JP4526011B2 - 駆動装置 - Google Patents

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本発明は、駆動装置に属し,平面または曲面に沿う方向の反力を、移動体と駆動体の間に発生させ、両者を相対的に精密にステップ状に駆動するのに好適な駆動装置に関する。
ロータを摩擦駆動する超音波モータが知られている。このような超音波モータの一例が特許文献1に開示されている。
特開2003−244976号公報
ところで、特許文献1に記載のごとき超音波モータにおいては、ロータに対して振動体を摩擦接触させるために、摩擦により生じた摩擦粉などの処理をどうするかという問題がある。特に半導体製造装置などにおいては、たとえ生じた摩擦粉が小さなものであっても製品不良を招く恐れがある。そこで、特許文献1に記載の超音波モータにおいては、摩擦粉を捕獲する付着部材を設けることで、その飛散を抑制するようにしている。また、ロータに対して振動体から、摩擦力によって力を伝える必要があるため潤滑によって摩耗の低減を図ることもできない。
ところが、かかる付着部材により完全に摩擦粉を捕獲できるとはいいがたく、また付着部材を設けることでコストが増大するという問題もある。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、低コストながら移動部材の移動を確保し、摩擦粉の発生を抑制できる駆動装置を提供することを目的とする。
第1の本発明の駆動装置は、
複数の凸部もしくは凹部を有するパターン部材と、
前記凸部もしくは凹部の側面に駆動面を接触させて押圧することにより、前記パターン部材を駆動する駆動部と、を有し、
前記凸部もしくは凹部の側面に接触して押圧する前記駆動面の駆動方向は、接触する前に前記駆動面が前記凸部もしくは凹部に接近する方向と異なり、押圧のときは、前記凸部もしくは凹部と前記駆動面との間に滑りが発生しないように構成されており、
前記凸部もしくは凹部は第1の楔状面を有し、前記駆動面は前記第1の楔状面に対応した第2の楔状面を有し、
前記第1の楔状面は、等ピッチで配列された台形状の第1の歯によって規定されており、
前記第2の楔状面は、前記第1の歯に対向して当該第1の歯と同じ周期で形成された第2の歯によって規定されており、
前記第1の歯と前記第2の歯を各歯の配列方向に隙間が形成されないように噛み合わせて前記楔状面同士を係合させることで、前記パターン部材の移動を阻止することを特徴とする。
第2の本発明の駆動装置は、
複数の凸部もしくは凹部を有するパターン部材と、
前記凸部もしくは凹部の側面に駆動面を接触させて押圧することにより、前記パターン部材を繰り返しステップ的に駆動する駆動部と、を有し、
前記凸部もしくは凹部の側面に接触して押圧する前記駆動面から前記凸部もしくは凹部へ、摩擦力を介さずに駆動力の伝達が行われるように構成されており、
前記凸部もしくは凹部は第1の楔状面を有し、前記駆動面は前記第1の楔状面に対応した第2の楔状面を有し、
前記第1の楔状面は、等ピッチで配列された台形状の第1の歯によって規定されており、
前記第2の楔状面は、前記第1の歯に対向して当該第1の歯と同じ周期で形成された第2の歯によって規定されており、
前記第1の歯と前記第2の歯を各歯の配列方向に隙間が形成されないように噛み合わせて前記楔状面同士を係合させることで、前記パターン部材の移動を阻止することを特徴とする。
本発明の駆動装置は、複数の凸部もしくは凹部を有する移動部材と、前記凸部もしくは凹部の側面に駆動面を接触させて押圧することにより、前記移動部材を駆動する駆動部と、を有し、前記凸部もしくは凹部に接触して押圧する前記駆動面の駆動方向は、接触する前に前記駆動面が前記凸部もしくは凹部に接近する方向と異なり、滑りが発生しない形をとるか、摩擦力を必要としないために滑りが発生する形式でも潤滑剤で摩耗を低減できる形となるので、従来技術の超音波モータとは本質的に異なる。より具体的には、隣接する前記凸部もしくは凹部を避けながらそれらに駆動面を所定の方向に接近させ、前記凸部もしくは凹部に前記駆動面が接触した後には、その接触面に滑りが生じない方向(前記所定の方向とは異なる駆動方向)に押圧することで、前記凸部もしくは凹部と前記駆動面とが滑りを生じることなく、前記移動部材を移動させるので、本来的に摩擦粉が生じることがなく、ゴミの問題を解決できるため、半導体製造装置などにも適用可能である。あるいは前記凸部もしくは凹部と前記駆動面とが接触している間の摩擦力を極力下げても力の伝達に支障がないため、両面間の滑りを潤滑によって滑らかにして摩耗を低減することもでき、2次元的に移動することができる安価な平面ステージとして適用することも可能である。
また、本発明の駆動装置は、前記凸部もしくは凹部に、等ピッチで配列された台形状の第1の歯によって規定される第1の楔状面を設け、前記駆動面に、第1の歯と同じ周期で形成された第2の歯によって規定される第2の楔状面を設け、この楔状面同士を、各歯の配列方向に隙間が形成されないように噛み合わせて係合させることにより、前記パターン部材の移動を阻止する。よって、別個に移動部材のロック機構などを設ける必要がなく、便利である。
前記移動部材の凸部もしくは凹部は、周期構造になっていると、その周期でのステップ状の駆動ができるので好ましい。
前記移動部材の凸部もしくは凹部は、マトリクス状に配置されていると、前記移動部材を交差する複数の方向に任意に移動させることができるので好ましい。
複数の前記駆動面が、同時に前記凸部もしくは凹部と接触するようになっており、前記凸部もしくは凹部及び前記駆動面の少なくとも一方は、弾性体から形成されているので、同時に複数の前記駆動面が前記凸部もしくは凹部と接触する場合に、寸法精度に関わらず均一な接触を確保することができる。
前記駆動手段は、前記駆動面を備えた駆動部と、前記駆動部を独立に往復駆動する複数のアクチュエータとを備え、前記凸部もしくは凹部に対して独立にそれぞれの駆動面を接近させることができると好ましい。
前記駆動面は円運動すると好ましい。また、円筒面に沿って前記パターン部材および前記駆動部の駆動面を配置して、前記凸部もしくは凹部を前記円筒面に沿ってマトリクス状に配置し、前記パターン部材を、前記円筒面の中心軸まわりもしくは当該中心軸に沿った方向に駆動することができる。あるいは、球面に沿って前記パターン部材および前記駆動部の駆動面を配置して、前記凸部もしくは凹部を前記球面に沿ってマトリクス状に配置し、前記パターン部材を、前記球面の球心回りの方向に駆動することができる。
前記移動部材の移動量を測定する測定手段を有すると、前記移動部材の移動量を高精度に制御するのに好都合である。
図1は、本発明の実施の形態にかかる駆動装置の概略構成図である。図1において、剛体であるフレームFに対向して、移動部材10が図で左右方向に移動可能に配置されている。移動部材10は、フレームFに対向する面に、断面が同じ矩形形状の歯11を、複数個等ピッチで配置している。すなわち、移動部材10は、フレームFに対向する面が周期的なパターン形状を有している。歯11が凸部を構成する。
フレームFと移動部材10との間には、駆動ユニット20が配置されている。駆動ユニット20は、フレームFに取り付けられた圧電素子のごとき伸縮自在な第1アクチュエータ21と、第1アクチュエータ21に取り付けられた圧電素子のごとき伸縮自在な第2アクチュエータ22と、第2アクチュエータ22に取り付けられた駆動部23とからなる。駆動部23は、移動部材10の歯11に対向して、同じ周期のパターン形状である歯23aを、ここでは3つ有している。歯23aの側面が駆動面を構成する。
各アクチュエータ21,22は、不図示の制御装置により独立して駆動制御され、それぞれ水平方向、垂直方向に伸縮自在となっている。又、不図示の制御装置は、移動部材10の表面に形成されたセンサパターンを読み取る測定手段であるセンサ31からの信号に基づき、移動部材10の移動量を検出できるようになっている。ここで、センサパターンとしては、センサ用に特別に校正したパターンを形成してもよく、あるいは従動面として刻んだ立体パターンをそのまま利用しても良い。
次に、本実施の形態の動作について説明する。まず、図1(a)に示すように、アクチュエータ21、22は伸びた状態(初期状態)にあるものとする。ここで、不図示のスイッチがオン操作されたことにより、制御装置は、第2アクチュエータ22を駆動することで(図で上方に)収縮させ、駆動部23を移動部材10の歯11から遠ざける(図1(b)参照)。その後、制御装置は、第1アクチュエータ21を駆動することで(図で右方に)収縮させ(図1(c)参照)、歯23aを隣接する歯11のピッチだけ移動させる。その後、制御装置は、第2アクチュエータ22を駆動することで(図で下方に)伸長させると、歯23aの左側面が歯11の右側面に接触する位置にくる。
かかる状態で、制御装置が、第1のアクチュエータ21を伸長させると、歯11が歯23aから押圧されることで、移動部材10は図で左方へと移動することとなる(図1(a)参照)。これで駆動装置の1行程(1ステップ駆動)が終了する。以下、同様な行程を経ることで、移動部材10を継続的に移動させることができる。尚、移動部材10を逆方向へ移動させる場合、駆動部23の歯23aの右側面(駆動面)を、移動部材10の歯11の左側面に接触させて同様な動作を行えばよい。
移動部材10が目標位置に到達したことを、センサ31の信号により認識した制御装置は、静止位置に対して第1アクチュエータ21の伸縮量を調整することで、移動部材10を適切な位置に制止させることができる。
本実施の形態によれば、歯23aが歯11に接近するときの方向(上下方向)と、接触した後の駆動方向と(左右方向)とが異なるため、隣接する歯11に干渉することなく、歯23aを駆動対象の歯11に接近させることができ、且つ駆動時には歯23aが歯11に接触するだけで滑りを生じさせないので、摩擦粉が発生するおそれがなく、クリーンルームなど清浄な環境下で用いることが可能である。尚、歯23aと歯11の少なくとも一方を樹脂などの弾性体から形成すれば、同時に複数の歯を接触させる場合にも歯当たりが均一化されるので、重量物の駆動も容易となる。
図2は、本実施の形態の変形例を示す図である。本変形例は、図1の実施の形態に対して、駆動部23’の歯23a’の形状及び移動部材10’の歯11’の形状のみが異なっているので、それ以外の説明は省略する。より具体的には、移動部材10’は、ラック歯のごとき断面が同じ台形状の歯11’を、複数個等ピッチで配置している。駆動部23’は、移動部材10’の歯11’に対向して、同じ周期の3次元パターン形状である歯23a’を、ここでは3つ有している。歯23a’の斜面が駆動面を構成する。
本実施の形態の基本的動作に関しては、上述の実施の形態と同様である。但し、図2から明らかなように、凸部である歯11’は(第1の)楔状面を有し、歯23a’は歯11’の楔状面に対応した(第2の)楔状面を有している。従って、図2に示すように、第2アクチュエータ22を伸長させて移動部材10’に駆動部23’を押しつけた状態では、楔状面同士が係合しあうことで、移動部材10’が左右いずれの方向にも移動できなくなり、別個に移動部材のロック機構などを設ける必要がないため便利である。
図3は、別な実施の形態にかかる駆動装置の概略斜視図である。図3において、平板状の移動部材110は、その上面に切頭四角錐状の歯(凸部であり、断面は図2の歯形状に類似)111をマトリクス状に等ピッチで配置している。一方、板状の駆動部123は、移動部材110の歯111に対向して、同じ周期の3次元パターン形状である歯123aを、ここでは3×3の9個有している。歯123aの斜面が駆動面を構成する。図3では省略しているが、X方向とY方向に駆動できるよう、上述の実施の形態の第1,第2アクチュエータを1セットずつ配置している。
本実施の形態の特徴は、X方向に設けられた第1,第2アクチュエータにより、移動部材110をX方向に移動させることができ、且つY方向に設けられた第1,第2アクチュエータにより、移動部材110をY方向に移動させることができ、すなわち移動部材110の2次元移動が実現できることにある。尚、駆動部123を移動部材110に押しつけることで、ロック機能も実現できる。
従来の回転モータのロータとステータを円から展開して平面に配置したことでリニヤーモータが成立することは周知の事実であるが、本発明の駆動装置を適用して、凸部、駆動面の両方を円筒面に配置すれば回転モータが成立することはもちろんである。さらに本モータでは2次元駆動が可能なので、円筒の中心軸回りと、軸に沿う方向の2次元に移動するモータも成立する。さらに、従動面と駆動面を球面に配置すれば、球の中心回りに回転するモータが成立する。
さらに、凸部をベルトのような柔軟物体に配置すれば、ベルトをダイレクトに駆動するモータも成立する。従動面を持つ柔軟な棒の先に物を取り付け、曲がったパイプの中に物を送り込むことも可能になる。
たとえば、ワーク(すなわち移動部材)に3次元パターンやセンサパターンを形成すれば、ワークをステージに搭載することなく、任意の高精度移動が達成できる。かかる場合、ワークに対して滑りが生じないので、ゴミなどの問題を回避でき、ワークの微細加工を行う場合に好適である。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、移動部材には凸部でなく凹部を設けることもできる。図3に示す例では、移動部材の表面には切頭四角錐状の歯を形成しているが、その代わりに駆動部の歯と同様な形状もしくは円錐形状の凹部を形成してもよい。
本発明の実施の形態にかかる駆動装置の概略構成図である。 変形例にかかる駆動装置の概略構成図である。 別な実施の形態にかかる駆動装置の概略斜視図である。
符号の説明
10、10’、110 移動部材
11、11’、111 歯
20 駆動ユニット
23、23’、123 駆動部
31 センサ

Claims (7)

  1. 複数の凸部もしくは凹部を有するパターン部材と、
    前記凸部もしくは凹部の側面に駆動面を接触させて押圧することにより、前記パターン部材を駆動する駆動部と、を有し、
    前記凸部もしくは凹部の側面に接触して押圧する前記駆動面の駆動方向は、接触する前に前記駆動面が前記凸部もしくは凹部に接近する方向と異なり、押圧のときは、前記凸部もしくは凹部と前記駆動面との間に滑りが発生しないように構成されており、
    前記凸部もしくは凹部は第1の楔状面を有し、前記駆動面は前記第1の楔状面に対応した第2の楔状面を有し、
    前記第1の楔状面は、等ピッチで配列された台形状の第1の歯によって規定されており、
    前記第2の楔状面は、前記第1の歯に対向して当該第1の歯と同じ周期で形成された第2の歯によって規定されており、
    前記第1の歯と前記第2の歯を各歯の配列方向に隙間が形成されないように噛み合わせて前記楔状面同士を係合させることで、前記パターン部材の移動を阻止することを特徴とする駆動装置。
  2. 複数の凸部もしくは凹部を有するパターン部材と、
    前記凸部もしくは凹部の側面に駆動面を接触させて押圧することにより、前記パターン部材を繰り返しステップ的に駆動する駆動部と、を有し、
    前記凸部もしくは凹部の側面に接触して押圧する前記駆動面から前記凸部もしくは凹部へ、摩擦力を介さずに駆動力の伝達が行われるように構成されており、
    前記凸部もしくは凹部は第1の楔状面を有し、前記駆動面は前記第1の楔状面に対応した第2の楔状面を有し、
    前記第1の楔状面は、等ピッチで配列された台形状の第1の歯によって規定されており、
    前記第2の楔状面は、前記第1の歯に対向して当該第1の歯と同じ周期で形成された第2の歯によって規定されており、
    前記第1の歯と前記第2の歯を各歯の配列方向に隙間が形成されないように噛み合わせて前記楔状面同士を係合させることで、前記パターン部材の移動を阻止することを特徴とする駆動装置。
  3. 前記パターン部材の凸部もしくは凹部は、マトリクス状に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の駆動装置。
  4. 複数の前記駆動面が、同時に前記凸部もしくは凹部と接触するようになっており、前記凸部もしくは凹部及び前記駆動面の少なくとも一方は、弾性体から形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の駆動装置。
  5. 前記駆動手段は、前記駆動面を備えた駆動部と、前記駆動部を独立に往復駆動する複数のアクチュエータとを備え、前記凸部もしくは凹部に対して独立にそれぞれの駆動面を接近させることができることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の駆動装置。
  6. 円筒面に沿って前記パターン部材および前記駆動部の駆動面が配置され、
    前記凸部もしくは凹部は、前記円筒面に沿ってマトリクス状に配置され、
    前記駆動部は、前記パターン部材を、前記円筒面の中心軸まわりもしくは当該中心軸に沿った方向に駆動することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の駆動装置。
  7. 面に沿って前記パターン部材および前記駆動部の駆動面が配置され、
    前記凸部もしくは凹部は、前記面に沿ってマトリクス状に配置され、
    前記駆動部は、前記パターン部材を、前記面の球心回りの方向に駆動することを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の駆動装置。
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