JP4479447B2 - 塗布液供給装置及びスリットコート式塗布装置 - Google Patents

Description

この発明は、作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置、及び作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置から供給された塗布液を塗布ヘッドのスリット状開口から塗布対象物上に均一に塗布し塗布対象物上に均一な厚さの塗膜を形成するスリットコート式塗布装置に関係している。

このようなスリットコート式塗布装置は、例えばフラットパネルディスプレイのためのカラーフィルターを製造するのに使用されている。ここにおいて作動流体駆動式ダイヤフラムポンプは、スリットコート式塗布装置に対し塗布液に異物を混ぜる可能性なしで塗布液を安定して定量的に供給することが出来ることが優れている。

図１には、縦断面にされている従来のこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０を備えた塗布液供給装置が組み込まれている従来のスリットコート式塗布装置６が概略的に示されている。

スリットコート式塗布装置６は、塗布液溜まり８ａとスリット状開口８ｂとを備えた塗布ヘッド８を備えている。塗布ヘッド８は、塗布対象物９において塗布液Ｌを塗布する所定の表面９ａに対しスリット状開口８ｂを所定の距離離間させた状態で相対的に移動可能である。ここで相対的に移動可能とは、塗布ヘッド８及び塗布対象物９のいずれか一方が静止した他方に対し移動可能であるか、あるいは塗布ヘッド８及び塗布対象物９の両方が相互に正反対の方向に移動可能である、ことを意味している。

塗布対象物９は例えばフラットパネルディスプレイのカラーフィルター素材である。

そして、このような塗布ヘッド８の構成は公知である。

従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０は：塗布液タンクを含む塗布液供給源１２に接続された塗布液入口１４ａと塗布ヘッド８の塗布液溜まり８ａに接続された塗布液出口１４ｂとを有した塗布液室１４と、塗布液室１４に隣接しておりダイヤフラム１８により塗布液室１４から隔離されている作動流体動作室２０と、含む弁ハウジング２２と；そして弁ハウジング２２の作動流体動作室２０に連通し、ピストン２４が往復動自在に収容されているピストン収容孔２６ａを有するピストンハウジング２６と；を備えている。

弁ハウジング２２はさらに、塗布液室１４に連通された抽気孔１４ｃを備えており、抽気孔１４ｃには開閉弁１４ｄが介在されている。開閉弁１４ｄは、通常は閉鎖されている。

ピストンハウジング２６のピストン収容孔２６ａの内周面においてピストン２４の往復移動方向に相互に離間した２つの位置には、ピストン２４の外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂが設けられている。

ピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、作動流体動作室２０に近い方の一方のピストン支持手段２８ａよりも作動流体動作室２０にさらに近い位置に、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間を塞ぎ、かつピストン２４の往復動作を許容する第１の密封部材３０が設けられている。

第１の密封部材３０は、例えばゴムのような弾性を有した材料により構成されていて、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間において作動流体動作室２０に向けて開いた凹所を有している。このような第１の密封部材３０は、作動流体動作室２０中の作動流体がピストン２４により加圧されたときに、作動流体動作室２０中からピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間に侵入して来た加圧された作動流体を上記凹所に受けて上記隙間でピストン２４の半径方向の外方及び内方に膨らみ、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに密着して上記隙間を封じる。

ピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、作動流体動作室２０から遠い方の他方のピストン支持手段２８ｂよりも作動流体動作室２０から遠い位置に、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間を塞ぎ、かつピストン２４の往復動作を許容する第２の密封部材３２が設けられている。

第２の密封部材３２もまた、例えばゴムのような弾性を有した材料により構成されていて、外部空間から水や埃等の種々の異物がピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間に侵入するのを防止する。

図１を参照しながら上述した如く構成されている従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０においては、塗布液供給源１２から弁ハウジング２２の塗布液入口１４ａを介して塗布液室１４中に塗布液を吸引する為に、ピストン２４が作動流体動作室２０から遠ざかる方向に移動されると、作動流体動作室２０中の作動流体に負荷されている圧力が減少する。そして、この結果として、作動流体動作室２０に近い方の第１の密封部材３０が上記作動流体の圧力によりピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに対して押圧されていた力が弱まり、外部空間から第２の密封部材３２を潜り抜けてピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間のわずかな隙間中に入り込んでいる空気が第１の密封部材３０を潜り抜けして、作動流体動作室２０中に入り込んでしまうことがあった。さらに、このような第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入は、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の使用期間が伸び、そして第１の密封部材３０の磨耗が進むにつれて増大しやすくなる。

第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入が繰り返されると、作動流体動作室２０中に入り込んでしまった圧縮性の空気の影響でピストン２４の移動に正確に対応してダイヤフラム１８が移動しなくなる。このことは、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０による塗布液供給源１２から塗布ヘッド８への塗布液の正確な定量の供給が行われなくなることを意味する。そして、塗布ヘッド８は、塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの均等な塗布を行うことが出来なくなり、所定の表面９ａ上へ塗布液Ｌが塗布された塗布対象物９から作られる、例えばフラットパネルディスプレイの為のカラーフィルターに不良が発生する。

このような事象を調べる為に、図１中に示されている従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の弁ハウジング２２において作動流体動作室２０に連通している抽気孔２０ａに図示されていない圧力計を連結する。

塗布ヘッド８に対しての塗布液の供給は作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０により行われ、このことは塗布ヘッド８における塗布液の圧力は、動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の作動流体動作室２０における作動流体の圧力に対応していることを意味する。

そして図２には、図１の塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布ヘッド８のスリット状開口８ｂを介しての塗布液Ｌの塗布作業が開始される前後における作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の作動流体動作室２０における作動流体の圧力の変化（これは、上述した如く、塗布ヘッド８における塗布液の圧力の変化に対応する）の一例が示されており；
図３には、塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布ヘッド８のスリット状開口８ｂを介しての塗布液Ｌの塗布作業が開始された後における塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの塗布距離と塗布膜の厚さとの関係を示す一例が示されている。

塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布ヘッド８のスリット状開口８ａを介しての塗布液Ｌの塗布作業が開始される前には、スリット状開口８ｂが閉じられている間に作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０によって塗布液に所定の圧力が負荷されている。そして、スリット状開口８ｂが開かれ上記塗布作業が開始されると、作動流体動作室２０に空気が混入していない正常な場合には、一旦急減に塗布液の圧力が低下した後にさらに塗布液の圧力が塗布のための所定の圧力まで急速に回復する。このことは、図２中に実線Ａにより作動流体動作室２０中の作動流体の圧力の変化として示されている。

そして、上述した如く塗布作業が開始されたときには、図３中に実線Ｂにより示されているように、塗布ヘッド８から塗布対象物９の所定の表面９ａ上へと塗布される塗布液Ｌの膜厚が急激に所定の値にまで立ち上がる。

スリット状開口８ｂが開かれ上記塗布作業が開始された時に、前述した如く作動流体動作室２０に空気が混入していた場合には、前述した如く作動流体動作室２０に空気が混入していなかった場合と比べると、塗布液の圧力の最初の低下が少なく、次に塗布液の圧力が塗布のための所定の圧力まで不安定に回復する。このことは、図２中に実線Ａ´により作動流体動作室２０中の作動流体の圧力の変化として示されている。

そして、上述した如く塗布作業が開始されたときには、図３中に実線Ｂ´により示されているように、塗布ヘッド８から塗布対象物９の所定の表面９ａ上へと塗布される塗布液Ｌの膜厚が所定の値を超えて一旦急激に立ちあがった後に急激に所定の値にまで下降する。

塗布液Ｌの膜圧のこの急激な立ち上がりは、作動流体動作室２０中に混入されていて加圧されていた空気による押し出し効果と考えられている。

所定の値を超えてのこのような塗布液Ｌの膜厚の急激な立ち上がりは、塗布液Ｌの無駄使いとなり、また塗布対象物９の所定の表面９ａ上からの塗布液Ｌの溢れ出しともなる。そして、これら無駄使いやあふれ出しの量は、作動流体動作室２０中に混入された空気の量が増加するにつれて増加する。

この発明は上記事情の下でなされ、この発明の目的は、作動流体動作室への空気の混入をなくすことが出来、スリットコート式塗布装置を常に安定して動作させることが出来る作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置、及びこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたスリットコート式塗布装置を提供することである。

上述した如きこの発明の目的を達成するために、この発明に従った塗布液供給装置は： 塗布液入口と塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
を備えていて、ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
ことを特徴とする。

また、上述した如きこの発明の目的を達成するために、この発明に従ったスリットコート式塗布装置は：
塗布液を供給する塗布液供給装置と；
塗布液供給装置に連通されており、スリット状開口を備え、塗布液供給装置から供給された塗布液の一定量をスリット状開口から塗布対象物上に吐出しつつ塗布対象物に対し相対的に移動することにより塗布対象物上に均一な厚さの塗膜を形成する塗布ヘッドと；
を備えているスリットコート式塗布装置であって、
塗布液供給装置が：
塗布液供給源に連通された塗布液入口と塗布ヘッドに連通された塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていて、
ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
ことを特徴としている。

上述した如く構成されているこの発明に従った塗布液供給装置は、作動流体動作室への空気の混入をなくすことが出来、スリットコート式塗布装置を常に安定して動作させることが出来る作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えることが出来、そして上述した如く構成されているこの発明に従ったスリットコート式塗布装置はこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれている。

次に、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプが組み込まれたスリットコート式塗布装置について図４及び図５を参照しながら詳細に説明する。

なお、図４は、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の縦断面で示された作動流体駆動式ダイヤフラムポンプが組み込まれたスリットコート式塗布装置を概略的に示す図であり、図５は、図４の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプのピストンハウジングの拡大された縦断面図である。

この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプが組み込まれたスリットコート式塗布装置の基本的な構成は、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたスリットコート式塗布装置６の基本的な構成と同じである。従って、図４及び図５中に示されているこの発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ及びそれが組み込まれたスリットコート式塗布装置の構成部材において図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたスリットコート式塗布装置６の構成部材と同様の構成部材には、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたスリットコート式塗布装置６において対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０が組み込まれたスリットコート式塗布装置３６の構成が、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたスリットコート式塗布装置１６の構成と異なっているのは、以下の事項である。

ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において、２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの間の両外側に、ピストン２４の外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段４２，４４が設けられている。

ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、２つの密封手段４２，４４の間に密封流体が供給される密封流体供給孔４６が設けられている。

密封流体供給孔４６には、密封流体供給孔４６に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源４８が連通されている。

ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、２つの密封支持手段４２，４４の間で密封流体供給孔４６とは別の位置にブリーザ孔５０が設けられている。ブリーザ孔５０は、密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔４６に供給された時に、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封支持手段４２，４４の間とピストン２４の外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すために使用される。そして、ブリーザ孔５０は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源４８からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される。

より詳細には、この実施の形態では、２つの密封手段４２，４４の夫々は例えばゴムのような弾性材料により形成されている。そして、２つの密封手段４２，４４の中で作動流体動作室２０に近い方の密封手段４２は、図５中に拡大されて示されているように、作動流体動作室２０から遠ざかる方向に入り口を向けた凹所を有している。また、作動流体動作室２０から遠い方の密封手段４２は、図５中に拡大されて示されているように、作動流体動作室２０に近づく方向に入り口を向けた凹所を有している。

密封流体供給孔４６は、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封支持手段４２，４４の間で下端位置に配置されている。

密封流体加圧供給源４８は、ピストンハウジング２６´の上方に配置され密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンク４８ａと、密封流体貯蔵タンク４８ａの下端部からピストンハウジング２６´の密封流体供給孔４６へと延びた配管４８ｂと、を含んでおり、密封流体貯蔵タンク４８ａの上端部には大気連通孔４８ｃが形成されている。

即ち、この実施の形態の密封流体加圧供給源４８は、大気連通孔４８ｃを介して密封流体貯蔵タンク４８ａ中の密封流体に大気圧を負荷し、大気圧による加圧を利用して密封流体貯蔵タンク４８ａ中の密封流体を密封流体供給孔４６へと加圧された状態で供給している。

ブリーザ孔５０は、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封手段４２，４４の間で上端位置に配置されている。そして、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封手段４２，４４の間とピストン２４の外周面との間の隙間中に密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧された状態で密封流体供給孔４６を介して最初に密封流体が供給される時には、ブリーザ孔５０は開放されている。上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源４８からの加圧された状態の密封流体によりブリーザ孔５０から完全に追い出された後に、ブリーザ孔５０は公知の閉塞部材に閉塞される。

密封流体は、作動流体と同じか、又は相互に混ざり合っても夫々の特性を損なわない材質であることが当然好ましい。

上述した如く構成されているこの発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０においては、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの両外側に設けられている２つの密封手段４２，４４の間でピストン収容孔２６ａの内周面とピストン２４の外周面との間の隙間に密封流体が加圧された状態で常に充填されている。

したがって、図１を参照しながら前述した従来の塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０とは異なり、塗布液供給源１２から弁ハウジング２２の塗布液入口１４ａを介して塗布液室１４中に塗布液を吸引する為に、ピストン２４が作動流体動作室２０から遠ざかる方向に移動され、作動流体動作室２０中の作動流体に負荷されている圧力が減少し、この結果として、作動流体動作室２０に近い方の第１の密封部材３０が上記作動流体の圧力によりピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに対して押圧されていた力が弱まった場合でも、上述した如く密封流体が充填されているピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間のわずかな隙間には外部空間から第２の密封部材３２を潜り抜けて空気が入り込んでいることがないので、外部空間からの空気が第１の密封部材３０を潜り抜けして作動流体動作室２０中に入り込んでしまうことがない。

従って、第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入がないので、作動流体動作室２０中に入り込んでしまった圧縮性の空気の影響でピストン２４の移動に正確に対応してダイヤフラム１８が移動しなくなることがない。このことは、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０による塗布液供給源１２から塗布ヘッド８への塗布液の正確な定量の供給が常に行われることを保障する。そして、塗布ヘッド８は、塗布対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの均等な塗布を常に行うことが出来、塗布液Ｌが所定の表面９ａ上に塗布された塗布対象物９から作られる、例えばフラットパネルディスプレイの為のカラーフィルターに不良が発生することがない。

ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの両外側に設けられている２つの密封手段４２，４４の間でピストン収容孔２６ａの内周面とピストン２４の外周面との間の隙間に加圧された状態で常に充填されている密封流体は、２つの密封手段４２，４４の間の２つの軸支持手段２８ａ，２８ｂを潤滑するとともに、２つの密封手段４２，４４の両外側にも滲み出て第１の密封部材３０や第２の密封部材３２を潤滑し、第１の密封部材３０や第２の密封部材３２の磨耗を著しく低減させる。この結果、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０に比べ、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０が正常に動作することが期間が著しく延びる。

なお上述した実施の形態では、密封流体加圧供給源４８は大気圧を利用して密封流体を加圧した状態で供給していたが、例えばポンプ等の公知の圧送手段を利用して密封流体を加圧した状態で供給することも出来る。

さらに、２つの密封手段４２，４４の夫々をＯ−リングにより構成することも出来る。また、Ｏ−リングは、ピストン２４の往復動方向のいずれの方向においても等しく密封作用を生じさせるので、第１の密封部材３０及び第２の密封部材３２の夫々を省略することも可能になる。

従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたスリットコート式塗布装置の構成を概略的に示す図である。 従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたスリットコート式塗布装置において塗布対象物の所定の表面上への塗布ヘッドのスリット状開口を介しての塗布液の塗布作業が開始される前後における従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの作動流体動作室における作動流体の圧力の変化の一例を、作動流体動作室に空気が混入していない正常な場合と空気が混入している正常でない場合とで示す図である。 従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたスリットコート式塗布装置において塗布対象物の所定の表面上への塗布ヘッドのスリット状開口を介しての塗布液の塗布作業が開始された後における基板上への塗布液の塗布距離と塗布膜の厚さとの関係を示す一例を、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの作動流体動作室に空気が混入していない正常な場合と空気が混入している正常でない場合とで示す図である。 この発明の実施の形態に従った作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたスリットコート式塗布装置の構成を概略的に示す図である。 図４の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプのピストンハウジングの拡大された縦断面図である。

符号の説明

８…塗布ヘッド、８ｂ…スリット状開口、９…塗布対象物、９ａ…所定の表面、１２…塗布液供給源、１４…塗布液室、１４ａ…塗布液入口、１４ｂ…塗布液出口、１８…ダイヤフラム、２０…作動流体動作室、２４…ピストン、２６´…ピストンハウジング、２６ａ…ピストン収容孔、２８ａ，２８ｂ…ピストン支持手段、４０…作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ、４２，４４…密封手段、４６…密封流体供給孔、４８…密封流体加圧供給源、５０…ブリーザ孔、４８ａ…密封流体貯蔵タンク。

Claims (4)

1. 塗布液入口と塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
   弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
   密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
   を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていて、
   ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
   ことを特徴とする塗布液供給装置。
2. 前記密封流体加圧供給源は密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクを含んでいる、ことを特徴とする請求項１に記載の塗布液供給装置。
3. 塗布液を供給する塗布液供給装置と；
   塗布液供給装置に連通されており、スリット状開口を備え、塗布液供給装置から供給された塗布液の一定量をスリット状開口から塗布対象物上に吐出しつつ塗布対象物に対し相対的に移動することにより塗布対象物上に均一な厚さの塗膜を形成する塗布ヘッドと；
   を備えているスリットコート式塗布装置であって、
   塗布液供給装置が：
   塗布液供給源に連通された塗布液入口と塗布ヘッドに連通された塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
   弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
   密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
   ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
   を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていて、
   ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
   ことを特徴とするスリットコート式塗布装置。
4. 前記作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの前記密封流体加圧供給源が密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクを有している、ことを特徴とする請求項３に記載のスリットコート式塗布装置。

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