JP4494831B2 - Substrate transfer device and substrate transfer system provided with the same - Google Patents
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Description
本発明は、例えば真空チャンバ等の基板処理装置に対して被処理基板やマスク基板等の搬入又は搬出を行うための基板搬送装置及びこれを備えた基板搬送システムに関する。 The present invention relates to a substrate transfer apparatus for carrying in / out a substrate to be processed, a mask substrate, and the like with respect to a substrate processing apparatus such as a vacuum chamber, and a substrate transfer system including the substrate transfer apparatus.
例えば、有機EL(Electro Luminescence)表示装置の製造においては、第1のガラス基板に赤、緑及び青の三原色の発光層等を成膜する工程と、電極パターン等を成膜する工程と、この第1のガラス基板を第2のガラス基板と貼り合わせる工程等を有している。これらの各工程は、真空成膜室等の所定の基板処理装置においてそれぞれ行われると共に、これら各基板処理装置に対するガラス基板の搬入及び搬出に対しても、ガラス基板と空気(空気中の水分)との接触を回避するために、従来より、密閉構造の基板搬送装置が用いられている。 For example, in the manufacture of an organic EL (Electro Luminescence) display device, a step of forming a light emitting layer of three primary colors of red, green, and blue on a first glass substrate, a step of forming an electrode pattern, etc. A step of bonding the first glass substrate to the second glass substrate, and the like. Each of these steps is performed in a predetermined substrate processing apparatus such as a vacuum film forming chamber, and the glass substrate and air (water in the air) are also used for loading and unloading of the glass substrate to and from each of the substrate processing apparatuses. In order to avoid contact with the substrate, conventionally, a substrate transport apparatus having a sealed structure has been used.
この種の基板搬送装置は、ガラス基板を収容する密閉容器と、この密閉容器に形成されカセットと基板処理装置との間でガラス基板の受け渡しを行う開口を開閉するバルブとを備え、これらは基板処理装置間を移動できるように例えば台車上に設置されている。そして、この基板搬送装置を基板処理装置へ接続しバルブを開放駆動させ、開放された開口を介してガラス基板を密閉容器内から基板処理装置へ搬入するようにしている。 This type of substrate transport apparatus includes a sealed container that accommodates a glass substrate, and a valve that is formed in the sealed container and opens and closes an opening for transferring the glass substrate between the cassette and the substrate processing apparatus. For example, it is installed on a carriage so that it can move between the processing apparatuses. Then, the substrate transfer apparatus is connected to the substrate processing apparatus, the valve is driven to open, and the glass substrate is carried into the substrate processing apparatus from the inside of the sealed container through the opened opening.
従来の基板搬送装置は、バルブを駆動するための駆動源として空気圧シリンダを備えており、基板処理装置へ接続した後、当該空気圧シリンダをカプラーホースを介して外部のエアタンク等の圧力源に接続していた。 The conventional substrate transfer apparatus includes a pneumatic cylinder as a drive source for driving the valve. After connecting to the substrate processing apparatus, the pneumatic cylinder is connected to a pressure source such as an external air tank via a coupler hose. It was.
また、密閉容器内に複数枚のガラス基板を収納できるカセットを具備する基板搬送装置においては、カセットを昇降駆動するための駆動源としてモータを備えており、基板処理装置へ接続した後、当該モータをコネクターケーブルを介して外部の電源システムへ電気的に接続するようにしていた。 In addition, in the substrate transfer apparatus having a cassette that can store a plurality of glass substrates in an airtight container, a motor is provided as a drive source for raising and lowering the cassette, and the motor is connected to the substrate processing apparatus. Is electrically connected to an external power supply system via a connector cable.
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献として、以下のものがある。下記特許文献1には、半導体ウェーハ製造装置間で、キャリア等の搬送介在物を使用せずに直接、半導体ウェーハを搬送できる基板搬送装置及び基板搬送システムが開示されている。
As prior art documents related to the invention of this application, there are the following.
上述したように、従来の基板搬送装置においては、基板処理装置へのガラス基板の搬入作業に、バルブを開閉駆動する駆動源としての空気圧シリンダと、カセットを昇降させる駆動源としてのモータとを、それぞれ圧空カプラーあるいはコネクターケーブルを介して外部の圧力源あるいは電源に連結する作業を必要としていたので、作業性が非常に悪いという問題があった。 As described above, in the conventional substrate transfer apparatus, in the work of loading the glass substrate into the substrate processing apparatus, a pneumatic cylinder as a drive source for opening and closing the valve and a motor as a drive source for raising and lowering the cassette, Each of them needed to be connected to an external pressure source or a power source via a pneumatic coupler or a connector cable, so that there was a problem that workability was very poor.
また、これらバルブあるいはカセットの各駆動源と圧空カプラーあるいはコネクターケーブルへの接続作業ミス等によってプロセスエラーが生じるという問題もあった。更に、電気ケーブルのコネクタ部の劣化対策も必要となり、そのメンテナンスの実施による生産性の低下も懸念されている。 In addition, there has been a problem that a process error occurs due to a mistake in the connection work between the driving sources of these valves or cassettes and the pneumatic coupler or connector cable. Furthermore, it is necessary to take measures against deterioration of the connector portion of the electric cable, and there is a concern that the productivity may be lowered due to the maintenance.
更に、従来の基板搬送装置においては、バルブ及びカセットの各駆動源を搭載しているので、基板搬送装置の構成を複雑化し、また、基板搬送装置の高重量化により取り回し性を損ねているという問題もある。 Furthermore, in the conventional substrate transfer apparatus, since each drive source of the valve and the cassette is mounted, the configuration of the substrate transfer apparatus is complicated, and the handling property is impaired due to the increased weight of the substrate transfer apparatus. There is also a problem.
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、作業性及び生産性の向上を図ることができる基板搬送装置及びこれを備えた基板搬送システムを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a substrate transport apparatus capable of improving workability and productivity and a substrate transport system including the same.
以上の課題は、基板処理装置に対して基板の搬入又は搬出を行うための基板搬送装置であって、前記基板を高さ方向に複数収納できるカセットを内部に有する密閉容器と、この密閉容器に形成され前記カセットと前記基板処理装置との間で前記基板の受け渡しを行う開口を開閉するバルブとを備え、前記バルブ及び前記カセットには、外部の駆動源に結合されることにより駆動力が伝達される駆動力被伝達部がそれぞれ設けられていることを特徴とする基板搬送装置、によって解決される。 The above-described problem is a substrate transport apparatus for carrying a substrate into or out of a substrate processing apparatus, and includes a sealed container having a cassette inside which can store a plurality of the substrates in the height direction, and the sealed container. And a valve for opening and closing an opening for transferring the substrate between the cassette and the substrate processing apparatus, and a driving force is transmitted to the valve and the cassette by being coupled to an external driving source. This is solved by a substrate transfer device characterized in that each of the driving force transmitted portions is provided.
また、以上の課題は、基板搬送装置と基板処理装置との間で基板の搬入又は搬出を行うための基板搬送システムであって、前記基板搬送装置は、前記基板を高さ方向に複数収納できるカセットを内部に有する密閉容器と、この密閉容器に形成され前記カセットと基板処理装置との間で前記基板の受け渡しを行う開口を開閉するバルブとを備えていると共に、前記基板処理装置は、前記バルブを開閉する駆動源を含むバルブ開閉機構と、前記カセットを昇降させる駆動源を含むカセット昇降機構とを備えており、前記基板搬送装置は、前記基板処理装置に接続されることにより、前記バルブ開閉機構及び前記カセット昇降機構を介して前記バルブ及び前記カセットがそれぞれ駆動されることを特徴とする基板搬送システム、によって解決される。 In addition, the above-described problem is a substrate transport system for carrying in or out a substrate between a substrate transport apparatus and a substrate processing apparatus, and the substrate transport apparatus can store a plurality of the substrates in the height direction. A sealed container having a cassette inside, and a valve formed in the sealed container for opening and closing an opening for transferring the substrate between the cassette and the substrate processing apparatus. A valve opening / closing mechanism including a driving source for opening and closing the valve; and a cassette lifting / lowering mechanism including a driving source for moving the cassette up and down. The substrate transfer device is connected to the substrate processing apparatus, whereby the valve Solved by a substrate transfer system, wherein the valve and the cassette are driven via an opening / closing mechanism and a cassette lifting / lowering mechanism, respectively.
本発明では、バルブ及びカセットの各々の駆動源を基板搬送装置に搭載せず、外部、即ち基板処理装置側に具備させている。基板処理装置に搭載されたバルブ開閉機構及びカセット昇降機構は、基板処理装置のバルブ及びカセットの各駆動力被伝達部を介して、これらバルブ及びカセットへ駆動力を各々伝達する。 In the present invention, the driving sources of the valves and the cassette are not mounted on the substrate transfer apparatus, but are provided outside, that is, on the substrate processing apparatus side. A valve opening / closing mechanism and a cassette lifting / lowering mechanism mounted on the substrate processing apparatus transmit driving force to the valves and the cassette, respectively, via the driving force transmitted portions of the valve and cassette of the substrate processing apparatus.
各駆動力被伝達部は、軸方向へ移動されることによりバルブを開閉し又はカセットを昇降させる軸状部材で構成することができる。この軸状部材とバルブ開閉機構及びカセット昇降機構との結合には、電磁石の磁気吸着力を利用することができる。 Each drive force transmitted portion can be constituted by a shaft-like member that opens and closes a valve or moves a cassette up and down by being moved in the axial direction. A magnetic attraction force of an electromagnet can be used for coupling the shaft-shaped member to the valve opening / closing mechanism and the cassette lifting mechanism.
本発明によれば、基板搬送装置のバルブ及びカセットの各駆動源を外部、特に、基板処理装置側に搭載させるようにしたので、基板搬送装置を基板処理装置へ接続した後、基板搬送装置に対する外部圧力源や電力システム等との面倒な接続作業を廃止でき、速やかに且つ的確にバルブ開閉動作及びカセット昇降動作を行うことを可能として、作業性及び生産性を高めることができる。 According to the present invention, the valves and cassette drive sources of the substrate transport apparatus are mounted on the outside, particularly on the substrate processing apparatus side. Therefore, after the substrate transport apparatus is connected to the substrate processing apparatus, The troublesome connection work with an external pressure source, an electric power system, etc. can be abolished, the valve opening / closing operation and the cassette lifting / lowering operation can be performed promptly and accurately, and workability and productivity can be improved.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は基板搬送装置1の概略構成を示している。基板搬送装置1は、複数枚の基板を高さ方向へ収納できるカセット2を内部に有する密閉容器3と、この密閉容器3を支持する台車部4とを備えている。ここでいう「基板」には、ガラス基板や半導体基板等の被処理基板は勿論、メタルマスクやレチクル等のマスク基板等も含まれる。また、台車部4は自走式でもよいし、作業者による手押し方式でもよい。
FIG. 1 shows a schematic configuration of the
密閉容器3は、内部が真空又は大気圧以上の高圧に保持できる構造を有している。密閉容器3の一部側壁には、カセット2と後述する基板処理装置との間で基板の受け渡しを行う断面矩形状の開口5が形成されていると共に、この開口5を開閉するバルブユニット6が設けられている。
The sealed
バルブユニット6は、開口5を開放又は閉塞するバルブ本体7と、このバルブ本体7を図示する閉塞位置へ付勢する付勢手段(図示略)が内蔵されている。この付勢手段としては、機械式バネや、圧縮ガスを利用したガススプリング等が適用可能である。
The
バルブ本体7の下端部には、バルブユニット6の外方へ延在するガイドロッド8が一体的に固定されており、このガイドロッド8のフランジ状の端部8Aがバルブユニット6のケーシングに当接することにより、バルブ本体7の図示する閉塞位置が位置決めされている。
A
ここで、ガイドロッド8は、バルブ本体7に対する本発明の「駆動力被伝達部(軸状部材)」に相当し、後述するように、基板処理装置15に搭載された第1の駆動源21を含むバルブ開閉機構19に連結され、昇降駆動されるようになっている。ガイドロッド8の端部8Aは、例えば鉄、磁性ステンレス鋼等の磁性材料で構成されている。
Here, the
なお、バルブ本体7の上端部にも同様なガイドロッド9が一体的に固定されており、このガイドロッド9のフランジ状の端部9Aがバルブユニット6のケーシングに当接することにより、バルブ本体7の開放位置が位置決めされるようになっている(図2)。
A
カセット2は、密閉容器3の下部に設けられたカセット支持ユニット10により、密閉容器3の内部において昇降自在に構成されている。カセット支持ユニット10は、カセット2の下端に一体的に固定された昇降軸11と、この昇降軸11の周囲を被覆するベローズ12と、昇降軸11の昇降移動をガイドすると共にベローズ12と密閉容器3との間を気密に保持する支持部材13等により構成されている。
The
ここで、昇降軸11は、カセット2に対する本発明の「駆動力被伝達部(軸状部材)」に相当し、後述するように、基板処理装置15に搭載された第2の駆動源22を含むカセット昇降機構20に連結され、昇降駆動されるようになっている。昇降軸11の端部11Aは、例えば鉄、磁性ステンレス鋼等の磁性材料で構成されている。
Here, the
次に、図2を参照して、基板搬送装置1が接続される基板処理装置15の構成について説明する。図2は、基板搬送装置1と基板処理装置15との接続状態を示している。
Next, the configuration of the
基板処理装置15は、基板搬送装置1のカセット2から基板を一枚ずつ取り出し、成膜室等の所定の真空処理室へ基板を搬送する中間室あるいは予備室に相当し、真空蒸着装置等の真空処理装置の一部を構成している。
The
この基板処理装置15は、真空搬送装置1のバルブユニット6と接続し、カセット2から取り出した基板を真空チャンバ(成膜室等)に搬送する通路16を内部に有する接続管17と、通路16を真空排気する真空ポンプ18と、バルブユニット6を開閉駆動する第1の駆動源21を含むバルブ開閉機構19と、カセット2を昇降駆動する第2の駆動源22を含むカセット昇降機構20等を備えている。
The
接続管17の端部には、基板搬送装置1のバルブユニット6の前面部に形成された基準孔6a(図1)に嵌合する基準ピン17aが設けられており、バルブユニット6と接続管17との接続位置は、これら基準孔6a及び基準ピン17aの嵌合位置を基準としている。なお、接続間17の端部には、バルブユニット6との間を気密に保持するシール構造が適用されているものとする。
A reference pin 17 a that fits into a
バルブ開閉機構19及びカセット昇降機構20は、共に、基板処理装置15の一部を構成する基台30上に取り付けられている。以下、バルブ開閉機構19及びカセット昇降機構20の構成について、それぞれ図3及び図4を参照して説明する。
Both the valve opening /
バルブ開閉機構19は、第1の駆動源21と、第1の電磁石ユニット31等を備えている。
The valve opening /
第1の駆動源21は、接続管17に接続されたバルブユニット6の直下方に位置し、バルブユニット6のバルブ本体7を開閉する駆動源として構成されている。本実施の形態では、第1の駆動源21は空圧シリンダでなり、その駆動ロッド23は、バルブユニット6のガイドロッド8と同軸上に整列している。
The
次に、バルブユニット6のバルブ本体7は、開口5を閉塞する位置へ常時付勢されているので、開口5を開放するためには、ガイドロッド8を引き下げて、バルブ本体7を下方へ移動させる必要がある。そこで、空圧シリンダ(第1の駆動源)21の駆動ロッド23の上端に第1の電磁石ユニット31を設置し、磁性材料でなるガイドロッド8の端部8Aに磁力により結合させて、バルブユニット6を開閉駆動するようにしている。
Next, since the
更に、空圧シリンダ21の駆動ロッド23は、基台30に対し、ブラケット24を介して取り付けられたガイドブッシュ25により支持されている。ブラケット24の上端には、第1の電磁石ユニット31に結合されバルブ開放位置へ引き下げられたガイドロッド端部8Aに係止するストッパ26が取り付けられている。
Further, the
このストッパ26は回動軸27に軸支され、図3において実線で示すロック位置と、二点鎖線で示すロック解除位置をとり得るように構成されており、常時、ロック解除位置へ付勢されている。ストッパ26をロック解除位置へ付勢する構造は特に限定されないが、例えば、ストッパ26の下端にスプリングプランジャを介装させたり、回動軸のまわりにトーションバネを設ける等の構成が適用可能である。
The
そして、ストッパ26は、ガイドロッド端部8Aの上面に係合する上フック部26Aと、第1の電磁石ユニット31を支持する駆動ロッド23上端の台座23aの下面に係合する下フック部26Bとを有しており、駆動ロッド23の下降の際、台座23aが下フック部26Bに係合して、ストッパ26を回動軸27のまわりに回動させると共に、上フック部26Aがガイドロッド端部8Aに係合するようになっている。
The
この構成により、不測の事態で第1の電磁石ユニット31に対する電源供給が絶たれたとしても、スプリングバックによるバルブユニット6の閉塞動作を禁止でき、開口5の開放状態を維持することができる。
With this configuration, even if the power supply to the
一方、カセット昇降機構20は、第2の駆動源22を含むリニアガイドアクチュエータ29と、第2の電磁石ユニット32等を備えている。
On the other hand, the
リニアガイドアクチュエータ29は、例えば、第2の駆動源としての電動サーボモータあるいはサーボシリンダ22の駆動によりガイドブロック34をガイドレール33に沿って昇降させ、最終制御位置が制御弁への入力信号の関数をなすような追従機構を一体として備えた精密送り機構として構成されている。なお、当該送り機構をボールネジユニット等で構成してもよい。
For example, the
ガイドブロック34には、第2の電磁石ユニット32を支持するブラケット35が取り付けられている。第2の電磁石ユニット32は、カセット2の昇降軸11の端部11Aに磁力により結合し、リニアガイドアクチュエータ29の駆動により、ベローズ12の伸縮を伴って、カセット2を密閉容器3内で昇降させる。
A
なお、第2の電磁石ユニット32には、ブラケット35に支持されている可撓性導出管36の内部を介して、図示しない電力供給システムに接続されている。
The
以上のように構成される基板搬送装置11及び基板処理装置15により、本発明の基板搬送システムが構成される。次に、この作用について説明する。
The
基板搬送装置1の密閉容器3の内部に配置されたカセット2には、高さ方向に複数枚の基板が収納されている。バルブユニット6は開口5を閉塞する位置にあり、密閉容器3の内部は、窒素雰囲気又は所定の真空圧に保持されている。
A plurality of substrates are accommodated in the height direction in the
基板搬送装置1は、基板処理装置15の接続管17の端部に設けられた基準ピン17aにバルブユニット6の基準孔6aを嵌合させることによって、基板処理装置15との接続が図られる。これにより、密閉容器3の開口5と接続管17の通路16とが整列する。
The
基板搬送装置1と基板処理装置15との接続が完了すると、基板処理装置15に設けられたバルブ開閉機構19の第1の電磁石ユニット31及びカセット昇降機構20の第2の電磁石ユニット32は、バルブユニット6のガイドロッド下端8A及びカセット2の昇降軸下端11Aにそれぞれ対向する。そこで、第1,第2の駆動源21,22をそれぞれ作動させ、第1,第2の電磁石ユニット31,32をガイドロッド下端8A及び昇降軸下端11Aにそれぞれ当接させた後、電力を供給して磁力により互いに連結する。
When the connection between the
次に、真空ポンプ18を作動させて、通路16を所定の圧力にまで真空排気する。その後、バルブ開閉機構19の作動により、ガイドロッド8を付勢力に抗して引き下げ、開口5を開放し、密閉容器3の内部と通路16とを互いに連通させる(図2)。
Next, the
この状態で、カセット2から基板が真空チャンバへ搬入される。基板の搬入は、真空チャンバ側に設置された図示しない搬送ロボットを介して行われる。基板処理装置15における基板の処理は、カセット2から取り出した基板を処理(例えば成膜処理)した後、当該処理済の基板をカセット2の元の位置へ収納し、そして次なる基板をカセット2から取り出して処理する方式や、カセット2に収納された基板を順次取り出し、処理済の基板を別途用意されている同様な構成の基板搬送装置へ搬出する方式等、いずれの方式も適用できる。
In this state, the substrate is carried from the
このとき、カセット2は、カセット昇降機構20の駆動により昇降し、基板の取り出し位置が調整される。本実施の形態では、精密送り可能なリニアガイドアクチュエータ29でカセット昇降機構20が構成されているので、カセット2の任意の基板収納位置を所定の取り出し位置へ精度良く供給することができる。
At this time, the
さて、カセット2に収納されている全ての基板に対する処理が完了した後、バルブ開閉機構19の作動によりバルブユニット6は閉位置へ復帰される。このとき、密閉容器3の内部は、通路16と同等の真空圧に保持される。そして、第1,第2の電磁石ユニット31,32に対する通電が解除され、これに伴って、ガイドロッド8及び昇降軸11との連結が解除される。
After the processing for all the substrates stored in the
その後、接続管17の内部の通路16は大気に解放され、基板搬送装置1は、基板処理装置15から切り離されて、処理済の基板あるいは空のカセット2を次工程へ向けて搬送する。
Thereafter, the
以上のように、本実施の形態の基板搬送システムによれば、基板搬送装置1と基板処理装置15との間で、基板を大気に曝すことなく搬入又は搬出することができ、例えば有機EL表示装置用ガラス基板等のように、大気に曝さないことが条件とされる被処理基板の搬入出に対して効果的な基板処理システムを構築することができる。
As described above, according to the substrate transfer system of the present embodiment, the substrate can be carried in or out between the
そして、本実施の形態によれば、基板搬送装置1のバルブユニット6及びカセット2を駆動する各駆動源を基板処理装置15側に設けたので、基板搬送装置1を基板処理装置15へ接続した後、バルブやカセットを駆動させるために圧空カプラやコネクターケーブル等を用いた面倒な連結作業を廃止できるので、速やかに且つ的確にバルブの開閉動作及びカセットの昇降動作を行うことが可能となり、これにより作業性及び生産性の向上を図ることができる。
And according to this Embodiment, since each drive source which drives the
また、本実施の形態によれば、基板搬送装置1のバルブユニット6及びカセット2を駆動する各駆動源を基板処理装置15側に設けたので、基板搬送装置1の構成を簡素化及び軽量化を図ることができ、これにより基板搬送装置1の取り扱い性及び取り回し性を高めることができる。
In addition, according to the present embodiment, since each drive source for driving the
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。 The embodiment of the present invention has been described above. Of course, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
例えば以上の実施の形態では、バルブユニット6のガイドロッドとバルブ開閉機構19の駆動ロッド23との間の連結、及び、カセット2の昇降軸11とカセット昇降機構20のリニアガイドアクチュエータ29との間の連結を、それぞれ第1,第2の電磁石ユニット31,32で行うようにしたが、これに限らず、例えば機械的な係合作用等を伴った連結形態を採用することも可能である。
For example, in the above embodiment, the connection between the guide rod of the
また、基板搬送装置1のバルブユニット6を、ガイドロッド8の引き下げ動作によってバルブ本体7を開放位置へ移動させる構成を説明したが、逆に、ガイドロッドを上昇させてバルブ本体を開放位置へ移動させる構成も適用可能である。この場合、バルブ開閉機構の駆動ロッドは、端に、ガイドロッド端部と当接させるだけの構成とすることができる。
なお、バルブユニット6の開閉動作は、ガイドロッドの上下方向の移動だけでなく、横方向又は回転方向の移動としてもよい。
Further, the configuration in which the
The opening / closing operation of the
更に、基板処理装置15として、上述の実施形態では成膜装置等の真空処理装置を例に挙げたが、勿論これに限られず、密閉容器3内のカセット2に対して基板を搬入する仕込み室や、カセット2から基板を取り出す取出し室等も、本発明の基板処理装置として構成することができる。
Further, as the
1 基板搬送装置
2 カセット
3 密閉容器
4 台車部
5 開口
6 バルブユニット
7 バルブ本体
8 ガイドロッド(駆動力被伝達部、軸状部材)
11 昇降軸(駆動力被伝達部、軸状部材)
15 基板処理装置
16 通路
17 接続管
18 真空ポンプ
19 バルブ開閉機構
20 カセット昇降機構
21 第1の駆動源
22 第2の駆動源
23 駆動ロッド
26 ストッパ
29 リニアガイドアクチュエータ
31 第1の電磁石ユニット
32 第2の電磁石ユニット
DESCRIPTION OF
11 Elevating shaft (driving force transmitted part, shaft-shaped member)
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記基板を高さ方向に複数収納できるカセットを内部に有する密閉容器と、この密閉容器に形成され前記カセットと前記基板処理装置との間で前記基板の受け渡しを行う開口を開閉するバルブとを備え、
前記バルブ及び前記カセットには、前記基板処理装置への前記基板搬送装置の接続時に、前記基板処理装置に設けられた駆動源に結合されることにより駆動力が伝達される駆動力被伝達部がそれぞれ設けられていることを特徴とする基板搬送装置。 A substrate transfer apparatus that can be connected to a substrate processing apparatus and carries a substrate into or out of the substrate processing apparatus ,
A hermetically sealed container having therein a cassette capable of storing a plurality of the substrates in the height direction; and a valve formed in the sealed container for opening and closing an opening for transferring the substrate between the cassette and the substrate processing apparatus. ,
The valve and the cassette include a driving force receiving portion to which a driving force is transmitted by being coupled to a driving source provided in the substrate processing apparatus when the substrate transport apparatus is connected to the substrate processing apparatus. A substrate transfer device provided respectively.
前記基板搬送装置は、前記基板を高さ方向に複数収納できるカセットを内部に有する密閉容器と、この密閉容器に形成され前記カセットと基板処理装置との間で前記基板の受け渡しを行う開口を開閉するバルブとを備えていると共に、
前記基板処理装置は、前記バルブを開閉する駆動源を含むバルブ開閉機構と、前記カセットを昇降させる駆動源を含むカセット昇降機構とを備えており、
前記基板搬送装置は、前記基板処理装置に接続されることにより、前記バルブ開閉機構及び前記カセット昇降機構を介して前記バルブ及び前記カセットがそれぞれ駆動されることを特徴とする基板搬送システム。 A substrate transfer system for loading or unloading a substrate between a substrate transfer apparatus and a substrate processing apparatus,
The substrate transfer device opens and closes an airtight container having a cassette capable of storing a plurality of the substrates in the height direction, and an opening formed in the airtight container for transferring the substrate between the cassette and the substrate processing apparatus. And a valve that
The substrate processing apparatus includes a valve opening / closing mechanism including a driving source for opening / closing the valve, and a cassette lifting / lowering mechanism including a driving source for lifting / lowering the cassette,
The substrate transfer system is connected to the substrate processing apparatus, so that the valve and the cassette are driven via the valve opening / closing mechanism and the cassette lifting / lowering mechanism, respectively.
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