JP2008249772A - 露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系 - Google Patents

Abstract

【課題】コリメートミラーの矩形の一辺の大きさが数千ｍｍになっても、厚みをより薄くして軽量化を図るとともに、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを十分に撓ませ、歪曲収差の少ない高精度の露光が可能な露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系を提供する。
【解決手段】露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する。前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを機械的に撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。例えば、前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。
【選択図】図１

Description

この発明は、四角形、球面状等のミラーのうち、特にコリメートミラーの保持方法に工夫を凝らし、自重又は強制的に撓ませて、歪曲収差の少ない高精度な露光を実現できる露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系に関する。

従来のプロキシミティー及びコンタクト方式の露光装置の照明光学系では、フライアイレンズを出た光束を平行光にするためのコリメートミラーとして、球面鏡を使用している。

このため、球面鏡からの光束は理想的な平行光にならず、球面収差とコマ収差の成分を含む光束となってしまう。

その結果、従来の露光装置では、マスク上のパターンが前記収差成分によりシフトし、マスクパターンが歪曲した状態で基板に転写されてしまう不具合が生じていた。

このような不具合を解消するために、コリメートミラーの形状を球面ではなく、軸外しの放物面とすることが提案されている。軸外しの放物面形状のコリメートミラーを用いることによって、収差の極めて少ない照明光学系を実現することができる。

そのため、従来から種々のコリメートミラーの撓ませ方法が考えられてきた。

例えば、本願出願人による特許文献１の請求項１、図１、図３に示すように、コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変位によって撓ませ、該撓みを利用して平行光束の歪曲収差を補正する。

また、例えば特許文献２の第４頁左上欄第行〜同頁右下欄第１９行、図９、図１０に示すように、三点支持システムが第１０図に示され、二つのレバーを押したり引いたりすると、ミラーは円筒形に曲げられてそれぞれ凸及び凹になる。

また、例えば特許文献３の段落００４２、図３に示すように、ミラー保持部材としてのミラー枠、凹面鏡を３点で支持する機構が知られている。

また、例えば特許文献４の図４に示すように、４点で支持する反射部材も知られている。

また、例えば特許文献５の段落００２８〜００３１、図１、図２に示すように、スリットが入れられた矩形状のコリメートミラーの４点を支持し、支持部材を支点として面に対して交差する方向に力が加わり変形するように構成された露光装置の照明光学系のコリメートミラーが開示されている。

また、例えば特許文献６の段落００２５〜００３１、図２（ａ）(ｂ)、図３（ａ）（ｂ）に示すように、点対称に支持された１３個の支持部材の第２固定部が接着剤によりミラー部材の裏面に固定され、第１固定部と第２固定部との間隔を変更することにより、ミラー部材の形状を任意に変更することが可能な、露光装置の照明光学系における非球面コリメートミラーの調整方法が知られている。
特開平９−３０４９４０号公報 特開昭５８−３３２５５号公報 特開平１０−１４４６０２号公報 アメリカ特許第１４５７２０９号公報 特開２００５−１２９７８５号公報 特開２００６−１１０５１号公報

しかしながら、コリメートミラーを放物面のような非球面に加工することは、現在のところは技術的に難しい。コスト的な観点からも、実用上十分な大きさの放物面状ミラーを製造することは困難である。

また、従来技術のように、単にミラーを三点支持（特許文献１〜３）や四点支持（特許文献４、５）しても、ミラーの厚さが薄すぎると割れやひびが入ってしまい、ある程度の強度を持たせるために厚くしなければならない。

また、特許文献５のように、ミラー面にスリットを入れるとミラー面形状の連続性が失われるのと同時に、逆に応力集中による破損の原因となる虞があり現実的でない。

また、特許文献６のように、ミラー裏面に接着剤で固定部を貼り付け、ミラー面を押圧すると、部分的な面変形を起こしてしまう可能性があり、歪曲収差の少ない高精度の露光を行うことができない。

近年、大型のＰＤＰや大型の液晶パネルをプロキシミティ露光するための露光装置の需要が増えており、この液晶パネルを覆う平行光を照射する程度の大きさのコリメートミラーが必要となってきた。

従来の特許文献１におけるコリメートミラーの保持方法では、自重による撓みが顕著になり、却って歪曲収差が増えてしまい、その上、かなりの重量に耐えうる保持部材を改良する必要に迫られている。

一方で、保持部材改良のコスト増を図ることができないため、厚みをより薄くして一層の軽量化が求められる。

そこで、本発明は、コリメートミラーの大きさが数千ｍｍ四方の矩形状になっても厚みをより薄くして軽量化を図るとともに、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを十分に撓ませ、歪曲収差（ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ）の少ない高精度の露光が可能な露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法及びその方法による露光装置の照明光学系を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とする。すなわち、
（１）照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（２）照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（３）前述の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みをｄ、辺の長さをＬ、Ｍとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませることを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（４）照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として所定の撓ませ方法により撓ませたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。

（５）照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、その面に対して上向き又は下向きに押圧し撓ませ変形させたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。

（６）前述の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みをｄ、辺の長さをＬ、Ｍとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませ、その撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。

（７）前述の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部と該一辺に対向する少なくとも他の一辺の端部とを支持する支持部材を配置してなることを特徴とする露光装置の照明光学系。

（８）前述の露光装置の照明光学系において、
四角形状のコリメートミラーの一辺の両端部と、該一辺が対向する一辺の中央部とを支持することを特徴とする露光装置の照明光学系。

（９）照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（１０）照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（１１）前述の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
前記コリメートミラーの厚みをｄ、直径をＲとして、前記コリメートミラーの直径Ｒに対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも３点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持し、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。

（１２）照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、コリメートミラーを支持する支持部材を設け、該支持部材が、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。

（１３）前述の露光装置の照明光学系において、
前記コリメートミラーの厚みをｄ、直径をＲとして、前記コリメートミラーの直径Ｒに対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも３点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。

本発明の露光装置の照明光学系では、コリメートミラーの大きさが数千ｍｍ四方の矩形状になっても厚みをより薄くして軽量化を図るとともに、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを十分に撓ませ、歪曲収差の少ない高精度の露光を実現することができる。露光精度も大幅に向上できる。

本発明の露光装置の照明光学系では、好ましくは、実質的に球面状のコリメートミラーを用い、これを所望の非球面形状に機械的に（例えば、複数の支持ポイント、とくにそれらの位置により）変形させて支持する。

本発明においては、コリメートミラーの支持方式に特徴を有し、自重や支持力を利用してコリメートミラーを軸外しの放物面形状に近い形状に変形させて、その状態を保持する。

本発明の一実施態様では、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。

また、本発明の一実施形態では、コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧し撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正する。

また、本発明の一実施形態では、コリメートミラーの厚みをｄ、辺の長さをＬ、Ｍとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませる。

以上のような形態でコリメートミラーを支持することによって、軸外しの放物面に近い形状にコリメートミラーを変形させることができ、この変形を利用して、照明光源から照射されコリメートミラーにより平行光束となった露光光の歪曲収差を補正することが可能となる。

他方、コリメートミラーを支持する支持部の支持力を利用して、同様の変形を得ることも可能である。このように支持力によって球面状のコリメートミラーを非球面（軸外し回転放物面）に変形させても、同様に歪曲収差を補正することができる。

勿論、コリメートミラーの自重と支持部の支持力の両方を利用してコリメートミラーを非球面状に変形させても良い。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。

図１は、本発明の照明光学系を備えた露光装置を概念的に示す平面図である。

プロキシミティ及びコンタクト方式の露光装置１０は、超高圧水銀ランプ１１、楕円鏡１２、コールドミラー１３、フライアイレンズ１４、コリメートミラー３０から成る照明光学系を備えている。

超高圧水銀ランプ１１から照射された光は、２枚のコールドミラー１３によって方向転換され、フライアイレンズ１４を通って、コリメートミラー３０で反射されて平行光束となる。

平行光束の進行方向には、光軸と垂直になるように露光用パターン１６を備えたマスク（ガラス）１５が支持されており、その先には基板（レジスト塗布）１８を載せた基板ステージ１７が配置されている。

コンタクト方式では、基板１８とマスク１５の距離Ｌは実質的に０μｍである。また、プロキシミティ方式では、距離Ｌは２０〜３００μｍ程度に設定する。

以下、図２〜図４を参照して、コリメートミラー３０及びその支持方式について詳細に説明する。図中、符号２０は変形前の球面状コリメートミラーを示し、符号３０は変形後のコリメートミラーを示している。

コリメートミラー３０は球面鏡２０であるが、これを非球面形状に機械的に撓ませるように支持する構成になっている。図２の実施例では、四角形のコリメートミラー３０の一辺の中央部とそれに対向する辺の両端部に支持部材２１，２２が配置され、３点で支持するようになっている。円形のコリメートミラーにおいても同様である（図７）。

このような３点支持によって、球面鏡２０を、符号３０で示したように軸外し放物面形状に近い形状に機械的に撓ませる。中央部を支持した一辺の両端は、コリメートミラーの自重または強制変位によって、δ（サグ量）だけ下方に変形している。

δ（サグ量）は球面を基準としたＺ軸（光束方向）のサグ量をいい、表１に球面と軸外し放物面とのサグ量（ｍｍ）（放物面−球面 分散（ＲＭＳ）０．３３１４６）、表２にＦＥＭによる形状予測（ｍｍ）（変形後ｔ＝１０ｍｍ）、表３に非球面化したミラーの面精度（ｍｍ）（放物面−変形面 分散（ＲＭＳ）０．１２９６７）を示す。なお、厚みｔを１０ｍｍ、曲率半径Ｒを４２００ｍｍ、自重及び強制変位を１ｍｍ（約１０ｋｇｆの加重）とし、縦９００ｍｍ×横１０００ｍｍの薄肉球面ミラーをシミュレーションに用いた。

このような変形（撓み）を得るために、コリメートミラーは薄肉にすることが好ましい。すなわち、弾性変形の範囲内でミラー材の応力が小さくなるように、コリメートミラーの肉厚を小さくすることが好ましい。

図３に示す支持方式は、５個の支持部材２１〜２３を用いる５点支持（３＋２×１）である。このように、コリメートミラーの一辺の略中央部と、その一辺に直交する二辺の各々の中央部と、その一辺の角部との５点、さらには７点又は（３＋２ｎ）（ｎは整数）を支持するようにしても良い。

図４の支持方式は、３個の支持部材２４、２４、２６を用いて球面状のコリメートミラー２０を強制的に変形させ、軸外しの放物面形状３０とする方式である。

２個の支持部材２４は、角部を支持する小さな「くの字型」の部材で、コリメートミラーの肉厚に対応した溝２５を有している。

一方、支持部材２６は湾曲した長い棒状の部材で、大きく変形させる側の一辺の全体を支持する。支持部材２６もコリメートミラーの肉厚に対応した溝２７を有している。この溝２７は、放物面の切片に対応した形状を有し、コリメートミラーを強制的に変形させる作用を行う。このような支持部材２６を用いることによって、所望の放物面形状を確実に実現できる。

また、コリメートミラーの対向する二辺の各々を、長い棒状の支持部材２６で支持するようにしても良い。あるいは、支持部材２６よりは短い支持部材を用いて４角を支持し、強制的な変形を与えることもできる。

なお、強制変形を行う場合には、ミラーの弾性限度内で変形を行うことが大切である。

以上、支持方式の種々の例を述べたが、球面状のコリメートミラーを非球面状（軸外しの放物面形状）に変形させて支持する方式であれば、他の方式も適宜採用可能である。

図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ、本発明の露光装置の照明光学系のコリメートミラーの別の例を示す平面図、正面図、右側面図である。

コリメートミラー２０は、正方形状に限定されず、長方形状などの矩形形状であってもよい。コリメートミラー２０の縦横の寸法は、例えばそれぞれ数百ｍｍ〜数千ｍｍ、好ましくは５００ｍｍ〜３０００ｍｍ程度である。また、厚みは、数ｍｍ〜数十ｍｍ程度、好ましくは数ｍｍ〜１２ｍｍ程度である。

また、図５（ａ）〜（ｃ）において、コリメートミラー２０の左側の両角部５０には保持部材６１が設けられている。

図６（ａ）に示すように、コリメートミラー面２０ａには、シリコン系の樹脂で形成された保護材６３が設けられ、固定部材６２にねじ結合された保持棒６４によってコリメートミラー面２０ａを高さ調節可能に押圧している。この保護材６３は、接着剤とは異なり、ガラス面を変形させない程度のごくわずかな厚み（数ｍｍ以下）で足りる。そのため、ミラー裏面に接着剤で貼りつけることによるミラー面の変形が少ない。

本発明では、接着剤を不要とし、かつ保持部材６１でコリメートミラー面６２を押圧するだけでよいので、面変形を起こしてしまうことがない。

コリメートミラー２０は、厚みをｄ（ｍｍ）、辺の長さをＬ（ｍｍ）、Ｍ（ｍｍ）とし、コリメートミラー２０の対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を満たす。もっとも望ましい範囲は、０．５％〜１．０％である。このようなコリメートミラー２０の少なくとも一辺の中央部と該一辺に対向する少なくとも他の一辺の両端部とを支持する支持部材を配置する。

図５の例においては、四角形状のコリメートミラー２０の右側の辺の両端部と、左側の辺の両端部及び中央部とを支持部材６１，６５，６６によって支持する。

実験例
図２に示す３点支持方式を用いて実験を行い、露光の転写精度の重要なファクターであるディクリネーション角（平行光からのズレの角度）を算出したところ、ＭＡＸ０．７０°〜１．０°程度で、自重及び強制変位（強制変形）の場合、ＭＡＸ０．０５°〜０．１５°程度であった。

変形例
コリメートミラー３０の代わりに、コールドミラー１３を自重または強制変位により撓ませることによっても同様の効果を有する。

さらに、コールドミラー１３に限定されず、通常のミラーにおいても同様である。

本発明の露光装置の照明光学系の一実施例を概念的に示す平面図。 コリメートミラーの支持方式の一例を示す説明図。 コリメートミラーの支持方式の他の例を示す説明図。 コリメートミラーの支持方式のさらに他の例を示す説明図。 （ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ、本発明の露光装置の照明光学系のコリメートミラーを示す平面図、正面図、側面図である。 （ａ）は、図５のＡ―Ａ断面図、（ｂ）は図５のＢ−Ｂ断面図である。 円形のコリメートミラーを用いた支持方式の実施例を示す説明図。

符号の説明

１０ 露光装置
１１ 超高圧水銀ランプ
１２ 楕円鏡
１３ コールドミラー
１４ フライアイレンズ
１５ マスク
１６ パターン
１７ 基板ステージ
１８ 基板
２１，２２，２３，２４，２６ 支持部材
２０ 変形前の球面状コリメートミラー
３０ 変形後のコリメートミラー

Claims (13)

1. 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
   前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
2. 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
   前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
3. 請求項１又は２に記載の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
   前記コリメートミラーの厚みをｄ、辺の長さをＬ、Ｍとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませることを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
4. 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
   前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として所定の撓ませ方法により撓ませたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
5. 照明光源からの露光光の光束を撓ませたコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
   前記コリメートミラーの厚みと辺の長さの関係を前提として、その面に対して上向き又は下向きに押圧し撓ませ変形させたコリメートミラーを有し、前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
6. 請求項４又は５のいずれか１項に記載の露光装置の照明光学系において、
   前記コリメートミラーの厚みをｄ、辺の長さをＬ、Ｍとして、前記コリメートミラーの対角線の長さ√[Ｌ^２＋Ｍ^２]に対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも一辺の略中央部を支持し、該一辺の両端部を自重または強制変形によって撓ませ、その撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したことを特徴とする露光装置の照明光学系。
7. 請求項４〜６のいずれか１項に記載の露光装置の照明光学系において、
   前記コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部と該一辺に対向する少なくとも他の一辺の端部とを支持する支持部材を配置してなることを特徴とする露光装置の照明光学系。
8. 請求項４〜７のいずれか１項に記載の露光装置の照明光学系において、
   四角形状のコリメートミラーの一辺の両端部と、該一辺が対向する一辺の中央部とを支持することを特徴とする露光装置の照明光学系。
9. 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
   前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、前記コリメートミラーを撓ませ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
10. 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
    前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、前記コリメートミラーの面に対して上向き又は下向きに押圧して撓ませ、コリメートミラーを変形させ、前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
11. 請求項９又は１０のいずれか１項に記載の露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法において、
    前記コリメートミラーの厚みをｄ、直径をＲとして、前記コリメートミラーの直径Ｒに対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも３点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持し、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする、露光装置の照明光学系におけるコリメートミラーの撓ませ方法。
12. 照明光源からの露光光の光束を撓ませた球面状のコリメートミラーにより平行光束とし、該露光光によってマスクのパターンを被転写物体に転写する露光装置の照明光学系において、
    前記コリメートミラーの厚みと直径の関係を前提として、コリメートミラーを支持する支持部材を設け、該支持部材が、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。
13. 請求項１２に記載の露光装置の照明光学系において、
    前記コリメートミラーの厚みをｄ、直径をＲとして、前記コリメートミラーの直径Ｒに対する厚みｄの比率が０．２５％〜２．０％の範囲である関係を前提とし、かつ前記コリメートミラーの少なくとも３点を支持し、コリメートミラーの自重や支持部材の支持力を利用して軸外しの放物面に近い形状となるようにコリメートミラーを変形させて支持する構成になっており、この変形を利用して前記平行光束の歪曲収差を補正することを特徴とする露光装置の照明光学系。

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