JP4545572B2 - 可撓性基板の真空処理装置用固定治具 - Google Patents
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Description
可撓性基板として500×500mmのポリイミドフィルムを使用した。ポリイミドフィルムを載置する載置板には、アルミニウムから成る600×600mm、厚みが3mmの板状部材を使用した。載置板の表面には幅1mm、深さ0.5mmのV字状の溝を30mm間隔の格子状に設け、60mm間隔で格子の交点に載置板の上下面を貫通する直径3mmの貫通孔を設けた。ポリイミドフィルム上に載置する押え部材として、本体がアルミニウムから成り表面がポリイミドから成る枠形状の部材(外寸法600×600mm、枠幅45mm、厚み3mm)を載置した。この押え部材は枠の内部側にテーパ部を有しており、テーパ角は30゜とした。上記載置板の四隅にテフロン(登録商標)性の脚部材を設け、反応室内に設けられた下部電極上に載置した。載置板の下面と下部電極との距離は1mmとした。
評価基準
〇:ポリイミドフィルムの浮きや皺は観察されなかった。
△:ポリイミドフィルムの浮きや皺が少し発生した。
×:ポリイミドフィルムの浮きや皺が顕著に発生した。
上記実験例1の実験条件をそれぞれ次のように変更した実験を行った。
実験例2:載置板の下面と下部電極との距離を2mmとした。
実験例3:載置板の下面と下部電極との距離を3mmとした。
実験例4:載置板に孔および溝を設けなかった。
実験例5:載置板の溝を90mm間隔とし、貫通孔は設けなかった。
実験例6:載置板の溝を30mm間隔とし、貫通孔は設けなかった。
貫通孔を設けることにより、真空引き時およびリーク時にフィルムの浮きや皺が生じにくくなるという本発明の効果が実証された(実施例)。特に、載置板の下面と下部電極との距離が2〜3mmの場合には浮、皺、焼けのいずれも発生せず、良好な結果が得られた。また、可撓性基板として250×250mmのポリイミドフィルムを使用して同様の実験を行ったが、皺や変形の程度は小さくなるものの、同様の結果が得られた。
押え部材の表面の材料の違いによる処理均一性の変化を確認する実験を行った。貫通孔の直径を2mmとした以外は上記実験例1と同一の処理条件とし、押え部材の表面を、1)アルミニウムのまま、2)ポリイミド、3)シリコンとしてそれぞれ洗浄処理を行った後に、触針式表面段差計(SLOAN社製)測定器を用い、ポリイミドフィルム中央部および端部(押え部材近傍)のポリイミドフィルムのエッチングレートを測定した。
図5にエッチングレートの測定値のグラフを示す。押え部材の表面の材料をシリコンやポリイミドとすることにより、処理の均一化が改善されるという効果が見られた。
5…載置板
6…脚部材
7…押え部材
7a…テーパ
8…排気口
8a…整流板
9…可撓性基板
10…溝
11…貫通孔
Claims (9)
- 可撓性基板を載置するための載置板が、その表裏を貫通する複数の貫通孔と、前記載置板の表裏の少なくとも一方に設けられ、前記貫通孔を通り前記載置板の端部まで達する複数本の溝とを有し、前記貫通孔の直径が1〜5mmであることを特徴とする可撓性基板の真空処理装置用固定治具。
- 前記載置板が前記可撓性基板を載置する側の表面に複数本の溝を有し、該溝の底部に前記複数の貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置用固定治具。
- 前記可撓性基板の真空処理装置用固定治具が、
該可撓性基板の縁を保持するための押え部材をさらに有することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空処理装置用固定治具。 - 前記押え部材が、内側の縁にテーパを有することを特徴とする請求項3に記載の真空処理装置用固定治具。
- 前記テーパのテーパ角が30゜以下であることを特徴とする請求項4に記載の真空処理装置用固定治具。
- 前記押え部材の表面の材料が、樹脂から成ることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の真空処理装置用固定治具。
- 前記載置板の下面と、該載置板を載置する下部電極との距離が1〜3mmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の真空処理装置用固定治具。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の真空処理装置用固定治具を用いる真空処理装置であって、真空処理容器内の排気口が、固定治具を載置する下部電極の周囲に複数個設けられていることを特徴とする真空処理装置。
- 前記真空処理装置が、プラズマ真空処理装置である請求項8に記載の真空処理装置。
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