JP4470513B2 - 検査方法および検査装置 - Google Patents
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Description
これに対し、前記エッジ付近の欠陥(欠け、バリ、異物の付着など)にかかるエッジ画素の濃度勾配方向は、本来の良好なエッジにおけるものと大きく異なる可能性がある。このため、基準画像上で前記エッジ画素に対応する座標やその周囲を検索しても、このエッジ画素と同じ濃度勾配方向を持つ画素は見あたらない可能性が高い。
なお、対象物のエッジのうち、モデルのエッジに対応する位置にあるエッジに欠けなどの欠陥がある場合には、前記濃度差によってその欠陥を検出することができる。
上記各手段の一部またはすべては、演算処理回路により構成することも可能である。特に、角度データ算出手段を専用の演算処理回路により構成すれば、処理対象の画像をメモリに取り込む間に、別途、各画素の角度データを算出することができる。さらに、この角度データ算出手段に、演算過程で抽出したエッジ画素の座標を出力する機能を付与すれば、画像入力が終了すると同時に、エッジ画素を順に選択して角度データの比較処理を進めることができ、処理を高速化することができる。
この実施例の検査装置1は、CCDを具備するシャッタカメラ2(以下、単に「カメラ2」という。)に接続されて使用されるもので、前記カメラ2が撮像した検査対象物の画像を処理して、前記検査対象物(以下、単に「対象物」という。)の表面や輪郭上に欠陥がないかどうかを判別するものである。
前記エッジ抽出部14では、入力画像上の画素毎に、水平方向(x軸方向)における濃度の変化量Ex(x,y)と垂直方向(y軸方向)における濃度の変化量Ey(x,y)とを求める。そして、これらEx(x,y),Ey(x,y)が示すベクトルの合成ベクトルについて、つぎの(1)式により、ベクトルの長さIE(x,y)を算出する。このIE(x,y)がエッジ強度である。
EC(x,y)=atan(Ey(x,y)/Ex(x,y))
(b) Ex(x,y)>0 および Ey(x,y)<0のとき、
EC(x,y)=360+atan(Ey(x,y)/Ex(x,y))
(c) Ex(x,y)<0のとき、
EC(x,y)=180+atan(Ey(x,y)/Ex(x,y))
(d) Ex(x,y)=0 および Ey(x,y)>0のとき、
EC(x,y)=0
(e) Ex(x,y)=0 および Ey(x,y)<0のとき、
EC(x,y)=180
図中、ICは入力画像から生成されたエッジコード画像であり、MCは基準画像から生成されたエッジコード画像である。この実施例では、対象物のエッジコード画像IC上の所定の画素gに着目し、モデルのエッジコード画像MC上で画素gに対応する位置に所定大きさのマスクMを設定する。そして、マスクM内の各画素のエッジコードを前記着目画素gのエッジコードと順に比較する。
DI(x,y)=|I(x+dx、y+dy)−M(x,y)| ・・・(2)
ST6では、前記対象物のエッジ強度画像から着目画素のエッジ強度IE(x+dx,y+dy)を読み出し、これを所定の基準値IE0と比較する。この基準値IE0は、エッジ画素とみなされる画素から抽出したエッジ強度に基づき設定されたものである。前記IE(x+dx,y+dy)が基準値IE0を上回る場合には、ST6が「YES」となり、ST7のエッジコード比較処理を実行する。
この例のエッジコード比較処理でも、基準画像にマスクを設定してエッジコード差DCを求める点は変わらない(図中のST201〜209)が、エッジコード差DCの最小値を求めるのに代えて、毎時のDCの値をしきい値THと比較するようにしている(ST205)。そして、DCの値がしきい値THを下回ると、その時点でST202〜209のループを抜け、前記濃度差DI(x,y)を0に更新する(ST210)。この処理によれば、入力画像上の着目画素に対応するエッジコードが見つかった時点で走査を終了することができるので、処理時間を短縮することができる。
10 制御部
11 画像入力部
12 画像メモリ
14 エッジ抽出部
15 画像出力部
16 入出力部
101 CPU
Claims (5)
- 対象物を撮像して得られた濃淡画像をモデルの画像を含む基準画像と比較して、前記対象物のエッジの適否を検査する方法であって、
前記対象物の濃淡画像および基準画像のそれぞれについて、少なくとも濃度勾配の大きさが所定値を超える画素毎に、濃度勾配方向に基づく角度データを算出し、
前記対象物の濃淡画像上で濃度勾配の大きさが前記所定値を超える画素を順に着目画素に設定して、前記基準画像上に着目画素に対応する座標を中心とする所定大きさのマスクを設定するステップAと、前記マスク内から前記着目画素に対応する角度データを有する画素を抽出するステップBとを、着目画素毎に実行し、ステップBにおいて着目画素に対応する角度データを有する画素を抽出できなかったときの当該着目画素をモデルとの不一致部分であると特定する、ことを特徴とする検査方法。 - 請求項1に記載された方法において、
前記対象物の濃淡画像上において、基準画像の対応する座標との濃度差が所定のしきい値を超え、かつ前記濃度勾配の大きさが前記所定値を超える画素を着目画素として、着目画素毎に前記ステップAおよびステップBを実行するようにした検査方法。 - 対象物を撮像して得られた濃淡画像を入力する画像入力手段と、
前記濃淡画像上の少なくとも濃度勾配の大きさが所定値を超える画素について、濃度勾配方向に基づく角度データを算出する角度データ算出手段と、
前記対象物のモデルの画像を含む基準画像を、この基準画像に対する前記角度データ算出手段の算出結果とともにメモリに登録する登録手段と、
前記画像入力手段より入力された濃淡画像上で濃度勾配方向が前記所定値を超える画素を順に着目画素に設定する着目画素設定手段と、
前記基準画像上に前記着目画素に対応する座標を中心とする所定大きさのマスクを設定し、このマスク内から前記着目画素に対応する角度データを有する画素を抽出する照合手段と、
前記照合手段が前記着目画素に対応する角度データを有する画素を抽出できなかったときの当該着目画素を、モデルとの不一致部分であると特定する不一致部分特定手段とを、具備して成る検査装置。 - 請求項3に記載された検査装置において、
前記画像入力手段が入力した濃淡画像と前記基準画像との濃度差を求める差分演算手段を供え、
前記着目画素設定手段は、前記対象物の濃淡画像上において、前記差分演算手段により求められた濃度差が所定のしきい値を超え、かつ前記濃度勾配の大きさが前記所定値を超える画素を着目画素として設定する検査装置。 - 請求項3または4に記載された検査装置において、
前記不一致部分特定手段による不一致部分の特定結果を用いて前記対象物のエッジの適否を判別する判別手段と、前記判別手段による判別結果を出力する判別結果出力手段とを、さらに具備する検査装置。
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