JP4568090B2 - 電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 - Google Patents
電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4568090B2 JP4568090B2 JP2004331635A JP2004331635A JP4568090B2 JP 4568090 B2 JP4568090 B2 JP 4568090B2 JP 2004331635 A JP2004331635 A JP 2004331635A JP 2004331635 A JP2004331635 A JP 2004331635A JP 4568090 B2 JP4568090 B2 JP 4568090B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- auxiliary electrode
- electron
- electrode
- electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
S.Uemura,et al.,"Large Size FED with Carbon Nanotubes Emitter",SID'02,pp.1132−1135(2002) S.Kang,et al.,"Low Temperature Carbon Nanotubes for Triode−Type Field−Emitter Array",SID'03,pp.802−805(2003) M.Hirakawa,et al.,"Fabrication of a triode Structure Graphite nanofiber FED by Thermal CVD Method",IDW'02,pp.1065−1068(2002)
まず、本発明の第1の実施の形態の表示装置の構成について説明する。
まず、本発明の第2の実施の形態の表示装置の構成について説明する。ただし、本発明の第1の実施の形態の表示装置10と同様な構成については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
20、70 電子源基板
21、31 ガラス基板
22、71 補助電極
23 絶縁層
24、75 触媒層
25、72 貫通孔
25a、72a 窪み
26、73 陰極電極
27、74a GNF(電子放出手段)
28 レジスト層
30 陽極基板
32 陽極電極
33 蛍光体層
74、74b GNF
Claims (8)
- 電子を引き出す補助電極と、前記電子を加速して捕捉する陽極電極とを備えた表示装置に使用される電子放出素子において、前記補助電極と前記陽極電極との間に設けられ電子を通過させる貫通孔を有する金属膜と、前記金属膜の前記補助電極側面上の前記貫通孔の周囲又は前記貫通孔の内壁にグラファイトナノファイバ又はカーボンナノチューブによって形成された電子放出手段とを備えたことを特徴とする電子放出素子。
- 請求項1に記載の電子放出素子を複数備えたことを特徴とする陰極。
- 請求項2に記載の陰極と、前記陰極から電子を引き出す補助電極とを備え、前記補助電極は、前記陰極から所定の間隔をおいて対向配置されたことを特徴とする電子源基板。
- 請求項3に記載の電子源基板と、前記電子源基板から放出された電子を加速して捕捉する陽極電極とを備え、前記陽極電極は、前記陰極に対して前記補助電極が設けられた側とは異なる側に前記陰極から所定の間隔をおいて対向配置されたことを特徴とする表示装置。
- 電子を引き出す補助電極と、前記電子を加速して捕捉する陽極電極とを備えた表示装置に使用される電子放出素子の製造方法において、基板の前記陽極電極側の面上に、前記補助電極、絶縁層、触媒層及び金属膜を順次形成するステップと、前記金属膜及び前記触媒層を貫通させる貫通孔を形成して前記絶縁層を露出させるステップと、露出させた前記絶縁層を除去して前記補助電極を露出させるとともに前記触媒層の前記補助電極側の前記貫通孔の周囲を露出させるステップと、露出させた前記補助電極側の前記貫通孔の周囲又は前記貫通孔の内壁にグラファイトナノファイバ又はカーボンナノチューブの電子放出手段を形成するステップとを含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
- 請求項5に記載の電子放出素子を製造するステップと、前記電子放出素子を複数配置するステップとを含むことを特徴とする陰極の製造方法。
- 請求項6に記載の陰極を製造するステップと、前記陰極から電子を引き出す補助電極を前記陰極から所定の間隔をおいて対向配置するステップとを含むことを特徴とする電子源基板の製造方法。
- 請求項7に記載の電子源基板を製造するステップと、前記電子源基板から放出された電子を加速して捕捉する陽極電極を前記陰極に対して前記補助電極が設けられた側とは異なる側に前記陰極から所定の間隔をおいて対向配置するステップとを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004331635A JP4568090B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | 電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004331635A JP4568090B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | 電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006147162A JP2006147162A (ja) | 2006-06-08 |
JP4568090B2 true JP4568090B2 (ja) | 2010-10-27 |
Family
ID=36626617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004331635A Expired - Fee Related JP4568090B2 (ja) | 2004-11-16 | 2004-11-16 | 電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4568090B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4875432B2 (ja) * | 2006-08-01 | 2012-02-15 | 日本放送協会 | 冷陰極素子の製造方法及びこれを用いた冷陰極素子 |
JP2009099384A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Hitachi Ltd | 画像表示装置 |
CN101894725B (zh) * | 2010-07-09 | 2011-12-14 | 清华大学 | 离子源 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000331596A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Sony Corp | 冷陰極電界電子放出素子及び冷陰極電界電子放出表示装置 |
JP2002170483A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-06-14 | Canon Inc | 電子放出装置、電子源、画像形成装置及び電子放出素子 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3499640B2 (ja) * | 1995-03-24 | 2004-02-23 | 株式会社東芝 | 電界電子放出素子 |
-
2004
- 2004-11-16 JP JP2004331635A patent/JP4568090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000331596A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Sony Corp | 冷陰極電界電子放出素子及び冷陰極電界電子放出表示装置 |
JP2002170483A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-06-14 | Canon Inc | 電子放出装置、電子源、画像形成装置及び電子放出素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006147162A (ja) | 2006-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4880568B2 (ja) | 表面伝導型電子放出素子及び該電子放出素子を利用する電子源 | |
JP2006049287A (ja) | 電子放出素子とその製造方法 | |
JP2009289762A (ja) | 電子線装置及びこれを用いた画像表示装置、電子放出素子 | |
JP2006049290A (ja) | 電子放出素子及びその製造方法 | |
JP2009272097A (ja) | 電子源及び画像表示装置 | |
JP4568090B2 (ja) | 電子放出素子、陰極、電子源基板及び表示装置並びにそれらの製造方法 | |
JPH07122179A (ja) | 電界放出カソード及び電界放出カソードの製造方法 | |
US7112920B2 (en) | Field emission source with plural emitters in an opening | |
JP2003203554A (ja) | 電子放出素子 | |
JP2009199939A (ja) | 電子放出装置及び電子放出装置の製造方法 | |
JP2003059392A (ja) | 冷陰極電子源及びその製造方法 | |
JP4206480B2 (ja) | 電界放出型電子源 | |
JP4831009B2 (ja) | 集束型電界放出カソードと電界放出型表示装置 | |
JP2002056770A (ja) | 電界放出カソード及びその製造方法 | |
KR100278502B1 (ko) | 더블 게이트를 갖는 화산형 금속 fea 제조방법 | |
JP2006156098A (ja) | 陰極基板、電子源基板及び表示装置 | |
US20100264808A1 (en) | Electron beam device | |
US20100259155A1 (en) | Electron beam apparatus and image displaying apparatus | |
JP2007172925A (ja) | 電子放出素子、およびこれを用いた電界放出型ディスプレイ | |
KR101010987B1 (ko) | 전자선장치 및 이것을 사용한 화상표시장치 | |
JP2003092056A (ja) | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置 | |
JP2002093308A (ja) | 電子放出素子、電子源、画像形成装置、及び電子放出素子の製造方法 | |
KR100434533B1 (ko) | 필드 에미터 어레이의 제조방법 | |
KR100397616B1 (ko) | 전계효과전자방출소자의제조방법 | |
KR20040031756A (ko) | 전계 방출 디스플레이 장치 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100713 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140813 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |