JP4509198B2 - 樹脂封止装置および樹脂封止方法 - Google Patents
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Description
特に、近年、樹脂封止された半導体装置の大きさは、小型化、薄型化が進んでいる。例えば、樹脂封止したパッケージ207の厚さ寸法Nを1mm以下とするような要求が多く、パッケージ207の高さ寸法Nよりも不要樹脂206の高さ寸法Mが高くなり、高さ寸法Mのバラツキを無視できないという問題点がある。
本実施形態によれば、押圧部材を設けただけの簡単な構造で対応できる。また、前記通路内に供給された固形樹脂材料を前記押圧部材で押圧し、溶融させながら、前記通路から前記ポット部に順次供給できるので、スムーズな充填が可能になる。
本実施形態によれば、不要樹脂の巾狭部に作用する応力集中で前記巾狭部から分断できる。このため、基板からの不要樹脂の剥離を容易にする前処理が不要になるとともに、型開時に生じやすい基板の損傷を防止できる。
本実施形態によれば、移動時においても基板にズレが生じないので、安定した高速移動が可能になるとともに、樹脂成形時においても高い位置決め精度を確保できる。
本実施形態によれば、型開時において不要樹脂が樹脂成形品と一体に金型から抜け出ることなく、両者を確実に分断でき、安定した成形作業が可能になる。
本実施形態によれば、不要樹脂の回収も自動化でき、生産性の高い樹脂封止装置が得られるという効果がある。
本発明によれば、樹脂成形後の型開時にキャビティ内の樹脂成形品とポット部内に残存する不要樹脂とを自動的に分断できる。このため、従来、後処理工程における作業が容易になり、生産ラインにおける稼働率を高めることができる。また、後処理工程において使用する装置に逃がし等を考慮する必要がなくなり、装置設計が容易になるという効果がある。
本実施形態に係る樹脂封止装置は、図1および図2に示すように、大略、下金型セット1と、上金型セット2とからなり、更に、図9および図10に示すように、前述する第1,第2クリーニング装置110,170を備えている。
下金型セット1は、図1および図2に示すように、大略、スライドプレート3の上面に、順次、シリンダブロック4、下型フレームプレート5、及び、下型ホルダベース6を積み重ね、前記下型ホルダベース6に下型キャビティブロック7を組み付けた構成を有する。
すなわち、ベースプレート9bの上面にはスライドガイド9cが設けられ、そのスライドガイド9c上にスライドプレート3が往復移動可能に配置されている。スライドプレート3は、第1サーボモータ11を駆動することにより、プーリ11a,11a及びタイミングベルト11bを介してボールネジ12が回転する。このため、前記ボールネジ12に螺合するナット13を介して動力がスライドプレート3に伝達され、下金型セット1が往復移動する。
シリンダブロック4の上面には、図4に示すように、横断面円形の凹部4aが形成されている。凹部4aにはピストン16が昇降可能に収容されている。また、凹部4aの上方開口部はピストンカバー17で覆われ、液室18が形成されている。ピストン16は、液室18の内周面に沿って昇降する円柱形状の大径部19と、その上面中央部から突出する小径部20とで構成されている。大径部19は液室18内を上液室18aと下液室18bとに分割する。上液室18aには、凹部4aの略中央部の壁面に形成した貫通孔20aを介して液体が供給又は排出される。また、下液室18bには、凹部4aの下端部壁面に形成した貫通孔19aを介して液体が供給又は排出される。これにより、ピストン16は昇降移動可能である。ピストンカバー17は、上端に鍔部を有する円筒形状を有し、中心の貫通孔には前記ピストン16の小径部20が摺動可能に貫通している。ピストンカバー17の貫通孔の内周面のうち、その上端開口部近傍に円周溝が形成されている。そして、前記円周溝に設けられた図示しないパッキンが、上液室18aからの液体の流出を防止する。
下型フレームプレート5には、図4に示すように、上下面に連通する平面視矩形状の開口部21が形成され、そこには接続ブロック22が昇降可能に配置されている。簡略して図示されている接続ブロック22は、上下2枚の接続プレートで補助断熱プレートを挟持することによりサンドイッチ構造を有している。そして、前記接続ブロック22の下面には、複数本の連結バー25が連結されている。この連結バー25は、シリンダブロック4、支持プレート14、スライドプレート3を貫通する。複数本の連結バー25は下端部27で一体化され、前記下端部27の下面には鈎状のジョイント27aを設けてある。ジョイント27aには、図1に示すように、スライドシャフト28の上端部に設けた、鈎状のジョイント27bが側方からのみ係合する。これにより、第2サーボモータ26を駆動すると、プーリ26a,26a及びタイミングベルト26bを介してスライドシャフト28が昇降し、ジョイント27a、27bを介して接続ブロック22が昇降する。なお、前記ジョイント27a、27bは鈎状に限らず、他の構成とすることもできる。
要するに、ジョイント27a、27bの構成は、スライドプレート3を水平方向にスライド移動させた際、上型キャビティブロック46と下型キャビティブロック7とが対向する対向位置で連結され、非対向位置で両者の連結が解除されるものであればよい。
下型ホルダベース6は、図3に示すように、下型フレームプレート5の上面に、矩形の枠状となるようにネジ止め固定された4つのベースブロック31a,31b,31c,31dで構成されている。ベースブロック31a,31cの両端部には段部31eが形成され、長辺側のベースブロック31a,31cの両端部を、短辺側のベースブロック31b,31dの両端部でそれぞれ挟み込むことにより、全体の剛性が高められている。
下型キャビティブロック7は、図4に示すように、下面に下型バックプレート32を一体化された状態で、下型ホルダベース6の矩形枠内に昇降可能に配置される。下型バックプレート32の下方側には下型サポートピン33を介して連結プレート34が配設され、下型バックプレート32と連結プレート34とは下型連結ピン35によって連結されている。また、連結プレート34の下面には前記接続ブロック22が図示しないボルトにより固定されている。また、図3に示すように、下型キャビティブロック7の上面3箇所には位置決めピン36がそれぞれ突設され、基板90に形成した位置決め孔に係合することにより、基板90を位置決め可能となっている。さらに、下型キャビティブロック7の上面3箇所には下型セットブロック37がそれぞれ設けられている。下型セットブロック37は、後述する上金型セット2との位置決めに利用される。
また、図3および図4に示すように、前記ホルダベース6を構成するベースブロック31aの直上に、ランナーブロック8を配置してある。前記ランナーブロック8は帯状板状体であり、内方側の縁部に段部8aを設けてあるとともに、前記段部8aの縁部に断面略V字形状のガイド部8b(図8C)を形成してある。また、前記ランナーブロック8の長手方向の両側にガイドシャフト40の上端部を固定してある。前記ガイドシャフト40は、ベースブロック31a内に埋設した円筒状ガイド部材41を介して軸心方向に往復移動可能に収納されている。そして、前記ガイドシャフト40は、図4に示すように、その下端部に設けた鍔42でコイルスプリング43を抜け止めすることにより、前記コイルスプリング43のバネ力を介してランナーブロック8を下型キャビティブロック7側に付勢されている。さらに、前記ランナーブロック8は、両端部から起立する起立片8cの外側面に回動ローラ44を回動可能に取り付けてある。前記回動ローラ44は、後述するランナーブロック昇降装置100の断面略C字形状の口金部101に嵌合可能な断面形状を有している。
なお、前記基板90の対向する両側縁部を一対のランナーブロックでそれぞれ支持するようにしてもよい。
上型フレームプレート51は、上型断熱プレート52を介して上型クランププレート50の下面に固定されている。特に、図2に示すように、上型フレームプレート51は、上型ヒータ53および図示しない上型測温抵抗体を内蔵する。
上型チェス60は、図1,2および図5ないし8に示すように、上型キャビティブロック61と樹脂供給ブロック70とを突き合わせて一体化してある。
上型キャビティブロック61は、図8に示すように、下面縁部からゲート62(図8C)と、次いで平面視矩形状の凹所63とが連通するように形成されている。ゲート62は、サイドゲート、フィルムゲート等、種々の形態を採用することができる(ここでは、フィルムゲートを使用している。)。凹所63は、金型を閉じた際、下金型セット1の上面に配置した基板90とでキャビティ69を構成する。
樹脂供給ブロック70は、図5に示すように、スリーブホルダ71、スリーブブロック72、スリーブ73、プランジャロッド74、プランジャチップ75を備える。
また、プランジャプレート80は、その下端部の形状は図8Aに限るものではなく、例えば、図8Dに示すように、型開工程において樹脂がより分離しやすい切り欠き部81aであってもよい。
また、サーボモータにより、プランジャチップ75の先端面をプランジャプレート80の側面に当接させる場合に、トルク制限を設けるようにすれば、プランジャプレート80の動作を妨げるような圧力が作用することを防止できる。
すなわち、図2に示すように、前記上型クランププレート50に上型断熱プレート52を介して上型フレームプレート51を固定し、さらに上型チェス固定ブロック54を固定する。そして、予め一体化しておいた上型チェス固定ブロック54および上型チェス60を、前記上型チェスガイドブロック55の間に形成された空間内に側方から挿入する。上型チェス60は上型チェスガイドブロック55に形成されたガイド部(図示せず)にガイドされながら、スムーズに水平移動できる。ついで、水平移動させて所定位置に位置決めした後、ネジ止め等により上型チェス60を固定する。
第1金型クリーニング装置110は、図9,図10および図11ないし図21に示すように、清掃部111と、駆動部112とを備える。
清掃部111は、略箱体形状のケーシング120と、前記ケーシング120に隣接させて一体化したシュート140とで構成されている。前記ケーシング120は、回転軸121a(図12A)を中心として回転駆動可能に設けた第1ローラブラシ121と、固定式ストレートブラシ122とを並設してある。ケーシング120およびシュータ140の上面は開口している。そして、前記ケーシング140の開口縁部にはシリコンゴム等の耐熱性に優れた弾性材料からなる密着部123が環状に取り付けられている。また、第1ローラブラシ121の一部が前記密着部123から上方に突出している。第1ローラブラシ121は、図11に示すように、第1モータ124からの駆動力が第1ベルト125及び回転軸126を介して伝達され、回動する。前記固定式ストレートブラシ122は、図13に示すように、その先端縁部が前記第1ローラブラシ121と対向するように水平方向に伸びている。また、図12Bに示すように、ケーシング120の下面両側部には、吸引管127,127がそれぞれ接続され、図示しない吸引装置へと吸引されるようになっている。さらに、ケーシング120の下面には、前記吸引管127に向かって徐々に傾斜するテーパ面が形成されている。これにより、ケーシング120内に回収された不要物をスムーズに吸引管127へと導くことができるようになっている。各吸引管127は伸縮可能に構成され、支持プレート130に支持されている。支持プレート130には第1エアシリンダ131と第2エアシリンダ132とが設けられ、第1の上昇地点である中間位置M1と、第2の上昇位置である吸引位置M2とに、清掃部111をZ軸方向に昇降可能である。支持プレート130の下面には複数のローラ133(図12B)が設けられ、後述するダクト部材151が伸縮する際に図示しないフレーム部に固定されたレール134上を転動する。これにより、ダクト部材151及び清掃部111がガイドされながらX軸方向に往復移動可能となる。
駆動部112は、図9および図10に示すように、水平駆動部材150とダクト部材151とを備える。
第2金型クリーニング装置170は、図9および図10に示すように、カバー171の下方開口部に第2ローラブラシ172を設け、吸引ダクト173を介して図示しない吸引装置に吸引可能としたものである。カバー171及び第2ローラブラシ172は、第2スライドベース174に支持されている。第2スライドベース174は、第2スライドユニット175及びカムフォロア176を介して第2スライドシャフト177に往復移動可能に支持されている。第2スライドシャフト177は、成形位置の側方で、X軸方向に所定間隔で対向するフレーム部178にそれぞれ固定されている。
次に、前記構成からなる樹脂封止装置の樹脂封止工程について、図1ないし図8を参照して説明する。
下金型セット1は、図2に示すように、被成形品である基板90を供給できる位置にある。このとき、ブロック昇降装置100の口金部101にランナーブロック8の回動ローラ44が嵌合し、シリンダー102を介して前記ランナーブロック8が引き上げられている。そして、インローダ180の図示しないチャック爪に保持された基板90を下型キャビティブロック7上に載置する。このとき、基板90の位置決め孔を下型キャビティブロック7の位置決めピン36に係合する。これにより、基板90を正確に位置決めできる。ついで、ブロック昇降装置100のシリンダー102が下降し、ランナーブロック8によって下型キャビティブロック7上に載置した基板90が保持される。
基板90がセットされれば、第1サーボモータ11を逆転駆動し、下金型セット1を上金型セット2の直下位置まで移動させる。そして、第2サーボモータ26を逆転駆動することにより、連結バー25(図4)を介して下型キャビティブロック7を上動させる。続いて、下液室18bに液体を供給すると共に、上液室18aから液体を排出することにより、所定圧力でピストン16を上昇させることにより型締めを行う。これにより、基板90は、下型キャビティブロック7と上型キャビティブロック61とで挟持される。
本実施形態によれば、ランナーブロック8で基板90を常に保持しているので、下金型セット1の移動の際にも基板90の位置が安定するとともに、位置決めを正確に行うことができるという利点がある。
次いで、図5Aに示すように、樹脂材料供給ユニット78により、樹脂供給ブロック70のスリーブブロック72に形成した樹脂投入口72bを介して樹脂タブレット91を供給する(この場合、供給する樹脂タブレット91は一般に市販されている円柱状のものを使用できる)。供給された樹脂タブレット91はスリーブ73内に位置する。そして、エアシリンダ77を駆動し、プランジャロッド74を水平移動させ、その先端に設けたプランジャチップ75で樹脂タブレット91を押圧する。押圧された樹脂タブレット91はスリーブ73内を移動し、ポット部66内に入る(図5B)。
スリーブ73内、これに続くポット部66内は、ヒータによって十分に加熱されているので、樹脂タブレット91は溶融を開始する。溶融樹脂92(図6A)は、プランジャチップ75に押圧されてポット部66内を満たす。そして、プランジャチップ75は、先端面がプランジャプレート60の先端側面に当接する直前の位置P1まで移動し、一旦停止する。
続いて、等圧装置83を駆動することにより、プランジャロッド82を介してプランジャプレート80を待機位置から降下させる。この場合、前記プランジャチップ75の先端面が、プランジャプレート80の側面に当接することなく位置決めされている。このため、プランジャチップ75の先端面に第1不要樹脂94が残留する。
本実施形態によれば、第1不要樹脂94が残留するように設計されているので、プランジャチップ75の部品精度、組立精度に高い寸法精度を必要としない。このため、プランジャチップ75等の製造,メンテナンスが容易になるという利点がある。
そして、上液室18aに液体を供給すると共に下液室18bから液体を排出して下型キャビティブロック7を降下させ、金型を開放する。この開放動作により、樹脂成形品93は上型キャビティブロック61の凹所63に残存しようとしても、スプリングによって付勢されたピンプレート65に設けた図示しないエジェクタピンで押し下げられ、確実に下型キャビティブロック7の上面に押し出される。
また、下型キャビティブロック7が降下することにより、基板90および基板90を挟持するランナーブロック8が同時に降下する。そして、前記第2不要樹脂95の巾狭部95aに応力が集中するとともに、前記第2不要樹脂部95がプランジャプレート80の係止突起81に係止しているので、前記巾狭部95aから樹脂成形品93と第2不要樹脂95とが分断される。このため、第2不要樹脂95が基板90の表面から直接、剥離することがない。この結果、基板90が損傷するおそれがなく、第2不要樹脂95の剥離を容易にするための金メッキ等の前加工が不要になるという利点がある。
続いて、下金型セット1を上金型セット2の直下から側方の材料供給位置まで移動する場合には、ランナーブロック8で樹脂成形品93を保持したままの状態で移動する。そして、移動の中間地点でランナーブロック8の回動ローラ44がブロック昇降装置100の口金部101に係合する。ついで、シリンダー102が上昇して基板90を開放すると、図示しないアンローダユニットのチャック爪が基板90を保持し、次の工程に搬送する。
そして、前記下金セット1に第2クリーニング装置170の第2ローラブラシ172を回動させながら吸引ダクト173を介して塵埃等を排出する。ついで、下型キャビティブロック7上にインローダによって供給された基板90をランナーブロック8で押さえ、前述と同様な作業を行う。
次に、第1クリーニング装置110のクリーニング作業を図22のフローチャートに基づき、図9ないし図21を参照しながら説明する。
ステップS2で第1クリーニング装置110の清掃部111を、第3エアシリンダ168aおよび第2モータ162によって移動し、ケーシング120が上金型2の下方側における第1回収位置T1で停止する(図11および図13)。
ステップS3では、前記清掃部111を、第1エアシリンダ131を駆動源とし、Z軸方向に上昇させて中間位置M1で停止する(図14)。
ステップS4でプランジャプレート80が上昇すると、第2不要樹脂95は熱硬化性樹脂であるため、上キャビティブロック61の側面、および、スリーブホルダ73の側面に張り付いた状態にあるため、プランジャプレート80と第2不要樹脂95とが分離する(図15)。なお、分離性を高めるために上キャビティブロック61の側面、あるいは、スリーブホルダ80の側面に硬化した樹脂を適度に保持する係止形状とすることが好ましい。
ステップS5では、図16に示すように、プランジャプレート80が下降し、ポット部66内に残存する第2不要樹脂95を突き出し、清掃部11のシュート内140に回収する。
ステップS6では、ステップS5で第2不要樹脂95を回収できなかった場合には、図17で示すように、清掃部111をX軸方向で第2回収位置T2に移動させることにより、シュート140の開口縁部で第2不要樹脂95をそぎ落とし、シュート140内に回収する。
ステップS9では、プランジャロッド74が第2停止位置P2まで前進し、スリーブ73内に残存する第1不要樹脂94をポット部66内に排出する。
ステップS10では、ポット部66内に残存する第1不要樹脂94を下方側に排出し、清掃部111のシュート140内に回収する。
ステップS11で、プランジャプレート80が待機位置に戻り、ステップS12では、清掃部111が第1清掃位置T3に復帰する。
ステップS13では、清掃部111が吸引位置M2へ上昇し、上金型セット2の下面に密着させる(図19)。
ステップS14では図示しない吸引装置を作動させ、ステップS15では、ローラブラシ121の回転駆動を開始する。
ステップS16では、プランジャプレート80を第1清掃位置へ下降させ(図19)、ついで、ステップS17では、第2清掃位置T4まで移動させる。
ステップS18では、清掃部111をZ軸方向の中間位置M1に下降させる。
ステップS19では、清掃部111をプランジャプレート80の直下に位置する第2清掃位置へ移動させる。
ステップS20では、清掃部111を吸引位置M2まで上昇させ、上金型セット2に密着させる。このとき、前述と同様、ローラブラシ121は回転駆動し、吸引装置によって吸引する。これにより、プランジャプレート80の先端に付着した不要樹脂が除去される(図20)。
ステップS23では、清掃部111を上金型セット2の下面にローラブラシ121を回動させて接触させつつ、X軸方向の清掃完了位置T5へ移動する(図21)。このとき、ローラブラシ121で掻き出した不要樹脂がダクトを介して吸引装置へ排出される。
ステップS24では、清掃部111がZ軸方向の待機位置へ下降し、第3エアシリンダ168aおよび第2のモータ162を作動させて成形前の位置に戻る。
なお、ステップS24にて清掃部111をZ軸方向に戻さず、後退時にも上金型セット2の下面のクリーニングを行ってもよい。
2:上金型セット
8:ランナーブロック
8b:ガイド部
8d:テーパ面
62:ゲート
66:ポット部
69:キャビティ
80:プランジャプレート
81:係止突起
81a:切り欠き部
90:基板
91:タブレット
92:溶融樹脂
93:樹脂成形品
94:第1不要樹脂
95:第2不要樹脂
Claims (7)
- 電子部品を搭載した基板を載置する第1金型と、
前記第1金型に支持され、かつ、少なくとも前記基板の一辺縁部を保持するランナーブロックと、
隣接するキャビティブロックおよび樹脂供給ブロックからなり、前記第1金型に接離可能で、前記基板を前記第1金型とで挟持することにより、前記電子部品を収納するキャビティを形成するとともに、前記キャビティに連通するゲートを形成する第2金型と、
前記第2金型のキャビティブロック、樹脂供給ブロック、および、前記ランナーブロックで形成されたポット部内を、往復移動可能なプランジャプレートと、を備え、
前記プランジャプレートの先端部で前記ポット部内の溶融樹脂を前記ゲートから前記キャビティに充填する一方、前記溶融樹脂硬化後に第2金型から第1金型を分離することにより、キャビティ内の樹脂成形品と前記ポット部内に残存する不要樹脂とを分断することを特徴とする樹脂封止装置。 - ポット部を形成する樹脂供給ブロック内に前記ポット部に連通する通路を設け、前記通路内を往復移動可能な押圧部材で前記通路内に供給された固形樹脂材料を押圧して溶融させるとともに、溶融した前記固形樹脂を前記ポット部に供給することを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止装置。
- ゲートに対向するように配置されたランナーブロックの先端面に、不要樹脂に巾狭部を形成する断面略V字形状のガイド部を突設したことを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封止装置。
- 第1金型の移動時にランナーブロックが基板の縁部を保持することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の樹脂封止装置。
- プランジャプレートの先端部に、不要樹脂を係止する係止部を設けたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の樹脂封止装置。
- ポット内を往復移動するプランジャプレートの先端部から不要樹脂を分離するとともに、前記プランジャプレートの先端部で前記不要樹脂を前記ポット部から突き出して回収することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の樹脂封止装置。
- 電子部品を搭載した基板を載置する第1金型と、
前記第1金型に支持され、かつ、少なくとも前記基板の一辺縁部を保持するランナーブロックと、
隣接するキャビティブロックおよび樹脂供給ブロックからなり、前記第1金型に接離可能で、前記基板を前記第1金型とで挟持することにより、前記電子部品を収納するキャビティを形成するとともに、前記キャビティに連通するゲートを形成する第2金型と、
前記第2金型のキャビティブロック、樹脂供給ブロック、および、前記ランナーブロックで形成されたポット部内を、往復移動可能なプランジャプレートと、を備えた樹脂封止装置の樹脂封止方法であって、
前記プランジャプレートの先端部で前記ポット部内の溶融樹脂を前記ゲートから前記キャビティに充填した後、前記溶融樹脂硬化後に第2金型から第1金型を分離することにより、キャビティ内の樹脂成形品と前記ポット部内に残存する不要樹脂とを分断することを特徴とする樹脂封止装置の樹脂封止方法。
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