JP4586088B2 - 往復直線駆動装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の往復直線駆動装置の一実施形態の外観斜視図である。ガイド1は箱型の形状をなしており、ガイド1の外面の所定箇所を図示省略した部材により工作機械の所定の軸に固定して取り付けられる。
2 スライド
3 カウンタスライド
3a,3b 軸受部
3c 連結部
4 長孔
5 コイル
6a,6b 駆動用永久磁石
6c 鉄心
7 軸受面
8 永久磁石
9 蓋
10 エアバランス室(正圧状態)
11 圧力発生装置
12 タンク
13 管
14 蓋
15 エアバランス室(負圧状態)
16 真空発生装置
17 管
18 板バネ
19 工具
20 ピエゾ素子
23 給電・流体供給用長孔
50 ベース
51 ガイド
52 スライド
53 永久磁石
Claims (6)
- ガイドとスライドとカウンタスライドを備えた往復直線駆動装置において、
前記ガイドは中空の箱型構造を備え、
前記箱型構造の内側の面を軸受面とし、
該箱型構造の内側に前記スライドおよび前記カウンタスライドが搭載され、
外部に固定された前記ガイドと前記スライドの間に流体軸受の構造を備え、
前記ガイドと前記カウンタスライドの間に流体軸受の構造を備え、
前記スライドと前記カウンタスライドは同軸方向に移動可能であり、
前記スライドと前記カウンタスライドの間で駆動力を発生する手段と、
を備えたことを特徴とする往復直線駆動装置。 - 前記カウンタスライドは互いに連結された2つの軸受部を有し、
前記2つの軸受部の間のストロークで前記スライドが駆動されることを特徴とする請求項1に記載の往復直線駆動装置。 - 前記スライドと前記カウンタスライドの間には反発力を発生する手段を備え、
前記スライドは直線往復運動時の移動方向反転に前記反発力を利用することを特徴とする請求項1または2のいずれか1つに記載の往復直線駆動装置。 - 前記ガイドは少なくとも片方の端に蓋を備え、前記ガイドの内面と前記蓋と前記カウンタスライドで囲まれた空間が形成し、該空間をエアバランス室として使用し、垂直方向の駆動時にカウンタスライドの自重をキャンセルすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の往復直線駆動装置。
- 前記エアバランス室を前記カウンタスライドの上側に設けた場合、前記エアバランス室の圧力を負圧とし、前記エアバランス室を前記カウンタスライドの下側に設けた場合、前記エアバランス室の圧力を正圧とすることを特徴とする請求項4に記載の往復直線駆動装置。
- 前記スライドに工具の切り込み手段と工具を備え、往路で工具を切り込み、復路で工具を逃がす動作を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の往復直線駆動装置。
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