JP4606059B2 - 極低温装置 - Google Patents
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Description
図8に従来の極低温装置101の構成を示す。この図には、医療用器具として知られるMRI(磁気共鳴断層撮影装置)の断面が示してあり、この装置は、中心軸が横向きのソレノイド型超伝導磁石103を有するものとなっている。
さらに、真空容器105と熱シールド体106とを貫通して基部が格納容器102内に連通すると共に開口部が外部に開放された筒状の冷凍機スリーブ107と、前記冷媒104から生じた冷媒ガスを極低温で再凝縮するべく冷凍機スリーブ107内に配設されている冷凍機108を有している。
前記冷凍機108は棒状長尺で、中途部が1段目冷却ステージ119、先端部が2段目冷却ステージ121の2段構成になっている。1段目冷却ステージ119は熱シールド体106と熱的に連結されており、2段目冷却ステージ121が再凝縮器130(フィン)と熱的に接続されていていて、2段目冷却ステージ121において極低温(約4K)でも十分なる冷凍能力を持つものとなっている。したがって、再凝縮器130は、その表面温度が冷媒温度よりも低く保たれることになり、冷媒104のガス相と接触することで液体に戻すことができようになっている。この仕組みにより、極低温装置101は冷凍機108が動作する限り冷媒104を補充する必要がない。
このメンテナンス作業に関しては、以下に述べる大きな問題が発生する可能性がある。 すなわち、冷凍機108をスリーブから抜き取る場合、冷凍機108が排除していた容積分の大気や水蒸気が外部から侵入する場合があって、侵入した大気・水蒸気は、一瞬のうちに冷凍機スリーブ7内部で凝縮し固着してしまうことになる。なぜならば、冷凍機スリーブ107の内部は外気温度よりも低い状態にあり、一般にその温度は熱シールド体106で30〜60K、冷凍機スリーブ7の底で3〜5K程度だからである。
すなわち、1段目冷却ステージ119と熱シールド体106の接続が良好でない場合、接触熱抵抗が大きくなり、熱シールド体106の温度が上昇して格納容器102への熱侵入が増える。最悪の場合、格納容器102への熱侵入量が再凝縮器130の液化能力を上まわり、冷凍機108が稼動している間でも、冷媒104の蒸発分を全量再液化できなくなる。
加えて、交換作業は、メンテナンス袋に設けられた一対のグローブを介して作業者がメンテナンス袋内に手を差し入れて行うものとなっており、煩雑な作業を強いられていた。メンテナンス袋が破ける等により作業が中断することもあった。
そこで、本発明は、上記問題に鑑み、冷凍機スリーブ内に大気が侵入することを防ぎつつ簡単に冷凍機の交換作業が行える極低温装置を提供することを目的とする。
すなわち、本発明における課題解決のための技術的手段は、被冷却体が液体状の冷媒中に浸漬された状態で格納されている格納容器と、前記格納容器内に連通する基部と外部に対して開閉自在となっている開口部とを有する筒状の冷凍機スリーブと、前記冷媒から生じた冷媒ガスを再凝縮するべく冷凍機スリーブの開口部から挿入されている冷凍機とを備えている極低温装置において、前記冷凍機スリーブの基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段が設けられていることを特徴とする。
極低温装置には、その中に格納されている被冷却体を絶対零度近傍まで冷却するために、極低温となっている冷媒中に浸す方式をとっているものと、冷媒を使わずに冷凍機により直接被冷却体を冷却する直接冷却方式を採用しているものとがある。
したがって、本発明における課題解決のためのもう一つの技術的手段は、被冷却体が格納されている真空容器と、前記被冷却体に連結された基部及び外部に対して開閉自在となっている開口部を有すると共に真空容器の内部と前記外部とを遮断する側壁を備える筒状の冷凍機スリーブと、この冷凍機スリーブの開口部から挿入されて被冷却体を冷却する冷凍機とを備えている極低温装置において、前記冷凍機スリーブの基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段が設けられていることを特徴とする。
しかしながら、外部に向くガス流を、冷凍機を引き抜いた後に発生させたとしても、ガス流が安定するまでの間に大気や水蒸気が冷凍機スリーブ内に侵入し、凝固・固着することは否めない。したがって、冷凍機を引き抜く前から、ガス流を冷凍機スリーブ内に発生させておき、その流れが安定した状況下で冷凍機を外部側へ引き抜くようにするとよい。
この構成によれば、ガス導入管により冷凍機スリーブの基部に供給されたパージガスは、冷凍機スリーブの開口部へ流れてゆき、逆止弁を通じて外部に放出されるようになって、冷凍機を抜き取る前から大気の侵入を防ぐガス流が生成されることになる。当然、冷凍機を抜き取った後もガス流は続き、大気の侵入を確実に防ぐことができる。
数々の研究や経験から、このような熱音響振動を解消するためには、振動が発生している管を大きな容器に接続するとよいことが判明している。そこで、前記ガス導入管を、開閉バルブを有するバイパス管を介して冷凍機スリーブの開口部側に連通するようにしている。
また、前述の如く、冷凍機スリーブ内にパージガスを導入することにより、外部からの大気の侵入を防ぐことができるようになるが、当該冷凍機スリーブの基部は格納容器に連通しているために、その中にも侵入するようになる。侵入したパージガスは液化している冷媒ガス温度よりもはるかに高温であって、格納容器内の冷媒の蒸発を促し、冷媒の損失を生じることになる。
このガス侵入防止手段は、冷凍機スリーブの基部と格納容器との間に設けられた連結管を有し、この連結管の断面積は、冷凍機が挿入されている冷凍機スリーブの断面積より小さいものとなっている。
これにより、ガス導入管からでたパージガスは、断面積が小さくて圧力損失を生じる格納容器側へ流動することはなく、反対側の冷却機スリーブ開口部へ流れ、逆止弁を通って外部に放出されるようになる。
この弁体で冷凍機スリーブの基部側を閉塞することで、パージガスが格納容器側へ流動することがなくなる。
なお、前記弁体は、付勢手段により冷凍機スリーブの基部を開状態とする方向へ付勢されていると共に、前記付勢力に抗し基部を閉状態とするように引っ張るための索体が連結されていて、この索体はガス流生成手段に備えられたガス導入管内を通って外部に導出しており外部からの引っ張り操作が可能とするとよい。
なお、前記冷凍機スリーブの基部側と接触する弁体の部位には、ハンダ層又はインジウム層を設けるとよい。
これにより、冷凍機スリーブと弁体との間が、弾性変形容易な柔らかい金属で塞がれ、パージガスの侵入を確実に防ぐことができるようになる。
なお、本発明における課題解決のためのさらに好ましい技術的手段は、被冷却体が液体状の冷媒中に浸漬された状態で格納されている格納容器と、前記格納容器内に連通する基部と外部に対して開閉自在となっている開口部とを有する筒状の冷凍機スリーブと、前記冷媒から生じた冷媒ガスを再凝縮するべく冷凍機スリーブの開口部から挿入されている冷凍機とを備えている極低温装置において、前記冷凍機スリーブの基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段が設けられ、前記ガス流生成手段は、冷凍機スリーブの基部に連通して冷凍機スリーブ内に外部からパージガスを供給するガス導入管と、冷凍機スリーブの開口部に設けられ且つ外部へのみ連通する逆止弁とを有し、前記ガス導入管は、開閉バルブを有するバイパス管を介して冷凍機スリーブの開口部側に連通していることを特徴とする。
本発明における課題解決のためのもう一つの好ましい技術的手段は、被冷却体が格納されている真空容器と、前記被冷却体に連結された基部及び外部に対して開閉自在となっている開口部を有すると共に真空容器の内部と前記外部とを遮断する側壁を備える筒状の冷凍機スリーブと、この冷凍機スリーブの開口部から挿入されて被冷却体を冷却する冷凍機とを備えている極低温装置において、前記冷凍機スリーブの基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段が設けられ、前記ガス流生成手段は、冷凍機スリーブの基部に連通して冷凍機スリーブ内に外部からパージガスを供給するガス導入管と、冷凍機スリーブの開口部に設けられ且つ外部へのみ連通する逆止弁とを有し、前記ガス導入管は、開閉バルブを有するバイパス管を介して冷凍機スリーブの開口部側に連通していることを特徴とする。
図1に示すものは、極低温装置の一例であるMRIの模式断面である。
本極低温装置1は格納容器2を有しており、この格納容器2内に、被冷却体3である超伝導磁石3が液体状の冷媒4すなわち液体ヘリウム中に浸漬された状態で格納されている。さらに、前記格納容器2は一定の空隙をもって真空容器5により取り囲まれており、この空隙は真空状態である。格納容器2と真空容器5の間つまり前記空隙内には、格納容器2を取り囲むように熱シールド体6が配置されている。
冷凍機スリーブ7内には、絶対零度近くまで冷却可能な冷凍機8(極低温冷凍機ユニット)が冷凍機スリーブ7の開口部から着脱自在に挿入されている。
なお、以下説明において、図1の上下を上下方向と呼ぶようにする。従って、冷凍機スリーブ7の基部側を下端側、開口部側を上端側と呼ぶ。上端側は外部に開放されているので開放側とも呼ぶ。
前記格納容器2の内部空間には、被冷却体であるソレノイド状の超伝導磁石3が約4Kの液体ヘリウム4に浸漬された状態で格納されている。液体ヘリウム4は超伝導磁石3を浸すのに必要十分な量が格納容器2内に供給されているものの、格納容器2内に満タン状態とはなっていない。格納容器2の上部には、超伝導磁石3の運転温度における飽和蒸気圧力の冷媒ガスが充満している。
前記空隙内には、格納容器2を取り囲むように熱シールド体6が配置されている。この熱シールド体6は外部からの熱輻射(放射)を遮る働きをする。
前記格納容器2は、外部へヘリウムガスを逃がすための安全手段15を備えている。この安全手段15は、格納容器2から外部に連通するように設けられた安全排出管16と、それに設けられた安全弁17(逆止弁)からなる。この安全手段15により、真空容器5の真空度が劣化するなどの何らかの原因で熱侵入量が増加し格納容器2内の液体ヘリウム4が蒸発したとしても、ヘリウムガスを確実に外部に導出することができ、格納容器2内圧の上昇による装置破壊を防止することができる。
冷凍機スリーブ7は、後述する冷凍機8の1段目冷却ステージ19を囲うように設けられている上部スリーブ20と、2段目冷却ステージ21を囲繞する下部スリーブ22とからなる。
上部スリーブ20は、熱の不良導体で円筒状に形成され、その上端すなわち開口部には径外方向に突出する上部フランジ23が形成されている。上部スリーブ20の上下方向中途部は、上下方向の変形を吸収するためにベローズ24となっている。
上部スリーブ20の下端側には下部フランジ28が形成され、冷凍機8の1段目冷却ステージ19と接触している。さらに、この下部フランジ28は、銅の編み組線などの熱伝導体18で熱シールド体6と熱的にリンクされている。
この連結管29の断面積は、冷凍機8が挿入されている冷凍機スリーブ7の中途部の空隙の断面積より小さいものとなっている。
上述した冷凍機スリーブ7内に挿入される冷凍機8は、GM冷凍機8でその形状は棒状長尺であって、中途部が1段目冷却ステージ19、先端部が2段目冷却ステージ21の2段構成になっている。冷凍機8の基端側(1段目冷却ステージ19の後方)に前記上蓋25が固定されるようになっている。
2段目冷却ステージ21は下部スリーブ22内に配設され、その先端に熱的良導体(例えば銅製)から構成されたフィン形状の再凝縮器30を備えている。当該2段目冷却ステージ21は1段目冷却ステージ19よりも冷凍能力が小さいものの、その部位の温度は4K以下となり得る。再凝縮器30はその表面温度が液体ヘリウム温度よりも低く保たれることになり、ヘリウムガスと接触することで再液化できようになっている。この仕組みにより、冷凍機8が動作する限り、格納容器2内に液体ヘリウム4を補充する必要がない。
冷凍機8を冷凍機スリーブ7から抜き取る場合、冷凍機8が排除していた容積分の大気や水蒸気が外部から侵入する場合があり、侵入した大気・水蒸気は、一瞬のうちに冷凍機スリーブ7内部で凝縮し固着してしまうことになる。
前記ガス流生成手段31は、冷凍機スリーブ7の基部に連通し冷凍機スリーブ7内にヘリウムガスを供給するガス導入管32と、冷凍機スリーブ7の開口部に設けられ且つ外部へのみ連通する逆止弁33とを有している。
一方、上蓋25には、冷凍機スリーブ7内部と連通する排出管35が設けられると共にこの排出管35には逆止弁33が装着されており、冷凍機スリーブ7の内圧が大気圧に対して所定圧力以上になった場合、内部のヘリウムガスを外部に放出し内圧を一定に保持するようになっている。
すなわち、ガス導入管32の外部に突出している部位からバイパス管38が分岐しており、このバイパス管38は、開閉バルブ37を介して、上部スリーブ20の側壁で真空容器より外側に突出している部分に接続されている。
開閉バルブ37を開状態とすることにより、ガス導入管32の基端側は冷凍機スリーブ7の基端側とが連通し、閉状態とすることで、ガス導入管32に導入されたヘリウムガスは冷凍機スリーブ7の下端側へのみ供給されるようになる。
装着されている冷凍機8を抜き取る際には、まず、ガス導入管32を介して、冷凍機スリーブ7の下端側にほぼ断熱的にヘリウムガス(パージガス)を流し込むようにする。導入されたヘリウムガスは、再凝縮器30の下方から下部スリーブ22及び上部スリーブ20を通り、冷凍機8全体を暖めつつ逆止弁33より大気中へ出て行く。
こうすることで、冷凍機スリーブ7の下端から上方へ向かうパージガス流が常に存在することになり、冷凍機スリーブ7内に大気(酸素、窒素、水蒸気など)が混入することを確実に防ぐことができるようになる。
なお、冷凍機8を引き抜く前から、ヘリウムガス流を冷凍機スリーブ7内に発生させておくことは非常に好ましい。なぜならば、ヘリウムガス流を、冷凍機8を引き抜いた後に発生させた場合、ヘリウムガス流が安定するまでの間に大気や水蒸気が冷凍機スリーブ7内に侵入し、凝固・固着することは否めない。
冷凍機8を引き抜く前から、「冷凍機スリーブ7下端側→1段目冷却ステージ19の開口→逆止弁33→外部」というパージガス流を冷凍機スリーブ7内に発生させておくことで、その流れが安定した状況下で冷凍機8を外部側へ引き抜くことが可能となり、大気の混入を確実に防ぐことができる。
冷凍機8を再起動した後、定常状態になり、再凝縮室の温度が4K付近になったとき、ガス導入管32内部には、室温から絶対零度付近に至る温度分布を持つヘリウムガスが充満する。このように大きな温度勾配を有するガスが充填された配管では、ガスの熱音響振動が生じると共に非常に大きな熱伝達が起こり、再凝結室へ向けての大きな熱侵入が発生する(例えば、超伝導・低温工学ハンドブック、(社)低温工学協会編を参照)。
しかし、バイパス管38を設け、ガス導入管32を冷凍機スリーブ7のように大きな容器に接続することで、この熱音響振動の発生を防止することが可能となる。
冷凍機8が定常状態にあるときは、格納容器2の内圧は大気圧以下であり、液体ヘリウム4温度は約4Kである。ここで、開閉バルブ37を閉じてバイパス管38を閉塞すると、圧力変動の振幅や周波数が急激に上がると共に、再凝縮器30の温度が急上昇する。これはガス導入管32の中で発生した熱音響振動により、ガス導入管32を経由して大きな熱が再凝縮器30の近傍に入ったためである。逆に、この状態でバイパス管38を連通状態にすると、再凝縮器温度は元に戻っていることがわかる。
図4、図5に示す如く、第2実施形態は、ガス侵入防止手段39が第1実施形態とは大きく異なっているものの、他の構成は略同じである。
すなわち、ガス侵入防止手段39は、冷凍機スリーブ7の基部を開閉可能で且つその開閉状態が外部より操作自在である弁体40を有している。
すなわち、弁体40は連結管29の下側で且つ格納容器2につながる連結室36内に設けられた銅製の円板体であって、連結管29と連結室36とをつなぐ口部41を閉塞する水平状に配置された円板部42と、円板部42の縁端から垂下するように設けられている周縁部43と、周縁部43の下端から径外方向に突出するフランジ部44とを有している。このフランジ部44には上下方向に貫通する複数の貫通孔45が形成されている。
弁体40の円板部42上面であって前記口部41と接触する部分には、平面視リング状の溝部49が形成されており、その部分に2層のメッキ層50が形成されている。下がハンダメッキ層51で上がインジウムメッキ層52である。メッキ層50の材質は、それぞれ濡れ性の高い材質を選択した組み合わせ結果であり、またメッキ層50の外側がインジウムであるのは、本低温仕切り弁が動作する低温でも比較的軟らかい性質を持つためである。
詳しくは、円板部42の略中心には金属製のワイヤ54の先端が取り付けられており、そのワイヤ54は、筒状の案内管55を通った上でガス導入管32内に導入され、外部にでるようになっている。前記案内管55は、一方開口が下方を向くと共に他方開口が略水平方向でガス導入管32に連なる方向を向いており、冷凍機スリーブ7の漏斗状の部位に複数の支持脚56で支持されている。この支持脚56は格納容器2と冷凍機スリーブ7内とを仕切ってしまわないように棒形状をしている。
第1実施形態と同様に、ガス導入管32からヘリウムガスを冷凍機スリーブ7内に吹き込む際に、前記引き上げハンドル57を操作して弁体40により連結管29の口部41をシールする。すると、高温のヘリウムガスが格納容器2内に侵入することを防止でき、格納容器2内の液体ヘリウム4のガス化を防ぐことができる。
図6に示す如く、第3実施形態は、ガス侵入防止手段39が第2実施形態とは大きく異なっているものの、他の構成は略同じである。
弁体40は、円板状ではなく円錐状となっており、口部41は弁体40の円錐部60が嵌り込む漏斗状(通常の漏斗を上下反対に配置したもの)となっている。この口部41と接する円錐部60の面には、第2実施形態と同様に2層のメッキ層50が形成されている。
図7には、本発明の第4実施形態が示されている。
極低温装置においては、超伝導磁石を冷却するために、超伝導磁石を液体ヘリウム等の極低温冷媒中に浸す方式を採用しているものと、冷媒を使わずに冷凍機により直接的に冷却する直接冷却方式を行うものとがある。
図7に示された極低温装置1は、直接冷却方式を採用したものであって、被冷却体3が格納されている真空容器5と、前記被冷却体3に連結された基部及び外部に対して開閉自在となっている開口部を有すると共に真空容器5の内部と前記外部とを遮断する側壁を備える筒状の冷凍機スリーブ7と、この冷凍機スリーブ7の開口部から挿入されて被冷却体3を冷却する冷凍機8とを備えている。
詳しくは、当該極低温装置1は内部が真空状態となっている真空容器5を有しており、この真空容器5内に、被冷却体3である超伝導磁石がワイヤー等で宙吊りされた状態で格納されている。超伝導磁石3と真空容器5の間には、超伝導磁石3を取り囲むように熱シールド体6が配置されている。図7に示す如く、超伝導磁石3、熱シールド体6及び真空容器5は全て同芯状に配置されている。この図には前記軸芯が上下方向を向くものが示されている。
上部スリーブ20の下端は下部スリーブ22の上端とつながっていると共に、冷凍機8の1段目冷却ステージ19と接触し、さらに、熱シールド体6と熱的にリンクしている。下部スリーブ22の下端側は超伝導磁石3の側部に連結されている。
このように、下部スリーブ22の下端と超伝導磁石3とが確実に連結されると共に、上部スリーブ20及び下部スリーブ22の円筒状の側壁が、真空容器5の内部と装置1外部側とを遮断する役目をしているため、冷凍機スリーブ7の内部と真空容器5の内部とは非連通状態となっている。したがって、冷凍機メンテナンス時に冷凍機8を取り外したとしても、真空容器5内の真空状態は常に保たれる。
そこで、冷凍機スリーブ7には、第1実施形態と略同様に、当該冷凍機スリーブ7内に外部から大気が侵入することを防ぐべく、その下端側(超伝導磁石3側)から上端側(開放側)へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段31が設けられている。パージガス流は外部から供給されたヘリウムガスの流れとしている。
詳しくは、ガス導入管32は熱伝導率の小さい材質で構成された中空管であって、先端が冷凍機スリーブ7の下端側壁へ連通している。ガス導入管32の基端は熱シールド体6及び真空容器5を貫通して外部に配管されて、開閉弁34などを介してヘリウムガスボンベ(図示せず)に接続されている。
また、前記ガス導入管32は、開閉バルブ37を有するバイパス管38を介して冷凍機スリーブ7の開口部に連通している。
すなわち、ガス導入管32の外部に突出している部位からバイパス管38が分岐しており、このバイパス管38は、開閉バルブ37を介して、上部スリーブ20の側壁で真空容器5より外側に突出している部分に接続されている。
前述のガス流生成手段31やバイパス管38の作動態様、作用については、第1実施形態と略同様であり説明を省略する。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
すなわち、本発明にかかるガス流生成手段31は、冷凍機スリーブ7の基部と格納容器2とが遮蔽されている密閉型の極低温装置に対しても適用可能である。
また、弁体40の開状態は、バネ体48等の付勢手段によらず、弁体40の自重により下方に落ちる構造で実現されるものであってもよい。
2 格納容器
3 被冷却体(超伝導磁石)
4 冷媒(液体ヘリウム)
7 冷凍機スリーブ
8 冷凍機
29 連結管
31 ガス流生成手段
32 ガス導入管
33 逆止弁
38 バイパス管
39 ガス侵入防止手段
40 弁体
54 索体(ワイヤ)
Claims (7)
- 被冷却体(3)が液体状の冷媒(4)中に浸漬された状態で格納されている格納容器(2)と、前記格納容器(2)内に連通する基部と外部に対して開閉自在となっている開口部とを有する筒状の冷凍機スリーブ(7)と、前記冷媒(4)から生じた冷媒ガスを再凝縮するべく冷凍機スリーブ(7)の開口部から挿入されている冷凍機(8)とを備えている極低温装置において、
前記冷凍機スリーブ(7)の基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段(31)が設けられ、
前記ガス流生成手段(31)は、冷凍機スリーブ(7)の基部に連通して冷凍機スリーブ(7)内に外部からパージガスを供給するガス導入管(32)と、冷凍機スリーブ(7)の開口部に設けられ且つ外部へのみ連通する逆止弁(33)とを有し、
前記ガス導入管(32)は、開閉バルブ(37)を有するバイパス管(38)を介して冷凍機スリーブ(7)の開口部側に連通していることを特徴とする極低温装置。 - 被冷却体(3)が格納されている真空容器(5)と、前記被冷却体(3)に連結された基部及び外部に対して開閉自在となっている開口部を有すると共に真空容器(5)の内部と前記外部とを遮断する側壁を備える筒状の冷凍機スリーブ(7)と、この冷凍機スリーブ(7)の開口部から挿入されて被冷却体(3)を冷却する冷凍機(8)とを備えている極低温装置において、
前記冷凍機スリーブ(7)の基部から開口部へ向かうパージガス流を作るガス流生成手段(31)が設けられ、
前記ガス流生成手段(31)は、冷凍機スリーブ(7)の基部に連通して冷凍機スリーブ(7)内に外部からパージガスを供給するガス導入管(32)と、冷凍機スリーブ(7)の開口部に設けられ且つ外部へのみ連通する逆止弁(33)とを有し、
前記ガス導入管(32)は、開閉バルブ(37)を有するバイパス管(38)を介して冷凍機スリーブ(7)の開口部側に連通していることを特徴とする極低温装置。 - 前記冷凍機スリーブ(7)に、前記パージガス流が格納容器(2)内に侵入することを防ぐガス侵入防止手段(39)が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の極低温装置。
- 前記ガス侵入防止手段(39)は、冷凍機スリーブ(7)の基部と格納容器(2)との間に設けられた連結管(29)を有し、この連結管(29)の断面積は、冷凍機(8)が挿入されている冷凍機スリーブ(7)の断面積より小さいことを特徴とする請求項3に記載の極低温装置。
- 前記ガス侵入防止手段(39)は、冷凍機スリーブ(7)の基部を開閉可能で且つその開閉状態が外部より操作自在である弁体(40)を有することを特徴とする請求項3又は4のいずれかに記載の極低温装置。
- 前記弁体(40)は、付勢手段により冷凍機スリーブ(7)の基部を開状態とする方向へ付勢されていると共に、前記付勢力に抗し基部を閉状態とするように引っ張るための索体(54)が連結されていて、この索体(54)はガス流生成手段(31)に備えられたガス導入管(32)内を通って外部に導出しており外部からの引っ張り操作が可能となっていることを特徴とする請求項5に記載の極低温装置。
- 前記冷凍機スリーブ(7)の基部側と接触する弁体(40)の部位には、ハンダ層又はインジウム層が設けられていることを特徴とする請求項5又は6に記載の極低温装置。
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