JP4508285B2 - 薄膜太陽電池およびその製造方法 - Google Patents
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Description
そのため従来は、前記太陽電池を複数の太陽電池(ユニットセル)に分割し、分割したユニットセルを隣接するユニットセルと電気的に接続する直列接続構造をとっていた。これに対し、特許文献1に記載された薄膜太陽電池では、反光入射側にある絶縁性基板に穴をあけ、この穴を利用して透明電極層を基板裏面の接続電極層と接続する構成とし、高シート抵抗の透明電極層を流れる電流の径路の距離を短縮し、これにより寸法の限定された単位太陽電池に分割することなく低電圧、大電流型にも構成できるようにした。これにより、ジュール損失が少なく、デッドスペースの部分を縮小して有効発電面積が増加した薄膜単位太陽電池を得ることができた。
さらに、単位太陽電池の一部に光電変換層の下の接続電極層の露出する領域を形成し、それと基板を貫通する導体に接続される分離された接続電極層を、隣接単位太陽電池の接続電極層と連結することにより、直列接続構造が容易に形成できる。このような構成の薄膜太陽電池は、SCAF(Series Connection through Apertures on Film )型の薄膜太陽電池と呼ばれ、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングおよびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記薄膜太陽電池の構成および製造方法の一例は、本願出願人により出願された、例えば特許文献2に記載されている。
上記薄膜太陽電池の簡略化した製造工程を図4(a)から(g)に示す。プラスチックフィルム71を基板として(工程(a))、これに接続孔78を形成し(工程(b))、基板の両面に第1電極層(下電極)74および第3電極層(接続電極の一部)73を形成(工程(c))した後、接続孔78と所定の距離離れた位置に集電孔77を形成する(工程(d))。工程(c)と工程(d)との間に、第1電極層(下電極)74を所定の形状にレーザ加工して、下電極をパターニングする工程があるが、ここではこの工程の図を省略している。
なお、第3電極層と第4電極層は電気的には同一の電位であるので、説明の便宜上、併せて一層の接続電極層として扱われることもある。
さらに、前記SCAF型の薄膜太陽電池の構成とは異なるものとして、発電の有効面積率を高めることを目的とした構成が特許文献3に開示されている。即ち、特許文献3は、「貫通孔を通じて接続される下電極層(特許文献3では背後電極層と呼ぶ)と接続電極層を形成したのちに下電極層上に非晶質半導体層を形成する際、基板裏面の貫通孔周辺部まで非晶質半導体層の延長部が広がるようにし、この延長した非晶質半導体層によって、透明電極層が貫通孔内に形成されても接続電極層と短絡するのを防ぎ、これにより透明電極層の全面成膜を可能として、発電の有効面積率を高めた薄膜太陽電池」を開示する(詳細は、特許文献3参照)。
図2に示す薄膜太陽電池は、光電変換層と透明電極層とを光電変換部の側端まで延長して設けることにより、発電の有効面積率を高めた構成となっており、その作製は以下のようにして行なわれる。例えば、プラスチックフィルムからなる基板1に、接続孔7を開け、表面に金属よりなる下電極層2、裏面に金属よりなる接続電極層としての第3電極層3を形成したのち、集電孔8を開ける。従って、接続孔7の内壁には下電極層2と第3電極層3の延長部が形成されるが、集電孔8の内部にはこれらの電極層は形成されていない。
次に、下電極層2にレーザー加工を行い、ユニットセル間下電極加工ライン9aおよびセル端部下電極加工ライン10aを形成する。つづいて、下電極層2上にpin構造のアモルファスシリコン(a-Si)、アモルファスシリコンゲルマニウム(a-SiGe)あるいは微結晶シリコンからなる光電変換層4をプラズマCVDにより形成する。この際、同時に基板裏面の集電孔8や接続孔7の内壁および外周部にも回り込んで光電変換層4が形成される。
次に、透明電極層5の上からユニットセル間下電極加工ライン9aおよびセル端部下電極加工ライン10aよりも加工幅を細くして、これらのラインをトレースするようにユニットセル間透明電極加工ライン9bおよびセル端部透明電極加工ライン10bを形成する。この際、前記透明電極加工ラインが下電極加工ラインをはみ出すと透明電極層5と下電極層2は表面が合金化した光電変換層4で電気的につながってしまいリークが発生するため、高精度の加工が要求される。最後に接続電極層にレーザー加工を行い、ユニットセル間接続電極加工ライン11およびセル端部接続電極加工ライン12を形成し直列接続構造が完成する。
前述のように、列間および端部の透明電極層加工ラインは、下電極層をトレースしてはみ出さないように加工する必要があり、高い精度が要求される。さらに、下電極層加工と透明電極層加工の間に、製膜温度200〜300℃の高温の光電変換層および透明電極層製膜プロセスが入るため、基板の熱変形が生じる。通常、長方形に加工したラインは平行四辺形に歪むことになり、そのときの角度は0〜0.001radになる。例えば、1m角の太陽電池を作製する場合、平行四辺形に歪むことによる位置ずれは最大1mmであり、数μmの下電極加工ライン幅よりも大きい。従って、こうした大面積の太陽電池を作製するには透明電極層加工時に角度補正を行う必要があり、制御が複雑になり装置コストが高くなり、かつ位置合わせの時間が長くなるためスループットが低下するという問題があった。
この発明の課題は、フィルム基板の熱歪に伴う透明電極層加工時に、上記のような図2のようにセル端部透明電極加工ライン10bが、セル端部下電極加工ライン10aをはみ出すと透明電極層5と下電極層2は表面が合金化した光電変換層4で電気的につながってしまいリークが発生する問題点、即ち、前記基板の熱変形に伴う絶縁不良の問題を解消するためになされたものである。
このことにより、前記フィルム基板の熱歪に伴う絶縁不良の問題を解消することができる。
このように、セル端部透明電極加工ラインを設けない場合、透明電極層と接続電極層はフィルム基板を介して近接するため、実使用時に電極のマイグレーションが発生して絶縁不良を引き起こす恐れがあるが、これを避けるため、上記のように、側端部から接続電極層を完全に除去する。なお、図2に示した例のように、接続電極層としての第4電極層が第3電極層よりも、充分小幅に形成される場合には、第3電極層のみを除去加工すればよい。
また、前記薄膜太陽電池の製造方法としては、下記請求項3ないし4の発明が好ましい。即ち、前記請求項1または2に記載の薄膜太陽電池の製造方法であって、前記セル端部下電極加工ラインは、レーザー加工により形成する(請求項3の発明)。さらに、前記請求項1ないし3のいずれか1項に記載の薄膜太陽電池の製造方法であって、前記接続電極層の除去される領域は、レーザー加工,超音波振動子による加工,サンドブラスト加工の内のいずれかの方法により形成する(請求項4の発明)。特に、超音波振動子あるいはサンドブラストによる加工によれば、幅広加工が容易に行えるため好ましい。
[図面の簡単な説明]
図1は、本発明の第1の実施例に関わる薄膜太陽電池の構成図であり、図1(a)は薄膜太陽電池の受光面側からみた平面図、図1(b)は非受光面側からみた平面図、図1(c)は図1(a)におけるa−a断面図、図1(d)は図1(a)におけるb−b断面図である。
図1において、図2と同一機能部材には同一番号を付して示す。図1と図2との基本的相違点は、セル端部透明電極加工ライン10bとセル端部接続電極加工ライン12を設けずに、第3電極層3の一部領域(図1のh部)を完全に除去して、セル端部接続電極層除去領域12aを設けるようにした点である。
次に、図1に示す太陽電池の作製手順について、一部図2の説明と重複するが、以下に述べる。ポリイミド、アラミド等の耐熱性プラスチックフィルムからなる基板1に、パンチによる加工で接続孔7を開け、表面に金属よりなる下電極層2、裏面に金属よりなる第3電極層3を形成したのち、集電孔8を開ける。従って、接続孔7の内壁には下電極2と第3電極層3の延長部が形成されているが、集電孔8の内部にはこれらの電極層は形成されていない。次に、下電極層2にレーザー加工を行い、ユニットセル間下電極加工ライン9aおよびこれと直交あるいは任意の角度を保ってセル端部下電極加工ライン10aを形成する。
次に、ユニットセル間下電極加工ライン9aについて1本ごとに画像認識を行い、トレースするようにしてユニットセル間透明電極加工ライン9bを形成する。
透明電極層5と接続電極層としての第3電極層3は、フィルム基板1の厚さを介して近接するため、実使用時に電極のマイグレーションが発生して絶縁不良を引き起こす恐れがあり、これを避けるため、端部から少なくとも0.5mmもしくはそれ以上の第3電極層3の一部領域(図1のh部)を完全に除去する。この除去方法としては、レーザー、超音波振動子あるいはサンドブラスト加工により、0.5mmより大きい、例えば1mm以上の幅広加工を行い、最後にその加工ライン上を裁断すると良い。
この実施例によれば、セル面の端部付近の下電極加工ラインがa−Si系の膜で覆われるため、フィルム基板ヘの水分の進入をブロックすることによる対候性向上の効果もある。
Claims (4)
- 電気絶縁性を有する基板の表面に下電極層としての第1電極層,光電変換層,透明電極層(第2電極層)を順次積層してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第3電極層および第4電極層とを備え、前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分(ユニットセル)を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池において、
前記光電変換部の前記直列接続方向に沿った外側端部に、前記第1電極層を光電変換層により電気的に絶縁するためのパターニング用のセル端部下電極加工ラインを設け、かつ、前記光電変換層と透明電極層とは、前記セル端部下電極加工ラインの外側に光電変換部の側端まで延長して設けてなり、さらに、前記接続電極層は、前記側端から所定寸法幅の領域を、前記基板の裏面から除去してなることを特徴とする薄膜太陽電池。 - 請求項1に記載の薄膜太陽電池において、前記接続電極層の除去される領域の所定寸法幅は、少なくとも0.5mmとすることを特徴とする薄膜太陽電池。
- 請求項1または2に記載の薄膜太陽電池の製造方法であって、前記セル端部下電極加工ラインは、レーザー加工により形成することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の薄膜太陽電池の製造方法であって、前記接続電極層の除去される領域は、レーザー加工,超音波振動子による加工,サンドブラスト加工の内のいずれかの方法により形成することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
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