JP4565875B2 - 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 - Google Patents
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Description
図5に示すように、この真空蒸着装置101においては、真空槽102内に、蒸発源103と、ホルダー104に取付けられた平面状の捕集基板105とを備えている。
図6に示すように、この真空蒸着装置201においては、真空槽202内に、2種類の蒸発源203、204と、回転するホルダー205に取付けられた平面状の捕集基板206とを備えている。
そして、これらの作業を繰り返すことにより、捕集基板206上に2種類の材料からなる積層膜を成膜する。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記捕集基板の内壁面に貼り付けられたフィルムを有するものである。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、金属又は金属化合物からなる複数の蒸着材料を用い、前記捕集基板の捕集面上に積層膜を形成する工程を有するものである。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明において、前記金属は、Al、Si、Ti、Zn、Zr、Nb、In、Ta又はこれらの混合物からなり、前記金属化合物は、Al、Si、Ti、Zn、Zr、Nb、In、Ta若しくはこれらの混合物の酸化物、窒化物又は酸窒化物からなるものである。
請求項5記載の発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置された蒸発源と、前記真空槽内において、円筒形状でその回転軸が水平になるように、かつ、前記蒸発源を取り囲むように配置された捕集基板と、当該捕集基板を前記回転軸を中心に回転させる移動機構と、前記捕集基板に当該蒸着材料を通過させるための開口部が設けられ、前記真空槽内に、前記開口部を通過する蒸着材料の蒸気流の量を検出する膜厚測定部と、前記膜厚測定部において得られた結果に基づいて当該蒸着材料の蒸発量を制御する制御機構と、を有する真空蒸着装置である。
請求項6記載の発明は、請求項5記載の発明において、前記捕集基板の内壁面に貼り付けられたフィルムを有するものである。
請求項7記載の発明は、請求項5又は6記載の発明において、前記蒸発源が、異なる蒸着材料を収容可能な複数の蒸発源を有しているものである。
請求項8記載の発明は、請求項5乃至7のいずれか1項記載の発明において、前記捕集基板に前記開口部が複数設けられるとともに、前記膜厚測定部が当該開口部に対応して複数配設されているものである。
図1は、本実施の形態の真空蒸着装置の構成を示す側面側断面図、図2及び図3は、同真空蒸着装置の正面側断面図、図4は、同真空蒸着装置の捕集基板の外観を示す図である。
本実施の形態の蒸発源6は、長尺の水冷銅ルツボ7を有している(例えば、幅50mm×長さ400mm×深さ30mm)。そして、この水冷銅ルツボ7は、捕集基板3の内部に向ってその回転軸と平行となるように水平に配置され、収容された蒸着材料8が捕集基板3の内部空間に位置するように構成されている。
このシャッター9は、蒸発源6の加熱開始から蒸気流80が安定して発生するまでの間蒸着材料8が捕集基板3に付着するのを防ぐためのもので、捕集基板3の曲面に対応する形状に湾曲形成され、捕集基板3の回転軸と同軸構造の回転機構(図示せず)により回転するように構成されている。
スリット30の幅Wが1mm未満の場合には、蒸着材料8の付着によって目詰まりするおそれがあり、10mmより大きい場合には、蒸着材料8が真空槽2の壁面に付着するおそれがあるとともに、捕集基板3の有効面積が減少するという不都合がある。
この場合、金属材料としては、Al、Si、Ti、Zn、Zr、Nb、In、Ta又はこれらの混合物からなるものがあげられる。
例えば、上述の実施の形態においては、2種類の材料からなる積層膜を成膜する場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、単層あるいは3種類以上の積層膜を形成する場合にも適用することができる。
上述した真空蒸着装置1を用い、真空槽2内に設置された2つの蒸発源6a、6bに、Si,Tiからなる蒸着材料8a、8bをそれぞれ充填した後、真空槽2内を3×10 -4 Pa以下の圧力に真空排気した。
この場合、成膜速度は、100nm/minとなるよう電子銃10の出力を設定した。
Claims (8)
- 真空中において、円筒形状に形成された捕集基板を、その回転軸が水平になるように、かつ、蒸発源の周囲を取り囲むように配置し、前記捕集基板を前記回転軸を中心に回転させつつ当該捕集面に対して蒸着を行う工程を有し、
当該蒸着の際、前記捕集基板に設けられた開口部を通過する蒸着材料の蒸気流の量を検出し、当該検出された結果に基づいて当該蒸着材料の蒸発量を制御する真空蒸着方法。 - 前記捕集基板の内壁面に貼り付けられたフィルムを有する請求項1記載の真空蒸着方法。
- 金属又は金属化合物からなる複数の蒸着材料を用い、前記捕集基板の捕集面上に積層膜を形成する工程を有する請求項1又は2のいずれか1項記載の真空蒸着方法。
- 前記金属は、Al、Si、Ti、Zn、Zr、Nb、In、Ta又はこれらの混合物からなり、前記金属化合物は、Al、Si、Ti、Zn、Zr、Nb、In、Ta若しくはこれらの混合物の酸化物、窒化物又は酸窒化物からなる請求項3記載の真空蒸着方法。
- 真空槽と、
前記真空槽内に配置された蒸発源と、
前記真空槽内において、円筒形状でその回転軸が水平になるように、かつ、前記蒸発源を取り囲むように配置された捕集基板と、
当該捕集基板を前記回転軸を中心に回転させる移動機構と、
前記捕集基板に当該蒸着材料を通過させるための開口部が設けられ、前記真空槽内に、前記開口部を通過する蒸着材料の蒸気流の量を検出する膜厚測定部と、
前記膜厚測定部において得られた結果に基づいて当該蒸着材料の蒸発量を制御する制御機構と、
を有する真空蒸着装置。 - 前記捕集基板の内壁面に貼り付けられたフィルムを有する請求項5記載の真空蒸着装置。
- 前記蒸発源が、異なる蒸着材料を収容可能な複数の蒸発源を有している請求項5又は6記載の真空蒸着装置。
- 前記捕集基板に前記開口部が複数設けられるとともに、前記膜厚測定部が当該開口部に対応して複数配設されている請求項5乃至7のいずれか1項記載の真空蒸着装置。
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