JP4548239B2 - 基板接合方法および基板接合装置 - Google Patents
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Description
記撮像部により取得された画像に基づいて前記基板載置機構において前記第1基板と前記第2基板とを対向させた際の前記第1基板の前記第2基板に対する相対位置のずれ量を求めるずれ量取得部とをさらに備える。
2 基板載置機構
5 撮像部
6 制御部
31 チャンバ
32 第1保持部
33 第2保持部
34 仮固定解除部
35 環境調整機構
36 高周波電源
61 ずれ量取得部
91 第1基板
92 第2基板
93 仮固定治具
321 保持部移動機構
911 下面
921 上面
S11〜S18,S21〜S27 ステップ
Claims (6)
- 2つの基板の主面を接合する基板接合方法であって、
a)大気中において第1基板を第2基板に対して対向させ、前記第1基板の前記第2基板に対する相対位置を調整する工程と、
b)前記第1基板の主面上の第1接合部位を前記第2基板の主面上の第2接合部位上に重ねつつ前記第1基板を前記第2基板上に載置する工程と、
b´)前記第1基板を前記第2基板に付勢して仮固定する工程と、
c)前記第1基板および前記第2基板をチャンバ内に搬入し、前記第1基板および前記第2基板を外気から隔離する工程と、
d)前記チャンバ内を減圧または不活性ガス環境とする工程と、
e)前記チャンバ内において前記第1基板を前記第2基板から離れる方向に相対的に移動する工程と、
f)前記第1接合部位および前記第2接合部位の少なくともいずれか一方にエネルギー波を照射する工程と、
g)前記第1基板を前記第2基板に相対的に近づけて前記第1接合部位と前記第2接合部位とを接触させて前記第1基板と前記第2基板とを接合する工程と、
を備え、
前記d)工程と前記e)工程との間に、または、前記e)工程と並行して、前記第1基板の前記第2基板に対する仮固定を解除する工程と、をさらに備えることを特徴とする基板接合方法。 - 請求項1に記載の基板接合方法であって、
前記a)工程において、前記第1基板の前記第2基板に対する相対位置のずれ量が、前記第1基板および前記第2基板のそれぞれに設けられたパターンを撮像することにより求められることを特徴とする基板接合方法。 - 請求項1ないし2のいずれかに記載の基板接合方法であって、
前記エネルギー波がプラズマであることを特徴とする基板接合方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の基板接合方法であって、
前記第1基板および前記第2基板の少なくともいずれか一方が半導体基板であることを特徴とする基板接合方法。 - 2つの基板の主面を接合する基板接合装置であって、
第1基板および第2基板が、前記第1基板の主面上の第1接合部位を前記第2基板の主面上の第2接合部位上に重ねつつ仮固定治具で前記第1基板を前記第2基板に付勢して仮固定した状態で、前記第1基板と前記第2基板および前記仮固定治具が共に搬入され、前記第1基板および前記第2基板を外気から隔離するチャンバと、
前記チャンバ内において前記第1基板および前記第2基板をそれぞれ保持する第1保持部および第2保持部と、
前記チャンバ内において前記第1保持部を前記第2保持部に対して相対的に離れる方向および近づく方向に移動する保持部移動機構と、
前記チャンバ内を減圧または不活性ガス環境とする環境調整機構と、
前記チャンバ内において、前記第1基板を保持する前記第1保持部および前記第2基板を保持する前記第2保持部が離間した状態で前記第1接合部位および前記第2接合部位の少なくともいずれか一方にエネルギー波を照射するエネルギー波照射機構と、
前記チャンバ内において前記仮固定治具による仮固定を解除する仮固定解除部と、
前記環境調整機構、前記保持部移動機構および前記エネルギー波照射機構を制御することにより、前記第1基板および前記第2基板が搬入された後に前記チャンバ内を減圧または不活性ガス環境とし、前記第1基板および前記第2基板を離間して前記エネルギー波照射機構を能動化し、前記第1基板を前記第2基板に相対的に近づけて前記第1接合部位と前記第2接合部位とを接触させて前記第1基板と前記第2基板とを接合する制御部と、
を備えることを特徴とする基板接合装置。 - 請求項5に記載の基板接合装置であって、
前記チャンバ外において、前記第1基板を前記第2基板に対して対向させ、前記第1基板の前記第2基板に対する相対位置を調整した上で前記第1接合部位を前記第2接合部位上に重ねつつ前記第1基板を前記第2基板上に載置する基板載置機構と、
前記チャンバ外において前記第1基板および前記第2基板のそれぞれに設けられたパターンを撮像する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像に基づいて前記基板載置機構において前記第1基板と前記第2基板とを対向させた際の前記第1基板の前記第2基板に対する相対位置のずれ量を求めるずれ量取得部と、
をさらに備えることを特徴とする基板接合装置。
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