JP4490774B2 - 差動型熱電素子 - Google Patents
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Description
、リファレンス側検出器には検出対象物を置かず、外部温度変化だけの出力を得るようにさせ、サンプル側検出器との出力差をとることで、ノイズ成分を相殺し感度を向上させる工夫をしている。
柱状素子のみで形成された列とp型柱状素子のみで形成された列が交互に繰り返されているとよい。
以下、図面を用いて本発明の差動型熱電素子の最適な実施形態を説明する。図1は本発明の差動型熱電素子の温接点側から見た斜面図であり、図2は同じ差動型熱電素子を冷接点側から見た斜視図である。
幅を110μm、縦隔壁2の幅を90μmとした。
覆われて測定試料が入り込めない形にできる場合は、冷接点22側の第2の配線電極32に反応層30が形成されていても問題ない。
続いて本発明の差動型熱電素子の別な構造について説明する。図7には本実施の形態の熱電素子構造について温接点側から見た斜視図を、また図8には冷接点側からみた斜視図を示している。
電対を作り上げている。そして図8に見られるように、第2の配線電極32はその熱電対をさらに直列化させる役目をしているが、こちらは隣り合ったn型柱状素子10同士あるいはp型柱状素子11同士を電気的に繋いでいる。
続いて本発明の差動型熱電素子のさらに別な構造について説明する。図14には本実施の形態の熱電素子構造について温接点側から見た斜視図を、また図15には冷接点側からみた斜視図を示している。
る出力はほとんど現れずに、検出対象物と反応層30が関与した反応で生ずる熱による応答のみを純粋にとらえられるセンサとして駆動するものである。
2 縦隔壁
3 n型櫛歯素子
4 p型櫛歯素子
5 一体化櫛歯素子
6 横溝
7 横隔壁
8 分離溝
10 n型柱状素子
11 p型柱状素子
21 温接点
22 冷接点
30 反応層
31 第1の配線電極
32 第2の配線電極
40 保護層
Claims (6)
- n型熱電半導体からなる複数のn型柱状素子とp型熱電半導体からなる複数のp型柱状素子と、
隣り合ったn型柱状素子とp型柱状素子を温接点部において電気的に接続し1対の熱電対を形成する第1の配線電極と、
隣り合った熱電対を冷接点部において電気的に接続し、複数の熱電対を直列化させる第2の配線電極を有する熱電素子であって、
前記第2の配線電極には隣り合ったn型柱状素子同士またはp型柱状素子同士を接続する電極を含めることで、極性の相反する熱電対を直列化し、
該直列化させた複数の熱電対には、極性の相反する熱電対が同数存在し、
該極性の相反する2種類の熱電対の中で、一方の極性の熱電対の温接点にのみ選択的に熱交換を行う反応層を設けたことを特徴とする差動型熱電素子。 - 請求項1に記載の差動型熱電素子において、
前記反応層は化学反応物質または赤外線吸収体であることを特徴とする差動型熱電素子。 - 請求項1に記載の差動型熱電素子において、
前記極性の相反する複数の熱電対は、一方の極性の熱電対と他方の極性の熱電対が、1対ごとに交互に繰り返されていることを特徴とする差動型熱電素子。 - 請求項1に記載の差動型熱電素子において、
一方の極性の熱電対が連続した熱電対列と他方の極性の熱電対が連続した熱電対列とをそれぞれ同数有し、各熱電対列は同数の熱電対を含むことを特徴とする差動型熱電素子。 - 請求項4に記載の差動型熱電素子において、
前記n型柱状素子とp型柱状素子は縦横に列を作る配置であって、一方の列が前記熱電
対列をなし、該熱電対列に対して垂直方向の列は、n型柱状素子のみで形成された列とp型柱状素子のみで形成された列が交互に繰り返されており、
前記各熱電対列の両端で、互いに隣接する熱電対のn型柱状素子またはp型柱状素子同士を、前記第2の配線電極で接続することにより、前記極性の相反する熱電対列が1列ごとに交互に繰り返されていることを特徴とする差動型熱電素子。 - n型熱電半導体からなる複数のn型柱状素子とp型熱電半導体からなる複数のp型柱状素子と、
隣り合ったn型柱状素子とp型柱状素子を温接点部において電気的に接続し1対の熱電対を形成する第1の配線電極と、
隣り合った熱電対のn型柱状素子とp型柱状素子を冷接点部において電気的に接続し、複数の熱電対列とする第2の配線電極を有する熱電素子であって、
前記熱電対列は極性の相反するものが同数存在し、
前記各熱電対列内に存在する熱電対の数が同じであり、
一方の極性の熱電対の温接点にのみ選択的に熱交換を行う反応層を設け、
前記第2の配線電極のうち2つの配線電極は、前記各熱電対列の両端において、該各熱電対列の柱状素子同士を電気的に接続することにより、極性の相反する前記複数の熱電対列を並列接続していることを特徴とする差動型熱電素子。
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