JP4508061B2 - マイクロプラズマジェット発生装置 - Google Patents
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Description
2 基板
3 マイクロアンテナ
4 放電管
5a、5b 端子
6a、6b 配線
7、8 リアクタンス素子
Claims (4)
- VHF帯の高周波電源により駆動されてマイクロ誘導結合プラズマジェットを生成するマイクロプラズマジェット発生装置において、
基板と、前記基板上に配設された複数巻の波状形態のマイクロアンテナと、前記マイクロアンテナの近傍に配設された放電管とを備え、
前記マイクロアンテナは、自身に高周波を供給するための配線もしくは整合回路のリアクタンス素子を接続するための端子をその両端に有し、前記両端の端子の一方の端子と他方の端子が前記マイクロアンテナの波形状の進行方向の中心線に対して互いに反対側に配置された形状としたことを特徴とするマイクロプラズマジェット発生装置。 - 前記放電管と前記マイクロアンテナの一方の端子に接続された配線又はリアクタンス素子を略平行に配置したことを特徴とする請求項1記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 前記マイクロアンテナの一方の端子に接続された配線の方向と、他方の端子に接続された配線の方向を略直角にしたことを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
- 前記マイクロアンテナの一方の端子に接続したリアクタンス素子と他方の端子に接続したリアクタンス素子を略直角方向に配置したことを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロプラズマジェット発生装置。
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JPH10149896A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2005267975A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Japan Science & Technology Agency | マイクロプラズマジェット発生装置 |
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2005
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