスタ変換処理手段で生成される前記ビットマップ画像の形状情報を元に、前記キャッシュ領域の形状を制御することを特徴とし、書き込むビットマップ画像に対してキャッシュ領域が最適化され、フレームキャッシュの利用効率を高めることができる。   The present invention relates to a raster conversion processing means for converting a vector image into a bitmap image, a bitmap memory composed of DRAM for storing the transformed bitmap image, and access to the bitmap memory composed of DRAM. In a drawing apparatus including a frame cache for improving efficiency between the raster conversion processing unit and the bitmap memory, a write address of the bitmap image output from the raster conversion unit to the bitmap memory is set. When the area (cache area) to be included is read from the bitmap memory to the frame cache, the shape of the cache area is controlled based on the shape information of the bitmap image generated by the raster conversion processing means. For bitmap images to be written Cache area Te is optimized, it is possible to enhance the utilization efficiency of the frame cache.

又、前記ラスタ変換処理手段と前記フレームキャッシュとの間にFIFO(First-In-First-Out;先入れ先出し)メモリを設け、さらにFIFOメモリと前記フレームキャッシュとの組み合わせは複数設けられ、前記ビットマップ画像は一時FIFOメモリに格納され、その間に前記フレームキャッシュへの前記キャッシュ領域の読み出しが実行され、読み出し終了後に前記FIFOメモリ内の前記ビットマップ画像を前記フレームキャッシュに書き込むことが好ましい。   Further, a FIFO (First-In-First-Out) memory is provided between the raster conversion processing means and the frame cache, and a plurality of combinations of the FIFO memory and the frame cache are provided, and the bitmap image is provided. Is stored in the temporary FIFO memory, during which the cache area is read from the frame cache, and the bitmap image in the FIFO memory is written to the frame cache after the reading is completed.

更に、上記処理の実行中には次のビットマップ画像が同時処理され、前記キャッシュ領域がすでにいずれかの前記フレームキャッシュに読み出されている場合はそのフレームキャッシュに接続される前記FIFOメモリに一時格納し、前記キャッシュ領域がいずれの前記フレームキャッシュにも読み出されていない場合は使用していない前記フレームキャッシュに接続される前記FIFOメモリに一時格納し、使用していない前記フレームキャッシュが無い場合には最もアクセス頻度の低い前記フレームキャッシュをビットマップメモリに書き戻して空にしてから前記フレームキャッシュを使用することが好ましい。   Further, during execution of the above processing, the next bitmap image is simultaneously processed, and if the cache area has already been read out to any of the frame caches, it is temporarily stored in the FIFO memory connected to the frame cache. When the cache area is stored and not read into any of the frame caches, temporarily stored in the FIFO memory connected to the unused frame cache, and there is no unused frame cache Preferably, the frame cache is used after the frame cache having the lowest access frequency is written back to the bitmap memory to be emptied.

以上のように、本発明は前述の課題を解決すべきフレームキャッシュの読み書き回数を減らすために、フレームキャッシュヘの読み込み領域を最適化する手段を用いることでアクセス効率を向上させることができることを見出しなされたものである。   As described above, the present invention has found that the access efficiency can be improved by using means for optimizing the read area to the frame cache in order to reduce the number of times the frame cache should be read and written to solve the above-mentioned problems. It was made.

本発明によれば、実装面積が小さいDRAMをビットマップメモリとして用いた場合でも、描画性能を維持でき、更にフレームキャッシュ及びビットマップメモリへのアクセス効率を向上させることができる描画装置及びそれを搭載した露光装置を提供することができる。   According to the present invention, even when a DRAM with a small mounting area is used as a bitmap memory, the rendering performance can be maintained, and the rendering efficiency and the access efficiency to the frame cache and the bitmap memory can be improved, and the same is mounted. An exposure apparatus can be provided.

以下、本発明を実施するための最良の形態を具体的な実施例によって説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to specific examples.

図1は、本発明に係る描画装置の構成を示すブロック図である。本発明の描画装置2はラスタ変換処理手段3、キャッシュコントローラ4、フレームキャッシュ5、ビットマップメモリ6を備える。   FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a drawing apparatus according to the present invention. The drawing apparatus 2 of the present invention includes a raster conversion processing unit 3, a cache controller 4, a frame cache 5, and a bitmap memory 6.

本実施例の描画装置は、複数のベクトル画像を複数のビットマップ画像に変換するラスタ変換処理手段3と、変換されたビットマップ画像を格納するDRAMで構成されるビットマップメモリ6と、DRAMで構成された前記ビットマップメモリ6へのアクセス効率を向上させるためのフレームキャッシュ5を、前記ラスタ変換処理手段3と前記ビットマップメモリ6との間に備え、前記ラスタ変換処理手段3から出力される前記ビットマップ画像の前記ビットマップメモリ6への書き込みアドレスを含む領域(キャッシュ領域)を前記ビットマップメモリ6から前記フレームキャッシュ5に読み出す際には、前記ラスタ変換処理手段3で生成される前記ビットマップ画像の形状情報を元に、前記キャッシュ領域の形状を制御するようにしたものである。   The drawing apparatus according to this embodiment includes a raster conversion processing unit 3 that converts a plurality of vector images into a plurality of bitmap images, a bitmap memory 6 that includes a DRAM that stores the converted bitmap images, and a DRAM. A frame cache 5 for improving the access efficiency to the configured bitmap memory 6 is provided between the raster conversion processing means 3 and the bitmap memory 6 and is output from the raster conversion processing means 3. When the area (cache area) including the write address of the bitmap image to the bitmap memory 6 is read from the bitmap memory 6 to the frame cache 5, the bit generated by the raster conversion processing means 3 is used. The shape of the cache area is controlled based on the shape information of the map image. Than is.

ラスタ変換処理手段3は、CAD搭載装置1の上で運用されるCADシステムで生成された複数のベクトル画像からなる配線パターンを受け取り、これを複数のビットマップ画像に変換する。変換されたビットマップ画像は最終的にビットマップメモリ上の所定のアドレスに書き込まれる。ラスタ変換処理手段3は、ビットマップ画像毎に、ビットマップメモリ6への書き込みアドレス、画像形状情報、ビットマップ画像データを出力する。   The raster conversion processing means 3 receives a wiring pattern composed of a plurality of vector images generated by a CAD system operated on the CAD mounting apparatus 1 and converts it into a plurality of bitmap images. The converted bitmap image is finally written at a predetermined address on the bitmap memory. The raster conversion processing means 3 outputs a write address to the bitmap memory 6, image shape information, and bitmap image data for each bitmap image.

キャッシュコントローラ4は、ラスタ変換処理手段3からビットマップ画像の書き込みアドレス及び画像形状情報を受け取り、キャッシュ領域アドレス及びキャッシュ領域形状情報を生成する。キャッシュ領域アドレスは書き込みアドレスを含むキャッシュ領域の先頭アドレスである。またキャッシュ領域はいくつかの形状パターン(縦横比1:1の形状、縦横比1:2の形状等)を有し、画像形状情報を元に最適な形状パターンを選択し、これをキャッシュ領域形状情報とする。例えばビットマップ画像が縦横比1:1の形状であれば、縦横比1:1のキャッシュ領域の形状パターンを選択し、ビットマップ画像が縦横比1:2の形状であれば、縦横比1:2のキャッシュ領域の形状パターンを選択する。   The cache controller 4 receives the bitmap image write address and image shape information from the raster conversion processing means 3 and generates a cache area address and cache area shape information. The cache area address is the start address of the cache area including the write address. In addition, the cache area has several shape patterns (a shape with an aspect ratio of 1: 1, a shape with an aspect ratio of 1: 2, etc.), and an optimum shape pattern is selected based on image shape information, and this is selected as the cache area shape. Information. For example, if the bitmap image has a shape with an aspect ratio of 1: 1, a cache area shape pattern with an aspect ratio of 1: 1 is selected. If the bitmap image has a shape with an aspect ratio of 1: 2, the aspect ratio of 1: The shape pattern of the second cache area is selected.

又、キャッシュコントローラ4は、キャッシュ領域アドレス及びキャッシュ領域形状情報を元にビットマップメモリ6からフレームキャッシュ5にキャッシュ領域を読み出す制御を行う。   Further, the cache controller 4 performs control to read the cache area from the bitmap memory 6 to the frame cache 5 based on the cache area address and the cache area shape information.

フレームキャッシュ5にキャッシュ領域を読み出した後、ラスタ変換処理手段3はフレームキャッシュ5にビットマップ画像データを書き込む。読み出したキャッシュ領域に書き込むビットマップ画像データが無くなれば、キャッシュコントローラ4はフレームキャッシュ5の内容をビットマップメモリ6に書き戻す処理を行う。   After reading the cache area into the frame cache 5, the raster conversion processing means 3 writes bitmap image data into the frame cache 5. When there is no bitmap image data to be written in the read cache area, the cache controller 4 performs processing for writing back the contents of the frame cache 5 to the bitmap memory 6.

ビットマップメモリ6への書き戻し処理が終了すれば、ラスタ変換処理手段3から出力される次のビットマップ画像を同様に処理する。   When the write back process to the bitmap memory 6 is completed, the next bitmap image output from the raster conversion processing means 3 is processed in the same manner.

図2は、ビットマップ画像の処理例を説明する図である。図2の(a)はビットマップメモリ6にビットマップ画像7aとビットマップ画像7bを書き込む例である。図2(b)はキャッシュ領域の形状が一律であるときの例、図2(c)はキャッシュ領域の形状を画像形状情報に合わせて最適な形状パターンとして選択した例である。図2(b)の例では2つのビットマップ画像を書き込む際には3つのキャッシュ領域を読み込む必要があるが、図2(c)の様に画像形状情報を元に最適化した場合は2つのキャッシュ領域を読み込むだけでよく、従ってキャッシュ領域の読み込み及び書き戻し回数を削減できる。   FIG. 2 is a diagram for explaining a processing example of a bitmap image. FIG. 2A shows an example in which a bitmap image 7 a and a bitmap image 7 b are written in the bitmap memory 6. FIG. 2B shows an example in which the shape of the cache area is uniform, and FIG. 2C shows an example in which the shape of the cache area is selected as an optimum shape pattern in accordance with the image shape information. In the example of FIG. 2B, when writing two bitmap images, it is necessary to read three cache areas. However, in the case of optimization based on image shape information as shown in FIG. It is only necessary to read the cache area, and therefore the number of times the cache area is read and written back can be reduced.

本実施例によれば、実装面積が小さいDRAMをビットマップメモリとして用いた場合でも、描画性能を維持でき、更にフレームキャッシュ及びビットマップメモリへのアクセス効率を向上させることができる。   According to this embodiment, even when a DRAM having a small mounting area is used as a bitmap memory, the drawing performance can be maintained, and the access efficiency to the frame cache and the bitmap memory can be improved.

又、キャッシュ領域をフレームキャッシュに読み込む際のキャッシュ領域の形状を、書き込むビットマップ画像の形状に基づいて制御することにより、書き込むビットマップ画像に対してキャッシュ領域が最適化され、フレームキャッシュの利用効率が向上し、より効率的にビットマップメモリへアクセスすることが可能となる。   Also, by controlling the shape of the cache area when reading the cache area into the frame cache based on the shape of the bitmap image to be written, the cache area is optimized for the bitmap image to be written, and the efficiency of using the frame cache The bit map memory can be accessed more efficiently.

図3は、本発明に係る描画装置の構成を示すブロック図である。描画装置2はラスタ変換処理手段3、キャッシュコントローラ4、キャッシュ選択手段8、複数のFIFOメモリ11−0〜11−n、複数のフレームキャッシュ5−0〜5−n、メモリインターフェース16、ビットマップメモリ6を備える。   FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the drawing apparatus according to the present invention. The drawing apparatus 2 includes a raster conversion processing unit 3, a cache controller 4, a cache selection unit 8, a plurality of FIFO memories 11-0 to 11-n, a plurality of frame caches 5-0 to 5-n, a memory interface 16, and a bitmap memory. 6 is provided.

キャッシュ選択手段8は、1つの入力ポート9と複数の出力ポート10−0〜10−nを備える。   The cache selection unit 8 includes one input port 9 and a plurality of output ports 10-0 to 10-n.

FIFOメモリ11−0〜11−nは入力ポート12−0〜12−nと出力ポート13−0〜13−nとをそれぞれ備える。   The FIFO memories 11-0 to 11-n include input ports 12-0 to 12-n and output ports 13-0 to 13-n, respectively.

フレームキャッシュ5−0〜5−nは、第1のアクセスポート14−0〜14−nと第2のアクセスポート15−0〜15−nとをそれぞれ備える。   The frame caches 5-0 to 5-n include first access ports 14-0 to 14-n and second access ports 15-0 to 15-n, respectively.

ラスタ変換処理手段3は、CAD搭載装置1と接続されるとともに、キャッシュ選択手段8の入力ポート9と接続される。   The raster conversion processing means 3 is connected to the CAD mounting apparatus 1 and to the input port 9 of the cache selection means 8.

キャッシュ選択手段8の出力ポート10−0〜10−nは、それぞれFIFOメモリ11−0〜11−nの入力ポート12−0〜12−nと接続される。   The output ports 10-0 to 10-n of the cache selection means 8 are connected to the input ports 12-0 to 12-n of the FIFO memories 11-0 to 11-n, respectively.

FIFOメモリ11−0〜11−nの出力ポート13−0〜13−nは、フレームキャッシュ5−0〜5−nの第1のアクセスポート14−0〜14−nと接続される。   The output ports 13-0 to 13-n of the FIFO memories 11-0 to 11-n are connected to the first access ports 14-0 to 14-n of the frame caches 5-0 to 5-n.

フレームキャッシュ5−0〜5−nの第2のアクセスポート15−0〜15−nは、メモリインターフェース16と接続される。メモリインターフェース16は、ビットマップメモリ6と接続される。   The second access ports 15-0 to 15-n of the frame caches 5-0 to 5-n are connected to the memory interface 16. The memory interface 16 is connected to the bitmap memory 6.

次に、以上の描画装置における処理手順について説明する。ラスタ変換処理手段3は、CAD搭載装置1から複数のベクトル画像データを順に受け取り、受け取ったベクトル画像データを順にビットマップ画像に変換する。この際、ビットマップ画像は書き込みアドレス、画像形状情報及びビットマップ画像データを有する。   Next, a processing procedure in the above drawing apparatus will be described. The raster conversion processing means 3 sequentially receives a plurality of vector image data from the CAD-equipped device 1 and converts the received vector image data into a bitmap image in order. At this time, the bitmap image has a write address, image shape information, and bitmap image data.

キャッシュ選択手段8は、ラスタ変換処理手段3から送られるビットマップ画像データ及び書き込みアドレスを入力ポート9から受け取り、キャッシュ選択信号に基づき出力ポート10−0〜10−nのいずれかを選択してFIFOメモリ11−0〜11−nの何れかのFIFOメモリへ送る処理を行う。   The cache selection unit 8 receives the bitmap image data and the write address sent from the raster conversion processing unit 3 from the input port 9, selects one of the output ports 10-0 to 10-n based on the cache selection signal, and performs a FIFO. Processing to send to any one of the memories 11-0 to 11-n is performed.

FIFOメモリ11−0は、ビットマップデータ及び書き込みアドレスを一時格納し、接続されるフレームキャッシュ5−0が書き込み可能状態になれば、第1のアクセスポート14−0を介して出力ポート13−0から書き込みアドレスを元にビットマップ画像データを書き込む。FIFO11−1〜11−nについても上記と同様の動作でそれぞれフレームキャッシュ5−1〜5−nに書き込む。   The FIFO memory 11-0 temporarily stores bitmap data and a write address, and when the connected frame cache 5-0 is in a writable state, the output port 13-0 via the first access port 14-0. To write bitmap image data based on the write address. The FIFOs 11-1 to 11-n are also written in the frame caches 5-1 to 5-n, respectively, by the same operation as described above.

キャッシュコントローラ4は、ビットマップ画像を書き込むフレームキャッシュ5−0〜5−nを選択する処理と、フレームキャッシュ5−0〜5−nにキャッシュ領域をビットマップメモリ6から読み込む制御及びビットマップ画像がフレームキャッシュ5−0〜5−nに書き込まれた後に、フレームキャッシュ5−0〜5−n内のデータをビットマップメモリ6に書き戻す制御を行う。キャッシュコントローラ4は、書き込みアドレスに基づきビットマップ画像を書き込むフレームキャッシュを選択する。フレームキャッシュの選択は次の3つの選択基準に基づいて行う。
(1)キャッシュ領域がフレームキャッシュ5−0〜5−nのうちのいずれかにすでに読み込まれている場合は、そのフレームキャッシュを選択する。
(2)キャッシュ領域がフレームキャッシュ5−0〜5−nのいずれにも読み込まれていない場合は、フレームキャッシュ5−0〜5−nのうちの空いているフレームキャッシュを選択する。
(3)フレームキャッシュ5−0〜5−nのいずれにもキャッシュ領域が読み込まれておらずかつ空いているフレームキャッシュが無い場合は、最も使用頻度の低いフレームキャッシュを選択する。
The cache controller 4 selects the frame caches 5-0 to 5-n to which the bitmap image is to be written, the control for reading the cache area from the bitmap memory 6 to the frame caches 5-0 to 5-n, and the bitmap image After the data is written in the frame caches 5-0 to 5-n, the data in the frame caches 5-0 to 5-n is controlled to be written back to the bitmap memory 6. The cache controller 4 selects a frame cache for writing a bitmap image based on the write address. The frame cache is selected based on the following three selection criteria.
(1) If the cache area has already been read into any of the frame caches 5-0 to 5-n, that frame cache is selected.
(2) When the cache area has not been read into any of the frame caches 5-0 to 5-n, a free frame cache is selected from the frame caches 5-0 to 5-n.
(3) If the cache area is not read and there is no free frame cache in any of the frame caches 5-0 to 5-n, the least frequently used frame cache is selected.

選択基準(1)の場合、キャッシュコントローラ4は選択したフレームキャッシュに接続されるキャッシュ選択手段8の出力ポートを選択するキャッシュ選択信号を生成する。たとえば、フレームキャッシュ5−0を選択した場合は出力ポート10−0を選択するキャッシュ選択信号を生成する。キャッシュ選択手段8の入力ポート9から受け取ったビットマップ画像データ及び書き込みアドレスは出力ポート10−0から出力され、入力ポート12−0を介してFIFOメモリ11−0に一時格納される。FIFOメモリ11−0内に別のデータが格納されていなければ、ビットマップ画像データ及び書き込みアドレスはそのまま出力ポート13−0から出力され、FIFOメモリ11−0内に別のデータが格納されていれば、そのデータが出力されるのを待ってから出力ポート13−0から出力され、第1のアクセスポート14−0を介して書き込みアドレスを元にビットマップ画像データはフレームキャッシュ5−0に書き込まれる。フレームキャッシュ5−1〜5−nが選択された場合も同様の処理が行われる。   In the case of the selection criterion (1), the cache controller 4 generates a cache selection signal for selecting the output port of the cache selection means 8 connected to the selected frame cache. For example, when the frame cache 5-0 is selected, a cache selection signal for selecting the output port 10-0 is generated. The bitmap image data and the write address received from the input port 9 of the cache selection unit 8 are output from the output port 10-0 and temporarily stored in the FIFO memory 11-0 via the input port 12-0. If other data is not stored in the FIFO memory 11-0, the bitmap image data and the write address are output as they are from the output port 13-0, and other data is stored in the FIFO memory 11-0. For example, after waiting for the output of the data, the data is output from the output port 13-0, and the bitmap image data is written to the frame cache 5-0 based on the write address via the first access port 14-0. It is. Similar processing is performed when the frame caches 5-1 to 5-n are selected.

選択基準(2)の場合、選択基準1と同様にビットマップ画像データ及び書き込みアドレスがFIFOメモリ11−0に格納されている間、キャッシュコントローラ4は書き込みアドレス及び画像形状情報を元にキャッシュ領域アドレス及びキャッシュ領域形状情報を生成し、第2のアクセスポートを介してキャッシュ領域をビットマップメモリ6からフレームキャッシュ5−0へ読み込む制御を行う。キャッシュ領域の読み込みが完了すればフレームキャッシュ5−0が書き込み可能状態となり、FIFOメモリ11−0に一時格納されたデータをフレームキャッシュ5−0に書き込む。   In the case of the selection criterion (2), as with the selection criterion 1, while the bitmap image data and the write address are stored in the FIFO memory 11-0, the cache controller 4 determines the cache area address based on the write address and the image shape information. The cache area shape information is generated, and control is performed to read the cache area from the bitmap memory 6 to the frame cache 5-0 via the second access port. When the reading of the cache area is completed, the frame cache 5-0 becomes writable, and the data temporarily stored in the FIFO memory 11-0 is written into the frame cache 5-0.

選択基準(3)の場合は、選択基準(1)と同様にビットマップ画像データ及び書き込みアドレスがFIFOメモリ11−0に格納されている間、キャッシュコントローラ4はフレームキャッシュ5−0内のデータをビットマップメモリ6に書き戻した後、書き込みアドレス及び画像形状情報を元にキャッシュ領域アドレス及びキャッシュ領域形状情報を生成しキャッシュ領域をビットマップメモリ6からフレームキャッシュ5−0へ読み込む制御を行う。キャッシュ領域の読み込みが完了すればフレームキャッシュ5−0が書き込み可能状態となり、FIFOメモリ11−0に一時格納されたデータをフレームキャッシュ5−0に書き込む。   In the case of the selection criterion (3), the cache controller 4 stores the data in the frame cache 5-0 while the bitmap image data and the write address are stored in the FIFO memory 11-0 as in the selection criterion (1). After writing back to the bitmap memory 6, a cache area address and cache area shape information are generated based on the write address and image shape information, and control is performed to read the cache area from the bitmap memory 6 to the frame cache 5-0. When the reading of the cache area is completed, the frame cache 5-0 becomes writable, and the data temporarily stored in the FIFO memory 11-0 is written into the frame cache 5-0.

メモリインターフェース16は、各フレームキャッシュ5−0〜5−nからの読み込み要求及び書き込み要求のアクセス調停を行う。すべてのビットマップ画像が処理されれば、フレームキャッシュ5−0〜5−n内のデータはすべてビットマップメモリ6に書き戻される。   The memory interface 16 performs access arbitration of read requests and write requests from the frame caches 5-0 to 5-n. When all the bitmap images are processed, all the data in the frame caches 5-0 to 5-n are written back to the bitmap memory 6.

以上、本実施例のようにフレームキャッシュを複数備え、FIFOメモリをフレームキャッシュの前段に設けることにより、ビットマップ画像データのフレームキャッシュへの書き込み処理とフレームキャッシュの読み込み及び書き戻し処理を並列して実行でき、メモリアクセス効率の向上が期待できる。   As described above, a plurality of frame caches are provided as in the present embodiment, and a FIFO memory is provided in the preceding stage of the frame cache, so that the writing process of bitmap image data to the frame cache and the reading and writing back process of the frame cache are performed in parallel. It can be executed, and improvement in memory access efficiency can be expected.

本実施例は、露光装置として実施例1又は2に示した描画装置を用いるものである。露光装置は、プリント基板の製造過程においてCAD(Computer Aided Design;コンピュータ援用設計)等で設計した配線パターンデータをマスクフィルムを用いずにプリント基板に露光するものであり、CAD等で設計した配線パターンを露光パターンへと変換する手段として描画装置が用いられる。   In this embodiment, the drawing apparatus shown in Embodiment 1 or 2 is used as an exposure apparatus. The exposure apparatus exposes wiring pattern data designed by CAD (Computer Aided Design) or the like on the printed circuit board without using a mask film in the manufacturing process of the printed circuit board. The wiring pattern designed by CAD or the like. A drawing device is used as means for converting the light into an exposure pattern.

描画装置ではベクトル画像である配線パターンからビットマップ画像である露光パターンへと変換するラスタ変換処理が行われる。この描画装置においては変換時にはビットマップ画像はビットマップメモリに書き込まれ、露光時にはビットマップ画像はビットマップメモリから読み出され、露光装置へ送られる。   In the drawing apparatus, raster conversion processing for converting a wiring pattern as a vector image into an exposure pattern as a bitmap image is performed. In this drawing apparatus, the bitmap image is written into the bitmap memory at the time of conversion, and the bitmap image is read from the bitmap memory at the time of exposure and sent to the exposure apparatus.

本実施例によれば、実装面積が小さいDRAMをビットマップメモリとして用いた場合でも、描画性能を維持でき、更にフレームキャッシュ及びビットマップメモリへのアクセス効率を向上させることができ、露光時間を短縮することができる。   According to this embodiment, even when a DRAM with a small mounting area is used as a bitmap memory, the drawing performance can be maintained, the access efficiency to the frame cache and the bitmap memory can be improved, and the exposure time can be shortened. can do.

本発明に係る描画装置のブロック図である。It is a block diagram of the drawing apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るビットマップ画像のキャッシュ領域の例を説明する図である。It is a figure explaining the example of the cache area | region of the bitmap image which concerns on this invention. 本発明に係る描画装置のブロック図である。It is a block diagram of the drawing apparatus which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…CAD搭載装置、2…描画装置、3…ラスタ変換処理手段、4…キャッシュコントローラ、5、5−0〜5−n…フレームキャッシュ、6…ビットマップメモリ、7a、7b…ビットマップ画像、8…キャッシュ選択手段、9…キャッシュ選択手段入力ポート、10−0〜10−n…キャッシュ選択手段出力ポート、11−0〜11−n…FIFOメモリ、12−0〜12−n…FIFOメモリ入力ポート、13−0〜13−n…FIFOメモリ出力ポート、14−0〜14−n…第1のアクセスポート、15−0〜15−n…第2のアクセスポート、16…メモリインターフェース。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... CAD mounting apparatus, 2 ... Drawing apparatus, 3 ... Raster conversion process means, 4 ... Cache controller, 5-5-0-5-n ... Frame cache, 6 ... Bitmap memory, 7a, 7b ... Bitmap image, 8 ... Cache selection means, 9 ... Cache selection means input port, 10-0 to 10-n ... Cache selection means output port, 11-0 to 11-n ... FIFO memory, 12-0 to 12-n ... FIFO memory input Port, 13-0 to 13-n, FIFO memory output port, 14-0 to 14-n, first access port, 15-0 to 15-n, second access port, 16 ... memory interface.

Claims (4)

複数のベクトル画像を複数のビットマップ画像に変換するラスタ変換処理手段と、変換されたビットマップ画像を格納するDRAMで構成されるビットマップメモリと、前記ラスタ変換処理手段と前記ビットマップメモリとの間に有するSRAMで構成されたフレームキャッシュとを備える描画装置において、前記ラスタ変換処理手段から出力される前記ビットマップ画像の前記ビットマップメモリヘの書き込みアドレスを含むキャッシュ領域を前記ビットマップメモリから前記フレームキャッシュに読み出す際には、前記ラスタ変換処理手段で生成される前記ビットマップ画像の形状情報を元に、前記キャッシュ領域の形状を制御するキャッシュコントローラを有することを特徴とする描画装置。   Raster conversion processing means for converting a plurality of vector images into a plurality of bitmap images, a bitmap memory comprising a DRAM for storing the converted bitmap images, the raster conversion processing means and the bitmap memory In a drawing apparatus comprising a frame cache composed of SRAM between them, a cache area including a write address to the bitmap memory of the bitmap image output from the raster conversion processing means is transferred from the bitmap memory to the bitmap memory. A drawing apparatus comprising: a cache controller that controls the shape of the cache area based on shape information of the bitmap image generated by the raster conversion processing means when reading to a frame cache. 請求項1において、前記ラスタ変換処理手段と前記フレームキャッシュとの間に、キャッシュ選択手段と、該キャッシュ選択手段に接続された複数のFIFOメモリと、該FIFOメモリの各々に接続された複数の前記フレームキャッシュとを有し、
前記ビットマップ画像を一時前記FIFOメモリに格納する処理と、前記FIFOメモリに格納している間に前記フレームキャッシュへの前記キャッシュ領域を読み出す処理と、該読み出し終了後に前記FIFOメモリ内の前記ビットマップ画像を前記フレームキャッシュに書き込む処理とを複数のビットマップ画像において同時に実行することを特徴とする描画装置。
2. The method according to claim 1, wherein a cache selection unit, a plurality of FIFO memories connected to the cache selection unit, and a plurality of the plurality of FIFO memories connected to each of the FIFO memories are provided between the raster conversion processing unit and the frame cache. Frame cache,
A process of temporarily storing the bitmap image in the FIFO memory, a process of reading the cache area to the frame cache while being stored in the FIFO memory, and the bitmap in the FIFO memory after the completion of the reading A drawing apparatus, wherein a process of writing an image to the frame cache is executed simultaneously on a plurality of bitmap images.
請求項2において、前記複数のビットマップ画像の処理の実行中には、次のビットマップ画像が同時処理され、前記キャッシュ領域がすでにいずれかの前記フレームキャッシュに読み出されている場合は前記フレームキャッシュに接続される前記FIFOメモリに一時格納し、前記キャッシュ領域がいずれの前記フレームキャッシュにも読み出されていない場合は使用していない前記フレームキャッシュに接続される前記FIFOメモリに一時格納し、使用していない前記フレームキャッシュが無い場合には最もアクセス頻度の低い前記フレームキャッシュをビットマップメモリに書き戻して空にしてから前記フレームキャッシュを使用することを特徴とする描画装置。   3. The processing according to claim 2, wherein during the processing of the plurality of bitmap images, the next bitmap image is processed at the same time, and if the cache area has already been read out to any of the frame caches, the frame Temporarily store in the FIFO memory connected to the cache, and temporarily store in the FIFO memory connected to the unused frame cache when the cache area is not read to any of the frame caches, When there is no unused frame cache, the frame cache is used after the frame cache having the lowest access frequency is written back into a bitmap memory to be emptied. 請求項1〜3のいずれかに記載の描画装置を搭載したことを特徴とする露光装置。
An exposure apparatus comprising the drawing apparatus according to claim 1.
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