JP4575838B2 - 測定プローブ用着脱自在プローブ・チップ装置 - Google Patents

Description

本発明は、一般に、測定プローブ用のプローブ・チップ装置に関し、特に、測定プローブ装置の他のコンポーネントから分離している被測定装置に、プローブ・チップ装置のプローブ・チップを装着できる測定プローブ用の着脱自在なプローブ・チップ装置に関する。

電圧測定プローブは、被測定装置からの電気信号を取り込み、電気ケーブルを介してオシロスコープなどの測定機器に、取り込んだ信号を供給する。典型的な電圧プローブは、プローブ・ヘッドを有し、導電空洞管の中に基板が配置されている。この基板は、受動回路又は能動回路を有し、取り込んだ信号を測定機器に供給する前に処理する。空洞管の端部には絶縁プラグが配置されており、プラグの両方向に伸びるプローブ・チップが同軸的に配置されている。空洞管内に伸びるプローブ・チップの部分は、基板に電気的に接続される。電圧測定プローブを手で持って被測定装置をプロービングしたり（被測定装置から信号を取り込んだり）、プローブ・アームを被測定装置に装着したりする。一般的に、測定プローブを分解してプローブ・チップを交換するには、この測定プローブをサービス・センターに送り、熟練した技能者が取り扱わなければならなかった。この結果、修理期間中にプローブを使用できないし、また、修理コストもかかった。

米国特許第６４６６０００号公報（特開２００２−３１６４９号公報に対応）は、破損したプローブ・チップをサービス・センターに送ることなくユーザが交換できる交換可能なプローブ・チップ・ホルダ及び測定プローブ・ヘッドを開示している。交換可能なプローブ・チップ・ホルダは、キャップと、このキャップの後から伸びる取り付けアームとを有し、これら取り付けアームは、プローブ・ヘッド・ハウジングの外部に配置可能である。キャップは、一連の空洞と、最も内側の空洞からキャップの端部に伸びるボアとを有している。弾性圧縮部材を最も内側の空洞内に配置し、プローブ・チップが弾性圧縮部材を介して通過してボア内に配置され、プローブ点（信号検出部）がキャップの外側に伸びる。プローブ・チップの他端は、引き起こされてヘッドを形成し、このヘッドが弾性圧縮部材をキャップ及びプローブ・チップ・ヘッドの間に挟む。第２空洞は、最も内側の空洞の近傍にあり、基板の一部を受ける。この基板は、プローブ・ヘッド・ハウジング内に配置される。基板の端部面が少なくとも第１電気接点を有し、この電気接点がプローブ・チップのヘッドと繋がる。第３空洞は、プローブ・ヘッド・ハウジングの一部を受ける。プローブ・チップは、交換可能なプローブ・チップ・ホルダのキャップ内に確実に装着されておらず、ホルダをプローブ・ヘッド上に位置決めした際に、プローブ・チップが交換可能なプローブ・チップ・ホルダ内に単に装着されているに過ぎない点に留意されたい。

測定帯域幅が上昇すると、それ以上の帯域幅の測定プローブが必要となる。５ＧＨｚ以上の帯域幅の超広帯域測定プローブを設計する際の大きな問題は、単一又は複数のプローブ・チップの容量及びインダクタンスの影響である。この問題の１つの解決法は、測定プローブのプローブ・ヘッド内の能動回路からプローブ・チップを分離することである。米国特許第６７０４６７０号公報は、プローブの単一又は複数のプローブ・チップをプローブ増幅器ユニットから分離した広帯域能動プローブ装置を記載している。１個以上のプローブ・ケーブルをプローブ・チップ・ユニットに接続し、このプローブ・チップ・ユニットをプローブ増幅器ユニットに接続して、プローブ・ユニットが受けた信号を伝送する。種々の形式のプローブ・チップ・ユニットをプローブ増幅器ユニットに接続できる。このプローブ・チップ・ユニットは、導電路から種々の抵抗、容量及び／又は他の電気的要素までの回路を含むことができる。かかるプローブ設計の利点は、プローブ増幅器回路を含む大形測定プローブの代わりに、被測定装置上の接点に届くのが困難な非常に小形のプローブ・チップでも交換できることである。

プローブ・チップ・ユニットは、シングル・エンド型又は差動型でもよく、プローブ・チップ・ユニットにプローブ・チップを電気的に接続するプローブ接続点を含んでいる。プローブ・チップ・ユニットは、プローブ・チップを含んでおり、抵抗の如きインピーダンス要素を含んでもよい。半田付け又は圧着端子接続により、プローブ・チップ・ユニットをこのプローブ・チップ・ユニットのプローブ接続点に確実に固定する。種々のプローブ・チップ・ユニットを、ソルダー・オン、プラグ・オン、ＳＭＴグラバー、ウェッジ・プローブ・チップ・ユニットの如きプローブ接続点に半田付けできる。種々のプローブ・チップ・ユニットを用いることにより、既存のプローブ・チップ・ユニットの半田付けを外し、交換プローブ・チップ・ユニットをプローブ接続点に半田付けして、プローブ装置の電気的特性を変更したり、破損したプローブ・チップ・ユニットを交換したりできる。この設計の欠点は、各プローブ・チップ・ユニットをプローブ接続点の１つに半田付けする必要があることである。さらに、プローブ・チップ・ユニットをプローブ接続点に連続的に半田付けして半田を外すと、プローブ接続点を破損するリスクが生じると共に、プローブ・チップ・ユニットを紛失しやすくなる。さらに、ある差動型及びシングル・エンド型プロービング・アプリケーションにおいては、プローブ・チップ・ユニットを被測定装置のプローブ点に半田付けする必要がある。これにより、ユーザは、被測定装置に多数のプローブ・チップ・ユニットを配置する必要があり、プロービングの問題解決コストが高くなる。

米国特許第６４６６０００号公報 米国特許第６７０４６７０号公報

測定プローブ装置のプローブ・チップ以外のコンポーネントを被測定装置に接続することなく、プローブ・チップを被測定装置に容易に装着できる測定プローブ装置用着脱自在プローブ・チップ装置が必要とされている。この必要とされるプローブ・チップ装置は、安価であり、半田付けをしないでも測定プローブ装置の残りの部分に容易に取り付けることができる。

本発明は、被測定装置に取り付ける測定プローブ用の着脱自在プローブ・チップ装置（１０）であって；プローブ・チップ装着部材（１４）と、このプローブ・チップ装着部材から互いに向かい合って略直角に伸びた複数の取り付けアーム（１６、１８）とを有し、これら取り付けアームによりプローブ・チップ装着部材の内面（５２）が決まるハウジング（１２）と；プローブ・チップ装着部材の内面内に配置された可逆圧縮可能な弾性部材（５６）と；ノッチ（７６）で定まる第１及び第２プローブ・チップ・アーム（７２、７４）並びに第１及び第２プローブ・チップ・アーム（７２、７４）の夫々に沿って伸びる第１及び第２導電路（７８、８０）を有し、可逆圧縮可能な弾性部材を覆うように配置された柔軟な基板材（７０）の第１及び第２導電路（７８、８０）の一部として形成される第１及び第２プローブ・チップ（４２、４４）と；第１及び第２導電路（７８、８０）夫々の一方の端部側の柔軟な基板材（７０）上に隣接して形成され、可逆圧縮可能な弾性部材（５６）から見て外方向に配置される電気接触パッド（８２）と；第１及び第２導電路（７８、８０）の他方の端部側の第１及び第２プローブ・チップ・アーム（７２、７４）上に形成された電気接触パッド（８４）と；第１及び第２プローブ・チップを有する柔軟な基板材（７０）をハウジングに固定するラッチ手段（６６／９６、６０／１００、１１８、１２０）とを具えている。
なお、参照符号は、本発明の実施例との対応関係を単に示すだけである。また、特許請求の範囲及び本明細書において、「可逆圧縮可能な弾性部材」とは、力を加えると圧縮されるが、この力を除くと圧縮が元の状態に戻る弾性部材をいう。

よって、本発明は、被測定装置に取り付けるプローブ・チップ装置であり、測定プローブに取り付け可能である。プローブ・チップ装置は、プローブ・チップ装着部材と、対向した取り付けアームとを有するハウジングを具えている。この取り付けアームは、プローブ・チップ装着部材から略直角に伸びている。取り付けアームは、プローブ・チップ取り付け部材の内面を決定し、この内面に少なくとも可逆圧縮可能な弾性部材を配置する。この可逆圧縮可能な弾性部材を覆うように第１及び第２プローブ・チップを有する柔軟な基板材を配置して、ラッチ手段によりハウジングに固定する。

本発明の実施例において、第１及び第２プローブ・チップは、第１及び第２抵抗要素から伸びる導電ワイヤである。これらプローブ・チップをラッチ手段によりハウジングに固定する。このラッチ手段は、プローブ・チップ装着部材の内面に形成された第１及び第２組のノッチを有する。これらノッチの各組は、略垂直に整列しており、プローブ・チップ装着手段の内面に形成された凹部（逃げ）により分離されている。この凹部は、可逆圧縮可能な弾性部材を受ける。ノッチの各組の１個のノッチは、内面から略環状の部分に伸びるチャネル（溝）部分を有する。ノッチの各組の別の１個のノッチは、そこにボアを有し、このボアは、プローブ・チップ装着部材の正面に伸びる。第１及び第２抵抗要素の各々から反対方向に伸びる導電ワイヤは、プローブ・チップ装着部材内のボアを通過し、ノッチのチャネル部分を通過することにより、第１及び第２組ノッチの各々の環状部分内に固定される。第１及び第２組ノッチの１個のノッチは、プローブ・チップ装着部材の内面の凹部の頂面からプローブ・チップ装着部材の頂面に伸びる。第１及び第２組ノッチの他の１個のノッチは、凹部の底面から基部に伸びる。

本発明の他の実施例において、第１及び第２プローブ・チップは、第１及び第２プローブ・チップ・アームを有する柔軟な基板材の一部として形成される。柔軟な基板材内に形成されたノッチと、少なくとも第１及び第２導電路とが、これらプローブ・チップ・アームとなる。一方の導電路が一方のプローブ・チップ・アームに沿って伸び、他方の導電路が、第１及び第２プローブ・チップを形成する他方のプローブ・チップ・アームに沿って伸びる。第１及び第２導電路の近い方（近傍）の端部は、柔軟な基板材上に電気接触パッドを形成し、これら電気接触パッドは、可逆圧縮可能な弾性部材の近傍で、この弾性部材からそれて配置される。第１及び第２導電路の遠い方（遠方）の端部は、第１及び第２プローブ・チップ・アームの夫々に接触パッドを形成する。逆方向の導電ワイヤを有する第１及び第２抵抗要素の各々は、第１及び第２プローブ・チップ・アームの接触パッドに電気的に結合した導電ワイヤの一方を有する。第１及び第２抵抗要素の各々の他の導電ワイヤは、第１及び第２プローブ・チップを夫々形成する。第１及び第２プローブ・チップ・アーム上の電気接触パッドの各々は、導電開口と共に形成でき、この導電開口は、第１及び第２抵抗要素の導電ワイヤの一方を受ける。

上述の代わりに、抵抗要素及び他の受動電気要素を柔軟な基板材上に配置し、第１及び第２導電路の夫々と電気的に結合してもよい。これら抵抗及び受動電気要素は、ディスクリート・コンポーネント、印刷された抵抗、コンデンサなどの形式でもよい。

柔軟な基板材は、そこに形成された開口及び横方向の伸びた突出部を有し、これら突出部は、柔軟な基板材の側部上で下方に向く肩を形成する。開口は、プローブ・チップ装着部材の内面上で外側に伸びる突出部を覆うように位置決めされる。プローブ・チップ装着部材から対向して伸びる取り付けアーム内に凹部を形成し、プローブ・チップ装着部材に隣接する取り付けアーム内に肩面を形成する。凹部は、柔軟な基板材の横方向に伸びた突出部を受け、この横方向に伸びた突出部の下方の向肩が凹部の肩面とかみ合う。プローブ・チップ装着部材の内面上の突出部とかみ合う柔軟基板材の開口と、アーム内の凹部とかみ合う柔軟基板材の横方向に伸びた突出部との組合せは、第１及び第２プローブ・チップをハウジングにラッチする。

本発明の目的、利点及び新規な特徴は、添付図を参照した以下の詳細な説明から明らかになろう。

図１は、本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置１０の第１実施例の分解斜視図である。プローブ・チップ装置１０は、プローブ・チップ装着部材１４及び略直角な取り付けアーム１６を有するハウジング１２を具えている。本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いるハウジングの斜視図である図２に示すように、この取り付けアーム１６、１８は、プローブ・チップ取り付け部材１４から伸びている。ハウジング１２は、好ましくは、ＡＢＳプラスチック、ポリ・カーボネート、ＡＢＳポリ・カーボネート・ブレンドなどの非導電性で射出成形可能な材料で形成される。取り付けアーム１６、１８の末端部には、内側に向いた傾斜２０が設けられる。取り付けアーム１６、１８の各々の内面２４は、セグメント化されたリブ２６を有し、セグメント２８、３０の各々は、裾野に向かって傾斜した面３２を有する。セグメント化されたリブ２６は、プローブ・チップ部材３８のハウジング３６の各側部にあるチャネル３４とかみ合う。各チャネル３４は、チャネル内に形成されたボス４０を有し、このボス４０が、セグメント化されたリブ２６のセグメント２８、３０の間に捕獲されて、プローブ・チップ装置１０をプローブ・チップ部材３８に固定する。プローブ・チップ部材３８は、ハウジング３６内に配置された基板を有する。この基板に配置された回路は、ハウジング１２に固定された第１及び第２プローブ・チップ４２、４４により検出され被測定装置からプローブ・チップ部材３８へ供給される電気信号を調整する。導電接触ピンは、プローブ・チップ部材３８の正面から伸びて、プローブ・チップ装置１０のプローブ・チップ４２、４４に接触する。調整された電気信号は、同軸ケーブル４６、４８を介して、付加回路を有するプロービング本体に供給されて、取り込んだ信号を更に調整する。プローブ・ヘッド内で調整された電気信号は、同軸ケーブルを介して、オシロスコープなどの測定機器に結合される。この代わりに、プローブ・チップ装置１０を測定プローブのプローブ本体に直接的に固定してもよい。プローブ本体は、その側部に形成されたチャネル３４を有する。このチャネル３４は、チャネル・ボス４０を有し、このボス４０が、取り付けアーム１６、１８のセグメント化リブ２６のセグメント２８、３０の間に捕獲される。

プローブ・チップ装着部材１４は、外面５０及び内面５２を有し、プローブ・チップ装着部材１４と関連のある取り付けアーム１６、１８の位置により、内面５２が決まる。内面５２は、そこに形成された開口５４を有し、これら開口は、可逆圧縮可能な弾性部材５６を受ける。なお、可逆圧縮可能な弾性部材とは、力を加えると圧縮されるが、この力を除くと圧縮が元の状態に戻る弾性部材をいう。好適には、可逆圧縮可能な弾性部材５６は、シリコン材料などのエラストマ材料で作られている。開口５４の各々は、好ましくは、中心に配置された突出部５８と共に形成される。可逆圧縮可能な弾性部材５６の各々の後方面内に形成された凹部が突出部５８を受ける。突出部５８及び凹部は、開口５４内に可逆圧縮可能な弾性部材５６を保持するのを助ける。

プローブ・チップ装着部材１４の内面５２には、開口５４の間に、外側に伸びる突出部６０も形成されている。この突出部６０は、傾斜した正面６２と、底面６４とを有し、肩面を形成する。取り付けアーム１６、１８は、これらアーム１６、１８とプローブ・チップ取り付け部材１４との間の接合部に形成された凹部６６を有する。凹部６６は、取り付けアーム１６、１８の頂面から下方に伸びて、アームよりある程度下がった肩面６８を形成する。

第１及び第２プローブ・チップ４２、４４の第１実施例において、プローブ・チップの部分を柔軟な基板材７０上に形成する。好適実施例において、柔軟な基板材７０は、米国デラウェア州ウィルミングトンのイー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニーが製造販売しているKAPTON（登録商標）の如きポリアミド材料である。柔軟な基板材７０は、ノッチ７６で決まる第１及び第２プローブ・チップ・アーム７２、７４を具え、これらプローブ・チップ・アームの間にノッチ７６が配置される。第１及び第２導電路７８、８０は、柔軟な基板材７０の上に形成される。一方の導電路７８は、一方のプローブ・チップ・アーム７２に沿って伸び、他方の導電路８０は、他方のプローブ・チップ・アーム７４に沿って伸びる。電気接触パッド８２、８４は、導電路７８、８０の各々の近い（近傍）端部８６と遠い（遠方）端部８８に形成される。好適実施例において、非導電材料は、電気接触パッド８２、８４を除いて導電路７８、８０を覆うように配置され、これら導電路が被測定装置の回路と短絡するのを防止する。導電路７８、８０の遠方の端部８６の電気接触パッド８２の各々は、逆方向の導電ワイヤ９２、９４を有する抵抗要素９０を受ける。抵抗要素９０の各々の一方のワイヤ９２は、第１及び第２導電路７８、８０の各電気接触パッド８４に電気的に接続され、抵抗要素９０の他のワイヤ９４は、プローブ・チップ４２、４４として使用される。

柔軟な基板材７０には、横方向に伸びる突出部９６も形成され、その下面が肩面９８となる。導電路７８、８０の電気接触パッド８２の間において、柔軟な基板材７０に開口１００が形成される。開口１００の大きさ及び形状は、プローブ・チップ取り付け部材１４の内面５２上で外側に伸びる突出部６０の大きさ及び形状に適合する。柔軟な基板材７０の横に伸びた突出部９６を取り付けアーム１８に挿入し、プローブ・チップ装着部材１４の内面５２上で外側に伸びた突出部６０を柔軟な基板材７０の開口１００に挿入することにより、第１及び第２プローブ・チップ４２、４４を有する柔軟な基板材７０がハウジング１２にラッチされ固定される。横に伸びた突出部９６の下に向いた肩面９８は、凹部６６の肩面６８とかみ合い、開口１００は、外側に伸びた突出部６０の肩面６４とかみ合う。これら突出部９６及び凹部６６と、突出部６０及び開口１００とがラッチ手段を構成する。可逆圧縮可能な弾性部材５６を覆うように柔軟な基板材７０を位置決めして、ラッチ手段によってハウジング１２に柔軟な基板材７０をラッチするが、導電路７８、８０の電気接触パッド８２は、可逆圧縮可能な弾性部材５６から離れている。

図３（Ａ）〜図３（Ｅ）は、柔軟な基板材７０を用いるプローブ・チップ４２、４４の種々の実施例を示す。図３（Ａ）は、非常に短いプローブ・チップ・アーム７２、７４を示し、抵抗要素９０の導電ワイヤ９２の一方は、導電路７８、８０の遠方の電気接触パッド８４に半田付けなどにより固定される。電気接触パッド８４に接続された抵抗要素９０の導電ワイヤ９２は、短くされて、抵抗要素９０をできる限り電気接触パッド８４の近くに配置する。抵抗要素９０の導電ワイヤ９２と反対方向の導電ワイヤ９４は、プローブ・チップ４２、４４として作用し、ユーザが所望の長さに切断できる。プローブ・チップ・アーム７２、７４の間のノッチ（スロット）により決まるこれらプローブ・チップ・アーム７２、７４の間隔は、ユーザの特定用途に適合するように可変できる。さらに、プローブ・チップ・アーム７２、７４の長さは、ユーザの用途に適合するように可変できる。本発明を市販用に設計した場合、プローブ・チップ・アーム７２、７４の長さは、０．０８０インチ（２．０３２ｍｍ）、０．２インチ（５．０８ｍｍ）及び１インチ（２５．４ｍｍ）である。本発明に用いるのに好ましい抵抗要素９０は、直径が０．００８インチ（０．２０３２ｍｍ）及び０．０２０インチ（０．５０８ｍｍ）の導電ワイヤ９２、９４を有している。図３（Ｂ）及び３（Ｃ）は、プローブ・チップ４２、４４を示すが、導電路７８、８０の遠方の電気接触パッド８４内に導電開口１０２、１０４が形成されている。これら導電開口１０２、１０４は孔を有し、この孔に抵抗要素９０の導電ワイヤ９２を挿入し、電気接触パッド８４に半田付けできる。図３（Ｄ）が示すプローブ・チップ４２、４４では、遠方の電気接触パッド８４がプローブ・チップ４２、４４となる。この電気接触パッド８４は、被測定装置上のプローブ点に半田により電気的に接続される。図３（Ｅ）は、プローブ・チップ４２、４４の別の実施例を示し、抵抗要素９１及び容量要素９３の如き受動電気要素をプローブ・チップ・アーム７２、７４に設け、導電路７８、８０により接続する。抵抗要素９１及び容量要素９３が補償付きＲＣ減衰回路の一部を構成してもよい。抵抗要素９１及び容量要素９３は、ディスクリート・コンポーネントの形式でもよいし、既知の厚膜処理を用いて印刷された素子でもよい。抵抗要素９１及び容量要素９３をプローブ・チップ・アーム７８、８０に設け、抵抗要素９０をプローブ・チップ・アームの電気接触パッド８４に半田付けしてもよい。

図３（Ｆ）は、プローブ・チップ４２、４４の更に別の実施例を示す。導電路７８、８０をインピーダンスの制御された伝送線として実現する。図３（Ｆ）において、インピーダンスが制御された伝送線は、信号導電路９５と、この信号導電路９５の少なくともいずれかの側の近傍に配置された接地路９７を有する共面ウェーブガイドとして実現する。信号路９５及び接地路９７のいずれかの近傍端部８６上に電気接触パッド８２を形成し、信号路９５の遠方端部８８に電気接触パッド８４を設ける。図３（Ｅ）を参照して説明したように、抵抗要素及び容量要素の如き受動電気要素を電気通信のプローブ・チップ・アームに設けて、信号路９５及び接地路９７が補償ＲＣ減衰回路の一部を構成してもよい。インピーダンスが制御された伝送線は、接地路が信号路の下になるマイクロストリップ伝送線として形成してもよい。

図４は、本発明の着脱自由なプローブ・チップ装置１０の組み立てた状態を示す一例である。柔軟な基板材７０をハウジング１２内に設けるが、プローブ・チップ・アーム７８、８０がハウジング１２から下方に伸びている。プローブ・チップ・アーム７８、８０の遠方の電気接触パッド８４に抵抗要素９０を半田付けして、抵抗要素ワイヤ９４がプローブ・チップ４２、４４として機能する。

図５は、本発明の着脱自在プローブ・チップ装置１０の他の実施例を示し、図６は、図５の実施例に用いるハウジングの斜視図であり、図７は、図５の着脱自在プローブ・チップ装置を組み立てたときの斜視図である。上述した実施例を同じ要素は、同じ参照符号で示す。図５の実施例において、プローブ・チップ装着部材の内面に形成された開口を、頂部１１２、底部１１４及び側面１１６を有する略矩形の凹部１１０と置き換えている。図６から判るように、２組のノッチ１１８、１２０をプローブ・チップ装着部材１４の内面５２に形成し、各ノッチは、略垂直に位置決めされた第１ノッチ１２２及び第２ノッチ１２４を有する。ノッチ１１８、１２０の各組の第１ノッチ１２２は、プローブ・チップ装着部材１４の頂面１２６及び凹部１１０の頂部１１２の間に配置される。このノッチは、内面から略環状の部分１３０に伸びるチャネル部分１２８を有する。プローブ・チップ装着部材１４の頂面から伸びるノッチの一部に、ノッチ１２２のチャネル１２８及び環状部分１３０の周辺を越えて延びるＵ字形輪郭１３２を設けることができる。第２ノッチ１２４は、凹部１１０の底面１１４からプローブ・チップ装着部材１４の下側の位置に向かって伸び、基部面１３４を形成する。第２ノッチ１２４は、略Ｕ字形状である。ボア１３６は、図７に示すように、プローブ・チップ装着部材１４内に形成され、第２ノッチ１２４からプローブ・チップ装着部材１４の正面５０に伸びる。

プローブ・チップ装着部材の凹部１１０内に、可逆圧縮可能な弾性部材５６が配置される。この可逆圧縮可能な弾性部材５６は、略矩形形状であり、プローブ・チップ装着部材１４内の凹部１１０に適合する。図５に示すように、可逆圧縮可能な弾性部材５６の露出した面は、そこに形成されたノッチ１４０を有し、これらノッチ１４０は、プローブ・チップ装着部材１４の内面５２に形成されたノッチ１２２、１２４と整列している。抵抗要素９０の各々の導電ワイヤ９４の一方は、プローブ・チップ装着部材１４の一方のボア１３６を通過する。プローブ・チップ装着部材１４の側部の内面５２にて露出した導電ワイヤ９２は、上方向に曲げられ、１対の第１ノッチ１２２のチャネル部分１２８を通って、環状部分１３０にてラッチされる。よって、これらノッチ１１８、１２０がラッチ手段を構成する。ここで、導電ワイヤ９２は、可逆圧縮可能な弾性部材５４と接触する。導電ワイヤ９２の余分な部分は、プローブ・チップ装着部材１４の頂面１２６にて切断する。ノッチ１２２、１２４は、導電ワイヤ９２の各々をプローブ・ヘッド部材３８の接触ピンに整列させる。プローブ・チップ装着部材１４内のボア１３６及びノッチ１２２、１２４の組合せは、抵抗要素９０をプローブ・チップ装置に固定する。抵抗要素９０の他の導電ワイヤ９４は、プローブ・チップ４２、４４を形成する。

本発明の着脱自在プローブ・チップ装置１０は、被測定装置の異なる構成に対して多数のプローブ・チップ４２、４４を配置できる安価な解決法を提供する。多数のアダプタ１０のプローブ・チップ４２、４４を被測定装置の種々のプローブ点に半田付けしてもよい。取り付けアーム・リブ２６のセグメント２８及び３０の間にチャネル・ボス４０が捕獲されるまで、プローブ・ヘッド部材３８又はプローブ本体内のチャネル３４に沿って取り付けアーム１６、１８をスライドさせることにより、プローブ・チップ装置１０の各々を測定プローブに順次取り付けてもよい。取り付けアーム１６、１８の傾斜した端部面２０を用いて、チャネル・ボス４０を越して取り付けアーム・リブ２６に梃子の作用をさせて、プローブ・チップ装置１０を測定プローブから分離できる。プローブ・チップ装置１０の一方のプローブ・チップ４２、４４が損傷を受けた場合、測定プローブをサービスのために送付することなく、他のプローブ・チップ装置１０と簡単に交換できる。

上述した着脱自在プローブ・チップ装置１０では、ハウジング１２内にプローブ・チップ４２、４４を固定させていた。このハウジング１２は、プローブ・チップ装置１０を測定プローブに接続する取り付けアーム１６、１８を具えている。また、ハウジング１２は、可逆圧縮可能な弾性部材５６を受けるプローブ・チップ装着部材１４も具えている。異なる形式のプローブ・チップ４２、４４をラッチ手段によりハウジング１２に固定できる。抵抗要素９０を導電路７２、７４に電気的に結合し、導電ワイヤ９４をプローブ・チップ４２、４４にできる。抵抗要素９０の導電ワイヤ９４をプローブ・チップ４２、４４にできる。

本発明の要旨を逸脱することなく、上述の実施例の細部に多くの変更ができることが当業者には理解できよう。本発明の要旨は、特許請求の範囲に記載されている。

本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例の分解斜視図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いるハウジングの斜視図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いるプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いる他のプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いる他のプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いる他のプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いる他のプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例に用いる他のプローブ・チップの平面図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第１実施例を組み立てたときの斜視図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第２実施例の分解斜視図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第２実施例に用いるハウジングの斜視図である。 本発明による着脱自在なプローブ・チップ装置の第２実施例を組み立てたときの斜視図である。

符号の説明

１０ 着脱自在プローブ・チップ装置
１２ ハウジング
１４ プローブ・チップ装着部材
１６、１８ 取り付けアーム
２６ リブ
３４ チャネル
３６ ハウジング
３８ プローブ・チップ部材
４０ ボス
４２、４４ プローブ・チップ
５６ 可逆圧縮可能な弾性部材
５８ 突出部
６０ 突出部（ラッチ手段）
６６ 凹部（ラッチ手段）
７０ 柔軟な基板材
７２、７４ プローブ・チップ・アーム
７８、８０ 導電路
８２、８４ 電気接触パッド
９０ 抵抗要素
９２、９４ 導電ワイヤ
９６ 突出部（ラッチ手段）
１００ 開口（ラッチ手段）
１１８、１２０ ノッチ（ラッチ手段）
１２４ ノッチ
１２８ チャネル部分
１３０ 環状部分
１３６ ボア

Claims (1)

1. 被測定装置に取り付ける測定プローブ用の着脱自在プローブ・チップ装置であって、
   プローブ・チップ装着部材と、該プローブ・チップ装着部材から互いに向かい合って略直角に伸びた複数の取り付けアームとを有し、該取り付けアームにより上記プローブ・チップ装着部材の内面が決まるハウジングと、
   上記プローブ・チップ装着部材の上記内面内に配置された可逆圧縮可能な弾性部材と、
   ノッチで定まる第１及び第２プローブ・チップ・アーム並びに上記第１及び第２プローブ・チップ・アームの夫々に沿って伸びる第１及び第２導電路を有し、上記可逆圧縮可能な弾性部材を覆うように配置された柔軟な基板材の上記第１及び第２導電路の一部として形成される第１及び第２プローブ・チップと、
   上記第１及び第２導電路夫々の一方の端部側の上記柔軟な基板材上に隣接して形成され、上記可逆圧縮可能な弾性部材から見て外方向に配置される電気接触パッドと、
   上記第１及び第２導電路の他方の端部側の上記第１及び第２プローブ・チップ・アーム上に形成された電気接触パッドと、
   上記第１及び第２プローブ・チップを有する上記柔軟な基板材を上記ハウジングに固定するラッチ手段と
   を具えた測定プローブ用着脱自在プローブ・チップ装置。

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