JP4558574B2 - 近接場光電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
光学顕微鏡の空間分解能は光の回折限界で決定するので、光の波長程度の分解能しか得られない。したがって、高い分解能が必要であれば、電子顕微鏡、X線顕微鏡などを使うことになるが、これらの顕微鏡は試料に与えるダメージが大きく、生物試料を観察するには適していない。
したがって、試料表面に密着して存在する近接場光を介して試料を観察すると、光の波長で見るより十分高い分解能で試料の構造を知ることができる。
近接場光顕微鏡では、試料の観察に可視領域の光を用いることができるため分光測定による試料の定性分析が可能であること、また照射光は侵襲性がなく真空が必要でないため生きた生物試料をそのまま観察することができることなどの利点がある。
しかし、この顕微鏡では、走査に時間が必要な上、S/Nを向上させるためにデータ積算が必要なため、動きのある生物試料や高速現象の観察には適さない。
実施例として示された感光材は、光反応性成分のアゾ色素を側鎖として含むウレタン・ウレア共重合体材料を厚さ1μmの薄膜に形成したもので、吸収ピークがアルゴンイオンレーザの波長488nmの付近にあり、感光後に水洗すると感光した部分が凹みとして記録される。
この開示発明では、記録は瞬時に行えるので、参照光を適当な間隔で照射すると、生物体の移動する様子を重ねて記録して観察することができるが、リアルタイムで観察することはできない。
開示されたX線顕微鏡は、試料にX線を照射するため、生物試料を生きたまま観察することは困難である。
光電変換膜は、たとえば、金薄膜とヨウ化セシウムあるいはアンチモンセシウムの2層構造体を用いて形成することができる。
図1は本発明の1実施例に係る近接場光電子顕微鏡の構成を説明する概念図である。
本実施例の近接場光電子顕微鏡は、特殊な光電変換部1と電子イメージ拡大装置2と電子線検出素子3と画像処理装置4を備える。電子線検出素子として、画像検出素子としてよく使用されるCCDカメラを利用することができる。
光電変換部1は、シリコン基板13の上に多結晶シリコンを成長させ、さらにその上に熱酸化により酸化シリコンの支持膜12を形成した後、基板側をエッチングにより除去して均一な厚さの十分な強度を有する薄い酸化シリコン支持膜12を残し、エッチングによりできた穴の中の所定の位置に金およびヨウ化セシウムを蒸着させて光電変換膜11とすることにより構成し、図示しない光電変換膜支持体に固定して使用する。
そこで、これらを比較考量した結果、光電変換膜11の厚さは、被検体の周囲に近接場光を発生させるために照射する光の波長とほぼ等しい程度とすることが好ましい。また、支持膜12の厚さは、光電変換膜11に近接場光が確実に到達するために、できるだけ薄いことが要求され、たとえば数10nm程度に形成される。
なお、光電変換膜11は、金薄膜とヨウ化セシウムの2層構造体に代えて金薄膜とアンチモンセシウムなどの2層構造体を用いることもできる。また、支持膜12として、熱酸化膜の代りに、窒化ケイ素(Si3N4)膜を形成させて利用することもできる。
なお、照射光52は可視光あるいは紫外光ないし赤外光を用いることができる。レーザ光、特にパルス光を用いたときは、強い光線が短時間に作用するので、運動中の生物体により生成される近接場光を静止画像で観察したり連続撮影したりする目的に利用することができる。
加速陽極21と光電変換膜11の間には、可変直流電源25が設けられ、加速陽極21を光電変換膜11に対して正電位にして両者の間に高電界を掛け、光電変換膜11中の電子像から電子線54を引き出す。
なお、第1電磁コイル22と第2電磁コイル23の電流を調整することにより、光電変換膜11と電子線検出素子24の間の距離に相当する焦点距離を変更せずに倍率を変更することができる。
電子像拡大装置2における電子線が存在する部分は真空容器26の内に収められる。
本装置では、近接場光を利用して画像化するので、照射する光の波長より短い空間分解能を達成することができる。また、照射光は生物体に対しても損傷を与えないので、生物を生きたまま観察することができる。画像は電子線検出素子により形成されるので、リアルタイムで観察することができる。
したがって、本実施例の近接場光電子顕微鏡によれば、生物試料を生きたまま極めて高分解能でリアルタイムの画像により観察することができる。
上記実施例では、このような照射光による影響を抑制するため、光電変換膜をできるだけ薄くして、照射光により発生する電子の量を相対的に抑えているが、照射光を光電変換膜表面で全反射させることによって照射光ノイズを抑える方法がある。
球体などの測定対象61が透明膜62を介して光電変換膜63に近接して配置されている。照射光64は光電変換膜63に対して低い角度から入射しているが、近接場光65は照射光64の角度に係わらず測定対象61の球体の周囲に球体の径と同等の厚さでまとわりつくように生成する。
このように、透明膜と光電変換膜の界面における全反射を利用すると、照射光が光電変換膜63に侵入しないため、光電変換作用に寄与する光は殆どが近接場光になり、照射光に起因するノイズの割合が小さくなって、画像の質が向上する。
11 光電変換膜
12 支持膜
13 シリコン基板
2 電子イメージ拡大装置
21 加速陽極
22 第1電磁コイル
23 第2電磁コイル
24 電子線検出素子
25 可変直流電源
26 真空容器
3 電子線検出素子(CCDカメラ)
4 画像処理装置
51 生物体試料
52 照射光
51 試料
53 近接場光
61 測定対象
62 透明膜
63 光電変換膜
64 照射光
65 近接場光
66 出射光
67 光電子
Claims (5)
- 試料を密着して配置し照射光を当てたときに該試料に発生する近接場光を電子線に変換して電子像を形成する光電変換膜、該光電変換膜で発生する電子像から電子線を引き出す陽極、電子像を拡大する対物レンズとして作用する第1電磁コイル、投射レンズとして作用する第2電磁コイル、拡大して投影された電子像を検出する電子線検出素子、および検出された電子像を画像化する画像処理装置を備える近接場光電子顕微鏡。
- 前記光電変換膜は、試料に当てる照射光の波長と同等以下の厚みを有することを特徴とする請求項1記載の近接場光電子顕微鏡。
- さらに前記光電変換膜を支持する耐真空支持膜を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の近接場光電子顕微鏡。
- 前記耐真空支持膜は四窒化三ケイ素で形成されることを特徴とする請求項3記載の近接場光電子顕微鏡。
- 試料側から電子像側に向けて順に、透明膜と前記光電変換膜とを備え、前記光電変換膜が、前記照射光のうち、前記透明膜を通過し前記光電変換膜の表面に対して全反射臨界角度より低い角度で入射する光を全反射させる、請求項1記載の近接場光顕微鏡。
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