JP4529337B2 - 重量センサ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、車両の座席下に設けられ乗員の体重の検出、あるいは各種荷重の検出に使用する重量センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種の重量センサとしては、特開2000−180255公報に開示されたものが知られている。
【0003】
以下、特開2000−180255公報における従来の歪センサについて、図面を参照しながら説明する。図10は従来の重量センサ(ストレインゲージ)の構成例を示す上面図で、図11は、図10の従来の重量センサのX−X´線断面図である。センサ1は、母材であるセンサ板(バネ材)2の上に電気絶縁のための絶縁層(下絶縁層)3が形成されている。この絶縁層3の上に配線層4が選択的に形成されている。さらに、この配線層4の上に抵抗層5が選択的に形成され、ストレインゲージが構成されている。そして、それらの保護膜としての絶縁層(上絶縁層)6が形成されている。
【0004】
そして以上のような構成により、金属基板の上にガラス層等の絶縁層を形成し、その上に歪抵抗等の電気回路を積層形成し、重量センサが形成されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成では、様々な使用環境における外部の電磁界によって影響を受けやすいので、機器の回路や部品に生じるEMI(電磁界干渉)の耐力に関して十分ではないという課題を有していた。
【0006】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、EMI(電磁界干渉)の耐力を向上させて品質の安定化を図った重量センサを提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【0008】
本発明の請求項1に記載の発明は、金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続したもので、この構成によれば、前記配線のインピーダンスが低下するため、EMI(電磁界干渉)による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続したもので、この構成によれば、前記上下接続配線をスクリーン印刷により形成する際、かすれ難く、かつ断線し難くすることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1〜5に記載の発明について説明する。
【0010】
図1は本発明の実施の形態1における重量センサの上面図、図2は図1のA−A´線断面図である。
【0011】
図1,図2において、11はステンレス等からなる金属板で、金具取付孔11a,11bおよびコネクタ取付孔11cが適宜な位置に設けられている。12は第1の下部ガラス層で、前記金属板11上に設けられている。13は第2の下部ガラス層で、前記第1の下部ガラス層12上に設けられている。14は第3の下部ガラス層で、前記第2の下部ガラス層13上に設けられている。15はAg,Au等からなる導電層で、前記第3の下部ガラス層14上に設けられている。16は第1の上部ガラス層で、前記導電層15上に設けられている。17は第2の上部ガラス層で、前記第1の上部ガラス層16上に設けられている。18は第3の上部ガラス層で、前記第2の上部ガラス層17上に設けられている。つまり前記下部ガラス層(第1の下部ガラス層12、第2の下部ガラス層13および第3の下部ガラス層14)と、前記上部ガラス層(第1の上部ガラス層16、第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18)との間に、前記導電層15が設けられていることになる。19はAg,Au等からなる電極を含む配線で、前記第3の上部ガラス層18上に適宜な回路配線として設けられている。ここで前記配線19の下の4箇所で、前記第1の上部ガラス層16、第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18がそれぞれ設けられていない部分16b,17bおよび18bを有し、そして前記上部ガラス層が設けられていない部分16b,17bおよび18bで、前記配線19と前記導電層15が接続されている。19bは前記配線19と同時に形成される上下接続配線で、この上下接続配線19bは、後述する図8に示すように、前記第3の上部ガラス層18上から前記第2の上部ガラス層17、第1の上部ガラス層16、第3の下部ガラス層14、第2の下部ガラス層13、第1の下部ガラス層12を経て前記金属板11上まで階段状に設けられている部分25上に配設されている。20は感歪抵抗体で、前記配線19間に設けられている。21は第1の保護ガラス層で、略電極を除く前記配線19,上下接続配線19bおよび感歪抵抗体20を覆うように前記上部ガラス層18上に形成されている。22は第2の保護ガラス層で、前記第1の保護ガラス層21上に形成されている。23はコンデンサ、24は抵抗で、この抵抗24と前記コンデンサ23はそれぞれ前記配線19および上下接続配線19bに接続されている。12a,13a,14a,15a,16a,17a,18a,19a,20a,21aは金属板11上の四隅の8箇所に順次設けられた印刷目印、22aは金属板11上の2箇所に設けられた位置目印である。
【0012】
以上のように構成された本発明の実施の形態1における重量センサについて、次にその製造方法を図3〜図7を参照しながら説明する。
【0013】
図3は同重量センサにおける金属板11上に第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14を順次積層形成した状態を示す上面図、図4は同重量センサにおける第3の下部ガラス層14上に導電層15を形成した状態を示す上面図、図5は同重量センサにおける導電層15上に第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17,第3の上部ガラス層18を順次積層形成した状態を示す上面図、図6は同重量センサにおける第3の上部ガラス層18上に配線19および上下接続配線19bを形成した状態を示す上面図、図7は同重量センサにおける感歪抵抗体20を形成した状態を示す上面図である。
【0014】
図3〜図7において、11は金属板であり、本発明の実施の形態1においては耐熱性ステンレス基板(厚み3mm)を用いた。まず、図3に示すように、前記金属板11の上に、マザーガラスにCrを加えたガラスペーストを、所定パターンで印刷,乾燥,850℃で焼成し、厚み約20μmの緑色の第1の下部ガラス層12を形成した。次に、この第1の下部ガラス層12の上に、マザーガラスにCoを加えたガラスペーストを同様に印刷,乾燥,850℃で焼成し、厚み約20μmの青色の第2の下部ガラス層13を形成した。次に、第2の下部ガラス層13の上に再度,Crを加えたガラスペーストを印刷,乾燥,焼成し、第3の下部ガラス層14を形成した。なお各ガラスペーストは、200メッシュのスクリーン版を用いてスクリーン印刷した。ここで印刷されたガラスペーストパターンにメッシュ跡が残らないように、約10分のレベリング時間後、150℃の乾燥機中で20分乾燥させた。これは、着色用の元素によって、ガラス内でより少量で効果的に発色させるために、5μm以下の微細なものを加えたためである。元素を10μm以上の大きな状態でガラスペーストに添加してしまうと、焼成後にピンホールや元素の偏析原因になることがある。そのため、本発明において、ガラス成分(着色用,マザーとも)は、全て5μm以下の粉体(もしくは有機金属等の樹脂状)にすることが望ましい。しかし、こうした微細なガラス粉を用いたガラスペーストは印刷後にスクリーンメッシュが残り易い。そのため、本発明の実施の形態1で説明するガラスペーストは、印刷後に少なくとも1分以上のレベリング時間とすることが望ましい。上記のようにして、3層の下部ガラス層12,13,14を形成し、次に、図4に示すように、前記第3の下部ガラス層14の上に、AgまたはAuからなる導電層15を、所定パターンで印刷,乾燥,焼成して形成した。次に図5に示すように、この導電層15の上に、マザーガラスにCrを加えたガラスペーストを、所定パターンで印刷,乾燥,850℃で焼成し、厚み約20μmの緑色の第1の上部ガラス層16を形成した。次に、前記第1の上部ガラス層16の上に、マザーガラスにCoを加えたガラスペーストを同様に印刷,乾燥,850℃で焼成し、厚み約20μmの青色の第2の上部ガラス層17を形成した。次に、前記第2の上部ガラス層17の上に再度,Crを加えたガラスペーストを印刷,乾燥,焼成し、第3の上部ガラス層18を形成した。次に、図6に示すように、前記第3の上部ガラス層18の上に配線19および上下接続配線19bを形成し、次に、図7に示すように、感歪抵抗体20,第1の保護ガラス層21(図示せず),第2の保護ガラス層22(図示せず)を形成し、前述した図1,図2に示すような重量センサを完成させた。このようにガラスペーストやガラス層に着色させることにより、安定した製造が可能になった。
【0015】
また比較のために、これらのCrやCo等の元素を加えることなく、市販のホウケイ酸鉛ガラス(B23−SiO2−PbO)だけを用いて、ステンレス基板上にガラス層を3層形成した。しかし、この場合、ペーストや出来上がったガラス層が無色(もしくは無色に近い白色)であったため、印刷パターンの判別やガラス層が見分け難く、工程作業性に課題が残り、期待した歩留りや信頼性(耐アルカリ等の)は得られなかった。このため、本発明の実施の形態1に示すように重量センサとして用いるにはホウケイ酸鉛ガラス(B23−SiO2−PbO)を基にする場合、少なくともZrO2,Al23,MgO,CaO等を加えることが必要であった。また、このマザーガラスに添加する成分としてのNa2O,K2O,TiO2,Cr23,Fe23,Co23,NiO,ZnO,BaO,PbOは、単一成分だけでも、ガラス層の個別分析等は可能であったが、実際の重量センサとしての特性を満足させるためには、2成分以上の組合せが必要であった。また2成分以上を組合せることにより、複数層のガラス間のマッチングが容易になるため、製品の特性を改良・改善することができる。
【0016】
なお、前記以外の成分を含有する複数のガラス層で構成されていてもよい。
【0017】
以上のようにして構成された本発明の実施の形態1における重量センサについて、次にその動作を説明する。
【0018】
平板状の金属板11の金具取付孔11a,11bにそれぞれ外力を受けるための取付部材(図示せず)を取付け、前記金具取付孔11a側の取付部材を固定側とし、金具取付孔11b側の取付部材に外力が作用すると、この外力により、前記金属板11が変形し、その表面に歪が発生する。この場合、前記金属板11の変形量に比例して感歪抵抗体20にも歪が発生する。この感歪抵抗体20に歪が発生すると、この感歪抵抗体20の抵抗値が変化するため、この抵抗値の変化を外部のコンピュータ(図示せず)に出力し、前記金属板11に加わる荷重を測定するものである。
【0019】
以上のように本発明の実施の形態1における重量センサは、金属板11上に形成された第1の下部ガラス層12と、前記第1の下部ガラス層12上に形成された第2の下部ガラス層13と、前記第2の下部ガラス層13上に形成された第3の下部ガラス層14と、前記第3の下部ガラス層14上に形成された導電層15と、前記導電層15上に形成された第1の上部ガラス層16と、前記第1の上部ガラス層16上に形成された第2の上部ガラス層17と、前記第2の上部ガラス層17上に形成された第3の上部ガラス層18と、前記第3の上部ガラス層18上に形成された電極を含む配線19および感歪抵抗体20とを備え、前記配線19の下の4箇所で、前記第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18がそれぞれ設けられていない部分16b,17bおよび18bを設け、かつ前記第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18がそれぞれ設けられていない部分16b,17bおよび18bで、前記配線19と前記導電層15を接続した構成としているため、前記配線19の長さは短くなり、これにより、インピーダンスが低下することになるため、EMI(電磁界干渉)による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【0020】
(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2に記載の発明について説明する。
【0021】
図8は本発明の実施の形態2における重量センサの要部断面図を示したもので、図1のB−B´線断面図である。
【0022】
図8に示すように、本発明の実施の形態2における重量センサは、第3の上部ガラス層18上に形成された配線19上に、コンデンサ23(図示せず)および抵抗24が自動実装により配設され、そして前記コンデンサ23(図示せず)および抵抗24の一端側と前記配線19の電極とを接続するとともに、前記コンデンサ23(図示せず)および抵抗24の他端側と金属板11とをそれぞれはんだ26により接続したものである。
【0023】
以上のように本発明の実施の形態2における重量センサは、本発明の実施の形態1で説明したように、第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18が形成されていない部分16b,17bおよび18bで、前記配線19と前記導電層15が接続されていることにより、前記コンデンサ23(図示せず)および抵抗24が前記導電層15と前記金属板11との間に接続されることになるため、ESD(静電気放電)の耐力を向上させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【0024】
(実施の形態3)
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明について説明する。本発明の実施の形態3における重量センサは、図8に示すように構成しているもので、すなわち、第1の下部ガラス層12上に第2の下部ガラス層13を、一部が小さく階段状になるように設ける。次に、前記第2の下部ガラス層13上に第3の下部ガラス層14を、同じ部分の一部がさらに小さく階段状になるように設ける。次に、前記第2の下部ガラス層13上に第3の下部ガラス層14を、同じ部分の一部がさらに小さく階段状になるように設ける。そして上記と同様に第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17,第3の上部ガラス層18も階段状になるように設ける。以上のように第1の下部ガラス層12上に順次積層された第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18は一部が階段状になるように設けられ、そしてこの階段状に設けられている部分25上に前記第3の上部ガラス層18から金属板11まで上下接続配線19bを設け、かつコンデンサ23(図示せず)および抵抗24の他端側と前記金属板11とを前記上下接続配線19bで接続したものである。
【0025】
以上のように本発明の実施の形態3における重量センサは、前記第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18の一部が階段状に設けられている部分25上に、上下接続配線19bを設け、かつコンデンサ23(図示せず)および抵抗24の他端側と金属板11とを前記上下接続配線19bで接続しているため、前記上下接続配線19bをスクリーン印刷により形成する際、印刷の段差変化を緩やかにすることができ、これにより、かすれ難く、かつ断線し難くすることができるため、安定した品質の重量センサを提供することができるという作用効果を有するものである。
【0026】
(実施の形態4)
以下、実施の形態4を用いて、本発明の特に請求項4に記載の発明について説明する。
【0027】
図9は本発明の実施の形態4における重量センサの金属板上の印刷目印および位置目印を示す部分拡大図である。
【0028】
図9に示すように、本発明の実施の形態4における重量センサは、図8に示した第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,導電層15,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17,第3の上部ガラス層18,配線19,感歪抵抗体20(図示せず)および第1の保護ガラス層21が、それぞれ積層して設けられる際、同時に、前記第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,導電層15,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17,第3の上部ガラス層18,配線19,感歪抵抗体20(図示せず)および第1の保護ガラス層21から分離された印刷目印12a,13a,14a,15a,16a,17a,18a,19a,20aおよび21aを、それぞれ前記金属板11上の四隅の8箇所に順次設けるようにしたものである。
【0029】
以上のように本発明の実施の形態4における重量センサは、第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,導電層15,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18がそれぞれ設けられる際、同時に、前記第1の下部ガラス層12,第2の下部ガラス層13,第3の下部ガラス層14,導電層15,第1の上部ガラス層16,第2の上部ガラス層17および第3の上部ガラス層18から分離された印刷目印12a,13a,14a,15a,16a,17aおよび18aを、それぞれ前記金属板11上に順次設けるようにしているため、何層のガラス層および導電層が形成完了している状態であるか肉眼での判別が容易となり、これにより、工程管理上のコストを低減させることができ、また、ガラス層および導電層をスクリーン印刷する際、位置決めの目印に使用することができるため、安定した品質の重量センサを安価に提供することができるという作用効果を有するものである。
【0030】
なお、前記配線19,感歪抵抗体20および第1の保護ガラス層21が、それぞれ設けられる際、同時に、前記配線19,感歪抵抗体20および第1の保護ガラス層21から分離された印刷目印19a,20aおよび21aを設けるようにしてもよい。
【0031】
(実施の形態5)
以下、実施の形態5を用いて、本発明の特に請求項5に記載の発明について説明する。
【0032】
図8に示すように、第3の上部ガラス層18上に配線19が設けられた後、感歪抵抗体20(図示せず)が設けられ、次に、略電極を除く前記配線19,上下接続配線19bおよび感歪抵抗体20(図示せず)を覆うように前記第3の上部ガラス層18上に、第1の保護ガラス層21が設けられ、その後、前記第1の保護ガラス層21上に第2の保護ガラス層22が設けられるが、本発明の実施の形態5における重量センサは、図9に示すように、前記第2の保護ガラス層22が設けられる際、同時に、前記第2の保護ガラス層22から分離された位置目印22aを前記金属板11上の2箇所に設けるようにしたものである。
【0033】
以上のように本発明の実施の形態5における重量センサは、第3の上部ガラス層18上に設けられた配線19および感歪抵抗体20(図示せず)と、略電極を除く前記配線19および感歪抵抗体20(図示せず)を覆うように前記第3の上部ガラス層18上に設けられた第1の保護ガラス層21と、前記第1の保護ガラス層21上に設けられた第2の保護ガラス層22とを備え、前記第2の保護ガラス層22が設けられる際、同時に、前記第2の保護ガラス層22から分離された位置目印22aを前記金属板11上に設けるようにしているため、コンデンサ23(図示せず),抵抗24等の回路部品を自動実装する場合、前記位置目印22aを、位置を認識する際の目印に使用することができ、これにより、製造工程や管理工程を低コスト化できると共に、安定した品質の重量センサを安価に提供することができるという作用効果を有するものである。
【0034】
【発明の効果】
以上のように本発明の重量センサは、金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続したもので、この構成によれば、前記配線のインピーダンスが低下するため、EMI(電磁界干渉)による電圧の変動を低減させることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続したもので、この構成によれば、前記上下接続配線をスクリーン印刷により形成する際、かすれ難く、かつ断線し難くすることができ、安定した品質の重量センサを提供することができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1における重量センサの上面図
【図2】 図1のA−A´線断面図
【図3】 同要部である金属板上に第1,第2,第3の下部ガラス層を形成した状態を示す上面図
【図4】 同要部である第3の下部ガラス層上に導電層を形成した状態を示す上面図
【図5】 同要部である導電層上に第1,第2,第3の上部ガラス層を形成した状態を示す上面図
【図6】 同要部である第3の上部ガラス層上に配線および上下接続配線を形成した状態を示す上面図
【図7】 同要部である感歪抵抗体を形成した状態を示す上面図
【図8】 本発明の実施の形態2〜5における重量センサの要部を示す図1のB−B´線断面図
【図9】 本発明の実施の形態4,5における重量センサの金属板上の印刷目印および位置目印を示す部分拡大図
【図10】 従来の重量センサの上面図
【図11】 図10のX−X´線断面図
【符号の説明】
11 金属板
12 第1の下部ガラス層
12a 印刷目印
13 第2の下部ガラス層
13a 印刷目印
14 第3の下部ガラス層
14a 印刷目印
15 導電層
15a 印刷目印
16 第1の上部ガラス層
16a 印刷目印
16b 第1の上部ガラス層が設けられていない部分
17 第2の上部ガラス層
17a 印刷目印
17b 第2の上部ガラス層が設けられていない部分
18 第3の上部ガラス層
18a 印刷目印
18b 第3の上部ガラス層が設けられていない部分
19 配線
19b 上下接続配線
20 感歪抵抗体
21 第1の保護ガラス層
22 第2の保護ガラス層
22a 位置目印
23 コンデンサ
24 抵抗
25 階段状に設けられている部分

Claims (1)

  1. 金属板上に積層するように設けられた下部ガラス層と、前記下部ガラス層上に設けられた導電層と、前記導電層上に積層するように設けられた上部ガラス層と、前記上部ガラス層上に設けられた電極を含む配線および感歪抵抗体と、略電極を除く配線および感歪抵抗体を覆うように上部ガラス層上に設けられた保護ガラス層と、前記保護ガラス層上に配設されるとともに前記配線と一端側で接続されるコンデンサおよび抵抗とを備え、前記配線の下の少なくとも一箇所に、前記上部ガラス層が設けられていない部分を設け、かつ前記上部ガラス層が設けられていない部分で、前記配線と前記導電層を接続するとともに、積層された下部ガラス層および上部ガラス層の一部に階段状に設けられている部分を設け、かつ前記階段状に設けられている部分に上下接続配線を設け、さらにコンデンサおよび抵抗の他端側と金属板とを前記上下接続配線で接続した重量センサ。
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JP2005172496A (ja) * 2003-12-09 2005-06-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 荷重センサ及びその製造方法
JP4677769B2 (ja) 2004-11-19 2011-04-27 アイシン精機株式会社 シート上荷重検出装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02140868U (ja) * 1989-04-28 1990-11-26
JPH036859U (ja) * 1989-02-21 1991-01-23
JP2000292283A (ja) * 1999-04-13 2000-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪検出装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH036859U (ja) * 1989-02-21 1991-01-23
JPH02140868U (ja) * 1989-04-28 1990-11-26
JP2000292283A (ja) * 1999-04-13 2000-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪検出装置

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