JP4522184B2 - 包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法 - Google Patents
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Description
請求項2記載の発明は、請求項1記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法であって、前記樹脂フィルムと対向する位置に、前記ターゲットを少なくとも2つ配置し、2つの前記ターゲットに互いに逆極性の交流電圧を印加する包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法である。
請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法であって、前記スパッタリングの際の前記ターゲットに投入される電力密度は3W/cm2以上60W/cm2以下にする包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法である。
また、ターゲットに投入する電力密度が60W/cm2を超えると、ターゲットに割れが発生する。このため、ターゲットに投入する電力密度は3W/cm2以上60W/cm2以下が好ましい。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法であって、前記樹脂フィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネイトフィルム、ポリエーテルスルホンフィルムのいずれかを有する包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法である。
ターゲット45a、45bがスパッタリングされるときには、ガス供給系6の反応ガスがスパッタ室4内部に供給されており、スパッタ粒子は反応ガスと反応し、反応生成物が生成される。
反応ガスの種類は特に限定されず、反応ガスとして酸素ガス、又はH2O、CO2のように酸素を含有するガスを用い、酸化ケイ素を主成分とするバリア膜を形成してもよいし、反応ガスとして窒素ガス、又はNH3のように窒素を含有するガスを用い、窒化ケイ素を主成分とするバリア膜を形成してもよい。また、反応ガスとして酸素ガスと窒素ガスの両方を一緒に用いることもできる。スパッタガスの種類も特に限定されず、Arガス、Xeガス等種々のものを用いることができる。
CrとAlとを含有するフェロシリコン材料のターゲット45a、45b(実施例)と、Siに導電性添加剤としてホウ素が添加された多結晶のホウ素ドープSiターゲット(比較例)を用い、スパッタ室4内部にスパッタガスであるArガスを供給して、内部圧力を0.4Paにし、ターゲットに電圧を印加しながら、スパッタ室4内部に反応ガスである酸素(O2)ガスを200sccmの流量で供給し、膜厚50μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルムである樹脂フィルム11の表面に酸化ケイ素を主成分とするバリア膜を成膜した。
電力密度を変えてスパッタリングを行った時のバリア膜表面の形態、及びスパッタリング後のターゲット45a、45bの表面形態を図2に記載する。
実施例と比較例のターゲットを用いて作成されたバリア膜付フィルムの酸素透過率とバリア膜(SiO2膜)の膜厚の関係を測定し、図3のグラフに記載した。
ここでは、電力密度が5W/cm2の高パワー条件と、3W/cm2の低パワー条件で測定し、それ以外の成膜条件は、上記電力密度試験と同じとした。また、酸素透過率はMOCON社製の酸素透過度測定装置を用いて測定した。
上記電力密度試験と同じ成膜条件で、実施例と比較例のターゲットを用いて、透明PETフィルム表面に膜厚1000Å(100nm)のバリア膜を形成した。これらのバリア膜付フィルムの光透過率(%)を測定した。測定された透過率と測定波長(nm)との関係を図4に示す。
以上のことから本発明により成膜されたバリア膜付フィルムは透明性が高く、光学フィルター、ディスプレイ用基板等種々の用途に適していることがわかる。
Claims (5)
- 真空雰囲気中にスパッタガスと反応ガスを導入しながらSiを主成分とするターゲットに電圧を印加してスパッタリングし、前記スパッタリングによって前記ターゲットからスパッタ粒子を放出させ、前記反応ガスと前記スパッタ粒子を構成する物質との反応生成物からなるバリア膜を、前記真空雰囲気内部に配置された樹脂フィルム上に成長させるバリア膜付樹脂フィルムの形成方法であって、
前記ターゲットを構成する材料は、CrとAlとを含有するフェロシリコンであることを特徴とする包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法。 - 前記樹脂フィルムと対向する位置に、前記ターゲットを少なくとも2つ配置し、
2つの前記ターゲットに互いに逆極性の交流電圧を印加する請求項1記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法。 - 前記スパッタリングの際の前記ターゲットに投入される電力密度は3W/cm2以上60W/cm2以下にする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法。
- 前記反応ガスに、酸素と窒素のいずれか一方又は両方を含有させる請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法。
- 前記樹脂フィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネイトフィルム、ポリエーテルスルホンフィルムのいずれかを有する請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の包装用又はディスプレイ用バリア膜付樹脂フィルムの形成方法。
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