JP4609208B2 - 光データ伝送システムおよび光データ伝送方法 - Google Patents

Description

この発明は、例えばＬＳＩ(Large Scale Integrated Circuit)等の半導体チップ間でデータ伝送を行う際に適用して好適な光データ伝送システム、光データバスおよび光データ伝送方法に関する。詳しくは、この発明は、データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、データ情報を有する単一または複数の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とからなる光データバスを利用することによって、各ユニットが発光素子を備えることなく安価かつ簡単に構成でき、しかも通信容量を容易に増加できるようにした光データ伝送システム等に係るものである。

従来、ＬＳＩ等の半導体チップ間のデータ伝送は、基板配線を介した電気信号によりなされている。しかし、昨今のＭＰＵ(Micro Processing Unit)の高機能化に伴い、半導体チップ間にて必要とされるデータ授受量は著しく増大し、結果として種々の高周波問題、例えばＲＣ(Register and Capacitor)信号遅延、インピーダンスミスマッチング、ＥＭＣ(ElectroMagnetic Compatibility)／ＥＭＩ(ElectroMagnetic Interference)、クロストーク等が浮上している。

また従来、データ伝送の高速化および大容量化を実現するために、光配線による光データ伝送技術が開発されている。半導体チップ間のデータ伝送を光信号で行うことで、電気配線におけるようなＲＣ遅延の問題はなく、伝送速度を大幅に向上させることができる。また、半導体チップ間のデータ伝送を光信号で行うことで、電磁波に関する対策を全く必要とせず、比較的自由な配線設計が可能となる。

特許文献１には、光波長多重伝送方式が記載されている。この光波長多重伝送方式では、ノードがデータを送信する場合、当該ノードは、送信データを送るべきノードのアドレス光波長を確認し、データをこの光波長の光信号に変換して光ファイバ伝送路に送出する。また、この光波長多重伝送方式では、ノードがデータを受信する場合、当該ノードは、光ファイバ伝送路から、自ノードのアドレスとして割り当てられた波長の光のみを取り出して受信データを取得する。

特許第２８００４８１号公報

上述した特許文献１に記載される光波長多重伝送方式を始めとして従来提案されている複数のノード間のデータ通信、あるいは複数の半導体チップ間のデータ伝送を光配線で行うものにあっては、各ノードあるいは各半導体チップがそれぞれ発光素子を有しており、高価かつ複雑な構成となっている。

この発明の目的は、各ユニット（ノード、半導体チップ等）が発光素子を備えることなく安価かつ簡単に構成でき、また通信容量を容易に増加できるようにすることを目的とする。

この発明の概念は、
データの送受信を行う複数のユニットと、
上記複数のユニットを接続する、データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、
上記複数のユニットを接続する、データ情報を有する単一または複数の波長の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とを備え、
上記複数のユニットは、それぞれ、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、および少なくとも１つ以上の受光機能デバイスを有し、
上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の変調機能デバイスは、それぞれ、上記第１の光導波路で導波されている所定波長の光を送信データに基づいて変調して上記複数の第２の光導波路のうちの１つに導波し、
上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の受光機能デバイスの少なくともいずれかは、上記複数の第２の光導波路のうちの１つから、所定の波長の光を取り出して受信データを得る共に、
上記受信データを得るための受光機能デバイスは、上記第２の光導波路から取り出す光の比率を調整する調整機構を有する
ことを特徴とする光データ伝送システムにある。

この発明においては、データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、データ情報を有する単一または複数の波長の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とから光データバスが構成される。そして、この光データバスを利用して、ユニット間のデータ伝送が行われる。

例えば、第１の光導波路、複数の第２の光導波路、複数のユニットがそれぞれ有する変調機能デバイスおよび受光機能デバイスは、同一基板に形成される。また例えば、第１の光導波路および第２の光導波路は、ＳＩＭＯＸ(Separation by IMplanted OXygen)法により形成された埋め込み光導波路とされる。

また例えば、複数のユニットがそれぞれ有する変調機能デバイスは光導波路を用いて構成され、複数のユニットがそれぞれ有する受光機能デバイスは光導波路を用いて構成され、これらの光導波路の一部は、ＳＩＭＯＸ法により形成された埋め込み光導波路よりも基板表面側に配置された光導波路とされる。この場合、ＳＩＭＯＸ法により形成された埋め込み光導波路と、この埋め込み光導波路よりも基板表面側に配置された光導波路とが交差する部分は直交するようになされ、これらの光導波路の間で光が導波されることが防止される。

第１のユニットから第２のユニットにデータを伝送する際、例えば、第１のユニットの変調機能デバイスは、送信データに基づいて、第１の光導波路から所定の波長の光を複数の第２の光導波路に導波し、第２のユニットの受光機能デバイスは、第１のユニットにより第１の光導波路から導波された所定の波長の光を、複数の第２の光導波路から取り出して受信データを得る。

上述したように、各ユニットは第１の光導波路で導波されている単一または複数の波長の光を用いて送信データに対応した所定の波長の光を得るものであり、当該各ユニットは発光素子を備える必要がなくなり、従って安価かつ簡単に構成できる。また、各ユニットは他のユニットにデータを送る際、複数の第２の光導波路を使用できるものであり、通信容量を容易に増加できる。

例えば、複数の第２の光導波路の各ユニット間の距離が等しくなるように調整する距離調整部がさらに備えられる。また例えば、複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の変調機能デバイスのうち、第１の光導波路から複数の第２の光導波路にそれぞれ所定のユニットに送信するための所定の波長の光を導波する複数の変調機能デバイスの間隔と、複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の受光機能デバイスのうち、複数の第２の光導波路からそれぞれ所定のユニットより送信された所定の波長の光を取り出し受信データを得る複数の受光機能デバイスの間隔とが等しくされる。これにより、複数の第２の光導波路を用いてデータを伝送する際に、それぞれの伝送距離が等しくなり、データスキューの発生が防止される
例えば、変調機能デバイスが第１の光導波路から第２の光導波路に導波する光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光とされる。この場合、他のユニットで当該波長の光を取り出すようになされていれば、送信データに送信先のユニットを示すアドレスを付加しておく必要がなく、送信データのヘッダ部のデータエリアを縮小でき、実質的なデータ転送レートを高めることができる。

また例えば、受光機能デバイスが第２の光導波路から取り出す光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光とされる。この場合、他のユニットで当該波長の光を第２の光導波路に導波するようになされていれば、送信データに送信元のユニットを示すアドレスを付加しておく必要がなく、送信データのヘッダ部のデータエリアを縮小でき、実質的なデータ転送レートを高めることができる。

また例えば、複数のユニットは、それぞれ、変調機能デバイスにより第２の光導波路に導波された光を、この第２の光導波路から取り出して除去する受光機能デバイスを有するようにされる。この場合、所定のユニットの変調機能デバイスにより第２の光導波路に導波された光は一周して当該所定のユニットの接続箇所に戻ってくるが、この光を除去できるため、次に変調機能デバイスにより第２の光導波路に導波される光に対するクロストークを抑制することができる。

また例えば、受信データを得るための受光機能デバイスは、第２の光導波路から取り出す光の比率を調整する調整機構を有するようにされる。この場合、ブロードキャスト型通信が常時であれば、各ユニットにおける受信データを得るための受光機能デバイスを、第２の光導波路から該当波長の光の一部を取り出すように設定される。上述したように第２の光導波路から取り出す光の比率を調整する調整機構を有するものとすることで、ポイント・ツー・ポイント型通信が行われる場合に、第２の光導波路から該当波長の光の全てを取り出すように設定でき、受信感度を高めることができる。

また例えば、変調機能デバイスは、第１の光導波路から第２の光導波路に導波する光の波長を調整する調整機構を有するようにされる。この場合、各ユニットは、通信をする他のユニットに対応した波長の光を第２の光導波路に導波するものとしたとき、光データバスに接続されるユニット数が増大しても変調機能デバイスの個数を少なく抑えることができ、回路構成を簡単にできる。

また例えば、受信データを得るための受光機能デバイスは、第２の光導波路から取り出す光の波長を調整する調整機構を有するようにされる。この場合、各ユニットは、通信をする他のユニットに対応した波長の光を第２の光導波路から取り出すものとしたとき、光データバスに接続されるユニット数が増大しても受光機能デバイスの個数を少なく抑えることができ、回路構成を簡単にできる。

この発明によれば、データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、データ情報を有する単一または複数の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とからなる光データバスを利用するものであり、各ユニットが発光素子を備えることなく安価かつ簡単に構成でき、しかも通信容量を容易に増加できる。

第１の実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態としての光データ伝送システム１００の構成を示している。

この光データ伝送システム１００は、データの送受信を行う複数、この実施の形態では４個のユニット１１０〜１４０と、これらのユニット１１０〜１４０を接続する光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂと、光導波路に１５０Ａ，１５０Ｂに所定の波長の光を入力する発光部１７０とを有している。

光導波路１５０Ａ，１５０Ｂは、それぞれ、第１の光導波路を構成しており、複数のユニット１１０〜１４０を接続する。これらの光導波路１５０Ａ，１５０Ｂは、それぞれ、データ情報を有しない、つまりデータ的にｎｕｌｌ（無効）な、単一または複数の波長、この実施の形態では、４つの波長（λ１，λ２，λ３，λ４）の光を導波するリング状の光導波路である。これらの光導波路１５０Ａ，１５０Ｂには、発光部１７０から、上述した４つの波長の光が供給される。ここで、データ的にｎｕｌｌな光とは、データ通信速度帯域からみて、データに影響を与えない光であればよく、連続光でもよく、高速に変調されている光でもよい。

光導波路１６０Ａ，１６０Ｂは、それぞれ、第２の光導波路を構成しており、複数のユニット１１０〜１４０を接続する。これらの光導波路１６０Ａ，１６０Ｂは、それぞれ、データ情報を有する単一または複数の波長、この実施の形態では４つの波長（λ１，λ２，λ３，λ４）の光を導波するリング状の光導波路である。

ユニット１１０〜１４０は、一つの半導体基板、あるいは一般の基板に配置されていてもよく、ディスクリート部材であってもよい。これらユニット１１０〜１４０がディスクリート部材である場合には、それぞれのユニット内の光導波路がユニット間に配置される光ファイバ等で接続されて上述した光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂが構成される。この場合、ユニット内の光導波路とユニット間の光ファイバとの接続においては損失が生じることから、各ユニットは同一基板、より望ましくは同一の半導体基板に形成されている方が性能を引き出しやすい。この実施の形態では、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ、およびユニット１１０〜１４０は、同一の半導体基板に形成される。

ここで、光導波路１６０Ｂは光導波路１６０Ａの内側に配置されるものであるため、そのままでは、例えばユニット１１０とユニット１４０との間、およびユニット１３０とユニット１２０との間で、当該光導波路１６０Ｂは光導波路１６０Ａより短くなり、これら光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの双方を用いてデータを伝送する際に、データスキューの問題が発生する。そこで、この実施の形態では、ユニット１１０とユニット１４０との間に距離調整部１８１が設けられ、またユニット１３０とユニット１２０との間に距離調整部１８２が設けられている。距離調整部１８１は、光導波路１６０Ｂを凸状に引き回し、ユニット１１０とユニット１４０との間で、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの距離が等しくなるように調整する。同様に、距離調整部１８２は、光導波路１６０Ｂを凸状に引き回し、ユニット１３０とユニット１２０との間で、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの距離が等しくなるように調整する。

ユニット１１０は、Ｉ／Ｏデバイス１１１、変調機能部１１２および受光機能部１１３を有している。変調機能部１１２は、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、６つの変調機能デバイス１１２Aa，１１２Ab，１１２Ac，１１２Ba，１１２Bb，１１２Bcを有している。また、受光機能部１１３は、少なくとも１つ以上の受光機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、２つの受光機能デバイス１１３Ａ，１１３Ｂを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにそれぞれλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１１０は、ユニット１２０にデータを送信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０にデータを送信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０にデータを送信するときはλ４の波長の光を使用する。変調機能デバイス１１２Aa，１１２Ab，１１２Acは、それぞれ、送信データＴＤＡに基づいて、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ２，λ３，λ４の波長の光を導波する。変調機能デバイス１１２Ba，１１２Bb，１１２Bcは、それぞれ、送信データＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ２，λ３，λ４の波長の光を導波する。

また、ユニット１１０は、ユニット１２０、ユニット１３０またはユニット１４０からデータを受信するときはλ１の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１３Ａは、光導波路１６０Ａからλ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１１３Ｂは、光導波路１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

変調機能デバイス１１２Aa〜１１２Ac，１１２Ba〜１１２Bcおよび受光機能デバイス１１３Ａ，１１３Ｂは、それぞれ、マイクロリング・リゾネータを応用した構成とされている。ここで、マイクロリング・リゾネータの基本原理を説明する。

図３には、直線状の光導波路２０１とリング状の光導波路２０２とが近接して配設されている。光導波路２０１で、例えばλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されてきた場合、導波路２０２の共振波長がλ２であるとすると、λ２の波長の光は光導波路２０２に閉じこめられ、光導波路２０１を導波する光から、λ２の波長の光が除かれる。

図４には、２本の互いに平行な直線状の光導波路２１１，２１２の間に、これらの光導波路２１１，２１２に近接してリング状の光導波路２１３が配設されている。光導波路２１１で例えばλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されてきた場合、光導波路２１３の共振波長がλ２であるとすると、この光導波路２１３によって光導波路２１１からλ２の波長の光が取り出されて光導波路２１２に導波される。

図５は、変調機能デバイス１１２Aaの構成例を示している。この変調機能デバイス１１２Aaは、光導波路１５０Ａ，１６０Ａの間に、３個のリング状光導波路１１，１２，１３が直列的に配設された構成となっている。ここで、リング状光導波路１１，１３の共振波長はλ２に設定される。

リング状光導波路１２は変調器（ＭＯＤ）を構成しており、このリング状光導波路１２に対応して、ユニット１２０に送信すべき送信データＴＤＡによって駆動されるヒータ１４が配設されている。このリング状光導波路１２の共振波長は基本的にはλ２に設定されるが、例えば送信データＴＤの「１」または「０」のビットでは、ヒータ１４の発熱によって、当該リング状光導波路１２の屈折率が変化し、その共振波長はλ２からずれたものとなる。そのため、光導波路１５０Ａからリング状光導波路１１で取り出されたλ２の波長の光は、リング状光導波路１２およびリング状光導波路１３を通じて、光導波路１６０Ａに、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。

詳細説明は省略するが、変調機能デバイス１１２Ab，１１２Ac，１１２Ba〜１１２Bcも、上述した変調機能デバイス１１２Aaと同様の構成とされている。

図６は、受光機能デバイス１１３Ａの構成例を示している。この受光機能デバイス１１３Ａは、光導波路１６０Ａに近接して配設されたリング状光導波路１５と、このリング状光導波路１５に近接して配設された円弧状の光導波路１６と、この光導波路１６で導波された光を受光する受光素子（ＰＤ）１７とからなっている。リング状光導波路１５の共振波長はλ１に設定される。

この場合、リング状光導波路１５により、λ１の波長の光が、光導波路１６０Ａから光導波路１６に導波される。そして、この光導波路１６に導波されたλ１の波長の光が受光素子１７に供給され、この受光素子１７から受信データＲＤＡが得られる。

詳細説明は省略するが、受光機能デバイス１１３Ｂも、上述した受光機能デバイス１１３Ａと同様の構成とされている。

図１に戻って、ユニット１２０は、Ｉ／Ｏデバイス１２１、変調機能部１２２および受光機能部１２３を有している。変調機能部１２２は、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、６つの変調機能デバイス１２２Aa，１２２Ab，１２２Ac，１２２Ba，１２２Bb，１２２Bcを有している。また、受光機能部１２３は、少なくとも１つ以上の受光機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、２つの受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにそれぞれλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１２０は、ユニット１３０にデータを送信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０にデータを送信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０にデータを送信するときはλ１の波長の光を使用する。

変調機能デバイス１２２Aa，１２２Ab，１２２Acは、それぞれ、送信データＴＤＡに基づいて、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ３，λ４，λ１の波長の光を導波する。変調機能デバイス１２２Ba，１２２Bb，１２２Bcは、それぞれ、送信データＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ３，λ４，λ１の波長の光を導波する。これらの変調機能デバイス１２２Aa〜１２２Ac，１２２Ba〜１２２Bcは、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１２０は、ユニット１３０、ユニット１４０またはユニット１１０からデータを受信するときはλ２の波長の光を使用する。受光機能デバイス１２３Ａは、光導波路１６０Ａからλ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１２３Ｂは、光導波路１６０Ｂからλ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。これらの受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂは、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成される。

ユニット１３０は、Ｉ／Ｏデバイス１３１、変調機能部１３２および受光機能部１３３を有している。変調機能部１３２は、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、６つの変調機能デバイス１３２Aa，１３２Ab，１３２Ac，１３２Ba，１３２Bb，１３２Bcを有している。また、受光機能部１３３は、少なくとも１つ以上の受光機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、２つの受光機能デバイス１３３Ａ，１３３Ｂを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにそれぞれλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１３０は、ユニット１４０にデータを送信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０にデータを送信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０にデータを送信するときはλ２の波長の光を使用する。

変調機能デバイス１３２Aa，１３２Ab，１３２Acは、それぞれ、送信データＴＤＡに基づいて、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ４，λ１，λ２の波長の光を導波する。変調機能デバイス１３２Ba，１３２Bb，１３２Bcは、それぞれ、送信データＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ４，λ１，λ２の波長の光を導波する。これらの変調機能デバイス１３２Aa〜１３２Ac，１３２Ba〜１３２Bcは、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１３０は、ユニット１４０、ユニット１１０またはユニット１２０からデータを受信するときはλ３の波長の光を使用する。受光機能デバイス１３３Ａは、光導波路１６０Ａからλ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１３３Ｂは、光導波路１６０Ｂからλ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。これらの受光機能デバイス１３３Ａ，１３３Ｂは、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成される。

ユニット１４０は、Ｉ／Ｏデバイス１４１、変調機能部１４２および受光機能部１４３を有している。変調機能部１４２は、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、６つの変調機能デバイス１４２Aa，１４２Ab，１４２Ac，１４２Ba，１４２Bb，１４２Bcを有している。また、受光機能部１４３は、少なくとも１つ以上の受光機能デバイス、この実施の形態では、図２に示すように、２つの受光機能デバイス１４３Ａ，１４３Ｂを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにそれぞれλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１４０は、ユニット１１０にデータを送信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０にデータを送信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０にデータを送信するときはλ３の波長の光を使用する。

変調機能デバイス１４２Aa，１４２Ab，１４２Acは、それぞれ、送信データＴＤＡに基づいて、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ１，λ２，λ３の波長の光を導波する。変調機能デバイス１４２Ba，１４２Bb，１４２Bcは、それぞれ、送信データＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ１，λ２，λ３の波長の光を導波する。これらの変調機能デバイス１４２Aa〜１４２Ac，１４２Ba〜１４２Bcは、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１４０は、ユニット１１０、ユニット１２０またはユニット１３０からデータを受信するときはλ４の波長の光を使用する。受光機能デバイス１４３Ａは、光導波路１６０Ａからλ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１４３Ｂは、光導波路１６０Ｂからλ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。これらの受光機能デバイス１４３Ａ，１４３Ｂは、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成される。

上述したように、ユニット１１０の変調機能デバイス１１２Aa，１１２Baは、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、ユニット１２０に送信するためのλ２の波長の光を、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに応じて導波するためのものである。また、ユニット１４０の変調機能デバイス１４２Ab，１４２Bbは、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、ユニット１２０に送信するためのλ２の波長の光を導波するためのものである。また、ユニット１３０の変調機能デバイス１３２Ac，１３２Bcは、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、ユニット１２０に送信するためのλ２の波長の光を導波するためのものである。そして、ユニット１２０の受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得るためのものである。

ここで、変調機能デバイス１１２Aa，１１２Baの間隔Ｄ１、変調機能デバイス１４２Ab，１４２Bbの間隔Ｄ４、および変調機能デバイス１３２Ac，１３２Bcの間隔Ｄ３は、それぞれ、受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂの間隔Ｄ２と等しくされる。これにより、上述した距離調整部１８１，１８２と相俟って、ユニット１２０に光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの双方を用いて他のユニットからデータを伝送する際に双方の伝送距離が等しくなり、データスキューの発生が防止される。

なお、ユニット１１０，１３０，１４０へのデータ伝送に係る部分においても同様に構成され、データスキューの発生が防止される。すなわち、変調機能デバイス１４２Aa，１４２Baの間隔、変調機能デバイス１３２Ab，１３２Bbの間隔、および変調機能デバイス１２２Ac，１２２Bcの間隔は、それぞれ、受光機能デバイス１１３Ａ，１１３Ｂの間隔と等しくされ、ユニット１１０に光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの双方を用いて他のユニットからデータを伝送する際のデータスキューの発生が防止される。

また、変調機能デバイス１３２Aa，１３２Baの間隔、変調機能デバイス１２２Ab，１２２Bbの間隔、および変調機能デバイス１１２Ac，１１２Bcの間隔は、それぞれ、受光機能デバイス１４３Ａ，１４３Ｂの間隔と等しくされ、ユニット１４０に光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの双方を用いて他のユニットからデータを伝送する際のデータスキューの発生が防止される。また、変調機能デバイス１２２Aa，１２２Baの間隔、変調機能デバイス１１２Ab，１１２Bbの間隔、および変調機能デバイス１４２Ac，１４２Bcの間隔は、それぞれ、受光機能デバイス１３３Ａ，１３３Ｂの間隔と等しくされ、ユニット１３０に光導波路１６０Ａ，１６０Ｂの双方を用いて他のユニットからデータを伝送する際のデータスキューの発生が防止される。

次に、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ、さらには上述した各ユニットの変調機能デバイスおよび受光機能デバイスを構成する光導波路の形成方法について説明する。

光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂは、基板の表面直下にＳＩＭＯＸ光導波路（埋め込み光導波路）として形成される。また、変調機能デバイスに関しては、変調器を構成するリング状光導波路１２は基板の表面直下にＳＩＭＯＸ光導波路として形成され、他のリング状光導波路１１，１３は基板表面にリッジ型光導波路として形成される（図５参照）。また、受光機能デバイスに関しては、リング状光導波路１５は基板表面にリッジ型光導波路として形成され、円弧状の光導波路１６は基板の表面直下にＳＩＭＯＸ光導波路として形成される（図６参照）。

図７は、ＳＩＭＯＸ光導波路として形成される光導波路を破線で示し、リッジ型光導波路として形成される光導波路を太実線で示している。なお、図７には、ユニット１２０〜１４０の部分については、ユニット１１０の部分と同様であることから、図示を省略している。

上述したように、各光導波路を、選択的に、ＳＩＭＯＸ光導波路またはリッジ型光導波路として形成することで、平面的に見て２つの光導波路が交差する部分であっても、当該２つの光導波路がぶつかることなく良好に形成できる。例えば、図７に示すように、光導波路１６０Ｂと変調機能デバイス１１２Aa〜１１２Acのリング状光導波路１３とは平面的に見ると交差しているが、光導波路１６０ＢがＳＩＭＯＸ光導波路として形成され、一方リング状光導波路１３はリッジ型光導波路として形成されるため、これらは深さ方向に離れて形成されるため、互いにぶつかることはない。また例えば、図７に示すように、光導波路１５０Ａと変調機能デバイス１１２Ba〜１１２Bcのリング状光導波路１１とは平面的に見ると交差しているが、光導波路１５０ＡがＳＩＭＯＸ光導波路として形成され、一方リング状光導波路１１はリッジ型光導波路として形成されるため、これらは深さ方向に離れて形成されるため、互いにぶつかることはない。

なお、上述したように、ＳＩＭＯＸ光導波路とリッジ型光導波路とが交差する部分では、これらの光導波路が直交するようになされる。これにより、これらの光導波路の間で光が導波されることを防止できる。図８Ａは、ＳＩＭＯＸ光導波路とリッジ型光導波路との交差部分を示しており、図８Ｂはそのａ−ａ′線の基板断面を示しており、図８Ｃはそのｂ−ｂ′線の基板断面を示している。これらの光導波路の製造工程については、後述する。

また、図７に示すように、光導波路と電気配線とが交差する部分（例えば、光導波路１６０Ａ，１６０ＢとＩ／Ｏデバイス１１１から変調機能デバイスのリング状光導波路１２のヒータ１４（図５参照）に送信データを供給するための電気配線とが交差する部分など）では、光導波路はＳＩＭＯＸ光導波路として形成される。この場合、電気配線に光導波路が邪魔になることがなく、電気配線のレイアウトも容易となる。

光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ、および各ユニットの変調機能デバイスおよび受光機能デバイスを構成する光導波路の製造工程を説明する。この製造工程には、以下の、ＳＩＭＯＸ光導波路の製造工程と、その後のリッジ型光導波路の製造工程が含まれる。

図９を参照して、リッジ型光導波路の製造工程を説明する。

まず、図９Ａに示すように、ＳＯＩ(Silicon On Insulator)基板２０を用意する。このＳＯＩ基板２０は、シリコン基板２１に、絶縁物（ボックス）２２、例えばシリコン酸化膜を介して、シリコン単結晶膜（アクティブシリコン層）２３が形成されたものである。

次に、図９Ｂに示すように、シリコン単結晶膜２３上にレジスト膜２４を塗布し、そして、パターニングを行って、図９Ｃに示すように、光導波路パターンに対応したレジストパターン２５を生成する。

次に、レジストパターン２５をマスクにして、ＲＩＥ(Reactive Ion Etching）を行って、図９Ｄに示すように、リッジ型光導波路２６を形成する。なお、レジストパターン２５は、エッチング後に除去される。

図１０を参照して、ＳＩＭＯＸ光導波路の製造工程を説明する。

まず、図１０Ａに示すように、ＳＯＩ基板３０を用意する。このＳＯＩ基板３０は、シリコン基板３１に、絶縁物（ボックス）３２、例えばシリコン酸化膜を介して、シリコン単結晶膜（アクティブシリコン層）３３が形成されたものである。

次に、図１０Ｂに示すように、熱酸化により、シリコン単結晶膜３３の表面にシリコン酸化膜３４を形成する。そして、パターニングを行って、図１０Ｃに示すように、二酸化シリコンからなる、光導波路パターンに対応したマスクを３５を形成する。

次に、図１０Ｄに示すように、シリコン単結晶膜３３上にマスク３５が配置された状態で、酸素イオンを注入する。この場合、マスク３５が配置された部分ではこのマスク３５でイオン速度が減速されるため酸素イオンが浅く注入され、一方マスク３５が配置されていない部分では酸素イオンが深く注入される。

次に、図１０Ｅに示すように、シリコン単結晶膜３３に酸素イオンが注入されたＳＯＩ基板３０に高温アニール処理を施し、注入された酸素イオンとシリコンとを反応させて、シリコン単結晶膜３３内にシリコン酸化膜３６を生成し、ＳＩＭＯＸ光導波路３７を形成する。なお、マスク３５は、アニール処理前またはアニール処理後、あるいはアニール処理の一部の処理後に除去される。

図１１を参照して、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ、および各ユニットの変調機能デバイスおよび受光機能デバイスを構成する光導波路の製造工程を説明する。

まず、図１１Ａに示すように、ＳＯＩ基板４０を用意する。このＳＯＩ基板４０は、シリコン基板４１に、絶縁物（ボックス）４２、例えばシリコン酸化膜を介して、シリコン単結晶膜（アクティブシリコン層）４３が形成されたものである。

次に、図１１Ｂに示すように、熱酸化により、シリコン単結晶膜４３の表面にシリコン酸化膜４４を形成する。そして、パターニングを行って、図１０Ｃに示すように、二酸化シリコンからなる、ＳＩＭＯＸ光導波路として形成すべき光導波路のパターンに対応したマスクを４５を形成する。

次に、図１１Ｄに示すように、シリコン単結晶膜４３上にマスク４５が配置された状態で、酸素イオンを注入する。この場合、マスク４５が配置された部分ではこのマスク４５でイオン速度が減速されるため酸素イオンが浅く注入され、一方マスク４５が配置されていない部分では酸素イオンが深く注入される。

次に、図１１Ｅに示すように、シリコン単結晶膜４３に酸素イオンが注入されたＳＯＩ基板４０に高温アニール処理を施し、注入された酸素イオンとシリコンとを反応させて、シリコン単結晶膜４３内にシリコン酸化膜４６を生成し、ＳＩＭＯＸ光導波路４７を形成する。なお、マスク４５は、アニール処理前またはアニール処理後、あるいはアニール処理の一部の処理後に除去される。

次に、図１１Ｆに示すように、シリコン単結晶膜４３上にレジスト膜４８を塗布し、そして、パターニングを行って、図１１Ｇに示すように、リッジ型光導波路として形成すべき光導波路のパターンに対応したレジストパターン４９を生成する。

次に、レジストパターン４９をマスクにして、ＲＩＥ(Reactive Ion Etching）を行って、図１１Ｈに示すように、リッジ型光導波路５０を形成する。なお、レジストパターン４９は、エッチング後に除去される。

上述したように、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂは、ＳＩＭＯＸ光導波路として、基板の表面直下に形成される。これら光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂは、ユニット１１０〜１４０を接続するものであり、シリコンチップの広いエリアを横切る可能性があるが、上述したようにＳＩＭＯＸ光導波路として形成されることで、より多くのシリコン表面を電気回路に充当させることができるので、有利である。

なお、上述ではＳＩＭＯＸ光導波路の上にリッジ型光導波路を形成するものを示したが、リッジ型光導波路の上にリッジ型光導波路を形成することで、深さ方向に離れた光導出波路を実現することもできる。

図１２を参照して、その場合における、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ、および各ユニットの変調機能デバイスおよび受光機能デバイスを構成する光導波路の製造工程を説明する。

まず、図１２Ａに示すように、ＳＯＩ基板６０を用意する。このＳＯＩ基板６０は、シリコン基板６１に、絶縁物（ボックス）６２、例えばシリコン酸化膜を介して、シリコン単結晶膜（アクティブシリコン層）６３が形成されたものである。

次に、図１２Ｂに示すように、シリコン単結晶膜６３上にレジスト膜６４を塗布し、そして、パターニングを行って、図１２Ｃに示すように、光導波路（上述ではＳＩＭＯＸ光導波路として形成すべきとしていた光導波路）のパターンに対応したレジストパターン６５を生成する。

次に、レジストパターン６５をマスクにして、ＲＩＥ(Reactive Ion Etching）を行って、図１２Ｄに示すように、リッジ型光導波路６６を形成する。なお、レジストパターン２５は、エッチング後に除去される。

次に、図１２Ｅに示すように、リッジ型光導波路６６を覆うように、シリコン単結晶膜６３上にシリコン酸化膜６７を形成し、そして、図１２Ｆに示すように、例えば、ＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing)によりシリコン酸化膜６７の表面を平坦化する。

次に、図１２Ｇに示すように、シリコン酸化膜６７上にシリコン単結晶膜６８を形成する。そして、図１２Ｈに示すように、シリコン単結晶膜６８上にレジスト膜６９を塗布し、そして、パターニングを行って、図１２Ｉに示すように、光導波路（上述ではリッジ型光導波路として形成すべきとしていた光導波路）のパターンに対応したレジストパターン７０を生成する。

次に、レジストパターン７０をマスクにして、ＲＩＥ(Reactive Ion Etching）を行って、図１２Ｊに示すように、リッジ型光導波路７１を形成する。なお、レジストパターン７０は、エッチング後に除去される。

このようにリッジ型光導波路の上にリッジ型光導波路を形成する場合にあっては平坦化の工程が必要となるが、上述したようにＳＩＭＯＸ光導波路の上にリッジ型光導波路を形成する場合にあっては平坦化の工程を有せず、工程が簡素となる。

図２に示す光データ伝送システム１００の動作を説明する。ここでは、ユニット１１０から、ユニット１２０，１３０，１４０にデータを送信する場合を例にとって説明する。

まず、ユニット１１０からユニット１２０にデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Aaに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Aaにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ２の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。またこの場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Baに、送信データＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Baにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ２の波長の光が、送信データＴＤＢで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１２０の受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ、１６０Ｂからλ２の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述の送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１２１に供給される。

次に、ユニット１１０からユニット１３０にデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Abに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Abにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ３の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。またこの場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Bbに、送信データＴＤＢ供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Bbにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ３の波長の光が、送信データＴＤＢで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１３０の受光機能デバイス１３３Ａ，１３３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ、１６０Ｂからλ３の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１３１に供給される。

次に、ユニット１１０からユニット１４０にデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Acに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Acにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ４の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。またこの場合、ユニット１１０のデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Bcに、送信データＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Bcにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ４の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１４０の受光機能デバイス１４３Ａ，１４３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ、１６０Ｂからλ４の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１４１に供給される。

説明は省略するが、ユニット１２０，１３０，１４０から他のユニットにデータを送信する場合の動作も、上述したユニット１１０から他のユニットにデータを送信する場合と同様である。

図２に示す光データ伝送システム１００によれば、各ユニットは光導波路１５０Ａ，１５０Ｂで導波されているλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光を用いて、送信データに対応した所定の波長の変調光を得るものであり、当該各ユニットは発光素子を備える必要がなく、従って安価かつ簡単に構成できる。

また、各ユニットの変調機能デバイスが光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波する光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光とされ、当該他のユニットで当該波長の光を取り出すようになされているので、送信データに送信先のユニットを示すアドレスを付加しておく必要がなく、送信データのヘッダ部のデータエリアを縮小でき、実質的なデータ転送レートを高めることができる。

また、送信先のユニットに応じた波長の光を用いて通信を行うものであり、送信先が異なる複数のデータ通信を並行して行うことができ、データ伝送密度を極めて高くできる。例えば、ユニット１１０からユニット１２０へのデータ送信、ユニット１１０からユニット１３０へのデータ送信、およびユニット１１０からユニット１４０へのデータ送信を並行して行うことができる。

また、各ユニットは他のユニットにデータを送る際、２本の光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを使用でき、１本の光導波路を用いるものに比べて、通信容量を増加できる。

なお、図２に示す光データ伝送システム１００においては、データ情報を有しない、つまりデータ的にｎｕｌｌ（無効）な４つの波長（λ１，λ２，λ３，λ４）の光を導波する光導波路として、２本の光導波路１５０Ａ，１５０Ｂを備えるものを示している。この理由は、例えば、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂにそれぞれ接続される変調機能デバイスを同時に動作させた場合におけるデータのクロストークを軽減するためである。

しかし、データ的にｎｕｌｌな光が導波する光導波路を導波する光の量が極めて大きく、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂにそれぞれ接続される変調機能デバイスを同時に動作させた場合であってもデータのクロストークを無視できるときには、データ的にｎｕｌｌな光が導波する光導波路を複数本とする必要はない。

次に、この発明の第２の実施の形態を説明する。図１３は、第２の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ａの構成を示している。この図１３において、図２と対応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。

この光データ伝送システム１００Ａは、図２に示す光データ伝送システム１００のユニット１１０〜１４０の代わりに、ユニット１１０Ａ〜１４０Ａを有している。

ユニット１１０Ａは、変調機能部として、２つの変調機能デバイス１１４Ａ，１１４Ｂを有しており、その他はユニット１１０と同様の構成とされている。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１１０Ａは、ユニット１２０Ａにデータを送信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０Ａにデータを送信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０Ａにデータを送信するときはλ４の波長の光を使用する。変調機能デバイス１１４Ａ，１１４Ｂは、それぞれ、送信データに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ２，λ３またはλ４の光を導波する。

変調機能デバイス１１４Ａは、上述したマイクロリング・リゾネータを応用した構成とされている。図１４は、変調機能デバイス１１４Ａの構成例を示している。

この変調機能デバイス１１４Ａは、光導波路１５０Ａ，１６０Ａの間に、３個のリング状光導波路８１，８２，８３が直列的に配設された構成となっている。リング状光導波路８３は、その共振波長にλ２，λ３，λ４を含むように設定されている。

リング状光導波路８１は、波長調整機構（チューナＴＵＮ）を有している。すなわち、このリング状光導波路８１に対応して、デバイス１１１からの制御データＣＤによって駆動されるヒータ８４が配設される。このリング状光導波路８１の共振波長は、ヒータ８４の発熱によって当該リング状光導波路８１の屈折率を変化させることで、データを送信すべきユニットに応じた波長とされる。例えば、このリング状光導波路８１の共振波長は、ユニット１２０Ａにデータを送信する場合にはλ２とされ、ユニット１３０Ａにデータを送信する場合にはλ３とされ、ユニット１４０Ａにデータを送信する場合にはλ４とされる。

リング状光導波路８２は変調器（ＭＯＤ）を構成しており、このリング状光導波路８２に対応して、送信データＴＤＡによって駆動されるヒータ８５が配設されている。このリング状光導波路８２はその共振波長にλ２，λ３，λ４を含むように設定されるが、例えば送信データＴＤＡの「１」または「０」のビットでは、ヒータ８５の発熱によって、当該リング状光導波路８２の屈折率が変化し、その共振波長は設定値からずれたものとなる。そのため、光導波路１５０Ａからリング状光導波路８１で取り出されたλ２，λ３またはλ４の波長の光は、リング状光導波路８２，８３を通じて光導波路１６０Ａに、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。

変調機能デバイス１１４Ｂは、上述した変調機能デバイス１１４Ａ（図１４参照）と同様に構成されている。

ユニット１２０Ａは、変調機能部として、２つの変調機能デバイス１２４Ａ，１２４Ｂを有しており、その他はユニット１２０と同様の構成とされている。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１２０Ａは、ユニット１３０Ａにデータを送信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０Ａにデータを送信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０Ａにデータを送信するときはλ１の波長の光を使用する。変調機能デバイス１２４Ａ，１２４Ｂは、それぞれ、送信データに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ３，λ４またはλ１の波長の光を導波する。変調機能デバイス１２４Ａ，１２４Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１４Ａ（図１４参照）と同様に構成されている。

ユニット１３０Ａは、変調機能部として、２つの変調機能デバイス１３４Ａ，１３４Ｂを有しており、その他はユニット１３０と同様の構成とされている。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１３０Ａは、ユニット１４０Ａにデータを送信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０Ａにデータを送信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０Ａにデータを送信するときはλ２の波長の光を使用する。変調機能デバイス１３４Ａ，１３４Ｂは、それぞれ、送信データに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ４，λ１またはλ２の波長の光を導波する。変調機能デバイス１３４Ａ，１３４Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１４Ａ（図１４参照）と同様に構成されている。

ユニット１４０Ａは、変調機能部として、２つの変調機能デバイス１４４Ａ，１４４Ｂを有しており、その他はユニット１４０と同様の構成とされている。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１４０Ａは、ユニット１１０Ａにデータを送信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０Ａにデータを送信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０Ａにデータを送信するときはλ３の波長の光を使用する。変調機能デバイス１４４Ａ，１４４Ｂは、それぞれ、送信データに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ１，λ２またはλ３の波長の光を導波する。変調機能デバイス１４４Ａ，１４４Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１４（図１４参照）と同様に構成されている。

図１３に示す光データ伝送システム１００Ａの動作を説明する。ここでは、ユニット１１０Ａから、ユニット１２０Ａ，１３０Ａ，１４０Ａにデータを送信する場合を例にとって説明する。

まず、ユニット１１０Ａからユニット１２０Ａにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａ，１１４Ｂに、それぞれ、リング状光導波路８１の共振波長をλ２とするための制御データＣＤが供給される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ａにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ２の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ｂに、送信データＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ｂにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ２の波長の光が、送信データＴＤＢで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１２０Ａの受光機能デバイス１２３Ａ，１２３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１２１に供給される。

次に、ユニット１１０Ａからユニット１３０Ａにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａ，１１４Ｂに、それぞれ、リング状光導波路８１の共振波長をλ３とするための制御データＣＤが供給される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ａにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ３の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ｂに、送信データＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ｂにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ３の波長の光が、送信データＴＤＢで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１３０Ａの受光機能デバイス１３３Ａ，１３３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ３の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１３１に供給される。

次に、ユニット１１０Ａからユニット１４０Ａにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａ，１１４Ｂに、それぞれ、リング状光導波路８１の共振波長をλ４とするための制御データＣＤが供給される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ａに、送信データＴＤＡが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ａにより、光導波路１５０Ａから光導波路１６０Ａに、λ４の波長の光が、送信データＴＤＡで変調された状態で導波される。また、ユニット１１０Ａのデバイス１１１から変調機能デバイス１１４Ｂに、送信データＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１４Ｂにより、光導波路１５０Ｂから光導波路１６０Ｂに、λ４の波長の光が、送信データＴＤＢで変調された状態で導波される。

そしてこの場合、ユニット１４０Ａの受光機能デバイス１４３Ａ，１４３Ｂでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ４の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られ、この受信データＲＤＡ，ＲＤＢがデバイス１４１に供給される。

説明は省略するが、ユニット１２０Ａ，１３０Ａ，１４０Ａから他のユニットにデータを送信する場合の動作も、上述したユニット１１０Ａから他のユニットにデータを送信する場合と同様である。

図１３に示す光データ伝送システム１００Ａによれば、図２に示す光データ伝送システム１００と同様の効果を得ることができる他、各ユニットの変調機能部を構成する変調機能デバイスの個数を２つで構成でき、回路構成を簡単にできる。

なお、図１３に示す光データ伝送システム１００Ａによれば、各ユニットの変調機能部を構成する変調機能デバイスの個数を２つ、つまり一対としたものであるが、一対の変調機能デバイスを図５に示すような構成として１つの波長に対応させ、もう一対の変調機能デバイスを図１４に示すような構成として２つの波長に対応させ、各ユニットの変調機能部を合計２対（４つ）の変調機能デバイスで構成することもできる。一般に、ｎ個のユニットで構成される光データ伝送システムでは、図１４に示すような構成の変調機能デバイスを用いることで、各ユニットの変調機能部を（ｎ−１）対より少ない変調機能デバイスで構成でき、回路構成を簡単にできる。

また、図１３に示す光データ伝送システム１００Ａによれば、各ユニットの変調機能部を構成する変調機能デバイスの個数を一対（２つ）としたものであるが、同一の変調機能デバイスをもう一対備えることで、波長調整に時間がかかる場合における待機時間を短縮できる。

次に、この発明の第３の実施の形態を説明する。図１５は、第３の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ｂの構成を示している。この図１５において、図１３と対応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。

この光データ伝送システム１００Ｂは、図１３に示す光データ伝送システム１００Ａのユニット１１０Ａ〜１４０Ａの代わりに、ユニット１１０Ｂ〜１４０Ｂを有している。

ユニット１１０Ｂは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１１５Ａ，１１５Ｂを有しており、その他はユニット１１０Ｂと同様の構成とされている。

ここで、ユニット１１０Ｂは、ユニット１２０Ｂ、ユニット１３０Ｂまたはユニット１４０Ｂからデータを受信するときはλ１の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１５Ａ，１１５Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１１５Ａは、上述したマイクロリング・リゾネータを応用した構成とされている。図１６は、受光機能デバイス１１５Ａの構成例を示している。この受光機能デバイス１１５Ａは、光導波路１６０Ａに近接して配設されたリング状光導波路８６と、このリング状光導波路８６に近接して配設された円弧状の光導波路８７と、この光導波路８７で導波された光を受光する受光素子（ＰＤ）８８とからなっている。

ここで、リング状光導波路８６は、波長調整機構（チューナＴＵＮ）を有している。すなわち、このリング状光導波路８６に対応して、デバイス１１１からの制御データＣＤによって駆動されるヒータ８９が配設される。このリング状光導波路８６の共振波長は、ヒータ８９の発熱によって当該リング状光導波路８６の屈折率を変化させることで、ユニット１１０Ｂに応じた波長、この実施の形態ではλ１の波長とされる。

この場合、リング状光導波路８６により、λ１の波長の光が、光導波路１６０Ａから光導波路８７に導波される。そして、この光導波路８７に導波されたλ１の波長の光が受光素子８８に供給され、この受光素子８８から受信データＲＤＡが得られる。

受光機能デバイス１１５Ｂは、上述した受光機能デバイス１１５Ａと同様に構成されている。

ユニット１２０Ｂは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１２５Ａ，１２５Ｂを有しており、その他はユニット１２０Ａと同様の構成とされている。ここで、ユニット１２０Ｂは、ユニット１３０Ｂ、ユニット１４０Ｂまたはユニット１１０Ｂからデータを受信するときはλ２の波長の光を使用する。受光機能デバイス１２５Ａ，１２５Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１２５Ａ，１２５Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１５Ａ（図１６参照）と同様に構成されている。

ユニット１３０Ｂは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１３５Ａ，１３５Ｂを有しており、その他はユニット１３０Ａと同様の構成とされている。ここで、ユニット１３０Ｂは、ユニット１４０Ｂ、ユニット１１０Ｂまたはユニット１２０Ｂからデータを受信するときはλ３の波長の光を使用する。受光機能デバイス１３５Ａ，１３５Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１３５Ａ，１３５Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１５Ａ（図１６参照）と同様に構成されている。

ユニット１４０Ｂは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１４５Ａ，１４５Ｂを有しており、その他はユニット１４０Ａと同様の構成とされている。ここで、ユニット１４０Ｂは、ユニット１１０Ｂ、ユニット１２０Ｂまたはユニット１３０Ｂからデータを受信するときはλ４の波長の光を使用する。受光機能デバイス１４５Ａ，１４５Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１４５Ａ，１４５Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１５Ａ（図１６参照）と同様に構成されている。

図１５に示す光データ伝送システム１００Ｂの動作は、上述した図１３に示す光データ伝送システム１００Ａと同様であるのでその説明は省略する。

この図１５に示す光データ伝送システム１００Ｂによれば、図１３に示す光データ伝送システム１００Ａと同様の効果を得ることができる他、各ユニットの受光機能部を構成する受光機能デバイスが光導波路１６０Ａ，１６０Ｂから取り出す光の波長を調整する波長調整機構を備えるものであり、ユニットの増加を行う場合等、システムの拡張性が要求される場合において、既存の受光機能デバイスの共振波長との競合を回避できる。

次に、この発明の第４の実施の形態を説明する。図１７は、第４の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ｃの構成を示している。この図１７において、図１５と対応する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。

この光データ伝送システム１００Ｃは、図１５に示す光データ伝送システム１００Ｂのユニット１１０Ｂ〜１４０Ｂの代わりに、ユニット１１０Ｃ〜１４０Ｃを有している。

ユニット１１０Ｃは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１１６Ａ，１１６Ｂを有しており、その他はユニット１１０Ｂと同様の構成とされている。

ここで、ユニット１１０Ｃは、ユニット１２０Ｃ、ユニット１３０Ｃまたはユニット１４０Ｃからデータを受信するときはλ１の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１６Ａ，１１６Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１１６Ａは、上述したマイクロリング・リゾネータを応用した構成とされている。図１８は、受光機能デバイス１１６Ａの構成例を示している。この受光機能デバイス１１６Ａは、光導波路１６０Ａに近接して配設されたリング状光導波路９１と、このリング状光導波路９１に近接して配設されたリング状光導波路９２と、このリング状光導波路９２に近接して配設された円弧状の光導波路９３と、この光導波路９３で導波された光を受光する受光素子（ＰＤ）９４とからなっている。

ここで、リング状光導波路９１は、波長調整機構（チューナＴＵＮ）を有している。すなわち、このリング状光導波路９１に対応して、デバイス１１１からの制御データＣＤ１によって駆動されるヒータ９５が配設される。このリング状光導波路９１の共振波長は、ヒータ９５の発熱によって当該リング状光導波路９１の屈折率を変化させることで、ユニット１１０Ｃに応じた波長、この実施の形態ではλ１の波長とされる。

また、リング状光導波路９２は、取り出す光の比率を調整する比率調整機構（アッテネータＡＴＴ）を有している。すなわち、このリング状光導波路９２に対応して、デバイス１１１からの制御データＣＤ２によって駆動されるヒータ９６が配設される。このリング状光導波路９２の共振波長を、ヒータ９６の発熱によって当該リング状光導波路９２の屈折率を変化させることで、ユニット１１０Ｃに応じた波長、この実施の形態ではλ１の波長からずらすことができる。

この場合、リング状光導波路９１，９２により、λ１の波長の光が、光導波路１６０Ａから光導波路９３に、所定の比率で導波される。そして、この光導波路９３に導波されたλ１の波長の光が受光素子９４に供給され、この受光素子９４から受信データＲＤＡが得られる。

受光機能デバイス１１６Ｂは、上述した受光機能デバイス１１６Ａと同様に構成されている。

ユニット１２０Ｃは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１２６Ａ，１２６Ｂを有しており、その他はユニット１２０Ｂと同様の構成とされている。ここで、ユニット１２０Ｃは、ユニット１３０Ｃ、ユニット１４０Ｃまたはユニット１１０Ｃからデータを受信するときはλ２の波長の光を使用する。受光機能デバイス１２６Ａ，１２６Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１２６Ａ，１２６Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１６Ａ（図１８参照）と同様に構成されている。

ユニット１３０Ｃは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１３６Ａ，１３６Ｂを有しており、その他はユニット１３０Ｂと同様の構成とされている。ここで、ユニット１３０Ｃは、ユニット１４０Ｃ、ユニット１１０Ｃまたはユニット１２０Ｃからデータを受信するときはλ３の波長の光を使用する。受光機能デバイス１３６Ａ，１３６Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１３６Ａ，１３６Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１６Ａ（図１８参照）と同様に構成されている。

ユニット１４０Ｃは、受光機能部として、２つの受光機能デバイス１４６Ａ，１４６Ｂを有しており、その他はユニット１４０Ｂと同様の構成とされている。ここで、ユニット１４０Ｃは、ユニット１１０Ｃ、ユニット１２０Ｃまたはユニット１３０Ｃからデータを受信するときはλ４の波長の光を使用する。受光機能デバイス１４６Ａ，１４６Ｂは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１４６Ａ，１４６Ｂは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１６Ａ（図１８参照）と同様に構成されている。

図１７に示す光データ伝送システム１００Ｃの動作は、上述した図１５に示す光データ伝送システム１００Ｂと同様であるのでその説明は省略する。

この図１７に示す光データ伝送システム１００Ｃによれば、図１５に示す光データ伝送システム１００Ｂと同様の効果を得ることができる。さらに、この図１７に示す光データ伝送システム１００Ｃによれば、各ユニットの受光機能デバイスが比率調整機構を有しているので、例えば、所定ユニットから他の全てのユニットに同一データを送るブロードキャスト型のデータ通信を良好に行うことが可能となる。

例えば、ユニット１１０Ｃから他のユニット１２０Ｃ，１３０Ｃ，１４０Ｃに同一データを送る場合、ユニット１２０Ｃ，１３０Ｃ，１４０Ｃの受光機能デバイス（１２６Ａ，１２６Ｂ），（１３６Ａ，１３６Ｂ），（１４６Ａ，１４６Ｂ）は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出すように、波長調整機構により調整される。そして、受光機能デバイス（１４６Ａ，１４６Ｂ），（１３６Ａ，１３６Ｂ），（１２６Ａ，１２６Ｂ）は、それぞれ、比率調整機構により光導波路１６０Ａ，１６０Ｂで導波されるλ１の波長の光を、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように調整される。これにより、ユニット１２０Ｃ，１３０Ｃ，１４０Ｃの受光機能デバイス（１２６Ａ，１２６Ｂ），（１３６Ａ，１３６Ｂ），（１４６Ａ，１４６Ｂ）は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出すことができ、ユニット１１０Ｃから送信されたデータを得ることができる。

次に、この発明の第５の実施の形態を説明する。図１９は、第５の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ｄの構成を示している。この図１９において、図２と対応する部分には同一符号を付して示している。

この光データ伝送システム１００Ｄは、図２に示す光データ伝送システム１００Ａのユニット１１０Ａ〜１４０Ａの代わりに、ユニット１１０Ｄ〜１４０Ｄを有している。

ユニット１１０Ｄは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂを有しており、受光機能部として８つの受光機能デバイス１１８Aa〜１１８Ad，１１８Ba〜１１８Bdを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１１０Ｄは、他のユニットにデータを送信するときはλ１の波長の光を使用する。変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂは、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ１の波長の光を導波する。変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂは、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１１０Ｄは、ユニット１２０Ｄからデータを受信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０Ｄからデータを受信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０Ｄからデータを受信するときはλ４の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１８Aa，１１８Ab，１１８Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ２，λ３，λ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１１８Ba，１１８Bb，１１８Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ２，λ３，λ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１１８Aa〜１１８Ac，１１８Ba〜１１８Bcは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。ただし、受光機能デバイス１１８Aa，１１８Ab，１１８Acは、光導波路１６０Ａで導波されているλ２，λ３，λ４の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。また同様に、受光機能デバイス１１８Ba，１１８Bb，１１８Bcは、光導波路１６０Ｂで導波されているλ２，λ３，λ４の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。これにより、ユニット１２０Ｄからのλ２の波長の光を、下流のユニット１４０Ｄ，１３０Ｄで取り出すことが可能となり、またユニット１３０Ｄからのλ３の波長の光を、下流のユニット１４０Ｄで取り出すことが可能となる。

なお、受光機能デバイス１１８Ad，１１８Bdは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光を取り出して除去する。受光機能デバイス１１８Ad，１１８Bdは、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されており、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂで導波されているλ１の波長の光を全て取り出すように設定される。ユニット１１０Ｄの変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂにそれぞれ導波された光は、この光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを一周して当該ユニット１１０Ｄの接続箇所に戻ってくる。上述したように受光機能デバイス１１８Ad，１１８Bdによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光が取り出されることで、次に変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波されるλ１の波長の光に対するクロストークを抑制することができる。

ユニット１２０Ｄは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１２７Ａ，１２７Ｂを有しており、受光機能部として８つの受光機能デバイス１２８Aa〜１２８Ad，１２８Ba〜１２８Bdを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１２０Ｄは、他のユニットにデータを送信するときはλ２の波長の光を使用する。変調機能デバイス１２７Ａ，１２７Ｂは、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ２の波長の光を導波する。変調機能デバイス１２７Ａ，１２７Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１２０Ｄは、ユニット１３０Ｄからデータを受信するときはλ３の波長の光を使用し、ユニット１４０Ｄからデータを受信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０Ｄからデータを受信するときはλ１の波長の光を使用する。受光機能デバイス１２８Aa，１２８Ab，１２８Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ３，λ４，λ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１２８Ba，１２８Bb，１２８Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ３，λ４，λ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１２８Aa〜１２８Ac，１２８Ba〜１２８Bcは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。ただし、受光機能デバイス１２８Aa，１２８Ab，１２８Acは、光導波路１６０Ａで導波されているλ３，λ４，λ１の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。同様に、受光機能デバイス１２８Ba，１２８Bb，１２８Bcは、光導波路１６０Ｂで導波されているλ３，λ４，λ１の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。これにより、ユニット１３０Ｄからのλ３の波長の光を、下流のユニット１１０Ｄ，１４０Ｄで取り出すことが可能となり、またユニット１４０Ｄからのλ４の波長の光を、下流のユニット１１０Ｄで取り出すことが可能となる。

なお、受光機能デバイス１２８Ad，１２８Bdは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光を取り出して除去する。受光機能デバイス１２８Ad，１２８Bdは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されており、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂで導波されているλ２の波長の光を全て取り出すように設定される。ユニット１２０Ｄの変調機能デバイス１２７Ａ，１２７Ｂによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波された光は、この光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを一周して当該ユニット１２０Ｄの接続箇所に戻ってくる。上述したように受光機能デバイス１２８Ad，１２８Bdによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ２の波長の光が取り出されることで、次に変調機能デバイス１２７Ａ，１２７Ｂにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波されるλ２の波長の光に対するクロストークを抑制することができる。

ユニット１３０Ｄは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１３７Ａ，１３７Ｂを有しており、受光機能部として８つの受光機能デバイス１３８Aa〜１３８Ad，１３８Ba〜１３８Bdを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１３０Ｄは、他のユニットにデータを送信するときはλ３の波長の光を使用する。変調機能デバイス１３７Ａ，１３７Ｂは、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ３の波長の光を導波する。変調機能デバイス１３７Ａ，１３７Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１３０Ｄは、ユニット１４０Ｄからデータを受信するときはλ４の波長の光を使用し、ユニット１１０Ｄからデータを受信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０Ｄからデータを受信するときはλ２の波長の光を使用する。受光機能デバイス１３８Aa，１３８Ab，１３８Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ４，λ１，λ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１３８Ba，１３８Bb，１３８Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ４，λ１，λ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１３８Aa〜１３８Ac，１３８Ba〜１３８Bcは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。ただし、受光機能デバイス１３８Aa，１３８Ab，１３８Acは、光導波路１６０Ａで導波されているλ４，λ１，λ２の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。同様に、受光機能デバイス１３８Ba，１３８Bb，１３８Bcは、光導波路１６０Ｂで導波されているλ４，λ１，λ２の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。これにより、ユニット１４０Ｄからのλ４の波長の光を、下流のユニット１２０Ｄ，１１０Ｄで取り出すことが可能となり、またユニット１１０Ｄからのλ１の波長の光を、下流のユニット１２０Ｄで取り出すことが可能となる。

なお、受光機能デバイス１３８Ad，１３８Bdは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ３の波長の光を取り出して除去する。受光機能デバイス１３８Ad，１３８Bdは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されており、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂで導波されているλ３の波長の光を全て取り出すように設定される。ユニット１３０Ｄの変調機能デバイス１３７Ａ，１３７Ｂによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波された光は、この光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを一周して当該ユニット１３０Ｄの接続箇所に戻ってくる。上述したように受光機能デバイス１３８Ad，１３８Bdによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ３の波長の光が取り出されることで、次に変調機能デバイス１３７Ａ，１３７Ｂにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波されるλ３の波長の光に対するクロストークを抑制することができる。

ユニット１４０Ｄは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１４７Ａ，１４７Ｂを有しており、受光機能部として８つの受光機能デバイス１４８Aa〜１４８Ad，１４８Ba〜１４８Bdを有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光が導波されているとき、ユニット１４０Ｄは、他のユニットにデータを送信するときはλ４の波長の光を使用する。変調機能デバイス１４７Ａ，１４７Ｂは、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ４の波長の光を導波する。変調機能デバイス１４７Ａ，１４７Ｂは、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、ユニット１４０Ｄは、ユニット１１０Ｄからデータを受信するときはλ１の波長の光を使用し、ユニット１２０Ｄからデータを受信するときはλ２の波長の光を使用し、ユニット１３０Ｄからデータを受信するときはλ３の波長の光を使用する。受光機能デバイス１４８Aa，１４８Ab，１４８Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ１，λ２，λ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１４８Ba，１４８Bb，１４８Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ１，λ２，λ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１４８Aa〜１４８Ac，１４８Ba〜１４８Bcは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。ただし、受光機能デバイス１４８Aa，１４８Ab，１４８Acは、光導波路１６０Ａで導波されているλ１，λ２，λ３の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。同様に、受光機能デバイス１４８Ba，１４８Bb，１４８Bcは、光導波路１６０Ｂで導波されているλ１，λ２，λ３の波長の光をそれぞれ一定の割合だけ、例えば３０％，５０％，１００％だけ取り出すように設定される。これにより、ユニット１１０Ｄからのλ１の波長の光を、下流のユニット１３０Ｄ，１２０Ｄで取り出すことが可能となり、またユニット１２０Ｄからのλ２の波長の光を、下流のユニット１３０Ｄで取り出すことが可能となる。

なお、受光機能デバイス１４８Ad，１４８Bdは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ４の波長の光を取り出して除去する。受光機能デバイス１４８Ad，１４８Bdは、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されており、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂで導波されているλ４の波長の光を全て取り出すように設定される。ユニット１４０Ｄの変調機能デバイス１４７Ａ，１４７Ｂによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波された光は、この光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを一周して当該ユニット１３０Ｄの接続箇所に戻ってくる。上述したように受光機能デバイス１４８Ad，１４８Bdによって光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ４の波長の光が取り出されることで、次に変調機能デバイス１４７Ａ，１４７Ｂにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波されるλ４の波長の光に対するクロストークを抑制することができる。

図１９に示す光データ伝送システム１００Ｄの動作を説明する。ここでは、ユニット１１０Ｄから、ユニット１２０Ｄ，１３０Ｄ，１４０Ｄにデータを送信する場合を例にとって説明する。

まず、ユニット１１０Ｄからユニット１２０Ｄにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｄのデバイス１１１から変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂに、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂによって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ１の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１２０Ｄの受光機能デバイス１２８Ac，１２８Bcでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られてデバイス１２１に供給される。

次に、ユニット１１０Ｄからユニット１３０Ｄにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｄのデバイス１１１から変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂに、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂによって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ１の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１３０Ｄの受光機能デバイス１３８Ab，１３８Bbでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られてデバイス１３１に供給される。

次に、ユニット１１０Ｄからユニット１４０Ｄにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｄのデバイス１１１から変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂに、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１７Ａ，１１７Ｂによって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ１の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１４０Ｄの受光機能デバイス１４８Aa，１４８Baでは、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ１の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られてデバイス１４１に供給される。

説明は省略するが、ユニット１２０Ｄ，１３０Ｄ，１４０Ｄから他のユニットにデータを送信する場合の動作も、上述したユニット１１０Ｄから他のユニットにデータを送信する場合と同様である。

図１９に示す光データ伝送システム１００Ｄによれば、各ユニットは光導波路１５０Ａ，１５０Ｂで導波されているλ１，λ２，λ３，λ４の波長の光を用いて、送信データに対応した所定の波長の変調光を得るものであり、当該各ユニットは発光素子を備える必要がなく、従って安価かつ簡単に構成できる。

また、各ユニットの受光機能デバイスが光導波路１６０Ａ，１６０Ｂから取り出す光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光とされ、他のユニットで当該波長の光を導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波するようになされているので、送信データに送信元のユニットを示すアドレスを付加しておく必要がなく、送信データのヘッダ部のデータエリアを縮小でき、実質的なデータ転送レートを高めることができる。

また、送信元のユニットに応じた波長の光を用いて通信を行うものであり、送信元が異なる複数のデータ通信を並行して行うことができ、データ伝送密度を極めて高くできる。例えば、ユニット１１０Ｄからユニット１３０Ｄへのデータ送信、ユニット１２０Ｄからユニット１４０Ｄへのデータ送信を並行して行うことができる。

また、各ユニットは、単一の波長の光を変調して光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波し、他のユニットにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波されたそれぞれの波長の光を受光するものである。そのため、ブロードキャスト型のデータ通信を行いたい場合において、動作させる変調機能デバイスを２つとすることができ、消費電力を少なくできる。

また、各ユニットは他のユニットにデータを送る際、２本の光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを使用でき、１本の光導波路を用いるものに比べて、通信容量を増加できる。

次に、この発明の第６の実施の形態を説明する。図２０は、第６の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ｅの構成を示している。この図２０において、図１９と対応する部分には同一符号を付して示している。

この光データ伝送システム１００Ｅは、図１９に示す光データ伝送システム１００Ｄのユニット１１０Ｄ〜１４０Ｄの代わりに、ユニット１１０Ｅ〜１４０Ｅを有している。

ユニット１１０Ｅは、ユニット１１０Ｄの受光機能デバイス１１８Aa〜１１８Ac，１１８Ba〜１１８Bcの代わりに、受光機能デバイス１１９Aa〜１１９Ac，１１９Ba〜１１９Bcを有しており、その他はユニット１１０Ｄと同様の構成とされている。

ここで、ユニット１１０Ｅは、ユニット１２０Ｅ、ユニット１３０Ｅまたはユニット１４０Ｅからデータを受信するときは、それぞれ、λ２，λ３またはλ４の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１９Aa，１１９Ab，１１９Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ２，λ３，λ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１１９Ba，１１９Bb，１１９Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ２，λ３，λ４の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。

受光機能デバイス１１９Aaは、上述したマイクロリング・リゾネータを応用した構成とされている。図２１は、受光機能デバイス１１９Aaの構成例を示している。この受光機能デバイス１１９Aaは、光導波路１６０Ａに近接して配設されたリング状光導波路１と、このリング状光導波路１に近接して配設された円弧状の光導波路２と、この光導波路２で導波された光を受光する受光素子（ＰＤ）３とからなっている。

ここで、リング状光導波路１は、光導波路１６０Ａから、λ２の波長の光を、光導波路２に導波する。そのため、このリング状光導波路１は、基本的には、その共振波長が、ユニット１２０Ｅに応じた波長、この実施の形態ではλ２とされている。

このリング状光導波路１は、さらに、上述したように光導波路１６０Ａから光導波路２に導波するλ２の波長の光の比率を調整する比率調整機構（アッテネータＡＴＴ）を有している。すなわち、このリング状光導波路１に対応して、デバイス１１１からの制御データＣＤによって駆動されるヒータ４が配設されている。このリング状光導波路１の共振波長を、ヒータ４の発熱によって当該リング状光導波路１の屈折率を変化させることで、上述のλ２の波長からずらし、導波するλ２の波長の光の比率を調整する。

この場合、リング状光導波路１により、λ２の波長の光が、光導波路１６０Ａから光導波路２に、所定の比率で導波される。そして、この光導波路２に導波されたλ２の波長の光が受光素子３に供給され、この受光素子３から受信データＲＤＡが得られる。

詳細説明は省略するが、受光機能デバイス１１９Ab，１１９Ac，１１９Ba〜１１９Bcも、上述した受光機能デバイス１１９Aaと同様の構成とされている。

ユニット１２０Ｅは、ユニット１２０Ｄの受光機能デバイス１２８Aa〜１２８Ac，１２８Ba〜１２８Bcの代わりに、受光機能デバイス１２９Aa〜１２９Ac，１２９Ba〜１２９Bcを有しており、その他はユニット１２０Ｄと同様の構成とされている。ここで、ユニット１２０Ｅは、ユニット１３０Ｅ、ユニット１４０Ｅまたはユニット１１０Ｅからデータを受信するときは、それぞれ、λ３，λ４またはλ１の波長の光を使用する。

受光機能デバイス１２９Aa，１２９Ab，１２９Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ３，λ４，λ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１２９Ba，１２９Bb，１２９Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ３，λ４，λ１の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。受光機能デバイス１２９Aa〜１２９Ac，１２９Ba〜１２９Bcは、上述した受光機能デバイス１１９Aa（図２１参照）と同様に構成されている。

ユニット１３０Ｅは、ユニット１３０Ｄの受光機能デバイス１３８Aa〜１３８Ac，１３８Ba〜１３８Bcの代わりに、受光機能デバイス１３９Aa〜１３９Ac，１３９Ba〜１３９Bcを有しており、その他はユニット１３０Ｄと同様の構成とされている。ここで、ユニット１３０Ｅは、ユニット１４０Ｅ、ユニット１１０Ｅまたはユニット１２０Ｅからデータを受信するときは、それぞれ、λ４，λ１またはλ２の波長の光を使用する。

受光機能デバイス１３９Aa，１３９Ab，１３９Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ４，λ１，λ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１３９Ba，１３９Bb，１３９Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ４，λ１，λ２の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。受光機能デバイス１３９Aa〜１３９Ac，１３９Ba〜１３９Bcは、上述した受光機能デバイス１１９Aa（図２１参照）と同様に構成されている。

ユニット１４０Ｅは、ユニット１４０Ｄの受光機能デバイス１４８Aa〜１４８Ac，１１４８Ba〜１４８Bcの代わりに、受光機能デバイス１４９Aa〜１４９Ac，１４９Ba〜１４９Bcを有しており、その他はユニット１４０Ｄと同様の構成とされている。ここで、ユニット１４０Ｅは、ユニット１１０Ｅ、ユニット１２０Ｅまたはユニット１３０Ｅからデータを受信するときは、それぞれ、λ１，λ２またはλ３の波長の光を使用する。

受光機能デバイス１４９Aa，１４９Ab，１４９Acは、それぞれ、光導波路１６０Ａからλ１，λ２，λ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＡを得る。受光機能デバイス１４９Ba，１４９Bb，１４９Bcは、それぞれ、光導波路１６０Ｂからλ１，λ２，λ３の波長の光を取り出して受信データＲＤＢを得る。受光機能デバイス１４９Aa〜１４９Ac，１４９Ba〜１４９Bcは、上述した受光機能デバイス１１９Aa（図２１参照）と同様に構成されている。

図２０に示す光データ伝送システム１００Ｅの動作は、上述した図１９に示す光データ伝送システム１００Ｄと同様であるのでその説明は省略する。

この図２０に示す光データ伝送システム１００Ｅによれば、図１９に示す光データ伝送システム１００Ｄと同様の効果を得ることができる。

また、この図２０に示す光データ伝送システム１００Ｅによれば、各ユニットの、他のユニットにより光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに導波された光を取り出す受光機能デバイスは、比率調整機構を有しているので、ポイント・ツー・ポイント型通信が行われる場合に、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂから該当波長の光の全てを取り出すように設定でき、受信感度を高めることができる。この場合、ブロードキャスト型通信が行われる場合には、各ユニットにおける受信データを得るための受光機能デバイスは、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂから該当波長の光の一部を取り出すように設定される。

次に、この発明の第７の実施の形態を説明する。図２２は、第７の実施の形態としての光データ伝送システム１００Ｆの構成を示している。この図２２において、図２と対応する部分には同一符号を付して示している。

この光データ伝送システム１００Ｆは、図２に示す光データ伝送システム１００Ａのユニット１１０Ａ〜１４０Ａの代わりに、ユニット１１０Ｆ〜１４０Ｆを有している。

ユニット１１０Ｆは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′を有しており、受光機能部として２つの受光機能デバイス１１３Ａ′，１１３Ｂ′を有している。

ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ０の波長の光が導波されており、ユニット１１０Ｆは、他のユニットにデータを送信するときはλ０の波長の光を使用する。変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′は、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光を導波する。変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′は、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、このユニット１１０Ｆは、他のユニットからデータを受信するときはλ０の波長の光を使用する。受光機能デバイス１１３Ａ′，１１３Ｂ′は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１１３Ａ′，１１３Ｂ′は、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。

ユニット１２０Ｆは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１２２Ａ′，１２２Ｂ′を有しており、受光機能部として２つの受光機能デバイス１２３Ａ′，１２３Ｂ′を有している。ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ０の波長の光が導波されており、ユニット１２０Ｆは、他のユニットにデータを送信するときはλ０の波長の光を使用する。変調機能デバイス１２２Ａ′，１２２Ｂ′は、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光を導波する。変調機能デバイス１２２Ａ′，１２２Ｂ′は、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Ａａ′（図５参照）と同様に構成されている。

また、このユニット１２０Ｆは、他のユニットからデータを受信するときはλ０の波長の光を使用する。受光機能デバイス１２３Ａ′，１２３Ｂ′は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１２３Ａ′，１２３Ｂ′は、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。

ユニット１３０Ｆは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１３２Ａ′，１３２Ｂ′を有しており、受光機能部として２つの受光機能デバイス１３３Ａ′，１３３Ｂ′を有している。ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ０の波長の光が導波されており、ユニット１３０Ｆは、他のユニットにデータを送信するときはλ０の波長の光を使用する。変調機能デバイス１３２Ａ′，１３２Ｂ′は、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光を導波する。変調機能デバイス１３２Ａ′，１３２Ｂ′は、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、このユニット１３０Ｆは、他のユニットからデータを受信するときはλ０の波長の光を使用する。受光機能デバイス１３３Ａ′，１３３Ｂ′は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光を取り出して受信データＴＤＡ，ＴＤＢを得る。受光機能デバイス１３３Ａ′，１３３Ｂ′は、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。

ユニット１４０Ｆは、変調機能部として２つの変調機能デバイス１４２Ａ′，１４２Ｂ′を有しており、受光機能部として２つの受光機能デバイス１４３Ａ′，１４３Ｂ′を有している。ここで、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂにλ０の波長の光が導波されており、ユニット１４０Ｆは、他のユニットにデータを送信するときはλ０の波長の光を使用する。変調機能デバイス１４２Ａ′，１４２Ｂ′は、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢに基づいて、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光を導波する。変調機能デバイス１４２Ａ′，１４２Ｂ′は、それぞれ、上述した変調機能デバイス１１２Aa（図５参照）と同様に構成されている。

また、このユニット１４０Ｆは、他のユニットからデータを受信するときはλ０の波長の光を使用する。受光機能デバイス１４３Ａ′，１４３′は、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光を取り出して受信データＲＤＡ，ＲＤＢを得る。受光機能デバイス１４３Ａ′，１４３Ｂ′は、それぞれ、上述した受光機能デバイス１１３Ａ（図６参照）と同様に構成されている。

図２２に示す光データ伝送システム１００Ｆの動作を説明する。ここでは、ユニット１１０Ｆから、ユニット１２０Ｆ，１３０Ｆ，１４０Ｆにデータを送信する場合を例にとって説明する。

まず、ユニット１１０Ｆからユニット１２０Ｆにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｆのデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′に、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′によって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１２０Ｆの受光機能デバイス１２３Ａ′，１２３Ｂ′では、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０からλ０の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤが得られてデバイス１２１に供給される。

次に、ユニット１１０Ｆからユニット１３０Ｆにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｆのデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′に、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂによって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１３０Ｆの受光機能デバイス１３３Ａ′，１３３Ｂ′では、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られてデバイス１３１に供給される。

次に、ユニット１１０Ｆからユニット１４０Ｆにデータを送信する場合の動作を説明する。この場合、ユニット１１０Ｆのデバイス１１１から変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′に、それぞれ、送信データＴＤＡ，ＴＤＢが供給される。これにより、変調機能デバイス１１２Ａ′，１１２Ｂ′によって、それぞれ、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂから光導波路１６０Ａ，１６０Ｂに、λ０の波長の光が、送信データＴＤＡ，ＴＤＢで変調された状態で導波される。そしてこの場合、ユニット１４０Ｆの受光機能デバイス１４３Ａ′，１４３Ｂ′では、それぞれ、光導波路１６０Ａ，１６０Ｂからλ０の波長の光が取り出され、その受光素子から、上述した送信データＴＤＡ，ＴＤＢに対応した受信データＲＤＡ，ＲＤＢが得られてデバイス１４１に供給される。

説明は省略するが、ユニット１２０Ｆ，１３０Ｆ，１４０Ｆから他のユニットにデータを送信する場合の動作も、上述したユニット１１０Ｆから他のユニットにデータを送信する場合と同様である。

図２２に示す光データ伝送システム１００Ｆによれば、各ユニットは光導波路１５０Ａ，１５０Ｂで導波されているλ０の波長の光を用いて、送信データに対応したλ０の波長の変調光を得るものであり、当該各ユニットは発光素子を備える必要がなく、従って安価かつ簡単に構成できる。

なお、上述実施の形態においては、光導波路１５０Ａ，１５０Ｂをリング状光導波路として示しているが、図２３に示すように、これらの光導波路１５０Ａ，１５０Ｂはリング状でなくてもよい。

また、上述実施の形態においては、リング状の第２の光導波路として２本の光導波路１６０Ａ，１６０Ｂを備えるものを示したが、３本以上備えるものも容易に構成できる。このように光導波路の本数の増加に伴って、通信容量をさらに高めることができる
また、上述実施の形態では、変調機能デバイスおよび受光機能デバイスとしてマイクロリング・リゾネータの原理を用いたものを示したが、この構成に限定されるものではなく、波長選択性ミラー等を用いて構成することもできる。ただし、マイクロリング・リゾネータの原理を用いた構成とすることで、変調機能デバイスおよび受光機能デバイスの小型化を図ることができる。

この発明は、各ユニットが発光素子を備えることなく安価かつ簡単に構成できるものであり、例えばＬＳＩ等の半導体チップ間でデータ伝送を行う際に適用できる。

第１の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 第１の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 マイクロリング・リゾネータの基本原理を説明するための図である。 マイクロリング・リゾネータの基本原理を説明するための図である。 変調機能デバイスの構成例を示す図である。 受光機能デバイスの構成例を示す図である。 ＳＩＭＯＸ光導波路とリッジ型光導波路とを区分けして示す図である。 ＳＩＭＯＸ光導波路とリッジ型光導波路との交差部分を示す図である。 リッジ型光導波路の製造工程を示す図である。 ＳＩＭＯＸ光導波路の製造工程を示す図である。 光導波路（ＳＩＭＯＸ光導波路の上にリッジ型光導波路）の製造工程を示す図である。 光導波路（リッジ型光導波路の上にリッジ型光導波路）の製造工程を示す図である。 第２の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 変調機能デバイスの構成例を示す図である。 第３の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 受光機能デバイスの構成例を示す図である。 第４の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 受光機能デバイスの構成例を示す図である。 第５の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 第６の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 受光機能デバイスの構成例を示す図である。 第７の実施の形態としての光データ伝送システムの構成を示す図である。 光データ伝送システムの変形例を示す図である。

符号の説明

１００，１００Ａ〜１００Ｆ・・・光データ伝送システム、１１０〜１４０，１１０Ａ〜１４０Ａ，１１０Ｂ〜１４０Ｂ，１１０Ｃ〜１４０Ｃ，１１０Ｅ〜１４０Ｅ，１１０Ｆ〜１４０Ｆ・・・ユニット、１１１，１２１，１３１，１４１・・・Ｉ／Ｏデバイス、１１２，１２２，１３２，１４２・・・変調機能部、１１２Aa〜１１２Ac，１１２Ba〜１１２Bc，１１２Ａ′，１１２Ｂ′，１１４Ａ，１１４Ｂ，１１７Ａ，１１７Ｂ，１２２Aa〜１２２Ac，１２２Ba〜１２２Bc，１２２Ａ′，１２２Ｂ′，１２４Ａ，１２４Ｂ，１２７Ａ，１２７Ｂ，１３２Aa〜１３２Ac，１３２Ba〜１３２Bc，１３２Ａ′，１３２Ｂ′，１３４Ａ，１３４Ｂ，１３７Ａ，１３７Ｂ，１４２Aa〜１４２Ac，１４２Ba〜１４２Bc，１４２Ａ′，１４２Ｂ′，１４４Ａ，１４４Ｂ，１４７Ａ，１４７Ｂ・・・変調機能デバイス、１１３，１２３，１３３，１４３・・・受光機能部、１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ａ′，１１３Ｂ′，１１５Ａ，１１５Ｂ，１１６Ａ，１１６Ｂ，１１８Aa〜１１８Ad，１１８Ba〜１１８Bd，１１９Aa〜１１９Ac，１１９Ba〜１１９Bc，１２３Ａ，１２３Ｂ，１２３Ａ′，１２３Ｂ′，１２５Ａ，１２５Ｂ，１２６Ａ，１２６Ｂ，１２８Aa〜１２８Ad，１２８Ba〜１２８Bd，１２９Aa〜１２９Ac，１２９Ba〜１２９Bc，１３３Ａ，１３３Ｂ，１３３Ａ′，１３３Ｂ′，１３５Ａ，１３５Ｂ，１３６Ａ，１３６Ｂ，１３８Aa〜１３８Ad，１３８Ba〜１３８Bd，１３９Aa〜１３９Ac，１３９Ba〜１３９Bc，１４３Ａ，１４３Ｂ，１４３Ａ′，１４３Ｂ′，１４５Ａ，１４５Ｂ，１４６Ａ，１４６Ｂ，１４８Aa〜１４８Ad，１４８Ba〜１４８Bd，１４９Aa〜１４８Ac，１４９Ba〜１４９Bc・・・受光機能デバイス、１８１，１８２・・・距離調整部、１５０Ａ，１５０Ｂ，１６０Ａ，１６０Ｂ・・・光導波路、１７０・・・発光部

Claims (13)

1. データの送受信を行う複数のユニットと、
   上記複数のユニットを接続する、データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、
   上記複数のユニットを接続する、データ情報を有する単一または複数の波長の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とを備え、
   上記複数のユニットは、それぞれ、少なくとも１つ以上の変調機能デバイス、および少なくとも１つ以上の受光機能デバイスを有し、
   上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の変調機能デバイスは、それぞれ、上記第１の光導波路で導波されている所定波長の光を送信データに基づいて変調して上記複数の第２の光導波路のうちの１つに導波し、
   上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の受光機能デバイスの少なくともいずれかは、上記複数の第２の光導波路のうちの１つから、所定の波長の光を取り出して受信データを得ると共に、
   上記受信データを得るための受光機能デバイスは、上記第２の光導波路から取り出す光の比率を調整する調整機構を有する
   ことを特徴とする光データ伝送システム。
2. 上記変調機能デバイスが上記第１の光導波路から上記第２の光導波路に導波する光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光である
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
3. 上記受光機能デバイスが上記第２の光導波路から取り出す光は、通信をする他のユニットに応じた波長の光である
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
4. 上記複数のユニットは、それぞれ、上記受光機能デバイスとして、上記変調機能デバイスにより上記第２の光導波路に導波された光を、該第２の光導波路から取り出して除去する受光機能デバイスを有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
5. 上記変調機能デバイスは、上記第１の光導波路から上記第２の光導波路に導波する光の波長を調整する調整機構を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
6. 上記受信データを得るための受光機能デバイスは、上記第２の光導波路から取り出す光の波長を調整する調整機構を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
7. 上記第１の光導波路と、上記複数の第２の光導波路と、上記複数のユニットがそれぞれ有する変調機能デバイスおよび受光機能デバイスは、同一基板に形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
8. 上記第１の光導波路および上記第２の光導波路は、ＳＩＭＯＸ法により形成された埋め込み光導波路である
   ことを特徴とする請求項７に記載の光データ伝送システム。
9. 上記複数のユニットがそれぞれ有する変調機能デバイスは光導波路を用いて構成され、
   上記複数のユニットがそれぞれ有する受光機能デバイスは光導波路を用いて構成され、
   上記変調機能デバイスを構成する光導波路および上記受光機能デバイスを構成する光導波路の一部は、上記ＳＩＭＯＸ法により形成された埋め込み光導波路よりも基板表面側に配置された光導波路である
   ことを特徴とする請求項８に記載の光データ伝送システム。
10. 上記ＳＩＭＯＸ法により形成された埋め込み光導波路と、該埋め込み光導波路よりも基板表面側に配置された光導波路とが交差する部分は直交するようになされている
    ことを特徴とする請求項９に記載の光データ伝送システム。
11. 上記複数の第２の光導波路の上記各ユニット間の距離が等しくなるように調整する距離調整部をさらに備える
    ことを特徴とする請求項１に記載の光データ伝送システム。
12. 上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の変調機能デバイスのうち、上記第１の光導波路から上記複数の第２の光導波路にそれぞれ所定のユニットに送信するための所定の波長の光を導波する複数の変調機能デバイスの間隔と、上記複数のユニットがそれぞれ有する１つ以上の受光機能デバイスのうち、上記複数の第２の光導波路からそれぞれ所定のユニットより送信された所定の波長の光を取り出し受信データを得る複数の受光機能デバイスの間隔とが等しくされている
    ことを特徴とする請求項１１に記載の光データ伝送システム。
13. データ情報を有しない単一または複数の波長の光を導波する第１の光導波路と、データ情報を有する単一または複数の波長の光をそれぞれ導波する複数のリング状の第２の光導波路とを用意し、
    第１のユニットから第２のユニットにデータを伝送するとき、
    上記第1のユニットは、上記第１の光導波路で導波されている所定波長の光を送信データに基づいて変調して上記複数の第２の光導波路のうちの１つに導波し、
    上記第２のユニットは、上記複数の第２の光導波路から、上記第１のユニットにより上記第１の光導波路から導波された所定の波長の光を取り出して受信データを得ると共に、上記第２の光導波路から取り出す光の比率を調整する
    ことを特徴とする光データ伝送方法。

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