JP4604706B2 - ステージ駆動装置 - Google Patents
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Description
このようなXYステージ駆動装置では、ボールねじ13,14を駆動するボールねじ駆動モータ18,19が真空チャンバ1の外部に設けられているため、ボールねじ駆動モータ18,19で発生したパーティクルがXYステージ2に載置された基板の表面に付着することを防止できるという利点を有している。
2 XYステージ
3 XYステージ駆動装置
4 ベース
5,6 リニアガイド
7 第1のスライドテーブル
8,12 ナットブラケット
9,10 リニアガイド
11 第2のスライドテーブル
13 第1のボールねじ
14 第2のボールねじ
13a,14a ナット
13b,14b ねじ軸
15,28 ナットフランジ
16 サポートブラケット
17 軸受ユニット
18 第1のボールねじ駆動モータ
19 第2のボールねじ駆動モータ
20 第1のトルク伝達機構
21 第2のトルク伝達機構
22 カップリング
23 トルク伝達軸
24 シールユニット
25 貫通孔
26,27 リニアガイド
Claims (3)
- ステージを真空チャンバ内で駆動するものであって、前記真空チャンバの底面部に固定されたベースと、このベース上に設けられ、前記ステージを所定方向に移動自在に支持するリニアガイドと、前記ステージに設けられたナットブラケットにナットを固定するためのナットフランジを有するボールねじと、前記ボールねじを駆動する駆動モータと、を備えたステージ駆動装置において、
前記ナットフランジの形状が、所定角度回転させたときに前記ナットブラケットの開口を挿通可能な形状としたことを特徴とするステージ駆動装置。 - 前記ボールねじのねじ軸及び前記駆動モータの回転軸にそれぞれカップリングを介して連結されたトルク伝達軸と、このトルク伝達軸の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニットとからなるトルク伝達機構をさらに備え、前記真空チャンバは前記トルク伝達軸及び前記シールユニットを通すための貫通孔を有することを特徴とする請求項1記載のステージ駆動装置。
- 請求項2記載のステージ駆動装置において、前記貫通孔を前記ナットフランジの外形寸法より大きく形成したことを特徴とするステージ駆動装置。
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