JP4479226B2 - Printed wiring board manufacturing equipment - Google Patents

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Description

本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に用いられるプリント配線板の製造装置と製造方法に関するものである。   The present invention relates to a printed wiring board manufacturing apparatus and manufacturing method used in various electronic devices such as a personal computer, a mobile communication telephone, and a video camera.

近年、電子機器の高性能化、高密度化に伴い、電子部品は、益々小型化、高集積化、高速化の傾向にある。   In recent years, as electronic devices have higher performance and higher density, electronic components are increasingly becoming smaller, more integrated, and faster.

このために、プリント配線板の形態も益々薄型、軽量化、高密度化の傾向が進み、それに伴い、配線パターン(ライン幅とスペース幅)は、年々狭くなっている。   For this reason, the printed wiring boards are becoming thinner, lighter, and higher in density, and the wiring patterns (line width and space width) are becoming narrower year by year.

以下に従来のプリント配線板のパターン形成方法について説明する。   A conventional printed wiring board pattern forming method will be described below.

高密度パターンが必要とされるプリント配線板では、一般に、不必要な部分を除去するサブトラクティブ法でパターンが形成される方法が多く採用されている。   In general, a printed wiring board that requires a high-density pattern often employs a method in which a pattern is formed by a subtractive method that removes unnecessary portions.

まず、図13(a)のパターン形成される前のプリント配線板21は、均一の厚さの銅はく22が表面全体を覆っている。   First, the printed wiring board 21 before the pattern formation of FIG. 13A has a copper foil 22 having a uniform thickness covering the entire surface.

図13(b)において、プリント配線板21の表面にドライフィルム24をラミネートし、図13(c)に示すように、露光フィルム25を使用してドライフィルムを露光する。   In FIG. 13B, a dry film 24 is laminated on the surface of the printed wiring board 21, and the dry film is exposed using an exposure film 25 as shown in FIG. 13C.

露光フィルム25には、目的とする配線パターンが作画されており、光が透過する部分と遮断される部分が存在する。光が透過する部分では、露光の光が透過し、ドライフィルムに到達する。その結果、ドライフィルムが反応し構造が変化する。   On the exposure film 25, a target wiring pattern is drawn, and there are portions where light is transmitted and portions where light is transmitted. In the portion where light is transmitted, the exposure light is transmitted and reaches the dry film. As a result, the dry film reacts and the structure changes.

その後は、液体の処理液を用いた処理工程になる。   After that, a processing process using a liquid processing liquid is performed.

まず、図13(d)に示すように、現像液で不要なドライフィルムを除去し、次にエッチング液でドライフィルムが無い部分の銅はくを除去する{図13(e)}。   First, as shown in FIG. 13 (d), the unnecessary dry film is removed with a developer, and then the copper foil where the dry film does not exist is removed with an etchant {FIG. 13 (e)}.

最後に、図13(f)において、はく離液で残っているドライフィルムを除去し、以上の工程により目的とするパターンの形成を行う。   Finally, in FIG. 13 (f), the dry film remaining in the peeling solution is removed, and the target pattern is formed by the above steps.

図14は従来のプリント配線板の製造方法における液処理工程の概略図であり、図15は同プリント配線板の製造装置による搬送方法を示す概略図であり、従来の液処理工程(現像〜エッチング〜はく離)の概略を示したものである。26は搬送ローラー、28は処理液放出口であり、29は処理液、30はプリント配線板進行方向を示す。   FIG. 14 is a schematic view of a liquid processing step in a conventional printed wiring board manufacturing method, and FIG. 15 is a schematic view showing a transport method by the printed wiring board manufacturing apparatus, and shows a conventional liquid processing step (development to etching). The outline of (-peeling) is shown. Reference numeral 26 denotes a conveyance roller, 28 denotes a processing liquid discharge port, 29 denotes a processing liquid, and 30 denotes a printed wiring board traveling direction.

従来の方法では、搬送ローラー26を回転させ、上下の搬送ローラー26間にプリント配線板21を移動させながら、上下の処理液放出口28より処理液を放出させ、パターン形成を行うこととしたものである。   In the conventional method, the transport roller 26 is rotated and the printed wiring board 21 is moved between the upper and lower transport rollers 26, and the processing liquid is discharged from the upper and lower processing liquid discharge ports 28 to perform pattern formation. It is.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開平10−207081号公報
For example, Patent Document 1 is known as prior art document information related to the invention of this application.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-207081

しかしながら、上記従来のプリント配線板のパターン形成方法では、以下の課題がある。   However, the conventional printed wiring board pattern forming method has the following problems.

図14からわかるように、プリント配線板21は、処理液が放出されている空間を一定速度で移動していく。このため、プリント配線板進行方向30の先頭部分が最初に処理される。その後、徐々にプリント配線板全体に処理が広がっていくが、最初の反応が激しいため最初に処理される銅はく量が他の部分より多くなる。これが配線パターンの仕上がり精度のばらつきを増大させる原因のひとつとなる。   As can be seen from FIG. 14, the printed wiring board 21 moves at a constant speed in the space from which the processing liquid is discharged. For this reason, the head portion of the printed wiring board traveling direction 30 is processed first. Thereafter, the treatment gradually spreads over the entire printed wiring board. However, since the initial reaction is intense, the amount of copper foil to be treated first becomes larger than other portions. This is one of the causes for increasing the variation in the finish accuracy of the wiring pattern.

また、図14、図15からわかるように、プリント配線板21を安定して搬送するためにプリント配線板の上下のX方向、Y方向ともに多くの搬送ローラー26が設置されている。プリント配線板が薄型、軽量化するのに比例して、搬送中のトラブルを防止するために搬送ローラーの設置個数も増加している。   As can be seen from FIGS. 14 and 15, in order to stably convey the printed wiring board 21, many conveying rollers 26 are installed in both the upper and lower X and Y directions of the printed wiring board. In proportion to the reduction in thickness and weight of printed wiring boards, the number of transport rollers installed is increasing in order to prevent problems during transport.

一方、図14からわかるように、処理液29は、この搬送ローラー26の外側からプリント配線板に向けて放出されている。ところが、設置された搬送ローラー26が障害になり、処理液29がプリント配線板21の表面に均一に当たらない。   On the other hand, as can be seen from FIG. 14, the treatment liquid 29 is discharged from the outside of the transport roller 26 toward the printed wiring board. However, the installed transport roller 26 becomes an obstacle, and the processing liquid 29 does not uniformly strike the surface of the printed wiring board 21.

この結果、各液処理工程での反応が不均一になり、配線パターンの寸法精度に悪影響を及ぼすという問題点を有していた。この問題点は、搬送ローラー26の設置数が増加するのに比例して大きくなる。   As a result, the reaction in each liquid treatment process becomes non-uniform, which has the problem of adversely affecting the dimensional accuracy of the wiring pattern. This problem increases in proportion to an increase in the number of transport rollers 26 installed.

近年、基板厚さが薄くなり、より安定した搬送が要求されるため、搬送ローラーの数が増加しており、搬送ローラーの悪影響が増加している。   In recent years, since the substrate thickness is reduced and more stable transport is required, the number of transport rollers is increasing, and the adverse effects of the transport rollers are increasing.

これを解決するための対策として、現在採用している手段は、処理液の放出力を増加させ、搬送ローラーの障害を少なくしている。しかし、この対策では、エネルギーの消費量が高く、また、搬送ローラーの障害を完全に無くすことは出来ない。   As measures for solving this problem, the currently employed means increases the discharge power of the processing liquid and reduces the obstacle of the transport roller. However, with this measure, the amount of energy consumed is high, and the failure of the transport roller cannot be completely eliminated.

本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、搬送ローラーを用いることなく、プリント配線板を処理液放出口を設けたユニットに固定して設置したままで、プリント配線板の処理を開始・終了することである。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and without using a transport roller, the printed wiring board is fixed and installed in a unit provided with a treatment liquid discharge port, and the printed wiring board is processed. It is to start and end.

本発明は、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を実現するための製造装置と製造方法を提供することを目的とするものである。   It is an object of the present invention to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method for realizing a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。   In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項1に記載の発明は、プリント配線板を平面状に固定可能なプリント配線板固定部と、複数の処理液放出口を有する処理液放出口固定部と、処理液放出口固定部に連結された処理液供給ホースとでユニットが構成され、前記処理液放出口固定部は、平面状に固定されるプリント配線板に対して垂直方向の所定位置に配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造装置としたものであり、この構成により従来必要とされた搬送ローラーを用いることなく、さらに処理液の放出口とプリント配線板表面間の距離が一定に保持されるので、処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。   According to the first aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board fixing portion capable of fixing a printed wiring board in a planar shape, a processing liquid discharge port fixing portion having a plurality of processing liquid discharge ports, and a processing liquid discharge port fixing. The processing liquid supply hose connected to the unit constitutes a unit, and the processing liquid discharge port fixing part is arranged at a predetermined position in the vertical direction with respect to the printed wiring board fixed in a planar shape. This is a printed wiring board manufacturing apparatus, and with this configuration, the distance between the treatment liquid discharge port and the surface of the printed wiring board is kept constant without using a conventionally required transport roller. The processing liquid can be sprayed onto the surface of the printed wiring board evenly with the processing capacity of the processing liquid and without causing a time difference. With this configuration, a manufacturing apparatus capable of obtaining a wiring pattern with high dimensional accuracy can be provided.

本発明の請求項2に記載の発明は、処理液放出口固定部には長さの異なる処理液放出口が取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、プリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。   The invention according to claim 2 of the present invention is characterized in that the processing liquid discharge port having a different length is attached to the processing liquid discharge port fixing portion. In accordance with the configuration content such as the size, shape and thickness of the surface copper foil of the printed wiring board, by arbitrarily adjusting the distance between the treatment liquid discharge port and the surface of the printed wiring board, The treatment liquid can be sprayed uniformly over the entire surface of the printed wiring board. With this configuration, a manufacturing apparatus capable of obtaining a wiring pattern with high dimensional accuracy can be provided.

本発明の請求項3に記載の発明は、平面状に固定されるプリント配線板の端部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さよりプリント配線板の中央部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さが長いことを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を処理液放出口の長さを長くすることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。   According to the third aspect of the present invention, the processing positioned in the vertical direction of the central portion of the printed wiring board is longer than the length of the processing liquid discharge port positioned in the vertical direction of the end portion of the printed wiring board fixed in a flat shape. 2. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the length of the liquid discharge port is long, and the contents of the printed wiring board dimensions, shape, surface copper foil thickness, etc. By adjusting the distance between the treatment liquid discharge port and the surface of the printed wiring board arbitrarily, the treatment liquid that tends to stay in the central part of the printed wiring board can be lengthened. This prevents the stagnation, whereby the processing liquid can be sprayed uniformly over the entire surface of the printed wiring board. With this configuration, a manufacturing apparatus capable of obtaining a wiring pattern with high dimensional accuracy can be provided.

本発明の請求項4に記載の発明は、処理液放出口固定部は回転、または揺動可能であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液のプリント配線板上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることができるという作用を有する。   Invention of Claim 4 of this invention is a manufacturing apparatus of the printed wiring board of Claim 1 characterized by the above-mentioned. The process liquid discharge port fixing | fixed part can rotate or rock | fluctuate, Thereby, it has the effect | action that a process speed can be improved by eliminating the stay on the printed wiring board of a process liquid.

本発明の請求項5に記載の発明は、複数の処理液供給ホースの端部は、処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプを介して配管されており、各処理液供給ホースへの流路にはそれぞれ圧力計と開閉バルブを備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を放出する圧力を高めることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。   In the invention according to claim 5 of the present invention, the ends of the plurality of treatment liquid supply hoses are piped through a treatment liquid storage tank and a treatment liquid supply pump, and the flow to each treatment liquid supply hose. 2. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1, wherein each of the passages is provided with a pressure gauge and an opening / closing valve, whereby the processing liquid that tends to stay particularly in the center of the printed wiring board. Retention is prevented by increasing the pressure at which the treatment liquid is released, so that the treatment liquid can be sprayed uniformly over the entire surface of the printed wiring board. With this configuration, a manufacturing apparatus capable of obtaining a wiring pattern with high dimensional accuracy can be provided.

本発明の請求項6に記載の発明は、処理液放出口固定部には処理液放出口を取り付けるための取り付け穴が所定ピッチ間隔で複数個設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりプリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口を取り付け位置や個数を容易に調整することが可能となりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。   According to a sixth aspect of the present invention, the treatment liquid discharge port fixing portion is provided with a plurality of mounting holes for attaching the treatment liquid discharge port at predetermined pitch intervals. The printed wiring board manufacturing apparatus according to the present invention can be used, and in accordance with the configuration contents such as the size and shape of the printed wiring board and the thickness of the surface copper foil, the mounting position and number of treatment liquid discharge ports can be determined. Adjustment can be easily performed, and the processing liquid can be uniformly sprayed on the entire surface of the printed wiring board. With this configuration, a manufacturing apparatus capable of obtaining a wiring pattern with high dimensional accuracy can be provided.

本発明の請求項7に記載の発明は、処理液供給ホースの端部は、異なる処理液が貯蔵された複数の処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプとバルブを介して配管されていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより異なる処理液の供給を処理液供給ホースに連結された配管のバルブの開閉により容易に行うことができる。   In the invention according to claim 7 of the present invention, the end portion of the treatment liquid supply hose is piped through a plurality of treatment liquid storage tanks storing different treatment liquids, a treatment liquid supply pump and a valve. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1, wherein different processing liquids can be easily supplied by opening and closing a valve of a pipe connected to the processing liquid supply hose. it can.

本発明の請求項8に記載の発明は、複数の処理液貯蔵槽は、現像液貯蔵槽、エッチング液貯蔵槽、はく離液貯蔵槽、または水洗水貯蔵槽であることを特徴とする請求項7に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより現像液、エッチング液、水洗水、はく離液等の供給を処理液供給ホースに連結された配管のバルブの開閉により容易に行うことができ、プリント配線板の製造に必要な処理工程を実現することができる。   According to an eighth aspect of the present invention, the plurality of processing liquid storage tanks are a developer storage tank, an etching liquid storage tank, a peeling liquid storage tank, or a washing water storage tank. In this way, the developer, etching solution, washing water, stripping solution, etc. can be easily supplied by opening and closing the valve of the pipe connected to the processing solution supply hose. Therefore, it is possible to realize processing steps necessary for manufacturing a printed wiring board.

本発明の請求項9に記載の発明は、バルブは電磁バルブであって、バルブが開の後にポンプを作動し、一定時間経過後に、ポンプを停止し電磁バルブを閉にするという動作タイミングを有していることを特徴とする請求項7に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、電磁バルブを用いることで自動で開閉することもでき、ポンプの作動を電磁バルブと動作のタイミングを図ることによってプリント配線板の製造に必要な処理工程を自動化することも可能である。   In the invention according to claim 9 of the present invention, the valve is an electromagnetic valve, and the pump is operated after the valve is opened, and after a certain period of time, the pump is stopped and the electromagnetic valve is closed. 8. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 7, wherein the apparatus can be automatically opened and closed by using an electromagnetic valve, and the operation of the pump is controlled with the electromagnetic valve. It is also possible to automate the processing steps necessary for the production of the printed wiring board.

本発明の請求項10に記載の発明は、複数の処理液供給ホースの端部は、部材により固定されており、処理液貯蔵槽に配管された供給口と脱着可能であることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液供給ホースの端部が固定された部材はユニットと共に処理ブース内を移動することができ、各処理液専用ブースにおいて異なる処理液での処理が可能となる。   The invention according to claim 10 of the present invention is characterized in that the ends of the plurality of treatment liquid supply hoses are fixed by members and are detachable from a supply port piped to the treatment liquid storage tank. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1, whereby the member to which the end of the processing liquid supply hose is fixed can move in the processing booth together with the unit, and each processing liquid booth It is possible to perform processing with different processing liquids.

本発明の請求項11に記載の発明は、複数の処理液専用ブースを備えた処理ブースと、前記処理ブース内に請求項10に記載のプリント配線板の製造装置の移動手段を備えていることを特徴とするプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、プリント配線板の製造に必要な処理工程を行うことが可能となる。   Invention of Claim 11 of this invention is equipped with the moving means of the manufacturing apparatus of the printed wiring board of Claim 10 in the process booth provided with the booth only for several process liquid in the said process booth. The printed wiring board manufacturing apparatus characterized by the above, and thereby the processing steps necessary for manufacturing the printed wiring board while sequentially moving a plurality of processing liquid booths in the processing booth having the means for moving the unit. Can be performed.

本発明の請求項12に記載の発明は、複数の処理液専用ブースは、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽と配管された供給口を備えていることを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、所定の処理時間経過後、処理液の種類を変更し、プリント配線板の製造に必要な処理工程を行うことが可能となる。   According to a twelfth aspect of the present invention, the plurality of processing solution dedicated booths each include a different processing solution storage tank and a piping supply port. This is an apparatus for manufacturing plates, which allows the unit to be moved within a processing booth that has means for moving a plurality of processing liquid booths in sequence, changing the type of processing liquid after a predetermined processing time, and printing. It becomes possible to perform the processing steps necessary for manufacturing the wiring board.

本発明の請求項13に記載の発明は、複数の処理液専用ブースは、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水を処理液として構成されていることを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、プリント配線板の製造に必要な、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水等の処理工程を行うことが可能となる。   The invention described in claim 13 of the present invention is characterized in that the plurality of processing solution booths are constituted by using a processing solution as a developer, an etching solution, a peeling solution, and a washing water. A device for manufacturing a printed wiring board, whereby a developer and an etching solution are required for manufacturing a printed wiring board while sequentially moving a plurality of processing solution booths within a processing booth having a moving unit. It becomes possible to carry out treatment steps such as peeling liquid and washing water.

本発明の請求項14に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた複数の処理液放出口よりプリント配線板表面へ処理液を放出することにより行う処理であって、処理液放出口固定部とプリント配線板の相対位置が一定のままで処理を開始・終了することを特徴とするプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより従来必要とされた基板そのものの搬送をする必要がなく、さらに処理液の放出口とプリント配線板表面間の距離が一定に保持されるので、処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができる。これにより、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。   The invention according to claim 14 of the present invention is a process performed by discharging the processing liquid from the plurality of processing liquid discharge ports attached to the processing liquid discharge port fixing portion to the surface of the printed wiring board. The printed wiring board manufacturing method is characterized in that the processing is started and finished while the relative position between the outlet fixing portion and the printed wiring board is kept constant. In addition, since the distance between the treatment liquid discharge port and the surface of the printed wiring board is kept constant, the processing capacity of the treatment liquid can be evenly processed on the surface of the printed wiring board without causing a time difference. Liquid can be injected. Thereby, a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be obtained.

本発明の請求項15に記載の発明は、プリント配線板は平面状に固定され、処理液放出口固定部はプリント配線板の垂直方向の所定距離の位置に複数配置されていることを特徴とする請求項14に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これによりプリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、プリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。これにより、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。   The invention according to claim 15 of the present invention is characterized in that the printed wiring board is fixed in a flat shape, and a plurality of treatment liquid discharge port fixing portions are arranged at a predetermined distance in the vertical direction of the printed wiring board. The printed wiring board manufacturing method according to claim 14, wherein the printed wiring board has a size, shape and surface copper foil thickness corresponding to the configuration content such as the thickness of the surface of the printed wiring board. The treatment liquid can be sprayed uniformly. Thereby, a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be obtained.

本発明の請求項16に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部においてプリント配線板表面との距離が短い位置で放出することを特徴とする請求項15に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を処理液放出口の長さを長くすることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができ寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。   According to the sixteenth aspect of the present invention, the processing liquid discharged from the processing liquid discharge port attached to the processing liquid discharge port fixing portion is in contact with the surface of the printed wiring board at the center portion from the end of the printed wiring board. The printed wiring board manufacturing method according to claim 15, wherein the distance is released at a short position, wherein the printed wiring board has a size, shape, and surface copper foil thickness. Correspondingly, by adjusting the distance between the processing liquid discharge port and the surface of the printed wiring board as desired, the processing liquid that tends to stay in the center of the printed wiring board is retained by increasing the length of the processing liquid discharge port. Thus, the processing liquid can be uniformly sprayed on the entire surface of the printed wiring board, and a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be obtained.

本発明の請求項17に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部において高い圧力で放出することを特徴とする請求項15に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を放出する圧力を高めることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができ、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。   According to the seventeenth aspect of the present invention, the processing liquid discharged from the processing liquid discharge port attached to the processing liquid discharge port fixing portion is discharged at a higher pressure at the center than the end of the printed wiring board. The printed wiring board manufacturing method according to claim 15, characterized in that the retention is prevented particularly by increasing the pressure for releasing the treatment liquid that tends to stay in the central part of the printed wiring board. The treatment liquid can be uniformly sprayed on the entire surface of the printed wiring board, and a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be obtained.

本発明の請求項18に記載の発明は、処理液放出口固定部を揺動させながら処理液放出口より処理液を放出することを特徴とする請求項14に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液のプリント配線板上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることができるという作用を有する。   The invention according to claim 18 of the present invention is characterized in that the processing liquid is discharged from the processing liquid discharge port while swinging the processing liquid discharge port fixing portion. Thus, the processing speed can be improved by eliminating the retention of the processing liquid on the printed wiring board.

本発明の請求項19に記載の発明は、所定の処理液での処理を終了した後、異なる処理液を用いて処理を開始することを特徴とする請求項14に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができるとともに、プリント配線板の製造に必要な処理工程を実現することができる。   The invention according to claim 19 of the present invention is characterized in that after finishing the treatment with a predetermined treatment liquid, the treatment is started using a different treatment liquid. In this way, the processing capacity of the processing liquid can be made uniform and the processing liquid can be sprayed onto the surface of the printed wiring board without causing a time difference, and the processing necessary for manufacturing the printed wiring board. A process can be realized.

本発明の請求項20に記載の発明は、処理液は、エッチング液であることを特徴とする請求項14に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、特にエッチング処理において特に顕著な効果を奏するものであり、本発明によりエッチング処理のみを行い、他の処理は従来の方法を用いて充分な効果を有するものである。   The invention according to claim 20 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 14, characterized in that the processing liquid is an etching liquid, and particularly remarkable in the etching process. Only the etching process is performed according to the present invention, and the other processes have a sufficient effect using conventional methods.

本発明の請求項21に記載の発明は、異なる処理液は、現像液、水洗水、エッチング液、水洗水、はく離液、水洗水の順で用いることを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができるとともに、プリント配線板の製造に必要な、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水等の処理工程を行うことが可能となる。   The invention according to claim 21 of the present invention is characterized in that the different processing solutions are used in the order of developer, washing water, etching solution, washing water, stripping solution, washing water. This is a method for manufacturing a wiring board, whereby the processing capacity of the processing liquid can be made uniform, and the processing liquid can be sprayed onto the surface of the printed wiring board without causing a time difference. It is possible to perform processing steps such as developing solution, etching solution, stripping solution, washing water, etc. necessary for the above.

本発明によれば、プリント配線板と処理液間の障害物である搬送ローラーを無くすことができる。   According to this invention, the conveyance roller which is an obstruction between a printed wiring board and a process liquid can be eliminated.

また、搬送ローラーを使用せずプリント配線板と処理液放出口間の距離を一定に確保できるため、処理液を均一にし、かつ省エネを実現することができる。   In addition, since the distance between the printed wiring board and the processing liquid discharge port can be ensured without using a transport roller, the processing liquid can be made uniform and energy saving can be realized.

また、搬送ローラーを使用することなく薄手のプリント配線板を安定して搬送することができ、さらに、処理液の放出口を設けたユニットの各種設置条件を変更することで、処理液をより均一にプリント配線板の表面にあてることができる。この結果、寸法精度の高い配線パターンをもったプリント配線板を効率よく製造することが可能となる。   In addition, a thin printed wiring board can be transported stably without using a transport roller, and the processing liquid can be made more uniform by changing the various installation conditions of the unit provided with a processing liquid discharge port. It can be applied to the surface of the printed wiring board. As a result, a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be efficiently manufactured.

(実施の形態1)
以下本発明の実施の形態について、図1〜図10を用いて説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1〜図10に、本発明の実施の形態におけるプリント配線板の製造装置を示す。   1 to 10 show a printed wiring board manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

図において、1はプリント配線板、2は処理液の放出口を有するユニット、3は処理液放出口、4は処理液放出口固定部、5はプリント配線板固定部、6、6a〜6jは処理液供給ホースであり、ユニット2内のプリント配線板固定部5によりプリント配線板1を水平面状に固定しうる構造である。   In the figure, 1 is a printed wiring board, 2 is a unit having a processing liquid discharge port, 3 is a processing liquid discharge port, 4 is a processing liquid discharge port fixing part, 5 is a printed wiring board fixing part, and 6, 6a to 6j are It is a processing liquid supply hose and has a structure in which the printed wiring board 1 can be fixed in a horizontal plane by the printed wiring board fixing portion 5 in the unit 2.

図においては、プリント配線板固定部5は便宜上四角のみ示しているが、基板の剛性によっては、増やすことも可能である。特にフレキ性を有する基板は、四角の他に四辺に複数設けることが望ましい。また、プリント配線板固定部5は自動チャッキング構造を採用することも可能である。   In the figure, the printed wiring board fixing portion 5 is shown only as a square for convenience, but it can be increased depending on the rigidity of the substrate. In particular, it is desirable to provide a plurality of flexible substrates on four sides in addition to the square. The printed wiring board fixing part 5 can also adopt an automatic chucking structure.

また、処理液放出口固定部4は水平面状に固定されたプリント配線板1の垂直方向に配置されており、処理液放出口固定部4には複数の処理液放出口3が取り付けられている。   Further, the processing liquid discharge port fixing portion 4 is arranged in the vertical direction of the printed wiring board 1 fixed in a horizontal plane, and a plurality of processing liquid discharge ports 3 are attached to the processing liquid discharge port fixing portion 4. .

また、処理液放出口固定部4は処理液供給ホース6に連結され、それを介して処理液貯蔵槽10からポンプ9により供給された処理液Tは、処理液放出口固定部4に送られて処理液放出口3からプリント配線板1表面に放出され、プリント配線板1を処理することができる。   The processing liquid discharge port fixing part 4 is connected to the processing liquid supply hose 6, and the processing liquid T supplied from the processing liquid storage tank 10 by the pump 9 is sent to the processing liquid discharge port fixing part 4 via the processing liquid supply hose 6. Thus, the printed wiring board 1 can be processed by being discharged from the treatment liquid discharge port 3 to the surface of the printed wiring board 1.

また、本発明の製造装置におけるプリント配線板の処理は、処理の開始から終了までプリント配線板1がユニット2内に固定された状態で行われていることから、プリント配線板1と処理液放出口3は所定距離の状態を保ったまま行われるという特徴を有するものである。特に、プリント配線板1の進行方向Dの前端部と後端部は、ユニット2の両端部の処理液放出口固定部4との相対位置は変化しないことが最も顕著な特徴である。   In addition, the processing of the printed wiring board in the manufacturing apparatus of the present invention is performed in a state where the printed wiring board 1 is fixed in the unit 2 from the start to the end of the processing. The exit 3 is characterized by being performed while maintaining a predetermined distance. In particular, the most remarkable feature is that the relative positions of the front end portion and the rear end portion of the printed wiring board 1 in the traveling direction D with respect to the treatment liquid discharge port fixing portions 4 at both ends of the unit 2 do not change.

また、処理液放出口固定部4には処理液放出口3を取り付けるための取り付け穴(図示せず)が、所定ピッチ間隔で複数個設けられており、処理液放出口3の取り付け個数や配置を容易に設定することができる。例えば取り付け穴10個の場合、処理液放出口3を5個とし残り5個を目止めすることができる。   Further, a plurality of mounting holes (not shown) for attaching the processing liquid discharge ports 3 are provided in the processing liquid discharge port fixing portion 4 at a predetermined pitch interval. Can be set easily. For example, in the case of ten attachment holes, the number of the treatment liquid discharge ports 3 can be five and the remaining five can be spotted.

また、処理液放出口3は長さの異なるものを採用することで、この距離を調節することもできる。   In addition, this distance can be adjusted by adopting treatment liquid discharge ports 3 having different lengths.

また、処理液放出口固定部4は回転可能な状態で固定することによって処理液放出口3から放出される処理液Tの角度を調節することも可能であり、あるいは揺動機構(駆動ユニット)と連動させることにより処理液放出口固定部4を揺動し、処理液Tのプリント配線板1上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることもできる。   Further, the treatment liquid discharge port fixing portion 4 can be fixed in a rotatable state so that the angle of the treatment liquid T discharged from the treatment liquid discharge port 3 can be adjusted, or a swing mechanism (drive unit). The processing speed can also be improved by rocking the processing liquid discharge port fixing portion 4 by interlocking with the above and eliminating the retention of the processing liquid T on the printed wiring board 1.

さらに、本発明の製造装置であるユニット2は、処理液の充満していない環境で、容易に処理液放出口3の取り付けや取り外しの作業を容易に行うことができる。   Furthermore, the unit 2 which is the manufacturing apparatus of the present invention can easily perform the operation of attaching or removing the processing liquid discharge port 3 in an environment where the processing liquid is not filled.

例えば、従来のエッチング装置における処理液放出口3の取り付けや取り外しの作業は、エッチング液の充満するエッチングブース内で行われており、作業環境や効率において著しく困難であった。   For example, the operation of attaching and removing the processing solution discharge port 3 in the conventional etching apparatus is performed in an etching booth filled with the etching solution, which is extremely difficult in terms of working environment and efficiency.

特にエッチング液は、通常50℃前後に温度設定されており、作業の安全上、エッチング液の温度を室温(25℃)まで下げて行う必要があり、そのためにエッチング装置を停止した状態で長時間待機する場合もあり、条件設定の困難さと、処理液放出口3の詰まり確認や交換等のメンテナンスにおいて、危険を回避しつつ行わねばならなかった。   In particular, the temperature of the etching solution is usually set to about 50 ° C., and it is necessary to lower the temperature of the etching solution to room temperature (25 ° C.) for the safety of work. For this reason, the etching apparatus is stopped for a long time. In some cases, it is necessary to wait while avoiding danger in maintenance such as difficulty in setting conditions and checking for clogging or replacement of the treatment liquid discharge port 3.

これに対し本発明の製造装置は、ユニット2を安全な環境に移動することが容易であり、従来の上記の問題を解決することができる。   On the other hand, the manufacturing apparatus of the present invention can easily move the unit 2 to a safe environment, and can solve the conventional problems described above.

以上のように構成されたプリント配線板の製造装置におけるプリント配線板の製造方法について、以下に説明する。   A printed wiring board manufacturing method in the printed wiring board manufacturing apparatus configured as described above will be described below.

まず、プリント配線板の製造方法において、製造条件の各設定の説明に対応する図面は以下の通りとする。   First, in the printed wiring board manufacturing method, the drawings corresponding to the description of each setting of manufacturing conditions are as follows.

設定1:図1、図2、図3
設定2:図2、図4
設定3:図5、図6
設定4:図7、図8
設定5:図9、図10
(なお、図2は、設定1、設定2の説明に共通して用いる。)
各設定の前提として、図1〜図10に示したように、プリント配線板1(X方向×Y方向=520mm×350mm)は、1枚だけプリント配線板固定部5により搬送ユニット21のZ方向中央に固定される。
Setting 1: FIGS. 1, 2 and 3
Setting 2: FIGS. 2 and 4
Setting 3: FIGS. 5 and 6
Setting 4: FIGS. 7 and 8
Setting 5: FIGS. 9 and 10
(Note that FIG. 2 is used in common for the explanation of setting 1 and setting 2.)
As a premise of each setting, as shown in FIGS. 1 to 10, the printed wiring board 1 (X direction × Y direction = 520 mm × 350 mm) has only one printed wiring board fixing part 5 in the Z direction of the transport unit 21. Fixed in the center.

また、図2、図5、図7、図9においてプリント配線板固定部5は4個所あり、プリント配線板1の端部を使用して、搬送ユニット2に固定している。   2, 5, 7, and 9, there are four printed wiring board fixing portions 5, and the printed wiring board 1 is fixed to the transport unit 2 using the end of the printed wiring board 1.

プリント配線板1の上下に設置された処理液放出口3から処理液Tがプリント配線板1に放出される。処理液放出口固定部4は、設定1〜設定3および設定5(図2、図5、図9)の場合においては、X方向上下に各4本、設定4(図7)の場合においては、X方向上下に各5本設置され、それぞれの処理液放出口固定部4には、処理液放出口3がY方向に5個設置されている。   The processing liquid T is discharged to the printed wiring board 1 from the processing liquid discharge ports 3 installed above and below the printed wiring board 1. In the case of setting 1 to setting 3 and setting 5 (FIGS. 2, 5, and 9), four processing liquid discharge port fixing portions 4 are arranged vertically in the X direction, and in the case of setting 4 (FIG. 7). 5 each in the vertical direction in the X direction, and 5 processing liquid discharge ports 3 are installed in the Y direction in each processing liquid discharge port fixing portion 4.

処理液放出口からプリント配線板表面までの距離H1は、設定1(図3)で一律100mmに設定され、設定2〜設定5(図4、図6、図8、図10)では、処理液放出口からプリント配線板表面までの距離H1は、120mm、H2は、90mm、H3は、60mmに設定されている。   The distance H1 from the processing liquid discharge port to the printed wiring board surface is uniformly set to 100 mm in setting 1 (FIG. 3), and in setting 2 to setting 5 (FIGS. 4, 6, 8, and 10), the processing liquid is set. The distance H1 from the discharge port to the printed wiring board surface is set to 120 mm, H2 is set to 90 mm, and H3 is set to 60 mm.

すなわち、距離H1、H2、H3の関係は、平面状に固定されたプリント配線板1の端部の垂直方向に位置する処理液放出口3の長さよりプリント配線板1の中央部の垂直方向に位置する処理液放出口3の長さが長いことを示している。この長さが異なる処理液放出口3の取り付け、および設定は、前述したように容易に行うことができる。   That is, the relationship between the distances H1, H2, and H3 is such that the vertical direction of the central portion of the printed wiring board 1 is greater than the length of the treatment liquid discharge port 3 positioned in the vertical direction of the end portion of the printed wiring board 1 fixed in a planar shape. It shows that the length of the processing liquid discharge port 3 positioned is long. The attachment and setting of the treatment liquid discharge ports 3 having different lengths can be easily performed as described above.

また、処理液供給ホース6へは、処理目的に応じて、現像液、水洗水、エッチング液、水洗水、はく離液、水洗水が供給される。   The processing solution supply hose 6 is supplied with developer, rinsing water, etching solution, rinsing water, stripping solution, and rinsing water according to the purpose of processing.

現像液、エッチング液、水洗水、はく離液等の供給方法は、図11に示すようにブース11内のユニット2の処理液供給ホース6に連結された配管のバルブ8a〜8dの開閉により行うことができる。   As shown in FIG. 11, the developer, etching solution, washing water, stripping solution, and the like are supplied by opening and closing valves 8 a to 8 d of piping connected to the treatment solution supply hose 6 of the unit 2 in the booth 11. Can do.

図11は、その一例の概略を示すものであり、エッチング液貯蔵槽10aに連結されたバルブ8aを開とし、他のバルブ8c〜8dを閉として、エッチング用のポンプ9aを作動させることによって、エッチング液を供給することができる。   FIG. 11 shows an outline of an example, and by opening the valve 8a connected to the etching solution storage tank 10a and closing the other valves 8c to 8d, the etching pump 9a is operated. An etchant can be supplied.

同様に、水洗水を供給する場合は、水洗水貯蔵槽に連結されたバルブ8bを開とし、他のバルブ8a、8c、8dを閉として、水洗用のポンプ9bを作動させることによって、水洗水を供給することができる。現像液、はく離液も同様な方法で供給することができる。   Similarly, when supplying flush water, the valve 8b connected to the flush water storage tank is opened, the other valves 8a, 8c and 8d are closed, and the flushing water pump 9b is operated, thereby washing the flush water. Can be supplied. A developer and a peeling solution can be supplied in the same manner.

供給された処理液は、ブース11内の下方からポンプ9によりバルブ8を経由して各処理液の貯蔵槽に戻される。   The supplied processing liquid is returned to the storage tank of each processing liquid from below in the booth 11 via the valve 8 by the pump 9.

さらに、前記バルブ8a〜8dは、電磁バルブを用いることで自動で開閉することもできる。電磁バルブを開にした後、ポンプを作動し、一定の処理時間経過後に、ポンプを停止し、電磁バルブを閉にするという動作タイミングを採用することによって、全工程を自動化することも可能である。   Further, the valves 8a to 8d can be automatically opened and closed by using electromagnetic valves. It is also possible to automate the whole process by adopting the operation timing of operating the pump after opening the electromagnetic valve, stopping the pump and closing the electromagnetic valve after a certain processing time elapses. .

また、図12に示すように、ユニット2を移動手段を有する処理ブース11内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、所定の処理時間経過後、処理液の種類を変更し、処理を行うことも可能である。   In addition, as shown in FIG. 12, while a plurality of processing liquid booths are sequentially moved in a processing booth 11 having a moving unit 2, the processing liquid type is changed after a predetermined processing time has elapsed, and processing is performed. It is also possible to do this.

この場合、処理液供給ホース6の端部が固定された部材7(図2に示す)がユニット2と共に処理ブース11内を移動・搬送される。各処理液専用ブースにおいて処理液供給ホース6の端部は、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽に配管されている供給口に連結されて、処理液を供給することができる。   In this case, the member 7 (shown in FIG. 2) to which the end portion of the processing liquid supply hose 6 is fixed is moved and conveyed in the processing booth 11 together with the unit 2. In each processing liquid booth, the end of the processing liquid supply hose 6 can be connected to a supply port piped to a different processing liquid storage tank to supply the processing liquid.

処理液供給ホース6端部と、各処理槽における処理液の供給口は、脱着可能な構造とし、着脱も機械構造的に自動化することも可能である。   The end of the processing liquid supply hose 6 and the processing liquid supply port in each processing tank have a detachable structure, and the attachment and detachment can be automated mechanically.

この方法により、複数の搬送ユニットを使用することで、異なる処理を行うことができ生産性を高めることができる。   By this method, different processes can be performed and productivity can be improved by using a plurality of transport units.

また、処理液供給ホース6より供給される処理液は、図11のバルブ8と圧力計12を有する配管構成を採用することによって、供給圧力を任意に制御することができる。   Further, the processing pressure supplied from the processing liquid supply hose 6 can arbitrarily control the supply pressure by adopting a piping configuration having the valve 8 and the pressure gauge 12 of FIG.

本実施の形態におけるプリント配線板の製造方法での各設定における圧力の条件は以下の通りとした。   The pressure conditions in each setting in the method for manufacturing a printed wiring board in the present embodiment were as follows.

設定1および設定2(図2)は、0.05MPa(メガパスカル)の圧力とし、従来の搬送ローラーを有する製造装置と比較して約50%の圧力値に設定した。   Setting 1 and setting 2 (FIG. 2) were set to a pressure of 0.05 MPa (megapascals), and set to a pressure value of about 50% as compared with a manufacturing apparatus having a conventional conveying roller.

設定3(図5)は、処理液供給ホース6b、6c、6f、6gは0.07MPa、処理液供給ホース6a、6d、6e、6hは、0.03MPaの圧力とした。   In setting 3 (FIG. 5), the treatment liquid supply hoses 6b, 6c, 6f, and 6g were 0.07 MPa, and the treatment liquid supply hoses 6a, 6d, 6e, and 6h were 0.03 MPa.

設定4(図7)は、処理液供給ホース6c、6hは0.07MPa、処理液供給ホース6b、6d、6g、6iは0.05MPa、処理液供給ホース6a、6e、6f、6jは0.03MPaの圧力とした。   In setting 4 (FIG. 7), the treatment liquid supply hoses 6c and 6h are 0.07 MPa, the treatment liquid supply hoses 6b, 6d, 6g, and 6i are 0.05 MPa, and the treatment liquid supply hoses 6a, 6e, 6f, and 6j are 0.00. The pressure was 03 MPa.

設定5(図9)は、処理液供給ホース6b、6c、6f、6gは0.07MPa、処理液供給ホース6a、6d、6e、6hは0.03MPaの圧力とした。   In setting 5 (FIG. 9), the treatment liquid supply hoses 6b, 6c, 6f, and 6g were 0.07 MPa, and the treatment liquid supply hoses 6a, 6d, 6e, and 6h were 0.03 MPa.

ちなみに、設定3〜設定5の圧力条件は、従来の搬送ローラーを有する製造装置と比較して約30〜70%の圧力値に設定したものである。   Incidentally, the pressure conditions of setting 3 to setting 5 are set to a pressure value of about 30 to 70% as compared with a manufacturing apparatus having a conventional conveying roller.

更に、設定5(図9)においては、処理液放出口固定部4は、ユニット2内部に設けた駆動ユニットによりRで示した回転方向に左右最大で120℃揺動回転する構成とし、回転は、4秒で1往復する速度に設定した。   Further, in the setting 5 (FIG. 9), the processing liquid discharge port fixing portion 4 is configured to swing and rotate at a maximum of 120 ° C. in the rotation direction indicated by R by a drive unit provided inside the unit 2. The speed for one reciprocation in 4 seconds was set.

本発明の上記各設定において、形成された配線パターンのライン幅/スペース幅=100μm/100μm、および75μm/75μmでの仕上がり精度を、従来の搬送ローラーを有するプリント配線板の製造装置を使用した場合と比較して(表1)に示す。   In each of the above settings of the present invention, when a printed wiring board manufacturing apparatus having a conventional conveying roller is used with a finishing accuracy of line width / space width of the formed wiring pattern = 100 μm / 100 μm and 75 μm / 75 μm (Table 1).

Figure 0004479226
Figure 0004479226

以上の結果から、本発明のプリント配線板の製造装置を用いると配線パターンの仕上がり精度を著しく向上させることができる。   From the above results, when the printed wiring board manufacturing apparatus of the present invention is used, the finishing accuracy of the wiring pattern can be remarkably improved.

更に、本発明のプリント配線板の製造装置を用いた場合、処理液を放出するための消費電力は、従来の製造装置に比較して約50%削減することができた。   Furthermore, when the printed wiring board manufacturing apparatus of the present invention is used, the power consumption for discharging the processing liquid can be reduced by about 50% compared to the conventional manufacturing apparatus.

本発明の構成を採用することにより、寸法精度の高い配線パターンを持つプリント配線板を効率良く、安定して製造することができる。更に、生産時の省エネが可能となった。   By adopting the configuration of the present invention, a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy can be manufactured efficiently and stably. In addition, energy saving during production has become possible.

なお、本発明のプリント配線板の製造方法は、エッチング処理において特に顕著な効果を奏するものであり、本発明の製造装置を用いてエッチング処理のみを行い、他の処理は従来の製造装置を用いて行っても充分な効果を有するのはいうまでもない。   In addition, the manufacturing method of the printed wiring board of this invention has an especially remarkable effect in an etching process, performs only an etching process using the manufacturing apparatus of this invention, and other processes use the conventional manufacturing apparatus. Needless to say, it has a sufficient effect.

以上のように本発明は、プリント配線板を処理液放出口を設けたユニットに固定・設置し、ユニットごと移動する構造を有したプリント配線板の製造装置とその製造装置の特徴を生かした製造方法を提供するものである。   As described above, the present invention fixes and installs a printed wiring board on a unit provided with a treatment liquid discharge port, and makes use of the characteristics of the printed wiring board manufacturing apparatus having the structure in which the unit moves. A method is provided.

この構成により、プリント配線板と処理液間の障害物である搬送ローラーを無くすことができる。また、搬送ローラーを使用せずプリント配線板と処理液放出口間の距離を一定に確保できるため、処理液を均一にプリント配線板の表面にあてることができ、加えて省エネを実現することもできる。   With this configuration, it is possible to eliminate the conveyance roller that is an obstacle between the printed wiring board and the processing liquid. In addition, since the distance between the printed wiring board and the processing liquid discharge port can be kept constant without using a transport roller, the processing liquid can be uniformly applied to the surface of the printed wiring board, and energy saving can also be realized. it can.

また、本発明の製造装置は、処理液の充満していない環境で、容易に条件設定や部品の交換等のメンテナンス作業を容易に行うことができ、作業の安全を図ることもできる。   In addition, the manufacturing apparatus of the present invention can easily perform maintenance work such as condition setting and parts replacement in an environment where the processing liquid is not filled, and can also ensure work safety.

これらの結論として本発明は、寸法精度の高い配線パターンをもったプリント配線板を効率よく製造することが可能となるプリント配線板の製造装置と製造方法を提供しうるものであり、産業上の利用可能性は大といえる。   As a conclusion, the present invention can provide a printed wiring board manufacturing apparatus and a manufacturing method capable of efficiently manufacturing a printed wiring board having a wiring pattern with high dimensional accuracy. The availability is great.

本発明の実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の概略図Schematic of a printed wiring board manufacturing apparatus in an embodiment of the present invention 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 同プリント配線板の製造装置の概略図Schematic of the printed wiring board manufacturing equipment 従来のプリント配線板の製造方法を示す工程概要図Process outline diagram showing conventional printed wiring board manufacturing method 従来のプリント配線板の製造方法における液処理工程の概略図Schematic of the liquid treatment process in the conventional printed wiring board manufacturing method 従来のプリント配線板の製造装置による搬送方法を示す概略図Schematic showing a conventional method for transporting a printed wiring board by a manufacturing apparatus

符号の説明Explanation of symbols

1 プリント配線板
2 ユニット
3 処理液放出口
4 処理液放出口固定部
5 プリント配線板固定部
6、6a〜6j 処理液供給ホース
7 処理液供給ホース端部の固定部材
8、8a〜8d バルブ
9、9a〜9d ポンプ
10a〜10d 処理液貯蔵槽
11 処理ブース
12 圧力計
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printed wiring board 2 Unit 3 Processing liquid discharge port 4 Processing liquid discharge port fixing | fixed part 5 Printed wiring board fixing | fixed part 6, 6a-6j Processing liquid supply hose 7 Fixing member 8, 8a-8d valve | bulb 9 of a processing liquid supply hose , 9a to 9d Pump 10a to 10d Treatment liquid storage tank 11 Treatment booth 12 Pressure gauge

Claims (3)

プリント配線板を平面状に固定可能なプリント配線板固定部複数の処理液放出口を有する処理液放出口固定部処理液放出口固定部に連結された処理液供給ホースとで構成されたユニットと、
複数の処理液専用ブースを備えた処理ブースとを備え、
前記処理液放出口固定部平面状に固定されるプリント配線板に対して垂直方向の所定位置に配置され
前記処理液供給ホースの端部部材により固定されてお処理液貯蔵槽に配管された供給口と脱着可能であり、
前記処理ブースは処理ブース内に前記ユニットの移動手段を備えていることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
Constituted by the printed wiring board to be secured to a planar printed circuit board fixing portion and a plurality of processing liquid concatenated processing liquid supply hose to the treatment liquid outlet fixing part treatment liquid outlet fixing part having a discharge port Unit,
And a processing booth equipped with a plurality of processing liquid dedicated booths,
The treatment liquid outlet fixing part is disposed at a predetermined position in a direction perpendicular to the printed wiring board is fixed to the flat,
End of the process liquid supply hose Ri detachable der and fixed by contact Ri processing liquid storage tank to a pipe has been supplying port by members,
The apparatus for manufacturing a printed wiring board, wherein the processing booth includes means for moving the unit in the processing booth .
複数の処理液専用ブースは、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽と配管された供給口を備えていることを特徴とする請求項に記載のプリント配線板の製造装置。 The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1 , wherein the plurality of processing liquid dedicated booths are provided with storage tanks for different processing liquids and piping supply ports. 複数の処理液専用ブースは、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水を処理液として構成されていることを特徴とする請求項に記載のプリント配線板の製造装置。 2. The printed wiring board manufacturing apparatus according to claim 1 , wherein the plurality of processing solution booths are configured using a developing solution, an etching solution, a peeling solution, and washing water as a processing solution.
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