JP4589160B2 - Electronic component mounting apparatus and mounting method - Google Patents
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Description
この発明はリードフレームなどの基板に半導体チップなどの電子部品を実装するための電子部品の実装装置及び実装方法に関する。 The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and mounting method for mounting an electronic component such as a semiconductor chip on a substrate such as a lead frame.
リードフレームなどの基板に電子部品としての半導体チップ(以下チップという)を実装する場合、上記基板に多数のチップを行列状に実装し、実装後に樹脂封止してから、上記基板の各チップが設けられた部分を打ち抜いて基板片とし、各基板片をたとえばICカードなどの電子機器に使用するということが行われている。 When mounting a semiconductor chip (hereinafter referred to as a chip) as an electronic component on a substrate such as a lead frame, a large number of chips are mounted in a matrix on the substrate, and each chip on the substrate is sealed after resin sealing after mounting. It has been practiced to punch out the provided portions into substrate pieces and use each substrate piece in an electronic device such as an IC card.
打ち抜かれる基板の形状、つまり基板片の形状は使用される電子機器に応じてたとえば長方形や正方形などの四角形状或いは四角形以外のL字状などのように異なる形状が要求されることがある。 The shape of the substrate to be punched, that is, the shape of the substrate piece, may be required to be different, for example, a quadrangular shape such as a rectangle or a square or an L shape other than a quadrangle, depending on the electronic device used.
基板片の形状として四角形が要求される場合、上記チップを上記基板に所定の間隔で行列状に実装すれば、基板に生じる無駄を少なくし、この基板から複数の基板片を打ち抜くことが可能である。しかしながら、基板片の形状がたとえばL字状などの場合には、上記基板の有効使用面積を拡大する、つまり基板に生じる無駄を少なくするため、上記基板に上記チップを行列状でなく、千鳥状に実装することが要求されることがある。 When a rectangular shape is required as the shape of the substrate piece, if the chips are mounted in a matrix at predetermined intervals on the substrate, waste generated on the substrate can be reduced and a plurality of substrate pieces can be punched from the substrate. is there. However, when the shape of the substrate piece is, for example, L-shaped, the chip is not arranged in a matrix but in a staggered manner in order to increase the effective use area of the substrate, that is, to reduce waste generated in the substrate. May be required to be implemented.
従来、上述したチップの実装を行なう実装装置は、列方向の情報だけで上記チップを上記基板に実装するようにしていた。基板にチップを行列状に実装する場合、各列に実装されるチップは、各列のチップの数及び列方向と交差する方向の各チップの実装位置が同じであるから、列方向の情報だけによって実装ツールを基板の上記列方向と交差する方向に沿って移動させること、すなわち1種類の実装データですむので、基板を1度だけ搬送装置で搬送することで、各列の所定の位置にチップを実装することが可能であった。 Conventionally, a mounting apparatus for mounting chips described above mounts the chips on the substrate only with information in the column direction. When mounting chips on a substrate in a matrix, the number of chips mounted in each column is the same as the number of chips in each column and the mounting position of each chip in the direction intersecting the column direction, so only the information in the column direction By moving the mounting tool along the direction crossing the above row direction of the board, that is, only one type of mounting data is required. It was possible to mount the chip.
しかしながら、図4に示すように基板1に対してチップ4を千鳥状に実装する場合、P1〜P6の6つの列のうち、3つのチップ4が実装されるP1、P3、P5の3つの列と、2つのチップ4が実装されるP2、P4、P6の3つの列とでは列方向の情報が異なる。
However, when the
そのため、まず、3つのチップ4が実装されるP1、P3、P5の3つの列にそれぞれ行方向に対して所定の間隔で3つのチップ4を実装する。つぎに、基板を搬送装置に再度投入して2つのチップ4が実装されるP2、P4、P6の3つの列にそれぞれ2つのチップ4を、P1、P3、P5の列に実装される3つのチップ4と行方向に所定寸法ずらして実装する。すなわち、基板を搬送装置に2回投入することで、基板1には図4に示すようにチップ4を千鳥状に実装するということが行なわれていた。
しかしながら、列方向の情報だけで基板1に対してチップ4を上述したように千鳥状に実装する場合、3つのチップ4が実装される3つの列P1、P3、P5に対するチップの実装と、2つのチップ4が実装される3つの列P2、P4、P6に対するチップ4の実装とを分けて行なわなければならない。つまり、3つのチップ4が実装されるP1、P3、P5の列の情報と、2つのチップが実装されるP2、P4、P6の列の情報が異なるから、異なる列情報に応じて実装を2回に分けなければならなかった。
However, when the
基板1に対するチップ4の実装を2回に分けると、まず、3つのチップ4が実装される3つの列P1、P3、P5の実装データでチップ4を実装し、その後、実装データを切り換えて2つのチップ4が実装される3つの列P2、P4、P6の実装データでチップ4を実装する。そのため、基板1にチップ4を千鳥状に実装する際の切り換え時間や2度基板を投入するためにタクトタイムが長くなり、生産性の低下を招くということがある。
When the mounting of the
この発明は、基板に対して電子部品を千鳥状に実装する場合、生産性の低下を招くことなく実装することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and mounting method that enable mounting electronic components on a substrate in a staggered manner without causing a reduction in productivity.
この発明は、基板に複数の電子部品を隣り合う列方向と行方向に対して配置状態が異なる千鳥状に実装する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品の供給部と、
この供給部から供給された上記電子部品を上記基板に実装する実装ツールと、
この実装ツールによる上記電子部品の上記基板に対する実装位置を制御する制御装置と
を具備し、
上記制御装置は、
操作部と、
この操作部によって上記基板の列方向に対する上記電子部品の実装情報が設定される列情報入力部と、
上記操作部によって上記基板の上記列方向と交差する行方向に対する上記電子部品の実装情報が設定される行情報入力部と、
上記列情報入力部と上記行情報入力部からの情報によってデータテーブルを作成し、このデータテーブルに基いて上記実装ツールを駆動位置決めして上記電子部品を上記基板の所定の位置に実装させる駆動制御手段と
を有することを特徴とする電子部品の実装装置にある。
The present invention is a mounting device for electronic components that mounts a plurality of electronic components on a substrate in a staggered manner with different arrangement states with respect to adjacent column and row directions ,
The electronic component supply unit;
A mounting tool for mounting the electronic component supplied from the supply unit on the substrate;
A control device for controlling the mounting position of the electronic component on the substrate by the mounting tool;
The control device
An operation unit;
A column information input unit in which mounting information of the electronic component with respect to the column direction of the substrate is set by the operation unit ;
And line information input unit mounting information of the electronic component relative to the row direction crossing the row direction of the substrate is set by the operation unit,
Create a result data table information from the column information input unit and the line information input section, this on the basis of the data table is driven positioning the mounting tool is mounted the electronic component at a predetermined position of the substrate driving An electronic component mounting apparatus comprising: a control unit.
上記駆動制御手段は、上記列情報入力部と上記行情報入力部からの情報を処理して上記データテーブルを作成する情報処理部と、この情報処理部で作成された上記データテーブルに基いて上記実装ツールを駆動する駆動信号を出力する出力部とによって構成されていることが好ましい。 The drive control means includes: an information processing unit that processes information from the column information input unit and the row information input unit to generate the data table; and the data control unit that generates the data table based on the data table generated by the information processing unit. It is preferable to be configured by an output unit that outputs a drive signal for driving the mounting tool.
上記実装ツールによって上記基板の一方の面に上記電子部品を実装するとき、上記基板の他方の面の上記電子部品が実装される部分と対応する部分を支持するステージツールを有し、このステージツールは上記駆動制御手段によって上記実装ツールと対応する位置に駆動位置決めされることが好ましい。 When the electronic component is mounted on one surface of the substrate by the mounting tool, the stage tool has a stage tool that supports a portion corresponding to a portion on which the electronic component is mounted on the other surface of the substrate. Is preferably driven and positioned at a position corresponding to the mounting tool by the drive control means.
この発明は、実装ツールによって基板に複数の電子部品を隣り合う列方向と行方向に対して配置状態が異なる千鳥状に実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板に実装される上記電子部品の列方向の実装情報を行情報入力部に入力する工程と、
上記基板に実装される上記電子部品の行方向の実装情報を列情報入力部に入力する工程と、
上記行情報入力部と列情報入力部に入力された実装情報からデータテーブルを作成する工程と、
作成されたデータテーブルの実装情報に基いて上記実装ツールを駆動位置決めして上記電子部品を上記基板に実装する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
The present invention is a mounting method of electronic components for mounting a plurality of electronic components on a substrate in a zigzag manner with different arrangement states with respect to adjacent column and row directions by a mounting tool ,
A step of inputting column-direction mounting information of the electronic components mounted on the substrate into a row information input unit ;
A step of inputting, in a column information input unit, mounting information in the row direction of the electronic components mounted on the substrate;
Creating a data table from the mounting information input to the row information input unit and the column information input unit;
And mounting the electronic component on the substrate by driving and positioning the mounting tool based on the mounting information of the created data table .
この発明によれば、基板に電子部品を実装する実装ツールを、列方向の情報と、行方向の情報によって制御するようにしたから、上記基板に上記電子部品を千鳥状に実装する場合であっても、基板を所定のピッチで基板の列方向と交差する方向に沿って1回投入すれば、電子部品を千鳥状に実装することができる。 According to this invention, the mounting tool for mounting the electronic components on the board is controlled by the information in the column direction and the information in the row direction, so that the electronic components are mounted on the board in a staggered manner. However, the electronic components can be mounted in a staggered manner if the substrates are inserted once along the direction intersecting the row direction of the substrates at a predetermined pitch.
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1はこの発明の一実施の形態の実装装置を示し、この実装装置はリードフレームなどの基板1を所定方向に沿って搬送する搬送装置2を備えている。この搬送装置2は所定間隔で平行に配置された一対のガイドレール3を有し、これらのガイドレール3に沿って上記基板1が間欠的にピッチ送りされるようになっている。上記基板1はピッチ送りされるごとに、図示せぬクランパによって上記ガイドレール3に位置決め保持されるようになっている。
FIG. 1 shows a mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and this mounting apparatus includes a transport apparatus 2 that transports a
上記基板1が搬送装置2によって実装位置Bに搬送されると、その実装位置Bには後述する部品供給部11から供給された電子部品としての半導体チップ4(以下チップ4とする。)が実装される。この実装位置Bには、上記基板1の下面を支持するステージツール5が図1に示す第1の駆動機構6によって水平方向であるX、Y方向及び上下方向であるZ方向に駆動可能に設けられている。
When the
上記ステージツール5の上方には、上記基板1の上面に上記チップ4を実装するための実装ツール7が第2の駆動機構8によってX、Y方向及びZ方向に駆動可能に設けられている。上記ステージツール5と実装ツール7は制御装置9によって後述するように駆動が制御されるようになっている。
A
上記部品供給部11は図示せぬ駆動源によってX、Y方向に駆動されるウエハステージ12を有する。このウエハステージ12には多数のチップ4に分割された半導体ウエハ13がウエハシート14に保持されている。
The
上記ウエハシート14に保持されたチップ4のうち、所定の位置のチップ4は図示せぬ突き上げピンによって突き上げられる。突き上げピンによって突き上げられたチップ4は吸着ノズル16によって吸着される。この吸着ノズル16は反転ユニット17に設けられた回転ヘッド18に取り付けられている。この回転ヘッド18は回転駆動される。それによって、上記吸着ノズル16は、吸着面16aが下を向いた位置と、その位置から180度回転して上方を向いた位置とに位置決めされる。
Of the
上記反転ユニット17はガイドロッド19に沿って駆動されるようになっている。このガイドロッド19は上記ウエハステージ12から上記搬送装置2の実装位置Bに向かって水平に架設されている。それによって、上記ウエハシート14からチップ4を吸着した吸着ノズル16は、図1に鎖線で示すようにチップ4を吸着した吸着面16aを上にして搬送装置2の側方に位置決め駆動される。この位置を受け渡し位置とする。
The
吸着ノズル16が受け渡し位置に位置決めされると、同図に鎖線で示すように実装ツール7が駆動され、上記吸着ノズル16の吸着面16aに吸着されたチップ4を受け取る。ついで、この実装ツール7が実線で示すように基板1の上方の実装位置Bに位置決めされる。
When the
それと同時に、上記ステージツール5が上昇方向に駆動されて基板1の下面を支持する。そして、上記実装ツール7が下降方向に駆動されることで、上記基板1の上記ステージツール5によって支持された部分に、上記実装ツール7に保持されたチップ4が実装されることになる。
At the same time, the
基板1にチップ4を実装する実装位置Bの上方には基板1を撮像してチップ4の実装位置を認識する第1のカメラ21が配置されている。上記実装ツール7が上記吸着ノズル16からチップ4を受け取る受け渡し位置の上方には、吸着ノズル16に保持されたチップ4の位置を認識する第2のカメラ22が配置されている。チップ4を受けた上記実装ツール7が通過する位置の下方には、この実装ツール7に保持されたチップ4の位置を認識する第3のカメラ23が配置されている。
A
第1乃至第3のカメラ21〜23の撮像信号は上記制御装置9に設けられた図示しない画像処理部に入力される。そして、制御装置9は上記画像処理部で処理されたチップ4の座標信号に基づいて上記実装ツール7を基板1に対して精密に位置決めし、この基板1に上記チップ4を実装させるようになっている。
The imaging signals of the first to
上記基板1に対してチップ4を行列状或いは千鳥状に実装する場合、基板1に対する実装ツール7とステージツール5の上記基板1の列方向及び行方向に対する位置決めは上記制御装置9によって行なわれる。
When the
すなわち、上記制御装置9は図2に示すように情報処理部26を備えている。この情報処理部26には列情報入力部27と行情報入力部28とが接続されている。各情報入力部27,28には操作部29によってチップ4を基板1に実装する際の列情報と行情報とを入力することができるようになっている。
That is, the
列情報と行情報とが入力された情報処理部26は、その入力情報に基いて実装ツール7とステージツール5とを上記基板1の上記チップ4の実装位置に位置決めする。つまり、上記情報処理部26には上記操作部29からチップ4を基板1に対して行列状或いは千鳥状のどちらの状態で実装するのかの情報が入力される。
The
情報処理部26には第1の出力部31と第2の出力部32とが接続されている。第1の
出力部31は上記第1の駆動機構6に駆動信号を出力する。それによって、上記ステージツール5がX、Y方向に駆動されて位置決めされ、ついでZ方向上方に駆動されて上端面によって基板1の所定の位置の下面を支持する。
A
第2の出力部32は上記第2の駆動機構8に駆動信号を出力する。それによって、上記実装ツール7がX、Y方向に駆動されて位置決めされ、ついでZ方向下方に駆動されて下端面に保持されたチップ4を基板1の所定の位置の上面に実装する。実装ツール7によりチップ4が基板1に実装される位置は、上記基板1の上記ステージツール5によって支持された下面と対応する上面となる。
The
基板1にチップ4を3行6列の行列状に実装する場合、上記情報処理部26では上記操作部29からの入力によって下記[表1]に示すデータテーブルが作成され、このデータテーブルの列情報と行情報に基いてチップ4が基板1に実装されるよう、上記実装ツール7とステージツール5が順次位置決めされる。
つまり、[表1]の「1」で示す列と行との交点に上記チップ4が実装される。たとえば、基板1の搬送方向先端側に位置するP1列の場合、このP1列とC1行、C3行、及びC5行の3つの交点に上記ステージツール5と実装ツール7とが順次位置決めされてチップ4が実装される。
That is, the
P1列の実装が終わると、基板1は列間隔と対応するピッチで送られ、P2列の実装が行なわれる。P2列の実装は、P2列とC1行、C3行、及びC5行の3つの交点にチップを実装する。以下P3列、P4列、P5列及びP6列の順に、各列とC1行、C3行、及びC5行との交点にそれぞれチップ4が実装される。それによって、基板1には図3に示すようにチップ4を3行6列3の行列状に実装することができる。
When the mounting of the P1 row is completed, the
すなわち、上記ステージツール5と実装ツール7は、上記[表1]の「1」で示す列と行との交点に駆動される。そして、その交点で上記各カメラ21〜23からの撮像信号に基いて上記実装ツール7が精密に位置決めされてチップ4を基板1に実装する。
That is, the
一方、基板1にチップ4を千鳥状に実装する場合、上記情報処理部26は上記操作部29からの入力によって下記[表2]に示すデータテーブルを作成し、このデータテーブルの列情報と行情報に基いてチップ4が基板1に実装されるよう、上記実装ツール7とステージツール5が順次位置決めされる。
つまり、[表2]の「1」で示す列と行との交点に上記チップ4を実装する。たとえば、基板1の搬送方向先端側に位置するP1列の場合、このP1列とC1行、C3行、及びC5行の3つの交点に上記ステージツール5と実装ツール7とが順次駆動されてチップ4が実装される。
That is, the
P1列にチップが実装されると、基板1が所定ピッチ送られてP2列の実装が行なわれる。P2列の場合には、C2行とC4行の2つの交点にチップが実装される。以下P3列ではP1列と同様、3つの交点にチップ4が実装され、P4列では2つの交点、P5列では5つの交点、さらにP6列では2つの交点にそれぞれチップ4が実装される。それによって、基板1には図4に示すようにチップ4を千鳥状に実装することができる。
When the chips are mounted on the P1 row, the
このように、制御装置9に列情報入力部27と行情報入力部28とを設け、基板1に対するチップ4の実装位置を列情報と行情報とによって制御するようにした。
As described above, the
そのため、基板1に対してチップ4を千鳥状に実装する場合であっても、基板1をその基板1の列方向に沿って1回搬送するだけで、上記チップ4を各列に対して所望する配置状態に実装することができる。
Therefore, even when the
したがって、チップ4を千鳥状に実装する場合、従来は基板1を搬送装置2に2回投入していたが、今回は基板1を搬送装置2に1回投入するだけですむため、実装に要するタクトタイムを大幅に短縮することが可能となる。
Therefore, when the
上記一実施の形態では実装ツールとともにステージツールも駆動して位置決めするようにしたが、たとえば、ステージツールが基板1の下面全体を支持することができる大きさであれば、制御装置からの駆動信号によって実装ツールだけを駆動すればよい。
In the above embodiment, the stage tool is driven and positioned together with the mounting tool. However, for example, if the stage tool is large enough to support the entire lower surface of the
また、基板に実装する電子部品は半導体チップに限られず、コンデンサなどのほかのチップ上の電子部品であってもよく、その点はなんら限定されるものでない。 Further, the electronic component mounted on the substrate is not limited to the semiconductor chip, and may be an electronic component on another chip such as a capacitor, and the point is not limited at all.
1…基板、4…チップ(電子部品)、5…ステージツール、6…第1の駆動機構、7…実装ツール、8…第2の駆動機構、9…制御装置、11…部品供給部、26…情報処理部、27…列情報入力部、28…行情報入力部、29…操作部。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記電子部品の供給部と、
この供給部から供給された上記電子部品を上記基板に実装する実装ツールと、
この実装ツールによる上記電子部品の上記基板に対する実装位置を制御する制御装置と
を具備し、
上記制御装置は、
操作部と、
この操作部によって上記基板の列方向に対する上記電子部品の実装情報が設定される列情報入力部と、
上記操作部によって上記基板の上記列方向と交差する行方向に対する上記電子部品の実装情報が設定される行情報入力部と、
上記列情報入力部と上記行情報入力部からの情報によってデータテーブルを作成し、このデータテーブルに基いて上記実装ツールを駆動位置決めして上記電子部品を上記基板の所定の位置に実装させる駆動制御手段と
を有することを特徴とする電子部品の実装装置。 A mounting apparatus for electronic components that mounts a plurality of electronic components on a substrate in a staggered manner with different arrangement states with respect to adjacent column and row directions ,
The electronic component supply unit;
A mounting tool for mounting the electronic component supplied from the supply unit on the substrate;
A control device for controlling the mounting position of the electronic component on the substrate by the mounting tool;
The control device
An operation unit;
A column information input unit in which mounting information of the electronic component with respect to the column direction of the substrate is set by the operation unit ;
And line information input unit mounting information of the electronic component relative to the row direction crossing the row direction of the substrate is set by the operation unit,
Create a result data table information from the column information input unit and the line information input section, this on the basis of the data table is driven positioning the mounting tool is mounted the electronic component at a predetermined position of the substrate driving An electronic component mounting apparatus comprising: a control unit.
上記基板に実装される上記電子部品の列方向の実装情報を行情報入力部に入力する工程と、
上記基板に実装される上記電子部品の行方向の実装情報を列情報入力部に入力する工程と、
上記行情報入力部と列情報入力部に入力された実装情報からデータテーブルを作成する工程と、
作成されたデータテーブルの実装情報に基いて上記実装ツールを駆動位置決めして上記電子部品を上記基板に実装する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。 A mounting method for electronic components in which a plurality of electronic components are mounted on a substrate in a staggered manner with different arrangement states with respect to the adjacent column direction and row direction by a mounting tool ,
A step of inputting column-direction mounting information of the electronic components mounted on the substrate into a row information input unit ;
A step of inputting, in a column information input unit, mounting information in the row direction of the electronic components mounted on the substrate;
Creating a data table from the mounting information input to the row information input unit and the column information input unit;
And mounting the electronic component on the substrate by driving and positioning the mounting tool based on the mounting information of the created data table .
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917841A (en) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Nichiden Mach Ltd | Pickup device, and chip positioning method |
JP2002190003A (en) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing ic module |
JP2002198380A (en) * | 2001-11-20 | 2002-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for mounting chip |
JP2003188595A (en) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic part mounting device and its method |
JP2004291435A (en) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | Organic el array exposure head chip and organic el array exposure head using the same |
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2005
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917841A (en) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Nichiden Mach Ltd | Pickup device, and chip positioning method |
JP2002190003A (en) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing ic module |
JP2002198380A (en) * | 2001-11-20 | 2002-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for mounting chip |
JP2003188595A (en) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic part mounting device and its method |
JP2004291435A (en) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Seiko Epson Corp | Organic el array exposure head chip and organic el array exposure head using the same |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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