JP4487016B1 - 通電部材、接続部材、試験装置および接続部材を修繕する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
Claims (25)
- 被試験デバイスを試験するテストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する接続部材のフレームに設けられた開口に、着脱可能に配される通電部材であって、
前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する導電部と、
弾性を有し、前記導電部を保持する保持部と、
を備え、
前記保持部は、前記開口にはめ込まれる凸部と、前記フレームの表面に着脱可能に結合され、前記開口にはめ込まれない係止部とを有し、
前記凸部と前記開口の側面との間に生じる力、および、前記係止部と前記フレームの表面との結合により、前記フレームに着脱可能に保持される、
通電部材。 - 前記係止部は、前記フレームの表面に設けられた突出部と結合できる結合用開口を含む、
請求項1に記載の通電部材。 - 被試験デバイスを試験するテストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する接続部材のフレームに設けられた開口に、着脱可能に配される通電部材であって、
前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する導電部と、
弾性を有し、前記導電部を保持する保持部と、
を備え、
前記保持部は、前記フレームの表面に着脱可能に結合され、前記開口にはめ込まれない係止部を有し、
前記係止部は、前記フレームの表面に設けられた突出部と結合できる結合用開口を含む、
通電部材。 - 前記フレームおよび前記保持部により密閉される領域と、前記密閉される領域の外部との圧力差により、前記フレームに着脱可能に保持される、
請求項1から請求項3までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記係止部の内部に、
中空領域と、
前記中空領域と前記係止部の外部とを連通する開口と、
が設けられる、
請求項1から請求項4までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記中空領域は、前記開口が前記フレームに塞がれることにより、前記フレームおよび前記保持部により密閉される、
請求項5に記載の通電部材。 - 前記保持部の弾性により、前記フレームに着脱可能に保持される、
請求項1から請求項6までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記導電部は、弾性を有する、
請求項1から請求項7までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記導電部は、前記保持部の表面から突出する、
請求項1から請求項8までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記保持部の少なくとも1つの断面の輪郭が、T型、十字型、H型、Y型または四角形である、
請求項1から請求項9までの何れか一項に記載の通電部材。 - 前記導電部は、前記保持部を貫通し、
前記保持部は、絶縁性を有する、
請求項1から請求項10までの何れか一項に記載の通電部材。 - 被試験デバイスを試験するテストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する接続部材であって、
開口を有するフレームと、
前記開口に着脱可能に配され、前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する通電部材と、
を備え、
前記通電部材は、
前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する導電部と、
弾性を有し、前記導電部を保持する保持部と、
を有し、
前記保持部は、前記開口にはめ込まれる凸部と、前記フレームの表面に着脱可能に結合され、前記開口にはめ込まれない係止部とを含み、
前記凸部と前記開口の側面との間に生じる力、および、前記係止部と前記フレームの表面との結合により、前記通電部材が前記フレームに着脱可能に保持される、
接続部材。 - 前記凸部を前記開口の貫通方向に垂直な面で切断した場合の断面積は、前記開口を前記開口の貫通方向に垂直な面で切断した場合の断面積より大きい、
請求項12に記載の接続部材。 - 前記フレームは、表面に突出部を含み、
前記係止部は、前記突出部がはめ込まれる結合用開口を含む、
請求項12または請求項13に記載の接続部材。 - 被試験デバイスを試験するテストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する接続部材であって、
開口を有するフレームと、
前記開口に着脱可能に配され、前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する通電部材と、
を備え、
前記通電部材は、
前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する導電部と、
弾性を有し、前記導電部を保持する保持部と、
を有し、
前記フレームは、表面に突出部を含み、
前記保持部は、前記フレームの表面に着脱可能に結合され、前記開口にはめ込まれない係止部を含み、
前記係止部は、前記突出部がはめ込まれる結合用開口を含む、
接続部材。 - 前記結合用開口を前記結合用開口の貫通方向に垂直な面で切断した場合の断面積は、前記突出部を前記結合用開口の貫通方向に垂直な面で切断した場合の断面積より大きい、
請求項14または請求項15に記載の接続部材。 - 前記突出部は、表面に凹凸を有する、
請求項14から請求項16までの何れか一項に記載の接続部材。 - 前記フレームおよび前記保持部により密閉される領域と、前記密閉される領域の外部との圧力差により、前記フレームに着脱可能に保持される、
請求項12から請求項17までの何れか一項に記載の接続部材。 - 前記係止部の内部に、
中空領域と、
前記中空領域と前記係止部の外部とを連通する開口と、
が設けられる、
請求項12から請求項18までの何れか一項に記載の接続部材。 - 前記中空領域は、前記開口が前記フレームに塞がれることにより、前記フレームおよび前記保持部により密閉される、
請求項19に記載の接続部材。 - 前記通電部材は、前記保持部の弾性により前記フレームに保持される、
請求項12から請求項20までの何れか一項に記載の接続部材。 - 前記フレームは、前記開口の側面に凹凸を有する、
請求項12から請求項21までの何れか一項に記載の接続部材。 - 前記保持部を、前記フレームの前記テストヘッド側の面から前記フレームの被試験デバイス側の面に向かう方向に切断した場合の断面の輪郭が、T型、十字型、H型、Y型または四角形である、
請求項12から請求項22までの何れか一項に記載の接続部材。 - 被試験デバイスを試験するテストヘッドと
前記テストヘッドに試験パターンを供給する本体部と、
前記テストヘッドと前記被試験デバイスとを電気的に接続する、請求項12から請求項23までの何れか一項に記載の接続部材と、
を備える、
試験装置。 - 請求項12から請求項23までの何れか一項に記載の接続部材を修繕する方法であって、
前記開口に配された前記通電部材を、前記フレームから取り外す段階と、
前記開口に、他の前記通電部材を配する段階と、
を備える、
接続部材を修繕する方法。
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