JP4608365B2 - 内接歯車ポンプの歯形創生方法及び内接歯車 - Google Patents

Description

この発明は、内接歯車ポンプのインナーロータとアウターロータに、相互干渉が起こら
ない歯形を備えさせるための歯形創生方法と、その方法で創生された歯形を有する内接歯
車と、その内接歯車を使用して脈動を抑えた内接歯車ポンプに関する。

内接歯車ポンプの従来例としては、例えば、下記特許文献１、２に示されるものなどが
あるが、これらの特許文献が開示している内接歯車ポンプは、理論吐出量に影響を与える
偏心量ｅ（インナーロータ中心とアウターロータ中心の偏心量）の設定に自由度がなく、
インナーロータの歯先径を固定して偏心量ｅを一旦決めてしまうと、その偏心量ｅを大き
くして吐出量を大きくすることができないと言う問題を有していることから、本出願人は
、その問題を解決した内接歯車ポンプを発明して特願２００３−２７４８４４号で提案し
た(以下、先願発明と言う)。

その先願発明の内接歯車ポンプは、インナーロータと、このインナーロータの中心をア
ウターロータの中心周りに直径Ｓ＝（２ｅ＋ｔ）の円を描いて公転させ、インナーロータ
中心がその円を１周公転する間にインナーロータを１／ｎ回自転させ、こうして作られる
インナーロータの歯形曲線群の包絡線を歯形にしたアウターロータを組み合わせて構成される（ここに、ｅ：インナーロータの中心とアウターロータの中心の偏心量、ｔ：アウターロータとそれに押し付けたインナーロータとの間に形成される歯間隙間の最大値、ｎ：インナーロータの歯数）。

この先願発明の内接歯車ポンプは、偏心量ｅの設定に自由度があり、そのために偏心量
ｅを大きくしてポンプの吐出量を大きくすることが可能になっている。しかしながら、一
方で、下記の問題を有することが判明した。すなわち、前掲の式の歯間隙間ｔ（以下では
このｔをΔｅと置き換えて説明を進める）が規格の最小値になる寸法をもったインナーロータとアウターロータ（寸法が許容範囲内で最大のインナーロータと最小のアウターロータ）が互いに組み合わされた場合、両ロータの干渉が起こる場合がある。

歯間隙間Δｅは、上限と下限が規定される場合がある。この場合には、寸法が許容範囲
内で最小のインナーロータと寸法が許容範囲内で最大のアウターロータを組み合わせたと
きの歯間隙間が最大値Δｅ_ｍａｘとして設定され、また、寸法が許容範囲内で最大になったインナーロータと寸法が許容範囲内で最小になったアウターロータを組み合わせたときの歯間隙間が最小値Δｅ_ｍｉｎとして設定される。

先願発明は、偏心量ｅに歯間隙間Δｅの中央値｛Δｅ_ｍｉｎ＋（Δｅ_ｍａｘ−Δｅ_ｍｉｎ）／２｝の１／２を加算した長さをインナーロータ中心が公転する円の半径にして上記の方法でインナーロータの歯形曲線群の包絡線を描き、その包絡線でアウターロータの歯形を形成する方法を採っていたが、この方法ではインナーロータとアウターロータの干渉を確実に回避することができない。

インナーロータとアウターロータの干渉が起こると、ロータ回転が妨げられてポンプの
信頼性が低下するので、その干渉を確実に回避できる歯形が望まれる。
実公平６−３９１０９号公報 特開平１１−８１１９３５号公報

この発明は、インナーロータとアウターロータの干渉が起こらない歯形を形成できる内
接歯車ポンプの歯形創生方法と、その方法で創生された歯形を有する信頼性の高まった内
接歯車と、その内接歯車を使用して脈動を抑えた内接歯車ポンプを提供することを課題としている。

上記の課題を解決するため、この発明においては、下記（１）の内接歯車ポンプの歯形創生方法を提供する。

（１）インナーロータの中心とアウターロータの中心の偏心量をｅ、インナーロータの歯
数をｎ、インナーロータとアウターロータ間に設ける歯間隙間の規格の最小値をΔｅｍｉ
ｎ、同規格の最小値と最大値間の中央値をΔｅｍｉｄとして、
インナーロータの中心をアウターロータの中心周りに直径Ｓ＝（２ｅ＋Δｅｍｉｎ）の
円を描いて公転させ、インナーロータ中心がその円を１周公転する間にインナーロータを１／ｎ回自転させ、こうして作られるインナーロータの歯形曲線群の包絡線でアウターロータの仮の歯形を形成し、次いで、インナーロータの元の歯形、アウターロータの仮の歯形もしくはインナーロータの元の歯形とアウターロータの仮の歯形の双方を、オフセット又はスケールで（Δｅｍｉｄ−Δｅｍｉｎ）相当量の歯間隙間を形成してインナーロータとアウターロータの最終歯形を創生する。

なお、オフセットは、アウターロータの仮の歯形を例えば半径で０．０１ｍｍ大きくす
る場合には、図４に示すように、直径ｄ＝０．０１ｍｍの転円１１を基準歯形Ａ（これは
後述の仮の歯形に相当する）に外接させ、この転円１１を基準歯形Ａ上で滑りを発生させずに転がらせる方法で寸法調整を行うものであり、このときの転円１１の軌跡によって描
かれる最終歯形Ｂ（転円１１が内接する歯形）は、基準歯形Ａに対して平行で全域におい
て寸法が半径で０．０１ｍｍ増大したものになる。インナーロータの寸法を調整する場合
には、直径ｄ＝０．０１ｍｍの転円１１を基準歯形Ａに内接させて滑りを発生させずに転
がらせ、その転円１１の内側の軌跡によって描かれる歯形を最終歯形となす。

一方、スケールによる調整は、図５に示すように、ロータ中心から外周面までの距離の
増減率に応じて調整量を増減するものであり、基準歯形Ａと最終歯形Ｂ間の距離が歯の各
部において変動する。

次に、歯間隙間の規格の中央値Δｅ_ｍｉｄは、｛Δｅ_ｍｉｎ＋（Δｅ_ｍａｘ−Δｅ_ｍｉｎ）／２｝の式で求める。

また、オフセットやスケールによる調整をインナーロータのみに加える場合には、前記
仮の歯形をアウターロータの最終歯形にする。オフセットやスケールによる調整量は、イ
ンナーロータとアウターロータに半々に振り分けてもよい。また、アウターロータの最終
歯形は、歯底部に、インナーロータの歯先との間の隙間を増大させる補正をさらに加えた
ものにしてもよい。

この発明においては、インナーロータとアウターロータが上記（１）の方法によって創生された歯形を有する歯車ポンプ用の内接歯車も併せて提供する。この内接歯車は、コストや量産性の面では、粉末冶金法で形成される焼結歯車のインナーロータとアウターロータを組み合わせたものが有利であるが、鍛造品や鋳造品を機械加工して作られるロータを組み合わせたものでもよい。

この発明においては、運転時の脈動対策として下記（２）〜（４）の内接歯車を採用し
、その内接歯車を吸入ポートと吐出ポートを有するハウジングに組み込んだ内接歯車ポン
プも提供する。
（２）上記（１）の方法によって創生された最終歯形の歯底位置からアウターロータの歯底を掘り下げてインナーロータの歯先がアウターロータの歯底に最接近する位置でインナーロータの歯先とアウターロータの歯底との間に空間を生じさせる逃がし部を、インナーロータとアウターロータの噛み合い点にかからない状態、かつ、吸入ポートと吐出ポートを連通させない状態にして設けた内接歯車。
（３）上記（１）の方法によって創生された最終歯形の歯底位置からインナーロータの歯底を掘り下げてアウターロータの歯先がインナーロータの歯底に最接近する位置でアウターロータの歯先とインナーロータの歯底との間に空間を生じさせる逃がし部を、インナーロータとアウターロータの噛み合い点にかからない状態、かつ、吸入ポートと吐出ポートを連通させない状態にして設けた内接歯車。
（４）逃がし部を有する上記（２）のアウターロータと、同じく逃がし部を有する上記（
３）のインナーロータを組み合わせた内接歯車。

（１）の歯形創生方法は、インナーロータ中心が公転する円の直径（２ｅ）に歯間隙間の規格の最小値Δｅｍｉｎを付加し、その後、オフセットやスケールによる（Δｅｍｉｄ−Δｅｍｉｎ）の調整を行うので、既述の先願発明の方法で干渉が懸念される部分の歯間隙間がその先願発明の方法で得られる歯形よりも大きくなり、歯間隙間が最小となる組み合わせの場合にも、インナーロータ中心が公転する円の直径に付加されたΔｅｍｉｎよる隙間が確保されてインナーロータとアウターロータの干渉が起こらなくなる。

このほか、アウターロータの仮の歯形設定後の寸法調整をオフセットで行うとスケール
に比べて歯形の管理が容易になる利点があり、一方、スケールは、歯幅の広がりが小さく
押さえられる利点がある。

なお、上記（２）〜（４）の内接歯車を採用した歯車ポンプは、アウターロータやイン
ナーロータの歯底が本来の位置（創生された歯形の歯底位置）から逃げており、それによ
って、インナーロータとアウターロータ間に作りだされるポンプ室の圧縮比（圧縮行程で
の容積変化率）が小さくなるので、逃げが無いものに比べると吐出量の変化が緩やかにな
り、そのために脈動が低減され、脈動に起因する騒音などが小さくなる。

図１に、この発明の内接歯車を簡略化して示す。図中１はインナーロータ、２はアウタ
ーロータである。

インナーロータ１は、好ましい形状として歯底４をハイポサイクロイド曲線で、アウタ
ーロータ２との噛合部３をインボリュート曲線で各々形成している。アウターロータ２と
の噛合部３を偏心量ｅとの関連がないインボリュート曲線で形成すると、先願発明の効果
（偏心量ｅの設定に自由度を持たせて吐出量を大きくする）も得られるが、歯底４と噛合
部３は例示の曲線に限定されるものではない。また、インナーロータ１の歯先５は、円弧
曲線で形成しているが、これも円弧曲線に限定されるものではなく、楕円の一部の曲線や
エピサイクロイド曲線などを用いることもできる。

インナーロータ１の歯形（元の歯形）６が決定したら、図２に示すように、その歯形６
を有するインナーロータ１を公転させる方向と逆方向に自転させながらそのインナーロー
タ１の中心Ｏｉをアウターロータの中心Ｏｏ周りに直径（２ｅ＋Δｅ_ｍｉｎ）の円Ｓを描
いて公転させる。ｅはインナーロータの中心とアウターロータの中心の偏心量、Δｅ_ｍｉ
ｎは歯間隙間の規格の最小値である。

インナーロータ１の自転量は、インナーロータ１の中心Ｏｉが円Ｓを１周公転する間にインナーロータ１が１／ｎ（ｎはインナーロータ１の歯数）回公転させる方向と逆方向に自転するように設定する。図２の一点鎖線は、インナーロータ１の中心Ｏｉがアウターロータ２の中心Ｏｏ周りに角度θ公転してＯｉ’点に移り、この間にインナーロータ１がθ／ｎ自転した位置でのインナーロータの歯形曲線を示している。この歯形曲線は、図３に示すように、インナーロータの自転を伴う公転の各位置に表れ、その歯形曲線群の包絡線をアウターロータ２の仮の歯形７となす。

次に、インナーロータ１の元の歯形６、アウターロータ２の仮の歯形７もしくは双方の
歯形６、７をオフセット又はスケールで調整する。この調整は、歯間隙間にその設定値（
実施例ではΔｅ_ｍｉｄ）の隙間を形成するようにオフセット又はスケールで行う。例えば、インナーロータ１については最終歯形寸法が元の歯形６の寸法よりも小さくなる方向に、また、アウターロータ２については最終歯形寸法が仮の歯形７の寸法よりも大きくなる方向に寸法を変化させて行う。また、このときの調整量は（Δｅ_ｍｉｄ）相当量とし、この調整を行って得られる歯形をインナーロータ１とアウターロータ２の最終歯形となす。なお、オフセットとスケールに関する説明は、図４、図５を用いて既に行ったので再説明を省く。

図６、図７に、この発明の内接歯車の歯間隙間の一例を示す。また、比較例の内接歯車
の歯間隙間を図８、図９に示す。図６と図８は、歯間隙間Δｅが０になる位置をインナーロータ１の歯元とアウターロータ２の歯元との間に設定する場合の歯間隙間を計算して表しており、また、図７と図９は歯間隙間Δｅが０になる位置をインナーロータ１の歯底とアウターロータ２の歯先との間に設定する場合の歯間隙間を計算して表している。

このときの条件は次の通り。
・インナーロータ１の歯数ｎ＝９枚
・インナーロータ１とアウターロータ２の歯数差＝１
・インナーロータ１の外径＝φ７３．１ｍｍ
・インナーロータ１とアウターロータ２の中心の偏心量ｅ＝３．５８５ｍｍ
・歯間隙間の規格の最小値Δｅ_ｍｉｎ＝０．０２ｍｍ
・歯間隙間の規格の最大値Δｅ_ｍａｘ＝０．１０ｍｍ
・歯間隙間の規格の中央値Δｅ_ｍｉｄ＝０．０６ｍｍ

図２のＳ＝（２ｅ＋０．０２）として、この発明の方法でインナーロータの歯形曲線群
の包絡線を描いてアウターロータの仮の歯形を形成し、その後、調整用の数値の（０．０
６−０．０２）ｍｍをインナーロータ１とアウターロータ２の両者に半々に振り分け、仮
の歯形を直径が０．０２ｍｍ（半径で０．０１ｍｍ）大きくなるように、また、インナー
ロータ１の元の歯形を直径が０．０２ｍｍ（半径で０．０１ｍｍ）小さくなるように、それぞれオフセットで調整してインナーロータとアウターロータの最終歯形を決定した。なお、アウターロータ２の最終歯形は、歯底部４に、インナーロータ１の歯先との間の隙間を増大させる補正をさらに加えたものにしてもよく、例示の歯形はその補正を行ったものにしている。

図６（ａ）および図７（ａ）は、歯間隙間の最小値Δｅ_ｍｉｎを狙ったとき（許容範囲内で最大寸法のインナーロータと許容範囲内で最小寸法のアウターロータが組み合わされたとき）の各噛合部の歯間隙間を表し、また、図６（ｂ）および図７（ｂ）は、歯間隙の中央値Δｅ_ｍｉｄを規格値Δｅとしたときの各噛合部の歯間隙間を表している。

一方、図８（ａ）および図９（ａ）は、図２のＳ＝（２ｅ＋０．０６）として先願発明
の方法でインナーロータの歯形曲線群の包絡線を描いてアウターロータの歯形を創生し、
そのアウターロータとインナーロータを、歯間隙間の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って組み合わせたときの各噛合部の歯間隙間を表しており、また、図８（ｂ）および図９（ｂ）は、歯間隙間の最小値Δｅ_ｍｉｎを狙って許容範囲内で最大寸法のインナーロータと許容範囲内で最小寸法のアウターロータを組み合わせたときの各噛合部の歯間隙間を表している。

図８（ｂ）および図９（ｂ）では、歯間隙間がマイナスになる箇所があり、その位置で
干渉が起こる。これに対し、この発明の内接歯車は、歯間隙間が最小になる図６（ａ）お
よび図７（ａ）においても各噛合部の歯間隙間が全て正の値になっており、インナーロー
タとアウターロータの干渉が起こらない。

なお、インナーロータは、好ましい形状として歯底をハイポサイクロイド曲線で、アウ
ターロータとの噛合部をインボリュート曲線で各々形成し、噛合部より歯先を円弧曲線、
楕円の曲線、エピサイクロイド曲線の一部として形成してもよいし、歯先全体を円弧曲線、楕円の曲線、エピサイクロイド曲線で形成してもよい。

次に、運転時の脈動対策を施した内接歯車ポンプの実施形態を、図１０〜図１２に示す。
図１０の内接歯車ポンプ２０Ａは、図１の内接歯車をベースにしてその内接歯車のアウターロータ２の歯底８を、一点鎖線で示す本来の位置（創生された歯形の歯底位置）から掘り下げて実線で示す位置に逃がし、この歯底部８を逃がした内接歯車を、吸入ポート１２と吐出ポート１３を有するハウジング１４に組み込んで構成されている。

歯底部８を図１０の実線位置に逃がすと、インナーロータ１の歯先５がアウターロータ２の歯底部８に最接近する位置で歯先５と歯底８間に逃がし部１５による空間が形成される。その空間の面積は、逃がし部１５を設けないときにはほぼゼロである。その場合には、インナーロータ１とアウターロータ２間に作りだされるポンプ室(ポンピングチャンバ)１６の容積は、最大容積Ｖ_ｍａｘから最小容積Ｖ_ｍｉｎに変化する。これに対し、歯底部８を逃がして前述の逃がし部１５を設けたときのポンプ室１６の容積変化は、逃がし部１５によってアウターロータ２の歯底部８に最接近する位置で歯先部５と歯底部８間に作り出される空間の容積をΔＶとすると、その空間の容積は（元の最大容積Ｖ_ｍａｘ＋ΔＶ）から（元の最小容積Ｖ_ｍｉｎ＋ΔＶ）に変わり、ポンプ室１６の圧縮比が逃げをつけない場合に比べて小さくなる。そのために吐出量の変化が緩やかになり、脈動が低減して脈動に起因する騒音などが小さくなる。

なお、例示の歯車ポンプ２０Ａは、歯底部８を、インナーロータ１のインボリュート曲線で形成した噛合部３の終点を延長したＲと、インナーロータ１の半径に逃がし量ａを加算した寸法を半径とする円弧を組み合わせた形状にしているが、歯底部８は、図示の形状に限定されない。

逃がし量ａも任意に設定することができるが、図の位置で逃がし部１５がインナーロータ１とアウターロータ２の噛み合い点にかからないこと、及び、吸入ポート１２と吐出ポート１３が逃がし部１５を介して連通しないことが必要条件となる。

図１１の内接歯車ポンプ２０Ｂは、図７の内接歯車をベースにしてその内接歯車のインナーロータ１の歯底部４に逃がし部１７を設け、アウターロータ２の歯先部９にインナーロータの歯底部４が押し当てられた位置で歯先部９と歯底部４間にその逃がし部１７による空間を生じさせ、この逃がし部１７を有する内接歯車を、吸入ポート１２と吐出ポート１３を有するハウジング１４に組み込んで構成されている。

この内接歯車ポンプ２０Ｂも、逃がし部１７を、インナーロータ１とアウターロータ２の噛み合い点にかからない位置、かつ、吸入ポート１２と吐出ポート１３を連通させない位置に設ける。逃がし部１７の作用は、図１０のポンプの逃がし部１５の作用と同じであるが、図１０の逃がし部１５の方が設置領域の制限を受け難く、面積の確保が容易である。

図１２の内接歯車ポンプ２０Ｃは、図６の内接歯車をベースにしてその内接歯車のアウターロータ２の歯底部８を、逃がし部１５を設けて逃がしてインナーロータ１の歯先部５がアウターロータ２の歯底部８に最接近する位置で歯先部５との間に空間を生じさせ、さらに、インナーロータ１の歯底部４にも逃がし部１７を設けた内接歯車を採用している。このように、アウターロータ２の歯底部に設ける逃がし部１５と、インナーロータ１の歯底部に設ける逃がし部１７は併用することができる。

なお、アウターロータの歯数がインナーロータの歯数よりも１枚多い内接歯車を使用する場合の逃がし部１５、１７の面積は、特公平７−１８４１６号公報がキャビテーションを抑制する目的で使用している式、
Ｓｏ≧｛（６×Ｈ×ｎ×ｄｓ／ｄθ）／２×Ｖｏ｝−Ｓ
ここに、Ｓｏ：ポンプ室の最小面積（ｍｍ^２）、Ｈ：歯幅、ｎ：ポンプの回転数（ｒ．ｐ．ｍ）、
（ｄｓ／ｄθ）：ロータ回転角θにおけるポンプ室の面積増加率（ｍｍ^２／度）、Ｓ：ロータがθ回転した位置でのポンプ室の面積
に基づいて設定してもよい。

この発明の内接歯車の歯形の一例を示す図 インナーロータを自転させながら公転させたときの歯形変位を示す図 インナーロータの歯形曲線群の包絡線、すなわちアウターロータの仮の歯形を示す図 オフセットによる寸法調整の説明図 スケールによる寸法調整の説明図 （ａ）この発明の方法で規格の最小値Δｅ_ｍｉｎを狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図、（ｂ）この発明の方法で規格の最小値Δｅ_ｍｉｎを付加し、その後の（Δｅ_ｍｉｄ−Δｅ_ｍｉｎ）の調整で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図 （ａ）この発明の方法で歯間隙間０の位置を変えて規格の最小歯間隙間を狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図、（ｂ）この発明の方法で規格の最小値Δｅ_ｍｉｎを付加し、その後の（Δｅ_ｍｉｄ−Δｅ_ｍｉｎ）の調整で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図 （ａ）比較例の方法で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図、（ｂ）比較例の方法で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生し、許容範囲内で最大寸法のインナーロータと許容範囲内で最小のアウターロータを組み合わせて歯間隙間の最小値を狙ったときの歯間隙間の一例を示す図 （ａ）比較例の方法で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生したときの歯間隙間の一例を示す図、（ｂ）比較例の方法で規格の中央値Δｅ_ｍｉｄを狙って歯形を創生し、許容範囲内で最大寸法のインナーロータと許容範囲内で最小寸法のアウターロータを歯間隙間０の位置を変えて組み合わせて規格の最小歯間隙間Δｅ_ｍｉｎを狙ったときの歯間隙間の一例を示す図 脈動対策を施した内接歯車ポンプの実施形態を示す断面図 脈動対策を施した内接歯車ポンプのさらに他の実施形態を示す断面図 脈動対策を施した内接歯車ポンプのさらに他の実施形態を示す断面図

符号の説明

１ インナーロータ
２ アウターロータ
３ 噛合部
４ インナーロータの歯底部
５ インナーロータの歯先部
６ インナーロータの元の歯形
７ アウターロータの仮の歯形
８ アウターロータの歯底部
９ アウターロータの歯先部
１１ オフセットのための転円
１２ 吸入ポート
１３ 吐出ポート
１４ ハウジング
１５、１７ 逃がし部
１６ ポンプ室
２０Ａ〜２０Ｃ 内接歯車ポンプ
Ａ 基準歯形
Ｂ 最終歯形
Ｓ インナーロータ中心を公転させる円の直径
ａ 逃がし量

Claims (8)

1. インナーロータの中心とアウターロータの中心の偏心量をｅ、インナーロータの歯数をｎ、インナーロータとアウターロータ間に設ける歯間隙間の規格の最小値をΔｅｍｉｎ、同規格の最小値と最大値間の中央値をΔｅｍｉｄとして、
   インナーロータの中心をアウターロータの中心周りに直径Ｓ＝（２ｅ＋Δｅｍｉｎ）の
   円を描いて公転させ、インナーロータ中心がその円を１周公転する間にインナーロータを
   １／ｎ回自転させ、こうして作られるインナーロータの歯形曲線群の包絡線でアウターロ
   ータの仮の歯形を形成し、次いで、インナーロータの元の歯形、アウターロータの仮の歯
   形もしくはインナーロータの元の歯形とアウターロータの仮の歯形の双方を、オフセット
   又はスケールで（Δｅｍｉｄ−Δｅｍｉｎ）相当量の歯間隙間を形成してインナーロータ
   とアウターロータの最終歯形を創生する内接歯車ポンプの歯形創生方法。
2. オフセット又はスケールによる歯間隙間の設定量をインナーロータとアウターロータに
   半々に振り分けてインナーロータとアウターロータの歯形を創生する請求項１に記載の内接歯車ポンプの歯形創生方法。
3. アウターロータの仮の歯形にオフセット又はスケールで歯間隙間を形成して得られるア
   ウターロータの最終歯形の歯底部に、インナーロータの歯先との間の隙間を増大させる補
   正をさらに加える請求項１又は２に記載の内接歯車ポンプの歯形創生方法。
4. インナーロータとアウターロータが、請求項１に記載の方法で創生された歯形を有する
   歯車ポンプ用内接歯車。
5. インナーロータの歯のアウターロータとの噛合部をインボリュート曲線で形成した請求
   項４に記載の歯車ポンプ用内接歯車。
6. 創生された最終歯形の歯底位置からアウターロータの歯底を掘り下げてインナーロータ
   の歯先がアウターロータの歯底に最接近する位置でインナーロータの歯先とアウターロー
   タの歯底との間に空間を生じさせる逃がし部を、インナーロータとアウターロータの噛み
   合い点にかからない状態、かつ、吸入ポートと吐出ポートを連通させない状態にして請求
   項４又は５に記載の内接歯車に設け、その逃がし部を有する内接歯車を吸入ポートと吐出ポートを有するハウジングに組み込んで構成される内接歯車ポンプ。
7. 創生された最終歯形の歯底位置からインナーロータの歯底を掘り下げてアウターロータ
   の歯先がインナーロータの歯底に最接近する位置でアウターロータの歯先とインナーロー
   タの歯底との間に空間を生じさせる逃がし部を、インナーロータとアウターロータの噛み
   合い点にかからない状態、かつ、吸入ポートと吐出ポートを連通させない状態にして請求
   項４又は５に記載の内接歯車に設け、その逃がし部を有する内接歯車を吸入ポートと吐出ポートを有するハウジングに組み込んで構成される内接歯車ポンプ。
8. 創生された最終歯形の歯底位置からアウターロータの歯底を掘り下げてインナーロータ
   の歯先がアウターロータの歯底に最接近する位置でインナーロータの歯先とアウターロー
   タの歯底との間に空間を生じさせる逃がし部と、創生された最終歯形の歯底位置からイン
   ナーロータの歯底を掘り下げてアウターロータの歯先がインナーロータの歯底に最接近す
   る位置でアウターロータの歯先とインナーロータの歯底との間に空間を生じさせる逃がし
   部を、それぞれ、インナーロータとアウターロータの噛み合い点にかからない状態、かつ
   、吸入ポートと吐出ポートを連通させない状態にして請求項４又は５に記載の内接歯車に設け、その逃がし部を有する内接歯車を吸入ポートと吐出ポートを有するハウジングに組み込んで構成される内接歯車ポンプ。

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