JP4610059B2 - レーザ加工方法及びその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工方法及びその装置に関し、特にパルス出力でレーザ加工している場合であってもワークの異常反射による加工不良を検出するレーザ加工方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば特許番号第2820939号公報に示されているものがあり、図6に示されているように、レーザ加工装置101で出力指令値PC1が出力されると、この出力指令値PC1が出力制御回路103により電流指令値に変換して出力され、この電流指令値に基づいてレーザ用電源105から商用電源が整流されて高周波の電圧がレーザ発振器107に出力される。レーザ発振器107からレーザ出力YA1がワークWに出力される。レーザ出力Y1がワークWに吸収され、反射レーザ出力YB1がレーザ発振器107内に入射される。
【0003】
また、レーザ発振器107のレーザ出力をモニタする出力モニタ手段としてのパワーセンサ109が設けられ、このパワーセンサ109でモニタされたレーザパルスPA1が出力されて比較器111へ入力される。一方、出力指令値PC1は演算器113により増分値PO1が増分され比較器111へ入力される。比較器111では、レーザパルスPA1が演算器113の出力値(PC1+PO1)を超えているときは加工不良として比較器111から異常検出信号AR1が出力される。異常検出信号AR1により加工が停止される。
【0004】
なお、図7において理想的な制御状態は出力指令値PC1とレーザパルスPA1が完全に一対一で比例している実線115の場合であるが、正常に加工が行われている場合であってもある程度の量の反射レーザ出力があるので理想特性の実線115から僅かにずれて出力指令値PC1に対してレーザパルスPA1が増えることがある。この増分量は、例えば正常な加工の場合には20%を超えることはないが、異常反射が生じた場合は20%を超えてしまうために、レーザ発振器107に設けられている光学部品が損傷してしまうという障害が発生することになる。
【0005】
そこで、上記の例では一点鎖線117が20%の増分量をしきい値として増分値PO1が増分された基準値を示すものである。点線119の状態は一点鎖線117の基準値を超えた場合である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のレーザ加工装置101においては、図8に示されているようにパルス出力でレーザ加工が行われている場合では、パルスのOFF区間はレーザ光が出力されていないために反射光がなくなるので、レーザ出力のパルスのON区間だけで反射光の有無の判断が行われることになる。したがって、たとえレーザ加工の異常が発生しても加工面の状態によってはレーザ光が十分に反射しないために、パワーセンサ109でモニタされるレーザパルスPA1が低いので比較器111にて異常を検出できないという問題点があった。
【0007】
この現象は、特にデューティファクタが低いパルスで顕著に起きるものであった。
【0008】
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、その目的は、たとえパルス出力のレーザ加工であっても、切断不良などのレーザ加工不良による反射光を確実に検出してレーザ発振器等の光学部品を上記の反射光による損傷から保護し得るレーザ加工方法及びその装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1によるこの発明のレーザ加工方法は、出力指令信号に基づいて出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えて、このレーザ発振器からレーザ光をワークへ照射してレーザ加工を行っているとき、ワーク面からの反射光によって増加したレーザパルスから、前記出力制御回路から出力された補間パルスを減算した減算パルスと、前記出力制御回路から出力されたプローブパルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスとが比較され、前記減算パルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめることを特徴とするものである。
【0010】
したがって、出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたことから、出力パルスのパルスオフ区間においてもレーザ加工に影響を与えない最低出力が発生されているので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出される。このとき、レーザ発振器の動作が自動停止されるので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0011】
請求項2によるこの発明のレーザ加工方法は、出力指令信号に基づいて出力制御回路よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えて、このレーザ発振器からレーザ光をワークへ照射してレーザ加工を行っているとき、ワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスを光センサで検出し、この検出したレーザパルスと、前記出力制御回路から出力された出力パルスを前記光センサと同じ特性を有するフィルタにより平均化した出力パルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスとが比較され、前記レーザパルスが増分出力パルスより大きいときレーザ発振器の動作を停止せしめること特徴とするものである。
【0012】
したがって、出力指令信号に基づいて出力制御回路よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出される。このとき、レーザ発振器の動作が自動停止されるので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0013】
請求項3によるこの発明のレーザ加工装置は、出力指令信号に基づいてプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器へ出力せしめると共に補間パルスとプローブパルスを別途に出力せしめる出力制御回路と、この出力制御回路から出力された出力パルスに基づいてワークへ照射すべきレーザ光を発振するレーザ発振器と、レーザ加工を行っているときワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスをモニタする出力モニタ手段と、この出力モニタ手段によりモニタされた前記レーザパルスから、前記出力制御回路から出力された補間パルスを減算して減算パルスを算出する第1演算手段と、前記出力制御回路から出力されたプローブパルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスを算出する第2演算手段と、前記第1演算手段で算出された減算パルスと前記第2演算手段で算出された増分出力パルスとを比較し、減算パルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめる指令を与える比較手段と、を備えてなることを特徴とするものである。
【0014】
したがって、請求項1記載の作用と同様であり、出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたことから、出力パルスのパルスオフ区間においてもレーザ加工に影響を与えない最低出力が発生されているので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出される。このとき、レーザ発振器の動作が自動停止されるので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0015】
請求項4によるこの発明のレーザ加工装置は、出力指令信号に基づいてパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器へ出力せしめる出力制御回路と、この出力制御回路から出力された出力パルスに基づいてワークへ照射すべきレーザ光を発振するレーザ発振器と、レーザ加工を行っているときワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスをモニタする出力モニタ手段としての光センサと、前記出力制御回路から出力された前記出力パルスを前記光センサと同じ特性を有するフィルタにより平均化した出力パルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスを算出する演算手段と、前記出力モニタ手段からのレーザパルスと前記演算手段で算出された増分出力パルスとを比較し、レーザパルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめる指令を与える比較手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【0016】
したがって、請求項2記載の作用と同様であり、出力指令信号に基づいて出力制御回路よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出される。このとき、レーザ発振器の動作が自動停止されるので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のレーザ加工方法及びその装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0018】
図1を参照するに、本実施の形態に係わるレーザ加工装置1は、レーザ加工が開始されると、制御装置3からS指令(出力指令信号)、デューティ、周波数が第1出力制御回路5に入力され、第1出力制御回路5により出力指令としての例えば出力パルスSO,補間パルスep0、プローブパルスPR0の信号が発生される。
【0019】
図2を参照するに、上記の出力パルスSOとしては、ON区間とOFF区間を有するパルスが発信される。ON区間の振幅はS指令値であり、OFF区間の振幅はレーザ加工に影響を与えない最低出力となっている。
【0020】
また、プローブパルスPR0としては、出力パルスSOより十分早い周波数のパルスであり、出力パルスSOのON区間に相当する部分のパルスの振幅はS指令と同じ振幅であり、出力パルスSOのOFF区間に相当する部分のパルスの振幅はレーザ加工に影響を与えない最低出力となっている。
【0021】
また、補間パルスep0としては、出力パルスSOから上記のプローブパルスPR0を差し引いた状態のパルス(SO−PR0)である。
【0022】
言い換えると、出力パルスSO,補間パルスep0、プローブパルスPR0の関係は、図2に示されているように補間パルスep0とプローブパルスPR0を加算したものが出力パルスSOと同じパルスとなることが分かる。
【0023】
第1出力制御回路5から出力された出力パルスSOは第2出力制御回路7へ入力されて電圧指令V1に変換される。この変換された電圧指令V1に基づいてレーザ用電源9から商用電源が整流されて電圧指令V1に対応した高周波電圧がレーザ発振器11に出力される。高周波電圧はレーザ発振器11にて印加されてレーザ出力PoutがワークWに向けて出力される。なお、レーザ出力Poutの一部は反射レーザ出力としてレーザ発振器11内に入射される。
【0024】
また、レーザ発振器11のレーザ出力をモニタする出力モニタ手段としての例えば光センサ13が設けられ、この光センサ13でモニタされたモニタ値としての例えばレーザパルスPmが出力されて第1演算器15へ入力される。このレーザパルスPmはレーザ出力Poutがパルスの場合では応答が遅いために平均化される。
【0025】
一方、第1出力制御回路5から出力された補間パルスep0は上記の光センサ13と同じ特性(応答速度)を持つ第1フィルタ17により平均化されて補間パルスep1が出力され第1演算手段としての例えば第1演算器15へ入力される。
【0026】
この第1演算器15では補間パルスep1がレーザパルスPmから減算されて減算パルス(Pm−ep1)が算出することとなる。この減算パルス(Pm−ep1)は、出力パルスSOにより発生したレーザ出力から補間パルスep0によって発生したレーザ出力を減算することであり、図2に示されている出力パルスSO,補間パルスep0、プローブパルスPR0の関係からして上記のように第1演算器15においてレーザパルスPmから補間パルスep1が減算された演算値は、プローブパルスPR0によって発生したレーザ出力に対応する比較可能なパルスということになり、この演算値が第1比較器19へ入力される。なお、第1比較器19は、レーザ加工不良に対するアラームを発生せしめる指令とレーザ発振器11の動作を自動停止せしめる指令を与える比較手段である。
【0027】
また、第1出力制御回路5から出力されたプローブパルスPR0は上記の光センサ13と同じ特性(応答速度)を持つ第2フィルタ21により平均化されてプローブパルスPR1が出力され、第2演算器25へ入力される。この第2演算器25により上記のプローブパルスPR1は予め設定された設定値としての例えばしきい値23が増分されて増分出力パルスPR2が上記の第1比較器19へ入力される。なお、第2演算器25は、プローブパルスPR1にしきい値23を増分して増分出力パルスPR2(基準値)を算出する第2演算手段を構成する。
【0028】
上記の第1比較器19では、図3のステップS1に示されているように、上記の減算パルス(Pm−ep1)、つまり光センサ13によりモニタされたレーザ出力のうちのプローブパルスPR0が第2演算器25の出力値の増分出力パルスPR2と比較されて、減算パルス(Pm−ep1)が増分出力パルスPR2を超えているときはステップS2に示されているように加工不良として第1比較器19から異常検出信号が出力されアラームが表示されると共にレーザ加工が自動的に停止される。
【0029】
また、減算パルス(Pm−ep1)が増分出力パルスPR2を超えていないときはステップS3において加工終了となるまでレーザ加工が続行される。
【0030】
以上のように、本発明の実施の形態では、従来で加工不良の検出が難しかったデューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出されるので、レーザ発振器11などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0031】
本発明の他の実施の形態のレーザ加工方法及びその装置について、図面を参照して説明する。なお、前述した実施の形態のレーザ加工方法及びその装置と同様の部分は同符号とする。
【0032】
図4を参照するに、レーザ加工装置1は、レーザ加工が開始されると、制御装置3からS指令、デューティ、周波数が第3出力制御回路27に入力され、第3出力制御回路27により出力パルスSOの信号が発生される。
【0033】
上記の出力パルスSOとしては、図5に示されているようにON区間とOFF区間を有するパルスが発信される。このパルスはON区間の振幅がS指令値であり、OFF区間の振幅がレーザ加工に影響を与えない最低出力となっている。
【0034】
第3出力制御回路27から出力された出力パルスSOは第4出力制御回路29へ入力されて電圧指令V1に変換される。この変換された電圧指令V1に基づいてレーザ用電源9から商用電源が整流されて電圧指令V1に対応した高周波電圧がレーザ発振器11に出力される。高周波電圧はレーザ発振器11にて印加されてレーザ出力PoutがワークWに向けて出力される。なお、レーザ出力Poutの一部は反射レーザ出力としてレーザ発振器11内に入射される。
【0035】
また、レーザ発振器11のレーザ出力をモニタする出力モニタ手段としての例えば光センサ13が設けられ、この光センサ13でモニタされたレーザパルスPmが出力されて第2比較器31へ入力される。なお、第2比較器31は、レーザ加工不良に対するアラームを発生すると共にレーザ発振器11の動作を自動停止せしめる比較手段である。
【0036】
一方、第3出力制御回路27から出力された出力パルスSOは上記の光センサ13と同じ特性(応答速度)を持つ第3フィルタ33により平均化されて出力され、第3演算器35へ入力される。この出力パルスSOは第3演算器35により予め設定された設定値としての例えばしきい値23が増分されて増分出力パルスが上記の第2比較器31へ入力される。なお、第3演算器35は、出力パルスSOにしきい値23を増分して増分出力パルス(基準値)を算出する第3演算手段を構成する。
【0037】
上記の第2比較器31では、上記のレーザパルスPmが第3演算器35により算出された増分出力パルスの基準値と比較されて、レーザパルスPmが基準値を超えているときは加工不良として比較器から異常検出信号が出力されアラームが表示されると共にレーザ加工が自動的に停止される。
【0038】
また、出力パルスSOが基準値を超えていないときは加工終了となるまでレーザ加工が続行される。
【0039】
以上のように、この実施の形態においても、従来では加工不良の検出が難しかったデューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良が検出されるので、レーザ発振器11などの光学部品が加工不良時に発生する反射光による損傷から保護される。
【0040】
なお、この発明は前述した実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他の態様で実施し得るものである。
【0041】
【発明の効果】
以上のごとき発明の実施の形態の説明から理解されるように、請求項1の発明によれば、出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたことから、出力パルスのパルスオフ区間においてもレーザ加工に影響を与えない最低出力が発生されているので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良を検出できる。このとき、レーザ発振器の動作を自動停止するので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光により損傷することから保護できる。
【0042】
請求項2の発明によれば、出力指令信号に基づいて出力制御乖離よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良を検出できる。このとき、レーザ発振器の動作を自動停止するので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光により損傷することから保護できる。
【0043】
請求項3の発明によれば、請求項1記載の効果と同様であり、出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたことから、出力パルスのパルスオフ区間においてもレーザ加工に影響を与えない最低出力が発生されているので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良を検出できる。このとき、レーザ発振器の動作を自動停止するので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光により損傷することから保護できる。
【0044】
請求項4の発明によれば、請求項2記載の効果と同様であり、出力指令信号に基づいて出力制御乖離よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えてレーザ光をワークへ照射せしめたので、デューティの低いパルスのレーザ加工においても確実に加工不良を検出できる。このとき、レーザ発振器の動作を自動停止するので、レーザ発振器などの光学部品が加工不良時に発生する反射光により損傷することから保護できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すもので、レーザ出力制御のブロック図である。
【図2】本発明の実施の形態を示すもので、レーザ出力パルスの状態説明図である。
【図3】本発明の実施の形態のレーザ加工方法のフローチャート図である。
【図4】本発明の他の実施の形態を示すもので、レーザ出力制御のブロック図である。
【図5】本発明の他の実施の形態を示すもので、レーザ出力パルスの状態説明図である。
【図6】従来例のレーザ出力制御のブロック図である。
【図7】従来例の出力指令値とモニタ値との関係を示すグラフである。
【図8】従来例のレーザ出力パルスの状態説明図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工装置
3 制御装置
5 第1出力制御回路
7 第2出力制御回路
11 レーザ発振器
13 光センサ(出力モニタ手段)
15 第1演算器
19 第1比較器
23 しきい値
25 第2演算器
27 第3出力制御回路
29 第4出力制御回路
31 第2比較器
35 第3演算器
SO 出力指令
ep0 補間パルス
PR0 プローブパルス
Claims (4)
- 出力指令信号に基づいて出力制御回路よりプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器に与えて、このレーザ発振器からレーザ光をワークへ照射してレーザ加工を行っているとき、ワーク面からの反射光によって増加したレーザパルスから、前記出力制御回路から出力された補間パルスを減算した減算パルスと、前記出力制御回路から出力されたプローブパルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスとが比較され、前記減算パルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめることを特徴とするレーザ加工方法。
- 出力指令信号に基づいて出力制御回路よりパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器に与えて、このレーザ発振器からレーザ光をワークへ照射してレーザ加工を行っているとき、ワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスを光センサで検出し、この検出したレーザパルスと、前記出力制御回路から出力された出力パルスを前記光センサと同じ特性を有するフィルタにより平均化した出力パルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスとが比較され、前記レーザパルスが増分出力パルスより大きいときレーザ発振器の動作を停止せしめることを特徴とするレーザ加工方法。
- 出力指令信号に基づいてプローブパルスを含めた出力パルスをレーザ発振器へ出力せしめると共に補間パルスとプローブパルスを別途に出力せしめる出力制御回路と、この出力制御回路から出力された出力パルスに基づいてワークへ照射すべきレーザ光を発振するレーザ発振器と、レーザ加工を行っているときワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスをモニタする出力モニタ手段と、この出力モニタ手段によりモニタされた前記レーザパルスから、前記出力制御回路から出力された補間パルスを減算して減算パルスを算出する第1演算手段と、前記出力制御回路から出力されたプローブパルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスを算出する第2演算手段と、前記第1演算手段で算出された減算パルスと前記第2演算手段で算出された増分出力パルスとを比較し、減算パルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめる指令を与える比較手段と、を備えてなることを特徴とするレーザ加工装置。
- 出力指令信号に基づいてパルスオフ区間でも加工に影響しない最低出力を含めた出力パルスをレーザ発振器へ出力せしめる出力制御回路と、この出力制御回路から出力された出力パルスに基づいてワークへ照射すべきレーザ光を発振するレーザ発振器と、レーザ加工を行っているときワーク面からの反射光によって増加したレーザ発振器からのレーザパルスをモニタする出力モニタ手段としての光センサと、前記出力制御回路から出力された前記出力パルスを前記光センサと同じ特性を有するフィルタにより平均化した出力パルスに予め設定された設定値を増分した増分出力パルスを算出する演算手段と、前記出力モニタ手段からのレーザパルスと前記演算手段で算出された増分出力パルスとを比較し、レーザパルスが増分出力パルスより大きいときにレーザ発振器の動作を停止せしめる指令を与える比較手段とを備えてなることを特徴とするレーザ加工装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63207484A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-26 | Nippon Steel Corp | ロ−ルダル加工に適したqスイツチパルスレ−ザのパルス波形制御法 |
JPH02179374A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-12 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
JPH04309478A (ja) * | 1991-04-09 | 1992-11-02 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
JP2820939B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1998-11-05 | ファナック 株式会社 | Ncレーザ装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63207484A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-26 | Nippon Steel Corp | ロ−ルダル加工に適したqスイツチパルスレ−ザのパルス波形制御法 |
JP2820939B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1998-11-05 | ファナック 株式会社 | Ncレーザ装置 |
JPH02179374A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-12 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
JPH04309478A (ja) * | 1991-04-09 | 1992-11-02 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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