JP4608512B2 - Frequency stabilized light source - Google Patents

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Description

本発明は、周波数安定化光源に関し、より詳細には、出力光の周波数を光通信における基準周波数に安定化することができる周波数安定化光源に関する。   The present invention relates to a frequency-stabilized light source, and more particularly to a frequency-stabilized light source that can stabilize the frequency of output light to a reference frequency in optical communication.

光通信において波長高密度化を実現するための変調技術としてDPSK(Differential Phase-Shift Keying:差動位相偏移変調)、DQPSK(Differential Quadrature Phase-Shift Keying:差動四相位相偏移変調)方式等の利用が検討されている。   DPSK (Differential Phase-Shift Keying) and DQPSK (Differential Quadrature Phase-Shift Keying) as modulation techniques to achieve higher wavelength density in optical communications Etc. are being considered.

これらの方式においては受信側で遅延マッハツェンダ干渉計が使用されるため、送信側においては信号光源の光周波数に高い精度、安定性が求められる。   In these methods, since a delay Mach-Zehnder interferometer is used on the receiving side, high accuracy and stability are required for the optical frequency of the signal light source on the transmitting side.

ITU−Tグリッド上の光周波数に一致する高精度の周波数安定化光源を実現する場合、従来技術として2つのレーザ光源と1つの吸収セルを用いた構成(例えば特許文献1参照)が提案されている。   When realizing a high-accuracy frequency-stabilized light source that matches the optical frequency on the ITU-T grid, a configuration using two laser light sources and one absorption cell has been proposed as a conventional technique (for example, see Patent Document 1). Yes.

図1は、従来の2つのレーザ光源と1つの吸収セルを用いた周波数安定化光源の構成例を示すブロック図である。その動作原理を以下に説明する。   FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of a frequency stabilized light source using two conventional laser light sources and one absorption cell. The operation principle will be described below.

レーザ光源104の出力光は光分岐器106を介して吸収セル108に入射される。あらかじめ温度制御回路102により、レーザ光源104の出力光周波数を吸収セル108の吸収線周波数の一つの近傍に設定しておく。   The output light of the laser light source 104 is incident on the absorption cell 108 via the optical splitter 106. The temperature control circuit 102 sets the output light frequency of the laser light source 104 in the vicinity of one of the absorption line frequencies of the absorption cell 108 in advance.

レーザ駆動回路112からの電流は発振器114の発振周波数f1で微小変調を施され、その結果、レーザ光源104からの出力光はわずかに周波数変調されている。 The current from the laser drive circuit 112 is minutely modulated at the oscillation frequency f 1 of the oscillator 114, and as a result, the output light from the laser light source 104 is slightly frequency-modulated.

吸収線周波数近傍における吸収セル108の透過率の光周波数依存により、吸収セル108を透過した光は強度変調を受けたものになる。   Due to the optical frequency dependence of the transmittance of the absorption cell 108 in the vicinity of the absorption line frequency, the light transmitted through the absorption cell 108 is subjected to intensity modulation.

吸収セル108の出力光は光検出器110で検出され、その出力が同期検波器116に入力される。また、発振器114からの信号も同期検波器116に入力される。   The output light of the absorption cell 108 is detected by the photodetector 110, and the output is input to the synchronous detector 116. A signal from the oscillator 114 is also input to the synchronous detector 116.

同期検波器116は、レーザ光源104の出力光周波数と吸収セルの吸収線周波数の差に応じた誤差信号をレーザ駆動回路112に送る。   The synchronous detector 116 sends an error signal corresponding to the difference between the output light frequency of the laser light source 104 and the absorption line frequency of the absorption cell to the laser driving circuit 112.

この誤差信号が0になるようにレーザ駆動回路112は駆動電流を調整し、その結果、レーザ光源104の出力光周波数が吸収セル108の吸収線周波数に安定化される。   The laser drive circuit 112 adjusts the drive current so that the error signal becomes 0, and as a result, the output light frequency of the laser light source 104 is stabilized at the absorption line frequency of the absorption cell 108.

他方、レーザ光源154の出力光は光分波器156を介して光合波器164に入射され、レーザ光源104の出力光と合波される。あらかじめ温度制御回路152により、レーザ光源154の出力光周波数を目標周波数の近傍に設定しておく。   On the other hand, the output light from the laser light source 154 enters the optical multiplexer 164 via the optical demultiplexer 156 and is combined with the output light from the laser light source 104. The output light frequency of the laser light source 154 is set in the vicinity of the target frequency in advance by the temperature control circuit 152.

合波された光は光検出器162に入射され、2つのレーザ光の周波数差に等しいビート信号を発生させる。   The combined light enters the photodetector 162 and generates a beat signal equal to the frequency difference between the two laser beams.

発振器166はレーザ光源104の出力光周波数とレーザ光源154の目標周波数との差の周波数f2の信号を出力する。 The oscillator 166 outputs a signal having a frequency f 2 that is the difference between the output light frequency of the laser light source 104 and the target frequency of the laser light source 154.

発振器166の出力と光検出器162の出力は周波数比較器160に入射され、これらの2つの周波数差に応じた誤差信号をレーザ駆動回路158に送る。   The output of the oscillator 166 and the output of the photodetector 162 are incident on the frequency comparator 160, and an error signal corresponding to the difference between these two frequencies is sent to the laser drive circuit 158.

この誤差信号が0になるようにレーザ駆動回路158は駆動電流を調整し、その結果、レーザ光源154の出力光周波数が吸収セル108の吸収線周波数からf2だけ離れた周波数に安定化される。 The laser drive circuit 158 adjusts the drive current so that the error signal becomes 0, and as a result, the output optical frequency of the laser light source 154 is stabilized at a frequency separated by f 2 from the absorption line frequency of the absorption cell 108. .

以上述べたように、図1の構成の周波数安定化光源は吸収セルの吸収線周波数の一つから一定の周波数だけオフセットを与えられたレーザ光を発生するものである。   As described above, the frequency-stabilized light source having the configuration shown in FIG. 1 generates laser light offset from the absorption line frequency of the absorption cell by a certain frequency.

なお、アセチレン(C22)ガスやシアン化水素(HCN)ガスを封入した吸収セルを用いることで、C帯の波長を用いる波長多重伝送において基準周波数光源となる周波数安定化光源を実現することが可能となる。 By using an absorption cell filled with acetylene (C 2 H 2 ) gas or hydrogen cyanide (HCN) gas, it is possible to realize a frequency-stabilized light source that serves as a reference frequency light source in wavelength division multiplex transmission using C-band wavelengths. It becomes possible.

特開2000−357840号公報JP 2000-357840 A S. L. Gilbert and W. C. Swann,“Carbon Monoxide Absorption References for 1560 nm to 1630 nm Wavelength Calibration-SRM 2514(12C160)and SRM 2515(13C160)”, NIST Special Publication 260-146、Oct. 2002. (http://ts.nist.gov/MeasurementServices/ReferenceMaterials/upload/SP260-146.PDF)SL Gilbert and WC Swann, “Carbon Monoxide Absorption References for 1560 nm to 1630 nm Wavelength Calibration-SRM 2514 (12C160) and SRM 2515 (13C160)”, NIST Special Publication 260-146, Oct. 2002. (http: // ts .nist.gov / MeasurementServices / ReferenceMaterials / upload / SP260-146.PDF)

前述のように、従来の周波数安定化光源において、吸収セルの吸収線周波数以外の周波数にレーザ光を安定化させるためには、2台のレーザ光源(104,154)を用意し、まず一方のレーザ光源104からのレーザ光を吸収セル108の吸収線周波数に安定化させ、その出力光を用いて他方のレーザ光源154からのレーザ光の光周波数を目標値に安定化させる必要があった。   As described above, in the conventional frequency stabilized light source, in order to stabilize the laser light at a frequency other than the absorption line frequency of the absorption cell, two laser light sources (104, 154) are prepared. It is necessary to stabilize the laser light from the laser light source 104 at the absorption line frequency of the absorption cell 108 and stabilize the optical frequency of the laser light from the other laser light source 154 to the target value by using the output light.

このように2台のレーザ光源のそれぞれを安定化させる回路が必要であるために、従来の周波数安定化光源の構成は複雑であった。   Thus, since a circuit for stabilizing each of the two laser light sources is necessary, the configuration of the conventional frequency stabilized light source is complicated.

また、従来の周波数安定化光源の構成においてはレーザ光の駆動電流を変調して出力光周波数に変調を与えるため、出力光の線幅が広がってしまうという問題があった。   Further, in the configuration of the conventional frequency stabilized light source, there is a problem that the line width of the output light is widened because the drive current of the laser light is modulated to modulate the output light frequency.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、吸収セルの吸収線周波数以外の光周波数に安定化させる周波数安定化光源において、1台のレーザ光源のみを用いる簡易な構成で、さらにレーザ光の駆動電流に変調信号を載せることなく、周波数が安定化した出力光が得られる周波数安定化光源を実現することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and in a frequency-stabilized light source that stabilizes to an optical frequency other than the absorption line frequency of the absorption cell, a simple configuration using only one laser light source, and a laser. An object of the present invention is to realize a frequency-stabilized light source capable of obtaining output light with a stabilized frequency without placing a modulation signal on the driving current of light.

本発明は、このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、周波数安定化光源であって、連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源と、前記レーザ光源により発生したレーザ光のパワーの一部を分離する光分波器と、分離された前記レーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器と、前記光変調器に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段と、前記可変周波数発生手段の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器と、前記光変調器から出力される変調を与えられた光を入力とする、前記光変調器により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セルと、前記吸収セルから出力される強度変調された光を受光する検出器と、前記検出器の出力信号および前記低周波発振器の出力信号から同期検波を行う同期検波器と、前記同期検波器の出力信号に基づいて、当該出力信号が0になるように前記レーザ光源の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段とを備え、前記可変周波数発生手段は、前記連続発振レーザ光の目標とするレーザ光周波数と前記吸収セルの吸収線周波数との差に相当する周波数を中心として、上下に同じ周波数だけ離れた周波数をそれぞれ発生する2台の固定周波数発振器と、前記2台の固定周波数発振器の出力周波数の切替えを、前記低周波発振器からの電気信号によって行うスイッチとにより構成されたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a frequency-stabilized light source, a laser light source for generating continuous wave laser light, and a laser light generated by the laser light source. An optical demultiplexer for separating a part of the power of the laser, an optical modulator for modulating the separated laser light to generate a modulation sideband, and a variable for generating an electric signal to be applied to the optical modulator The optical modulation comprising: a frequency generation unit; a low-frequency oscillator that generates an electrical signal for changing an output frequency of the variable frequency generation unit; and light that is provided with modulation output from the optical modulator. An absorption cell having an absorption line frequency near one of the modulation sidebands generated by the detector, a detector for receiving intensity-modulated light output from the absorption cell, an output signal of the detector and the low frequency A synchronous detector that performs synchronous detection from the output signal of the vibrator, and laser light frequency control that controls the output light frequency of the laser light source based on the output signal of the synchronous detector so that the output signal becomes zero And the variable frequency generation means is separated by the same frequency up and down around a frequency corresponding to a difference between a target laser light frequency of the continuous wave laser light and an absorption line frequency of the absorption cell. It is characterized by comprising two fixed frequency oscillators each generating a frequency and a switch for switching the output frequency of the two fixed frequency oscillators by an electric signal from the low frequency oscillator .

請求項2に記載の発明は、周波数安定化光源であって、連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源と、前記レーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器と、前記光変調器に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段と、前記可変周波数発生手段の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器と、前記光変調器の出力光から特定の光周波数成分を分離する光周波数分離手段と、分離された前記特定の光周波数成分の光を入力とする、前記光変調器により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セルと、前記吸収セルから出力される強度変調された光を受光する検出器と、前記検出器の出力信号および前記低周波発振器の出力信号から同期検波を行う同期検波器と、前記同期検波器の出力信号に基づいて、当該出力信号が0となるように前記レーザ光源の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段とを備え、前記可変周波数発生手段は、前記連続発振レーザ光の目標とするレーザ光周波数と前記吸収セルの吸収線周波数との差に相当する周波数を中心として、上下に同じ周波数だけ離れた周波数をそれぞれ発生する2台の固定周波数発振器と、前記2台の固定周波数発振器の出力周波数の切替えを、前記低周波発振器からの電気信号によって行うスイッチとにより構成されたことを特徴とする。 The invention according to claim 2 is a frequency-stabilized light source, a laser light source that generates continuous wave laser light, an optical modulator that modulates the laser light to generate a modulation sideband, and the light Variable frequency generating means for generating an electric signal to be applied to the modulator, a low frequency oscillator for generating an electric signal for changing the output frequency of the variable frequency generating means, and a specific light from the output light of the optical modulator An optical frequency separation means for separating frequency components, and an absorption cell having an absorption line frequency in the vicinity of one of modulation sidebands generated by the optical modulator, which receives the separated light of the specific optical frequency component as an input A detector that receives intensity-modulated light output from the absorption cell, a synchronous detector that performs synchronous detection from the output signal of the detector and the output signal of the low-frequency oscillator, and the synchronous detection Based on the output signal, and a laser optical frequency controlling means for controlling the output light frequency of the laser light source such that the output signal becomes 0, the variable frequency generating means, the target of the continuous wave laser beam Centered on a frequency corresponding to the difference between the laser light frequency and the absorption line frequency of the absorption cell, and two fixed frequency oscillators that respectively generate frequencies separated by the same frequency up and down, and the two fixed frequencies The output frequency of the oscillator is switched by a switch that is operated by an electric signal from the low-frequency oscillator .

請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記光変調器は、位相変調器、マッハツェンダ強度変調器および単側波帯変調器のいずれかであることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, the optical modulator according to the first or second aspect is any one of a phase modulator, a Mach-Zehnder intensity modulator, and a single sideband modulator.

請求項4に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記吸収セルは、その内部に1216O、1316O、C22およびHCNのいずれかを封入していることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the invention, the said absorption cell of claim 1 or 2, enclosing one of the interior 12 C 16 O, 13 C 16 O, C 2 H 2 and HCN It is characterized by.

請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記吸収セルは、セル内の温度を測定する温度センサおよびセル内の圧力を測定する圧力センサのいずれかを備え、前記センサからの信号に応じて前記可変周波数発生手段の出力周波数を制御すること
を特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, the absorption cell according to the first or second aspect includes any one of a temperature sensor that measures a temperature in the cell and a pressure sensor that measures a pressure in the cell. The output frequency of the variable frequency generating means is controlled in accordance with the above signal.

請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記レーザ光周波数制御手段は、前記レーザ光源の温度を制御して出力光周波数の制御を行う温度制御回路、前記レーザ光源の駆動電流を制御して出力光周波数の制御を行うレーザ駆動回路、および前記レーザ光源の共振器長制御により出力光周波数の制御を行う共振器長制御回路のいずれかを備えることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, the laser light frequency control means according to the first or second aspect controls the temperature of the laser light source to control the output light frequency, and drives the laser light source. One of a laser driving circuit that controls an output light frequency by controlling current and a resonator length control circuit that controls the output light frequency by controlling the resonator length of the laser light source are provided.

請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記同期検波器は、前記低周波発振器の周波数と同一の周波数、および前記低周波発振器の周波数の整数倍の周波数のいずれかの信号成分を検波することを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, the synchronous detector according to the first or second aspect is any one of a frequency that is the same as the frequency of the low-frequency oscillator and a frequency that is an integral multiple of the frequency of the low-frequency oscillator. The signal component is detected.

請求項に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の前記同期検波器は、前記低周波発振器の信号の位相を互いに90度ずらして受信する2台の位相検波器を備え、前記位相検出器からの出力信号ベクトルの長軸方向成分を求めて同期検波信号を出力することを特徴とする。 According to an eighth aspect of the present invention, the synchronous detector according to the first or second aspect includes two phase detectors that receive the signals of the low-frequency oscillator signals that are shifted by 90 degrees from each other, A long axis direction component of an output signal vector from the phase detector is obtained and a synchronous detection signal is output.

請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載の前記吸収セルは、前記セル内の温度を一定に保つように制御する温度制御回路を備えることを特徴とする。 The invention according to claim 9 is characterized in that the absorption cell according to claim 1 or 2 includes a temperature control circuit for controlling the temperature in the cell so as to be kept constant.

以上説明したように、本発明により、1台のレーザ光源のみを用いる簡易な構成で、レーザの駆動電流に変調信号を乗せることなく、吸収セルの吸収線周波数以外の光周波数に安定化させた出力光が得られる周波数安定化光源を実現することが可能となる。   As described above, according to the present invention, a simple configuration using only one laser light source is used to stabilize the optical frequency other than the absorption line frequency of the absorption cell without applying a modulation signal to the laser drive current. It is possible to realize a frequency stabilized light source from which output light can be obtained.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図2および10は、それぞれ本発明の周波数安定化光源の原理ブロック図を示す。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
2 and 10 show the principle block diagrams of the frequency stabilized light source of the present invention, respectively.

図2に示すように、本実施形態の周波数安定化光源は、連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源210と、レーザ光源210により発生したレーザ光のパワーの一部を分離する光分波器220と、光分波器220により分離されたレーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器230と、光変調器230に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段270と、可変周波数発生手段270の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器280と、光変調器230から出力された変調を与えられた光を入力とする、光変調器230により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セル240と、吸収セル240から出力される強度変調された光を受光する検出器250と、検出器250の出力信号および低周波発振器280の出力信号から同期検波を行う同期検波器290と、同期検波器290の出力信号に応じてレーザ光源210の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段260とを備える。   As shown in FIG. 2, the frequency-stabilized light source of this embodiment includes a laser light source 210 that generates continuous-wave laser light and an optical demultiplexer 220 that separates part of the power of the laser light generated by the laser light source 210. An optical modulator 230 that modulates the laser light separated by the optical demultiplexer 220 to generate a modulation sideband, and a variable frequency generation means 270 that generates an electric signal to be applied to the optical modulator 230, A low frequency oscillator 280 that generates an electrical signal for changing the output frequency of the variable frequency generating means 270 and a light that is provided with the modulation output from the optical modulator 230 and is generated by the optical modulator 230 An absorption cell 240 having an absorption line frequency in the vicinity of one of the modulation sidebands, a detector 250 that receives the intensity-modulated light output from the absorption cell 240, and a detector 2 A synchronous detector 290 for performing synchronous detection from the output signal of 0 and the output signal of the low frequency oscillator 280, and laser light frequency control means 260 for controlling the output light frequency of the laser light source 210 in accordance with the output signal of the synchronous detector 290. With.

また、図10に示すように、本実施形態の周波数安定化光源は、連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源210と、レーザ光源210により発生したレーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器230と、光変調器230に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段270と、可変周波数発生手段270の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器280と、光変調器230の出力光から特定の光周波数成分を分離する光周波数分離手段320と、光周波数分離手段320により分離された特定の光周波数成分の光を入力とする、光変調器230により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セル240と、吸収セル204から出力される強度変調された光を受光する検出器250と、検出器250の出力信号および低周波発振器280の出力信号から同期検波を行う同期検波器290と、同期検波器290の出力信号に応じてレーザ光源210の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段260とを備える。   As shown in FIG. 10, the frequency-stabilized light source of the present embodiment generates a modulated sideband by modulating a laser light generated by the laser light source 210 and a laser light source 210 that generates continuous-wave laser light. An optical modulator 230 to be generated, a variable frequency generating means 270 for generating an electric signal to be applied to the optical modulator 230, a low frequency oscillator 280 for generating an electric signal for changing the output frequency of the variable frequency generating means 270, Generated by the optical modulator 230 that receives as input the optical frequency separation means 320 that separates a specific optical frequency component from the output light of the optical modulator 230, and the light of the specific optical frequency component separated by the optical frequency separation means 320 An absorption cell 240 having an absorption line frequency in the vicinity of one of the modulated sidebands, and a test for receiving the intensity-modulated light output from the absorption cell 204. Detector 250, synchronous detector 290 that performs synchronous detection from the output signal of detector 250 and the output signal of low-frequency oscillator 280, and control of the output optical frequency of laser light source 210 according to the output signal of synchronous detector 290 Laser light frequency control means 260.

上記のように、本発明は、レーザ光源210により発生したレーザ光の一部に変調を与えて変調側波帯を発生させ、発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セル240に入射するように構成してもよく、あるいはレーザ光源210により発生したレーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させ、変調を与えたレーザ光の特定の周波数成分を分離し、発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セル240に入射するように構成してもよい。   As described above, the present invention modulates a part of the laser light generated by the laser light source 210 to generate a modulation sideband, and has an absorption line frequency in the vicinity of one of the generated modulation sidebands. It may be configured to be incident on the cell 240, or the laser light generated by the laser light source 210 is modulated to generate a modulation sideband, and a specific frequency component of the modulated laser light is separated, You may comprise so that it may inject into the absorption cell 240 which has an absorption line frequency in the vicinity of one of the generated modulation sidebands.

光変調器230は、例えば、位相変調器、マッハツェンダ強度変調器および単側波帯(SSB)変調器のいずれかとすることができる。   The optical modulator 230 can be, for example, any of a phase modulator, a Mach-Zehnder intensity modulator, and a single sideband (SSB) modulator.

吸収セル240は、例えば、その内部に一酸化炭素(1216Oあるいは1316O)、アセチレン(C22)およびシアン化水素(HCN)のいずれかを封入しているものとすることができる。 For example, the absorption cell 240 may contain carbon monoxide ( 12 C 16 O or 13 C 16 O), acetylene (C 2 H 2 ), or hydrogen cyanide (HCN). it can.

可変周波数発生手段270は、例えば、レーザ光源210により発生したレーザ光の目標とするレーザ光周波数と吸収セル240の吸収線周波数との差に相当する周波数を中心として、上下に同じ周波数だけ離れた周波数をそれぞれ発生する2台の固定周波数発振器と、当該2台の固定周波数発振器の出力周波数の切替えを、低周波発振器280からの電気信号によって行うスイッチを備えるように構成することができる。   The variable frequency generation means 270 is, for example, separated by the same frequency up and down around a frequency corresponding to the difference between the target laser light frequency of the laser light generated by the laser light source 210 and the absorption line frequency of the absorption cell 240. Two fixed frequency oscillators each generating a frequency and a switch for switching the output frequency of the two fixed frequency oscillators by an electric signal from the low frequency oscillator 280 can be provided.

あるいは、可変周波数発生手段270は、例えば、低周波発振器280からの電気信号によって駆動する周波数変調器を備えるように構成することができる。周波数変調器は、電圧制御発振器を備えるように構成することができる。   Alternatively, the variable frequency generation means 270 can be configured to include a frequency modulator that is driven by an electric signal from the low frequency oscillator 280, for example. The frequency modulator can be configured to include a voltage controlled oscillator.

また、本実施形態の周波数安定化光源は、吸収セル240内の温度を測定する温度センサをさらに備え、温度センサからの信号に応じて可変周波数発生手段270の出力周波数が制御されるように構成することもできる。   The frequency-stabilized light source of this embodiment further includes a temperature sensor that measures the temperature in the absorption cell 240, and is configured such that the output frequency of the variable frequency generating means 270 is controlled in accordance with a signal from the temperature sensor. You can also

あるいは、本実施形態の周波数安定化光源は、吸収セル240内の圧力を測定する圧力センサをさらに備え、圧力センサからの信号に応じて可変周波数発生手段270の出力周波数が制御されるように構成することもできる。   Or the frequency stabilization light source of this embodiment is further provided with the pressure sensor which measures the pressure in the absorption cell 240, and is comprised so that the output frequency of the variable frequency generation means 270 may be controlled according to the signal from a pressure sensor. You can also

レーザ光周波数制御手段260は、例えば、レーザ光源210の温度を制御して出力光周波数の制御を行う温度制御回路およびレーザ光源の駆動電流を制御して出力光周波数の制御を行うレーザ駆動回路のいずれかとすることができる。   The laser light frequency control means 260 includes, for example, a temperature control circuit that controls the temperature of the laser light source 210 to control the output light frequency and a laser drive circuit that controls the drive current of the laser light source to control the output light frequency. It can be either.

あるいは、レーザ光周波数制御手段260は、レーザ光源210の共振器長を制御する装置とすることもできる。   Alternatively, the laser light frequency control means 260 can be a device that controls the resonator length of the laser light source 210.

同期検波器290は、例えば、低周波発振器280の周波数と同一の周波数、またはその整数倍の周波数のいずれかの信号成分を検波する装置とすることができる。   The synchronous detector 290 can be, for example, a device that detects any signal component having the same frequency as the frequency of the low-frequency oscillator 280 or an integer multiple thereof.

また、同期検波器290は、デジタル的な処理で同期検波を行う装置とすることもできる。あるいは、同期検波器290は、アナログ的な処理で同期検波を行う装置とすることもできる。   The synchronous detector 290 can be a device that performs synchronous detection by digital processing. Alternatively, the synchronous detector 290 can be a device that performs synchronous detection by analog processing.

さらにまた、同期検波器290は、低周波発振器280の信号の位相を互いに90度ずらして受信する2台の位相検波器を備え、これらの位相検出器からの出力信号ベクトルの長軸方向成分を求めて同期検波信号を出力するように構成することができる。この構成により2位相ロックインアンプを実現することができ位相の調整を簡略化した周波数安定化光源を構成することができる。   Furthermore, the synchronous detector 290 includes two phase detectors that receive the signals of the low-frequency oscillator 280 while shifting the phases of the signals by 90 degrees from each other, and the major axis direction component of the output signal vector from these phase detectors is obtained. It can be configured to obtain the synchronous detection signal. With this configuration, a two-phase lock-in amplifier can be realized, and a frequency stabilized light source with simplified phase adjustment can be configured.

吸収セル240は、温度制御回路を備え、セル内の温度を一定に保つように制御するように構成することができる。   The absorption cell 240 may include a temperature control circuit and be configured to control the temperature inside the cell to be constant.

光周波数分離手段320は、例えば、安定化されたレーザ光源の出力光周波数に反射波長を有する狭帯域ファイバブラッググレーティングに光サーキュレータを接続したものとすることができる。この構成により、1入力2出力の光周波数分離手段320を実現することができ、目標とするレーザ光周波数に安定化された出力光周波数成分と変調側波帯成分とが分離することができる。目標とするレーザ光周波数に安定化された出力光周波数成分は本実施形態の周波数安定化光源の出力とされ、変調側波帯成分は吸収セル240へ入射される。   The optical frequency separation means 320 may be, for example, one in which an optical circulator is connected to a narrow band fiber Bragg grating having a reflection wavelength at the output optical frequency of a stabilized laser light source. With this configuration, the optical frequency separation means 320 with one input and two outputs can be realized, and the output optical frequency component stabilized at the target laser light frequency and the modulation sideband component can be separated. The output optical frequency component stabilized at the target laser light frequency is the output of the frequency stabilized light source of the present embodiment, and the modulation sideband component is incident on the absorption cell 240.

(実施例1)
図3ないし6を参照して、本発明の周波数安定化光源の第1の実施例を説明する。
図3は、図2に示した第1の実施形態に係る周波数安定化光源のレーザ光源210を分布帰還型レーザダイオード(DFB LD:distributed feedback laser diode)211により、光分波器220を−10dBカプラ221により、光変調器230をLiNbO3位相変調器231により、可変周波数発生手段270を変調器ドライバアンプ271と発振器272と可変アッテネータ273と発振器274と可変アッテネータ275とPIN276とにより、低周波発振器280を矩形波発振器281により、吸収セル240を1216O吸収セル241により、検出器250をフォトディテクタ251により、同期検波器290を電流入力プリアンプ291と低雑音プリアンプ292とロックインアンプ293とにより、およびレーザ光周波数制御手段260を温度制御回路261とレーザ駆動回路262によりそれぞれ構成した構成例を示す。
Example 1
A first embodiment of the frequency-stabilized light source of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 3 shows a laser light source 210 of the frequency stabilized light source according to the first embodiment shown in FIG. 2 using a distributed feedback laser diode (DFB LD) 211 and an optical demultiplexer 220 of −10 dB. The coupler 221, the optical modulator 230 by the LiNbO 3 phase modulator 231, the variable frequency generating means 270 by the modulator driver amplifier 271, the oscillator 272, the variable attenuator 273, the oscillator 274, the variable attenuator 275, and the PIN 276, 280 is a rectangular wave oscillator 281, absorption cell 240 is a 12 C 16 O absorption cell 241, detector 250 is a photodetector 251, and synchronous detector 290 is a current input preamplifier 291, a low noise preamplifier 292, and a lock-in amplifier 293. , And laser light frequency control hand 260 shows an example configuration in which each configured by a temperature control circuit 261 and the laser driving circuit 262.

本実施例の周波数安定化光源は、1216O吸収セル241の吸収線の一つを利用し、その吸収線周波数から一定周波数だけオフセットした189.100000THzの周波数安定化光を出力させるものである。 The frequency-stabilized light source of this embodiment uses one of the absorption lines of the 12 C 16 O absorption cell 241 and outputs a frequency-stabilized light of 189.100000 THz that is offset from the absorption line frequency by a fixed frequency. .

非特許文献1によると、目標のレーザ光周波数は189.100000THzの最も近い1216O吸収セルの吸収線周波数は、P10吸収線の吸収中心周波数(133kPaの気圧において189.087460THz)であり、これは目標周波数189.100000THzから12.540GHzだけオフセットした値である。 According to Non-Patent Document 1, the absorption line frequency of the nearest 12 C 16 O absorption cell with a target laser light frequency of 189.100000 THz is the absorption center frequency of P10 absorption line (189.087460 THz at a pressure of 133 kPa). This value is offset by 12.540 GHz from the target frequency of 189.100000 THz.

なお、以下の説明においては、1216O吸収セルのP10吸収線の吸収中心周波数は189.087460THz)であるとする。 In the following description, it is assumed that the absorption center frequency of the P10 absorption line of the 12 C 16 O absorption cell is 189.087460 THz).

本実施例の周波数安定化光源の動作原理を以下に説明する。
DFB LD211から出力されたCW(continuous wave)レーザ光(本明細書中において、CW光、連続発振レーザ光ともいう。)は、−10dBカプラ221を介してLiNbO3位相変調器231に入射される。
The operating principle of the frequency stabilized light source of this embodiment will be described below.
CW (continuous wave) laser light (also referred to as CW light or continuous wave laser light in this specification) output from the DFB LD 211 is incident on the LiNbO 3 phase modulator 231 via the −10 dB coupler 221. .

なお、あらかじめ温度制御回路261によりDFB LD211の出力光周波数を調整して、変調側波帯の光周波数が1216O吸収セル241のP10吸収線の吸収中心周波数の近傍になるように設定しておく。 The temperature control circuit 261 adjusts the output optical frequency of the DFB LD 211 in advance so that the optical frequency of the modulation sideband is close to the absorption center frequency of the P10 absorption line of the 12 C 16 O absorption cell 241. Keep it.

LiNbO3位相変調器231においてレーザ光には位相変調が与えられ、複数の変調側波帯が発生する。 In the LiNbO 3 phase modulator 231, phase modulation is given to the laser light, and a plurality of modulation sidebands are generated.

変調側波帯は周波数軸上において変調周波数と同一の間隔で発生し、元のCW光周波数を中心として同じ周波数だけ離れた2つの変調側波帯の強度は等しくなる。   Modulation sidebands are generated on the frequency axis at the same interval as the modulation frequency, and the intensity of two modulation sidebands separated by the same frequency with the original CW optical frequency as the center is equal.

ここで、位相変調の変調指数が、1.84になるように変調器ドライバアンプ271からの入力を調整することで、元のCW光周波数から変調周波だけ離れた2本の変調側波帯の強度が最大となるような光スペクトル波形が得られる。   Here, by adjusting the input from the modulator driver amplifier 271 so that the modulation index of the phase modulation is 1.84, the intensity of two modulation sidebands separated from the original CW optical frequency by the modulation frequency can be obtained. An optical spectrum waveform that can be maximized can be obtained.

図4は、DFB LD211からの出力光周波数が189.100000THz、変調周波数が12.540GHz、変調指数が1.84である場合の位相変調器231の出力の光スペクトルの計算結果である。図4中の黒丸が各線スペクトルの強度を表す。なお、図4の縦軸は元のCWレーザ光の強度を0dBとした場合の相対強度である。   FIG. 4 shows the calculation result of the optical spectrum of the output of the phase modulator 231 when the output optical frequency from the DFB LD 211 is 189.100000 THz, the modulation frequency is 12.540 GHz, and the modulation index is 1.84. Black circles in FIG. 4 represent the intensity of each line spectrum. The vertical axis in FIG. 4 represents the relative intensity when the intensity of the original CW laser beam is 0 dB.

位相変調器231の過剰損失を無視すると、これらの2本の変調側波帯強度の強度はそれぞれ、元のCW光の強度よりも4.70dbだけ小さい値になる。   If the excess loss of the phase modulator 231 is ignored, the intensity of these two modulation sideband intensities is 4.70 db smaller than the intensity of the original CW light.

また、図4中には1216OのP10吸収線の近辺のP8、P9、P11、P12の吸収線の中心周波数も示している。 FIG. 4 also shows the center frequencies of the P8, P9, P11, and P12 absorption lines near the 12 C 16 O P10 absorption line.

位相変調により発生する変調側波帯は、これらの隣接吸収線の中心周波数からは十分離れた周波数領域に存在している。   The modulation sideband generated by the phase modulation exists in a frequency region sufficiently separated from the center frequency of these adjacent absorption lines.

本実施例の周波数安定化光源においては、位相変調周波数は12.540GHzを中心とした±20 MHzの周波数、すなわち、12.520GHzと12.560GHzの2つの周波数が、一定の周期で切り替わるようにする。   In the frequency-stabilized light source of this embodiment, the phase modulation frequency is set to a frequency of ± 20 MHz centered on 12.540 GHz, that is, two frequencies of 12.520 GHz and 12.560 GHz are switched at a constant cycle.

これは、周波数12.520GHzの発振器272と、周波数12.560GHzの発振器274の2つの出力をPINスイッチ276に入力し、このPINスイッチ276の出力周波数を交互に切り替えることで実現される。   This is realized by inputting two outputs of an oscillator 272 having a frequency of 12.520 GHz and an oscillator 274 having a frequency of 12.560 GHz to the PIN switch 276 and alternately switching the output frequency of the PIN switch 276.

ここで、PINスイッチ276には、矩形波発振器281からの周波数1kHzの信号を入力し、12.520GHzと12.560GHzの2つの周波数が1kHz の繰り返しで切り替わるようにする。   Here, the PIN switch 276 receives a signal having a frequency of 1 kHz from the rectangular wave oscillator 281 so that the two frequencies of 12.520 GHz and 12.560 GHz are switched at repetitions of 1 kHz.

PINスイッチ276の出力は変調ドライバアンプ271を介して位相変調器231に入力される。   The output of the PIN switch 276 is input to the phase modulator 231 via the modulation driver amplifier 271.

12.520GHzと12.560GHzの2つの周波数における位相変調の変調指数が1.84付近で同一の値になるように、発振器272および274の出力強度をそれぞれ可変アッテネータ273および275で調整する。   The variable attenuators 273 and 275 adjust the output intensities of the oscillators 272 and 274 so that the modulation indexes of the phase modulation at the two frequencies of 12.520 GHz and 12.560 GHz have the same value near 1.84.

なお、位相変調はCW光に対してチャープを与えるが光の包絡線強度には変化を与えないため、位相変調器出力における光強度は時間的に一定である。   The phase modulation gives chirp to the CW light but does not change the envelope intensity of the light, so that the light intensity at the phase modulator output is constant over time.

位相変調器231の出力光は1216O吸収セルへ入射される。 The output light of the phase modulator 231 is incident on the 12 C 16 O absorption cell.

図5は、DFB LD211の出力光周波数および変調側波帯周波数、1216O吸収セル241のP10吸収線の吸収中心周波数、ならびに吸収線の透過スペクトルの関係を模式的に示したものである。 FIG. 5 schematically shows the relationship between the output optical frequency and the modulation sideband frequency of the DFB LD 211, the absorption center frequency of the P10 absorption line of the 12 C 16 O absorption cell 241, and the transmission spectrum of the absorption line. .

本実施例においては、vCO=189.087460THz、voffset=12.540GHz、vdif=40MHz、fm=1kHzで固定され、vLDの目標周波数が189.100000THzである。 In the present embodiment, v CO = 189.087460 THz, v offset = 12.540 GHz, v dif = 40 MHz, f m = 1 kHz, and the target frequency of v LD is 189.100000 THz.

変調側波帯は、元のCW光周波数より12.520GHz低周波側と12.560GHz低周波側に発生する2本が示されており、この2本は繰り返し周波数1kHzで交互に発生する。   Two modulation sidebands are generated on the 12.520 GHz lower frequency side and the 12.560 GHz lower frequency side than the original CW optical frequency, and these two are alternately generated at a repetition frequency of 1 kHz.

なお、この2本の変調側波帯の周波数間隔40 MHzは、1216O吸収セル241のP10吸収線の透過スペクトル幅より十分小さい。 The frequency interval 40 MHz between the two modulation sidebands is sufficiently smaller than the transmission spectrum width of the P10 absorption line of the 12 C 16 O absorption cell 241.

DFB LD211の出力光周波数が189.100000THzちょうどである場合、図5に示された2本の変調側波帯周波数における吸収線の透過率は同一の値になり、その結果、吸収セル241を透過した後の光の強度は時間的に一定となる。   When the output optical frequency of the DFB LD 211 is exactly 189.100000 THz, the transmittance of the absorption line at the two modulation sideband frequencies shown in FIG. The intensity of the subsequent light is constant over time.

しかし、DFB LD211の出力光周波数が189.100000THzから低周波数側にずれると、12.520GHz低周波側の変調側波帯の方が吸収線による損失が大きくなり、12.570GHz低周波側の変調側波帯よりも強度が小さくなる。その結果、吸収セル241の出力光強度は周波数1kHz で振動する。   However, if the output optical frequency of the DFB LD 211 is shifted from the lower frequency side of 189.100000 THz, the loss due to the absorption line becomes larger in the modulation sideband on the 12.520 GHz lower frequency side, and the modulation sideband on the lower side of 12.570 GHz The strength becomes smaller than. As a result, the output light intensity of the absorption cell 241 vibrates at a frequency of 1 kHz.

DFB LD211の出力光周波数が189.100000THzから高周波数側にずれると、逆に12.570 GHz低周波側の変調側波帯の方が強度が小さくなり、その結果、やはり吸収セル241の出力光強度は周波数1kHz で振動する。   When the output optical frequency of the DFB LD 211 shifts from 189.100000 THz to the higher frequency side, the intensity of the modulation sideband on the 12.570 GHz low frequency side becomes smaller, and as a result, the output light intensity of the absorption cell 241 also becomes the frequency. Vibrates at 1kHz.

ここで、DFB LD211の出力光周波数が189.100000THzから高周波数側にずれる場合と低周波側にずれる場合とで、1kHz振動の位相はπずれる。   Here, the phase of the 1 kHz vibration is shifted by π depending on whether the output optical frequency of the DFB LD 211 is shifted to the high frequency side from 189.100000 THz or to the low frequency side.

吸収セル241の出力光はフォトディテクタ251が受光され、その出力は電流入力アンプ291、低雑音プリアンプ292を介してロックインアンプ293に送られる。   The light output from the absorption cell 241 is received by the photodetector 251, and the output is sent to the lock-in amplifier 293 via the current input amplifier 291 and the low-noise preamplifier 292.

ロックインアンプ293には、矩形波発振器281からの1kHz信号も入力される。   The 1 kHz signal from the rectangular wave oscillator 281 is also input to the lock-in amplifier 293.

ロックインアンプ293は、1216O吸収セル241の出力光の包絡線強度における1kHz成分を同期検波する。同期検波される1kHz成分の強度は、DFB LD211の出力光周波数と目標周波数189.100000THzの差に応じて変化する。 The lock-in amplifier 293 synchronously detects a 1 kHz component in the envelope intensity of the output light of the 12 C 16 O absorption cell 241. The intensity of the 1 kHz component that is synchronously detected changes according to the difference between the output optical frequency of the DFB LD 211 and the target frequency of 189.100000 THz.

同期検波信号の光周波数依存性を実際に測定した結果を図6に示す。ここで、この図6の横軸は、図5における2本の変調側波帯の中間点の周波数から吸収中心周波数を差し引いた値であり、これは即ち、DFB LD211の出力光周波数の目標周波数からのずれに一致する。   FIG. 6 shows the result of actual measurement of the optical frequency dependence of the synchronous detection signal. Here, the horizontal axis of FIG. 6 is a value obtained by subtracting the absorption center frequency from the frequency at the midpoint of the two modulation sidebands in FIG. 5, that is, the target frequency of the output optical frequency of the DFB LD 211. Matches the deviation from.

同期検波信号の光周波数依存性は図6に示されるようなSカーブとなり、2本の変調側波帯の中間点での光周波数が吸収セルの吸収中心周波数と一致する場合に、同期検波信号は0となる。   The optical frequency dependence of the synchronous detection signal becomes an S curve as shown in FIG. 6, and the synchronous detection signal is obtained when the optical frequency at the midpoint between the two modulation sidebands coincides with the absorption center frequency of the absorption cell. Becomes 0.

ロックインアンプ293から出力される同期検波信号は、誤差信号としてレーザ駆動回路262に送られる。   The synchronous detection signal output from the lock-in amplifier 293 is sent to the laser drive circuit 262 as an error signal.

この誤差信号が0になるようにレーザ駆動回路262は駆動電流を調整し、その結果、DFB LD211の出力光周波数が目標周波数189.100000THzに安定化される。   The laser drive circuit 262 adjusts the drive current so that the error signal becomes 0, and as a result, the output optical frequency of the DFB LD 211 is stabilized at the target frequency 189.100000 THz.

なお、本実施例においては、189.100000THzの周波数安定化光を出力させるために1216OのP10吸収線を利用したが、それ以外のITU−Tグリッド上の光周波数における周波数安定化光を得るために、他の吸収線を利用することも可能である。 In this embodiment, the P10 absorption line of 12 C 16 O is used to output the frequency stabilized light of 189.100000 THz. However, the frequency stabilized light at the optical frequency on the ITU-T grid other than that is used. It is also possible to use other absorption lines to obtain.

例えば、1216OのP7吸収線の吸収中心周波数は133kPaの気圧において189.508355 THzであり、これはITU−Tグリッド上の光周波数189.500000THzから8.355GHzだけオフセットした値である。したがって、本実施例における変調周波数の中心を8.355GHzに設定することで、189.500000THzの周波数安定化光が得られる。 For example, the absorption center frequency of the P7 absorption line of 12 C 16 O is 189.508355 THz at a pressure of 133 kPa, which is a value offset by 8.355 GHz from the optical frequency of 189.500000 THz on the ITU-T grid. Therefore, by setting the center of the modulation frequency in this embodiment to 8.355 GHz, frequency stabilized light of 189.500000 THz can be obtained.

同様に、1216OのP12吸収線(吸収中心周波数は133kPaの気圧において188.791330THz)を利用し、変調周波数の中心を8.670GHzに設定することで、189.800000THzの周波数安定化光が得られる。 Similarly, by using a 12 C 16 O P12 absorption line (absorption center frequency is 188.791330 THz at a pressure of 133 kPa) and setting the center of the modulation frequency to 8.670 GHz, frequency stabilized light of 189.800000 THz can be obtained. .

本発明により光源の光周波数を安定化する場合、結果としていられる光源の光周波数確度(確からしさ)は、吸収線の吸収ピークの光周波数の確度+側帯波発生用の電気発振器の周波数確度+制御回路の確度で決定される。   When the optical frequency of the light source is stabilized according to the present invention, the optical frequency accuracy (accuracy) of the resulting light source is: the accuracy of the optical frequency of the absorption peak of the absorption line + the frequency accuracy of the electric oscillator for generating sidebands + It is determined by the accuracy of the control circuit.

電気発振器の発信周波数(voffset)は通常、内蔵の水晶発振器にPLL(Phase-locked loop)技術を用いて同期制御することで周波数確度を高めている。 The oscillation frequency (v offset ) of the electric oscillator is usually increased in frequency accuracy by synchronously controlling the built-in crystal oscillator using a phase-locked loop (PLL) technique.

これに対し、本発明においては、この発信周波数をFM変調して使用することを特徴とする。しかし、吸収線のピーク検出の感度を向上するためにFM変調の最大周波数偏移(±vdif/2)を大きくすると、キャリア周波数の周波数確度が低下するという問題が生じる。 On the other hand, the present invention is characterized in that this transmission frequency is used after FM modulation. However, if the maximum frequency deviation (± v dif / 2) of FM modulation is increased in order to improve the sensitivity of absorption line peak detection, there arises a problem that the frequency accuracy of the carrier frequency is lowered.

そこで、本実施例に示すように発信周波数がvoffset+vdif/2およびvoffset−vdif/2の発振器を用意しておき、これらを交互にスイッチングして使用することによって、所望の動作を実現している。これにより、比較的簡易な構成によって、高い周波数確度の光周波数安定光源を実現することが可能となる。 Therefore, as shown in the present embodiment, an oscillator having a transmission frequency of v offset + v dif / 2 and v offset −v dif / 2 is prepared, and these are alternately switched to be used, thereby achieving a desired operation. Realized. Thereby, it becomes possible to realize an optical frequency stable light source with high frequency accuracy by a relatively simple configuration.

(実施例2)
図7を参照して、本発明の周波数安定化光源の第2の実施例を説明する。
図7は、本発明の周波数安定化光源の第2の実施例の構成を示し、矩形波発振器281とロックインアンプ293の間に周波数逓倍器294が挿入されている点を除き、図3に示した第1の実施例と同様である。したがって、繰り返しの説明は省略する。
(Example 2)
A second embodiment of the frequency stabilized light source of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 7 shows the configuration of the second embodiment of the frequency stabilized light source of the present invention. FIG. 3 shows the configuration of FIG. 3 except that a frequency multiplier 294 is inserted between the rectangular wave oscillator 281 and the lock-in amplifier 293. This is the same as the first embodiment shown. Therefore, repeated description is omitted.

本実施例では、周波数逓倍器294は、矩形波発振器281からの信号の周波数を整数倍にしてロックインアンプ293に入力する。   In this embodiment, the frequency multiplier 294 multiplies the frequency of the signal from the rectangular wave oscillator 281 by an integral multiple and inputs it to the lock-in amplifier 293.

この構成により、1216O吸収セル241から出力される光の強度の変動成分のうち、矩形波発振器の周波数の整数倍にあたる成分が検出される。 With this configuration, a component corresponding to an integral multiple of the frequency of the rectangular wave oscillator is detected from the fluctuation component of the intensity of light output from the 12 C 16 O absorption cell 241.

矩形波発振器の周波数の整数倍にあたる成分を検出することでより大きな誤差信号が得られ、より制度の高い光周波数制御を実現することができる。   By detecting a component corresponding to an integral multiple of the frequency of the rectangular wave oscillator, a larger error signal can be obtained, and optical frequency control with higher system can be realized.

参考例1
図8を参照して、本発明の周波数安定化光源の第1の参考例を説明する。
図8は周波数安定化光源の第1の参考例の構成を示し、図2に示した第1の実施形態に係る周波数安定化光源の可変周波数発生手段270の構成を除き、図3に示した第1の実施例と同様である。したがって、繰り返しの説明は省略する。
( Reference Example 1 )
With reference to FIG. 8, the 1st reference example of the frequency stabilization light source of this invention is demonstrated.
8, the frequency showing the configuration of a first reference example of the stabilization source, except for the configuration of the frequency-stabilized light source of variable frequency generating means 270 according to the first embodiment shown in FIG. 2, FIG. 3 This is the same as the first embodiment. Therefore, repeated description is omitted.

本参考例では、可変周波数発生手段270は、変調器ドライバアンプ271と電圧制御発振器277と可変アッテネータ278とを備える。 In this reference example , the variable frequency generation means 270 includes a modulator driver amplifier 271, a voltage controlled oscillator 277, and a variable attenuator 278.

即ち、本参考例では中心周波数を12.540GHzに設定した電圧制御発振器277を用い、矩形波発振器281からの1kHz信号により、12.540GHz付近の異なる2つの周波数を繰り返し1kHzで切り替えて出力させる。 That is, in this reference example , a voltage-controlled oscillator 277 whose center frequency is set to 12.540 GHz is used, and two different frequencies near 12.540 GHz are repeatedly switched at 1 kHz and output by a 1 kHz signal from the rectangular wave oscillator 281.

ここで、電圧制御発振器277に入力される1kHz信号の強度を調整することにより、電圧制御発振器277から出力される2つの周波数が12.540GHzを中心として数十MHz程度の振幅で振動するようにする。   Here, by adjusting the intensity of the 1 kHz signal input to the voltage controlled oscillator 277, the two frequencies output from the voltage controlled oscillator 277 are oscillated with an amplitude of about several tens of MHz centering around 12.540 GHz. .

電圧制御発振器277の出力は変調ドライバアンプ271を介して位相変調器231に入力される。可変アッテネータ278は、変調ドライバアンプ271から位相変調器231に入力する電気信号の強度を調整する。   The output of the voltage controlled oscillator 277 is input to the phase modulator 231 via the modulation driver amplifier 271. The variable attenuator 278 adjusts the strength of the electric signal input from the modulation driver amplifier 271 to the phase modulator 231.

本実施例によれば、第1の実施例よりも簡略化した構成の周波数安定化光源を実現することができる。   According to the present embodiment, it is possible to realize a frequency-stabilized light source having a simplified configuration as compared with the first embodiment.

(実施例
図9を参照して、本発明の周波数安定化光源の第の実施例を説明する。
(Example 3 )
A third embodiment of the frequency stabilized light source of the present invention will be described with reference to FIG.

図9は、本発明の周波数安定化光源の第の実施例の構成を示し、1216O吸収セル241に温度センサ279が取り付けられ、1216O吸収セル241の温度に応じて発振器272と発振器274の両方の出力周波数を調整する仕組みとなっている点を除き、図3に示した第1の実施例と同様である。したがって、繰り返しの説明は省略する。 Figure 9 shows the configuration of a third embodiment of a frequency-stabilized light source of the present invention, 12 C 16 temperature sensor 279 to the O absorption cell 241 is mounted, the oscillator according to the temperature of 12 C 16 O absorption cell 241 3 is the same as that of the first embodiment shown in FIG. 3 except that the output frequency of both the 272 and the oscillator 274 is adjusted. Therefore, repeated description is omitted.

1216O吸収セル279の吸収線の吸収中心周波数はセル内のガスの圧力にわずかに依存し、また、セル内の圧力は外気温に依存する。 The absorption center frequency of the absorption line of the 12 C 16 O absorption cell 279 slightly depends on the gas pressure in the cell, and the pressure in the cell depends on the outside temperature.

したがって、使用する1216O吸収セル241の温度が変動すると、吸収線の中心周波数が変化し、その結果、DFB LD261の出力光の目標周波数と吸収線の中心周波数との差(図5におけるvoffset)が変化する。 Therefore, when the temperature of the 12 C 16 O absorption cell 241 used changes, the center frequency of the absorption line changes, and as a result, the difference between the target frequency of the output light of the DFB LD 261 and the center frequency of the absorption line (in FIG. 5). v offset ) changes.

そこで、あらかじめ1216O吸収セル241の温度と上記voffsetの相関を調べておき、吸収セルの温度が変化しても発振器272および発振器274の出力周波数の中間点の周波数がvoffsetと常に一致するように各発振器を調整することにより、出力光周波数の精度をより高くすることが可能となる。 Therefore, the correlation between the temperature of the 12 C 16 O absorption cell 241 and the above v offset is examined in advance, and even if the temperature of the absorption cell changes, the frequency at the intermediate point between the output frequencies of the oscillator 272 and the oscillator 274 is always v offset. By adjusting each oscillator so as to match, the accuracy of the output optical frequency can be further increased.

なお、本実施例においては、1216O吸収セル241に温度センサ279が取り付けられ、1216O吸収セル241の温度をモニタしたが、この温度センサの代わりに圧力センサを取り付けて1216O吸収セル241内の圧力をモニタし、その圧力に応じて発振器272および発振器274の出力周波数を調整してもよい。 In the present embodiment, 12 temperature sensor 279 to the C 16 O absorption cell 241 is mounted, it has been monitoring the temperature of 12 C 16 O absorption cell 241, by attaching a pressure sensor instead of the temperature sensor 12 C The pressure in the 16 O absorption cell 241 may be monitored, and the output frequencies of the oscillator 272 and the oscillator 274 may be adjusted according to the pressure.

以上、本発明の好適な実施例を具体的に例示して説明したが、本発明は、実施例は上記例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内であれば、その構成部材等の置換、変更、追加、個数の増減、形状の設計変更、設定パラメータの変更等の各種変形は、全て本発明に含まれる。   As mentioned above, although the preferred example of the present invention was concretely illustrated and explained, the present invention is not limited to the above-mentioned illustration, and if it is within the scope of the claims, Various modifications such as replacement, change, addition, increase / decrease of the number of components, change of shape design, change of setting parameters, etc. are all included in the present invention.

周波数安定化光源の従来技術の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the prior art of a frequency stabilization light source. 本発明の周波数安定化光源の原理的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the fundamental structure of the frequency stabilization light source of this invention. 本発明の周波数安定化光源の第1の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 1st Example of the frequency stabilization light source of this invention. CW光に対して変調指数1.84の位相変調を与えた場合の光スペクトルの計算結果を示す図である。It is a figure which shows the calculation result of the optical spectrum at the time of giving the phase modulation of the modulation index 1.84 with respect to CW light. DFB LDの出力光周波数、変調側波帯周波数、1216O吸収セルのP10吸収線の吸収中心周波数、ならびに吸収線の透過スペクトルの関係を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the relationship between the output optical frequency of DFB LD, the modulation sideband frequency, the absorption center frequency of the P10 absorption line of the 12 C 16 O absorption cell, and the transmission spectrum of the absorption line. 同期検波信号の光周波数依存性を測定した結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having measured the optical frequency dependence of the synchronous detection signal. 本発明の周波数安定化光源の第2の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd Example of the frequency stabilization light source of this invention. 本発明の周波数安定化光源の第1の参考例を示す図である。It is a figure which shows the 1st reference example of the frequency stabilization light source of this invention. 本発明の周波数安定化光源の第の実施例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd Example of the frequency stabilization light source of this invention. 本発明の周波数安定化光源の原理的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the fundamental structure of the frequency stabilization light source of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

210 レーザ光源
211 分布帰還型レーザダイオード(BFD LD)
220 光分波器
221 ファイバカプラ
230 光変調器
231 LiNbO3位相変調器
240 吸収セル
241 1216O吸収セル
250 光検出器
251 フォトディテクタ
260 レーザ光周波数制御手段
261 温度制御回路
262 レーザ駆動回路
270 可変周波数発生手段
271 変調器ドライバアンプ
272,274 発振器
273,275 可変アッテネータ
276 PINスイッチ
280 低周波発振器
281 矩形波発振器
290 周期検波器
291 電流入力プリアンプ
292 低雑音プリアンプ
293 ロックインアンプ
294 周波数逓倍器
210 Laser light source 211 Distributed feedback laser diode (BFD LD)
220 Optical demultiplexer 221 Fiber coupler 230 Optical modulator 231 LiNbO 3 phase modulator 240 Absorption cell 241 12 C 16 O absorption cell 250 Photo detector 251 Photo detector 260 Laser light frequency control means 261 Temperature control circuit 262 Laser drive circuit 270 Variable Frequency generator 271 Modulator driver amplifier 272, 274 Oscillator 273, 275 Variable attenuator 276 PIN switch 280 Low frequency oscillator 281 Rectangular wave oscillator 290 Period detector 291 Current input preamplifier 292 Low noise preamplifier 293 Lock-in amplifier 294 Frequency multiplier

Claims (9)

連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源と、
前記レーザ光源により発生したレーザ光のパワーの一部を分離する光分波器と、
分離された前記レーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器と、
前記光変調器に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段と、
前記可変周波数発生手段の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器と、
前記光変調器から出力される変調を与えられた光を入力とする、前記光変調器により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セルと、
前記吸収セルから出力される強度変調された光を受光する検出器と、
前記検出器の出力信号および前記低周波発振器の出力信号から同期検波を行う同期検波器と、
前記同期検波器の出力信号に基づいて、当該出力信号が0になるように前記レーザ光源の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段と
を備え
前記可変周波数発生手段は、
前記連続発振レーザ光の目標とするレーザ光周波数と前記吸収セルの吸収線周波数との差に相当する周波数を中心として、上下に同じ周波数だけ離れた周波数をそれぞれ発生する2台の固定周波数発振器と、
前記2台の固定周波数発振器の出力周波数の切替えを、前記低周波発振器からの電気信号によって行うスイッチとにより構成されたことを特徴とする周波数安定化光源。
A laser light source for generating continuous wave laser light;
An optical demultiplexer for separating a part of the power of the laser light generated by the laser light source;
An optical modulator that modulates the separated laser light to generate a modulation sideband;
Variable frequency generating means for generating an electrical signal to be applied to the optical modulator;
A low-frequency oscillator for generating an electrical signal for changing the output frequency of the variable frequency generating means;
An absorption cell having an absorption line frequency in the vicinity of one of the modulation sidebands generated by the optical modulator, wherein the modulated light output from the optical modulator is input;
A detector for receiving intensity-modulated light output from the absorption cell;
A synchronous detector that performs synchronous detection from the output signal of the detector and the output signal of the low-frequency oscillator;
Laser light frequency control means for controlling the output light frequency of the laser light source based on the output signal of the synchronous detector so that the output signal becomes 0, and
The variable frequency generating means includes
Two fixed frequency oscillators each generating a frequency separated by the same frequency up and down around a frequency corresponding to a difference between a target laser light frequency of the continuous wave laser light and an absorption line frequency of the absorption cell; ,
A frequency-stabilized light source comprising a switch for switching output frequencies of the two fixed-frequency oscillators by an electric signal from the low-frequency oscillator .
連続発振レーザ光を発生させるレーザ光源と、
前記レーザ光に変調を与えて変調側波帯を発生させる光変調器と、
前記光変調器に印加する電気信号を発生させる可変周波数発生手段と、
前記可変周波数発生手段の出力周波数を変動させるための電気信号を発生させる低周波発振器と、
前記光変調器の出力光から特定の光周波数成分を分離する光周波数分離手段と、
分離された前記特定の光周波数成分の光を入力とする、前記光変調器により発生した変調側波帯の一つの近傍に吸収線周波数を有する吸収セルと、
前記吸収セルから出力される強度変調された光を受光する検出器と、
前記検出器の出力信号および前記低周波発振器の出力信号から同期検波を行う同期検波器と、
前記同期検波器の出力信号に基づいて、当該出力信号が0となるように前記レーザ光源の出力光周波数の制御を行うレーザ光周波数制御手段と
を備え
前記可変周波数発生手段は、
前記連続発振レーザ光の目標とするレーザ光周波数と前記吸収セルの吸収線周波数との差に相当する周波数を中心として、上下に同じ周波数だけ離れた周波数をそれぞれ発生する2台の固定周波数発振器と、
前記2台の固定周波数発振器の出力周波数の切替えを、前記低周波発振器からの電気信号によって行うスイッチとにより構成されたことを特徴とする周波数安定化光源。
A laser light source for generating continuous wave laser light;
An optical modulator that modulates the laser light to generate a modulation sideband;
Variable frequency generating means for generating an electrical signal to be applied to the optical modulator;
A low frequency oscillator for generating an electrical signal for changing the output frequency of the variable frequency generating means;
Optical frequency separation means for separating a specific optical frequency component from the output light of the optical modulator;
An absorption cell having an absorption line frequency in the vicinity of one of the modulation sidebands generated by the optical modulator, wherein the separated light of the specific optical frequency component is input;
A detector for receiving intensity-modulated light output from the absorption cell;
A synchronous detector that performs synchronous detection from the output signal of the detector and the output signal of the low-frequency oscillator; and
Based on the output signal of said synchronous detector, and a laser optical frequency controlling means for controlling the output light frequency of the laser light source such that the output signal becomes 0,
The variable frequency generating means includes
Two fixed frequency oscillators each generating a frequency separated by the same frequency up and down around a frequency corresponding to a difference between a target laser light frequency of the continuous wave laser light and an absorption line frequency of the absorption cell; ,
A frequency-stabilized light source comprising a switch for switching output frequencies of the two fixed-frequency oscillators by an electric signal from the low-frequency oscillator .
前記光変調器は、位相変調器、マッハツェンダ強度変調器および単側波帯変調器のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。   The frequency-stabilized light source according to claim 1 or 2, wherein the optical modulator is one of a phase modulator, a Mach-Zehnder intensity modulator, and a single sideband modulator. 前記吸収セルは、その内部に1216O、1316O、C22およびHCNのいずれかを封入していることを特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。 3. The frequency-stabilized light source according to claim 1, wherein any one of 12 C 16 O, 13 C 16 O, C 2 H 2, and HCN is sealed in the absorption cell. 前記吸収セルは、
セル内の温度を測定する温度センサおよびセル内の圧力を測定する圧力センサのいずれかを備え、
前記センサからの信号に応じて前記可変周波数発生手段の出力周波数を制御すること
を特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。
The absorption cell is
Either a temperature sensor that measures the temperature in the cell and a pressure sensor that measures the pressure in the cell,
The frequency-stabilized light source according to claim 1 or 2, wherein an output frequency of the variable frequency generator is controlled in accordance with a signal from the sensor.
前記レーザ光周波数制御手段は、
前記レーザ光源の温度を制御して出力光周波数の制御を行う温度制御回路、
前記レーザ光源の駆動電流を制御して出力光周波数の制御を行うレーザ駆動回路、および
前記レーザ光源の共振器長制御により出力光周波数の制御を行う共振器長制御回路のいずれかを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。
The laser light frequency control means includes
A temperature control circuit for controlling the output light frequency by controlling the temperature of the laser light source;
A laser drive circuit that controls the output light frequency by controlling the drive current of the laser light source; and a resonator length control circuit that controls the output light frequency by controlling the resonator length of the laser light source. The frequency-stabilized light source according to claim 1 or 2.
前記同期検波器は、
前記低周波発振器の周波数と同一の周波数、および
前記低周波発振器の周波数の整数倍の周波数のいずれかの信号成分を検波することを特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。
The synchronous detector is
3. The frequency-stabilized light source according to claim 1, wherein a signal component having a frequency that is the same as the frequency of the low-frequency oscillator and a frequency that is an integral multiple of the frequency of the low-frequency oscillator is detected.
前記同期検波器は、
前記低周波発振器の信号の位相を互いに90度ずらして受信する2台の位相検波器を備え、
前記位相検出器からの出力信号ベクトルの長軸方向成分を求めて同期検波信号を出力することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の周波数安定化光源。
The synchronous detector is
Comprising two phase detectors for receiving the phase of the signal of the low frequency oscillator shifted by 90 degrees from each other;
The frequency-stabilized light source according to claim 1 or 2, wherein a long-axis component of an output signal vector from the phase detector is obtained to output a synchronous detection signal.
前記吸収セルは、
前記セル内の温度を一定に保つように制御する温度制御回路を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の周波数安定化光源。
The absorption cell is
The frequency-stabilized light source according to claim 1, further comprising a temperature control circuit that controls the temperature in the cell so as to keep the temperature constant.
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