JP4573103B2 - チップオンフィルム用フィルムキャリアおよびそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Description
このときの接合強度の確認は、インナーリードとバンプとの接合部がベースフィルムに覆われ、接合強度を直接測定することが困難であるので、一般に図15(a)〜(e)に示すようにフィルムキャリア101を半導体素子114から引き剥がし、この引き剥がした状態を観察して全てのインナーリード108がバンプ115から剥れずにインナーリード108が破断している状態(図15(e)に示す状態)であれば接合強度が十分であると判断している。
更に、特許文献1の技術においては、フィルムキャリアの半導体素子搭載領域の4隅に設けたダミーパターンにより半導体素子とベースフィルムとの隙間への封止樹脂の注入における気泡発生率を50%以下に低減したといえども、依然として硬化後の封止樹脂の内部には気泡が存在し、クラックや腐食等の不具合が生じるという問題がある。
また、半導体素子とベースフィルムとの隙間への封止樹脂の注入における気泡の巻き込みを防止する手段を提供することを目的とする。
また、半導体素子搭載領域のインナーリードの先端をたどる無端状の線に沿って設けた切取線によりフィルムキャリアの中央部のベースフィルムを切取って開口を設けるようにしたことによって、切取った開口から封止樹脂を注入して半導体素子の外部へ向けて封止樹脂を流出させることができ、半導体素子とベースフィルムとの隙間への封止樹脂の注入における気泡の巻き込みを防止することができるという効果が得られる。
2はフィルムキャリア1のベースフィルムであり、比較的耐熱性の高いポリイミド等の樹脂材料で製作された柔軟性に富んだ100μm以下の薄いフィルムであって、その長手方向に沿った両側の縁部には図示しない駆動装置で駆動されるスプロケットの歯に嵌合してフィルムキャリア1の送り方向の移動やその位置決めを行うために所定のピッチで穿孔された複数のスプロケットホール3が形成されている。
9はレジストであり、配線パターン4の入力端子5や出力端子6およびインナーリード8以外の部分を覆ってその部分の配線を保護する。
図1、図4、図5において、11、12は切取線であり、本実施例では図1、図4に示すようにベースフィルム2を貫通する略四角形の貫通孔を断続的に穿孔して形成されたミシン目である。
なお、切取線11、12として用いるミシン目の孔形状は上記の四角形に限らず、円や楕円、長円等どのような形状でもよく、加工後にベースフィルム2の弾性等により孔が塞がった形状であってもよい。要はベースフィルム2を貫通する切断部が断続的に形成されていれば足りる。
図6において14はLSI等の半導体素子であり、その端子に形成されたバンプ15により半導体素子搭載領域7に露出しているインナーリード8と接合される。
このようにして接合された半導体素子14のバンプ15とインナーリード8との接合強度を確認するときは、図7に示すように接合強度を測定するインナーリード8とその両側に位置するインナーリード8との間のベースフィルム2を切取線12および切取線11を用いて切取って剥がし、そこに形成された空間を利用して図8に示すようにインナーリード8にフック20を引掛け、図示しない強度測定装置によりフック20を図8において上方に引き上げ、インナーリード8とバンプ15とが破断したときの荷重を読取ってインナーリード8とバンプ15との接合強度を定量的に確認する。
なお、このような接合強度の測定は定期的(例えば1ロット毎に1個)または必要に応じて実施される。
また、上記のようにして接合された半導体素子14は、その後に封止され、封止された半導体素子14を入力端子5や出力端子6を含めてフィルムキャリア1から切り離して半導体装置を製造する。
なお、本実施例では切取線をベースフィルムを貫通するミシン目で形成するとして説明したが、以下に示すような切取線であってもよい。
図9は実施例1の切取線の他の形態を示すインナーリード先端部近傍の拡大図、図10は図9のB−B断面図である。なお図9は図3の下方から見た下面図である。
このように切取線をベースフィルムを貫通しない切込みにより形成すれば、半導体素子の接合工程後に、半導体素子とベースフィルムの間に注入される封止樹脂のベースフィルムの裏面への染み出しを防止することができる。
なお、上記実施例1と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図11は上記実施例1で説明した半導体素子14の接合工程の後に、切取線12を用いてベースフィルム2のインナーリード8の中央部側を切取って取り去り、半導体素子14を露出させた状態を示している。
このように切取線12を用いてベースフィルム2のインナーリード8の中央部側に開口を設けたフィルムキャリア1は、図12に網掛けで示す封止樹脂21による封止工程で以下のように用いる。
このときの封止樹脂21の注入は、開口の中央部付近にノズル22を移動させながら行われ、半導体素子14の腹側に注入した封止樹脂21を半導体素子14を伝うようにして半導体素子14の四方へ広げてインナーリード8とバンプ15との接合部を覆い、そこから半導体素子14の外側へはみ出させ、封止樹脂21がレジスト9に達してインナーリード8の露出部を覆ったところで注入を停止する。その後に加熱等により封止樹脂21を硬化させ、半導体素子14の封止工程を終了する。
なお、上記実施例1と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図13において、25は切取線であり、半導体素子搭載領域7のベースフィルム2に、半導体素子搭載領域7に属する閉曲線に沿って形成される。
本実施例の切取線25は、半導体素子搭載領域7のインナーリード8の中央部側の4隅に設けられた円形状の閉曲線に沿って形成されたミシン目である。
すなわち、図14に示すように上記実施例1で説明した半導体素子14の位置合せの前にポンチ等を用いて切取線25によって形成された閉曲線を打抜き、これを覗き孔として半導体素子14の一部をベースフィルム2側から視認可能にする。
なお、本実施例では切取線25を4箇所設けるとして説明したが、半導体素子14の表面パターンを直接確認できればよく、切取線25は少なくとも一箇所設ければ足りる。
2 ベースフィルム
3 スプロケットホール
4 配線パターン
5 入力端子
6 出力端子
7 半導体素子搭載領域
8、108 インナーリード
9 レジスト
11、12、25 切取線
14、114 半導体素子
15、115 バンプ
18 ボンディングステージ
19 ボンディングツール
20 フック
21 封止樹脂
22 ノズル
Claims (4)
- ベースフィルムと、該ベースフィルム上に形成された配線パターンと、該配線パターンを保護するレジストとを備え、前記配線パターンのインナーリードを前記レジストの開口により形成された半導体素子搭載領域に露出させたチップオンフィルム用フィルムキャリアにおいて、
前記半導体素子搭載領域のベースフィルムに、前記インナーリードの側面と、前記インナーリードの先端をたどる無端状の線とに沿った切取線を形成したことを特徴とするチップオンフィルム用フィルムキャリア。 - 請求項1において、
前記切取線が、前記ベースフィルムを貫通するミシン目で形成されていることを特徴とするチップオンフィルム用フィルムキャリア。 - 請求項1において、
前記切取線が、前記ベースフィルムを貫通しないミシン目状の切込みで形成されていることを特徴とするチップオンフィルム用フィルムキャリア。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のチップオンフィルム用フィルムキャリアを用いて形成したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|
JP2006147983A JP2006147983A (ja) | 2006-06-08 |
JP4573103B2 true JP4573103B2 (ja) | 2010-11-04 |
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JP (1) | JP4573103B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5325684B2 (ja) | 2009-07-15 | 2013-10-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2016058758A (ja) * | 2016-01-27 | 2016-04-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH1167845A (ja) * | 1997-08-11 | 1999-03-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | テープキャリア |
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-
2004
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JP2006147983A (ja) | 2006-06-08 |
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