JP4598793B2 - 露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系 - Google Patents
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図2に示す3点支持方式を用いて実験を行い、露光の転写精度の重要なファクターであるディクリネーション角(平行光からのズレの角度)を算出したところ、MAX0.70°〜1.0°程度で、自重及び強制変位(強制変形)の場合、MAX0.05°〜0.15°程度であった。
コリメートミラー30の代わりに、コールドミラー13を自重または強制変位により撓ませることによっても同様の効果を有する。
11 超高圧水銀ランプ
12 楕円鏡
13 コールドミラー
14 フライアイレンズ
15 マスク
16 パターン
17 基板ステージ
18 基板
21,22,23,24,26 支持部材
20 変形前の球面状コリメートミラー
30 変形後のコリメートミラー
Claims (13)
- 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量(δ)として、厚み(t)を10mm、曲率半径(R)を4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、
前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
- 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量δとして、厚みtを10mm、曲率半径Rを4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、
前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
- 請求項1又は2に記載の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みをd、辺の長さをL、Mとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[L2+M2]に対する厚みdの比率が0.25%〜2.0%の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませることを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。 - 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量(δ)として、厚み(t)を10mm、曲率半径(R)を4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、
所定の撓ませ方法により撓ませたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
- 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量δとして、厚みtを10mm、曲率半径Rを4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、
その面に対して上向き又は下向きに押圧し撓ませ変形させたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
- 請求項4又は5のいずれか1項に記載の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みをd、辺の長さをL、Mとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[L2+M2]に対する厚みdの比率が0.25%〜2.0%の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませ、その撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。 - 請求項4〜6のいずれか1項に記載の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部と該一辺に対向する少なくとも他の一辺の端部とを支持する支持部材を配置してなることを特徴とする露光装置の照明光学系。 - 請求項4〜7のいずれか1項に記載の露光装置の照明光学系において、
四角形状のコリメートミラーの一辺の両端部と、該一辺が対向する一辺の中央部とを支持することを特徴とする露光装置の照明光学系。 - 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量(δ)として、厚み(t)を10mm、曲率半径(R)を4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
- 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量(δ)として、厚み(t)を10mm、曲率半径(R)を4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
- 請求項9又は10のいずれか1項に記載の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みをd、直径をRとして、前記コリメートミラーの直径Rに対する厚みdの比率が0.25%〜2.0%の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも3点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持し、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。 - 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
球面を基準としたZ軸(光束方向)のサグ量(δ)として、厚み(t)を10mm、曲率半径(R)を4200mm、自重及び強制変位を1mmとし、縦900mm×横1000mmの薄肉球面ミラーを、表1に示す球面と軸外し放物面とのサグ量(mm)(放物面−球面 分散(RMS)0.33146)、表2に示すFEMによる形状予測(mm)(変形後t=10mm)、表3に示す非球面化したミラーの面精度(mm)(放物面−変形面 分散(RMS)0.12967)のシミュレーションを用い、コリメートミラーを支持する支持部材を設け、該支持部材が、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。
- 請求項12に記載の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みをd、直径をRとして、前記コリメートミラーの直径Rに対する厚みdの比率が0.25%〜2.0%の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも3点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。
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