JP4452335B2 - 一方が他方の上に配置される1つ以上のハイパワーダイオードレーザーの光ビームのバランスをとるための光学配置構成 - Google Patents

一方が他方の上に配置される1つ以上のハイパワーダイオードレーザーの光ビームのバランスをとるための光学配置構成 Download PDF

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Description

本発明は、請求の範囲第1項の前文によるハイビーム品質と同様にハイパワー密度を達成する目的のために1つ以上のハイパワーダイオードレーザーの光ビームのバランスをとる配置構成に関する。
ハイパワーダイオードレーザー(一列に配置された複数のエミッターまたはエミッターグループを備えたダイオードレーザー)(以下HP-DLと呼ぶ)の発光特性については、十分頻繁に説明されている。HP-DLで表れる特別な特徴は、pn接合と平行および垂直をなす面で発光ビームと、エミッター配置の空間的範囲について大きく異なる発散があるという事実である。故に、pn接合の面(以下のファースト軸)で、発散はほぼ45度FHWMとなり、pn接合と垂直をなす面(以下のスロー軸)で、それはほぼ10度FHWMとなる。
高さ1μmおよび幅200mmの放射範囲が得られる、例えば、ほぼ高さ1μmおよび幅200μmのエミッターに対する典型的な寸法の場合、互いがほぼ200μmの距離にある25個のエミッターから成る一列のエミッターが得られる。発光ビームは、放射範囲の幅では不均一である、つまり、それはエミッターの数、距離および幅により決まる複数の光ビームから成る。実例によるエミッター配置に対して、その結果は、光ビーム出口開口部が1μm×200μmの25個の光ビームである。これらの光ビームは、複合的にまたはグループに組み合わされる、または光ビームのバランスをとる目的のために個別に形成されることもある。
光ビーム伝搬の方向に、HP-DLから開始する、HP-DLの光ビームのバランスをとるための全ての周知光学配置は、それぞれの場合で、第1光学要素として、ファースト軸の方向の光ビームを平行にするための、エミッターの列の上流に配置される円筒状レンズを有する。
光学要素およびアッセンブリの異なる組合せは、2つの面の大きく異なる光ビーム品質についての均一性を実現する目的で以下のように配置される。
そのような配置構成は、WO 96/13884、DE 196 45 150およびDE 195 00 513から知られている。その最初の2つの解決法には、その光ビームが適切にその配置構成内に投射され得るHP-DL数が非常に限定され、その結果HP-DLの達成可能な総パワーがほぼ100Wに限定されるという欠点がある。
DE 195 00 513で提示される配置構成は、多数のエミッターを有するHP-DLに、主に一方が他方の上に配置される複数のHP-DLに適用できる。この配置構成は、非常に多くのエミッターの光ビーム整形を通じて非常に高いパワーまでのスケーリングを可能にする。DE 195 00 513に記述される配置構成では、第1段階は、周知のように、円筒状レンズによってファースト軸の方向で数ミリラジアンの残留発散にまでそれぞれ個別のHP-DLの光ビームを平行にすることである。
複数の個別のエミッターまたはエミッターグループの並置のため、スロー軸の方向での光ビームが、既述されたように、均一なライン放射源とはならない。
光学配置構成によってより良好にライン放射源が平行にされる、または集束されると、そのライン源の範囲がより小さくなるので、個別のエミッターまたはエミッターグループの光ビームがスロー軸の方向で個別に平行にされることが有利となる。
この目的のために、DE 195 00 513では、プリズム系は、ファースト軸の方向の隣接エミッターまたはエミッターグループの、ファースト軸の方向で平行にされた、光ビームを偏向するためにそれぞれの場合で円筒状レンズの下流に配置される。そのように偏向された部分的光ビームは、スロー軸の方向で互いに関してオフセットされたままとなる。その結果、スロー軸の方向での光ビームを平行にするための分割されたコリメーションレンズ系の、個々の光ビームに割り当てられる、円筒状レンズ要素は、スロー軸に関して重なり合うように配置できる。故に、その屈折損失は、HP-DLのエミッターまたはエミッターグループ間の距離が小さな場合でもより大きなコリメーションレンズを使用することによって最小限に抑えることができる。良好な光ビーム形成がスロー軸の方向で可能となるが、分割された円筒状レンズ系は実施するのにかなりの費用が伴う。
明確に説明された偏向により分離される個別の光ビームの光ビーム品質が、光学配置構成全体の光ビーム品質を決定する。
但し、DE 195 00 513による光学系は、光ビーム品質の観点から光ビームの最適再配置を行わない:
- スロー軸に沿う分離された個別の光ビームの元のオフセットは維持され、2つの軸方向での再配置による光ビーム品質のバランスがとれていない。故に、その光ビーム品質、つまりその配置構成から出てくるときの全光ビームの達成可能な最小焦点範囲または開口数は、その光学系により以下のように制限される。
- 但し、分割されたコリメーションレンズ系の挿入のためにスロー軸の方向に光ビームを形成するのには非常に費用がかかる。
1つ以上のHP-DLの光ビームに対する効率的な光ビーム形成に加えて、光ビーム品質のバランスが、集束前にスローおよびファースト軸に沿って達成される、その結果として光ビーム品質が焦点で実質的に改善されるように光ビーム再配置をも実行する新しいより簡単な光学配置構成を示すことが本発明の目的である。
この目的は、請求の範囲第1項による光学配置構成で達成される。有利な態様は従属請求の範囲に記載される。
それぞれ個別のHP-DLの個々のエミッターまたはエミッターグループの光ビームが、単一円筒状レンズを用いてスロー軸の方向で平行にされるように、スロー軸の方向で重なり合わされるようにできる光学的回折、反射または屈折手段によって偏向され、光ビーム全体の実質的なバランスがとれることが達成されることが本発明には重要である。
本発明による配置構成は、図を参照して以下でより詳述される。
第1図は、3つのエミッターまたはエミッターグループを備えたHP-DLに適した第1の態様の簡略側面図を示す。
第2図は、第1図による配置構成の平面図を示す。
第3図は、一方が他方の上に配置される3つのHP-DLに適した第2の態様の簡略側面図を示す。
明瞭化のために、第1の態様として、3つのエミッターまたはエミッターグループを備えたHP-DL1の光ビームを1点に集束させるのに適している本発明による配置構成が、記載されるべきである。故に、放射範囲は、スロー軸上に隣接配置された3つのエミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cを具備する。
第1図および第2図から分かるように、第1実施例は、第1円筒状レンズ3、方向要素4として以下に示される第1偏向要素、再方向要素5として以下に示される第2偏向要素、第2円筒状レンズ6および集束レンズ7の順でHP-DL1のビーム方向に配置される光学的機能要素を具備する。単純プレーナ凸レンズであることもある集束レンズ7を除いて、光学的機能要素の全てが、ファースト軸およびスロー軸の方向のエミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cの光ビームに様々な影響を与える。光ビームにおける配置構成の動作の異なるモードは、光ビームの光路でファースト軸の方向(x-z面、側面)におけるものが第1図に、さらにスロー軸の方向(x-z面、平面)におけるものが第2図に示される。
エミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cによって発せられる、第1図に示された3本の光ビームは、第1円筒状レンズ3による周知の方法でファースト軸の方向で最初に平行にされる。従来技術によれば、典型的に発散を5ミリラジアンにまで低減する非球面円筒状レンズがこの目的のために利用される。コリメーション後の光ビームの典型的な直径は、ファースト軸で0.6mmである。この第1円筒状レンズ3は、スロー軸の方向には何の影響もない。
方向要素4は、第1円筒状レンズ3の下流の最小限の距離に配置され、第2図に示されるように、通過時に光ビームがファースト軸の方向とスロー軸の方向との両方で異なるように様々に偏向されるように、エミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cに従ってスロー軸に沿って3つの異なるセグメント4a、4bおよび4cに再分割される。この場合、中間エミッターまたはエミッターグループ2bの光ビームはいかなる方向にも偏向されない。エミッターまたはエミッターグループ2aの光ビームの偏向は、y方向において固有角度でその中間に向かって、およびx方向において下方に向かって起こる。エミッターまたはエミッターグループ2cの光ビームの偏向は、同絶対値だけであるが、それぞれ反対方向で起こる。偏向角度の絶対値は、HP-DLの幾何学的寸法形状、特に、HP-DLの個々のエミッターまたはエミッターグループの数、間隔および幅から得られる幅Bから、恐らく一方が他方の上に配置される2つのHP-DLのエミッターまたはエミッターグループ間の間隔Pから、および方向要素4と再方向要素5との間の軸方向の間隔からの原則に従う。
実施例で選択されたHP-DLのエミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cの配置構成では、スロー軸の方向での方向要素4の偏向角度は、個々の光ビームの主要光線が再方向要素5の面における方向要素4から定義された距離Aにおいて交差するように選択される。ファースト軸の方向では、方向要素4の偏向角度は、距離Aにおいて互いにはっきりと分離された光ビームを生成するように選択される。
再方向要素5も同じように、方向要素4内のx方向およびy方向で経験される主要光線の偏向を正確に補正できるようにそれぞれ通過した光ビームを偏向する3つのセグメントを具備する。これは最適集束性能を得るための前提条件である。光ビームの全てを可能な限り小さなスポットに集束させるために、スロー軸の方向に作用する第2円筒状レンズ6と、球状集束レンズ7とが、ビーム光路の下流に配置される。方向要素4および再方向要素5のために、個々のエミッターまたはエミッターグループ2a、2bおよび2cの光ビームは、それらが、x方向を除いて、もはや続いてy方向に互いに隣接して配置されないように再配置される。これは、両軸でHP-DLからの放射の大きく異なる光ビーム品質についての最上のバランスがとれることとなる。これは続く光ビームの整形をも可能にし、分割されたコリメーションレンズ系を使用せずに、単純第2円筒状レンズ6を用いて、従来技術と比較して明らかにより良好な光ビーム品質にする。第2円筒状レンズ6の焦点距離は、y方向における再方向要素5を通過する光ビームが数ミリラジアンにまで平行にされるように選択される。
第2実施例では、本発明による配置構成は、一方が他方の上に配置される24個のHP-DLのために設計されることである。第3図において、3つのHP-DLからの光ビームの表示に低減されたこの第2実施例は、側面図で示される。2つの隣接HP-DLのエミッターまたはエミッターグループは、互いにPの距離だけ離れて位置する。
原則として、本発明による配置構成の設計と、それに応じて、HP-DLの数は、光ビームが投射されるべきポイントにおける所望パワーと幾何学的形状とで決まる。このパワーは、一方が他方の上に配置されるHP-DL数で決まる。光ビーム品質は、実質的にエミッターグループへのエミッター列の細分割数に依存し、細分割の最大数は恐らくエミッターの数に等しい。これは、第2実施例で以下で説明されることになろう。
その目的は、エッジ長を有する矩形光ビームスポット2*4mm2を照射することであり、その開口数がファースト軸およびスロー軸の方向で0.1を超えないようにしてある。
4mmのエッジ長は、それぞれの場合で3.3mmの幅、および0.12の開口数を有する一列に配置された3つのエミッターグループによって達成できる。光学的機能要素は、4mmの長さおよび0.1の開口数で焦点に光ビームスポットを生成できるようにスロー軸の方向において今や設計される。それらの焦点距離がほぼ260mmである円筒状レンズおよび両凸レンズの光ビーム整形が利用され、方向要素および再方向要素4、5の間の距離が60mmの範囲内である。
2mm高のエッジ長は、0.1の開口数で実現できる。典型的に1.7mmの2つの隣接HP-DLのエミッターグループの間隔と、ファースト軸の方向で平行にされた光ビームに対して典型的に5ミリラジアンの発散とに基づくので、焦点でのパワーをスケールするためにファースト軸の方向に一方が他方の上になるように24個のHP-DLを配置することが可能となる。第1円筒状レンズ3は、各HP-DLの、つまりエミッターグループの各列の下流に配置される。x方向における次の方向要素4の範囲は、エミッターグループの全列に対する光ビームを再配置できるように選択される。三倍分割について説明される場合には、この再方向要素5は各一列にそれぞれ3つのセグメントを具備する。エミッターグループ2の、実施例で選択された、配置構成の場合、および托葉状距離がPとすると、スロー軸(ファースト軸)の方向での方向要素4の偏向角度は、arctan(B/3A)(arctan[P/3A])として与えられる。BとPとに対する10mmと1.7mmとの典型的な値の場合、その結果は、ほぼ6の偏向角度の割合となり、Aに対してほぼ60mmの典型的な値の場合、これらの角度は、それぞれ約3°および0.5°となる。
スロー軸の方向でのコリメーションの機能は、異なる長さについてであるが、個々のレンズによってエミッター列の数とは無関係に果たされる。同様に、光ビームの全ての集束は、1つの集束レンズのみによってエミッター列の数とは無関係に実行される。再方向要素5のロケーションにおけるファースト軸の方向での光ビームの高さを個々のセグメント5a、5bおよび5cの高さに一致させる目的のために、ファースト軸の方向での光ビームの再集束を選択することが可能である。これは、円筒状レンズ3をz方向に移動することによって達成される。再集束により起こる比較的強い非点収差は、方向要素5の直ぐ上流または下流に円筒状レンズの配列を配置することによって補正できる。
再方向面5内でほぼ0.55mmの光ビームに再集束させることが、3倍分割および距離Pが典型的に1.7mmの現在の場合では必要であろう。入手可能な非球面状レンズを使用する場合、そのような再集束は、所定レンズの厚みが1.5mmであっても達成できる。
2つの実施例では、方向要素4および再方向要素5は、単純化のために透明プリズム系として示されている。これらの要素も同じように、例えばフレネル構造や回折構造など、反射系として異なる構造のものであっても良いことは当業者には明白である。全ての方向および再方向要素4;5は、それぞれの場合でモノリスまたは疑似モノリスとして個別にまたは連帯的に設計できる。勿論、方向および再方向要素4;5の、異なる方法で光ビームを偏向する個別のセグメントも、独立した光学要素であることもある。光学系を製造および組み立てる費用は、方向要素4がモノリスとして設計される、または方向要素4および再方向要素5の機能が1つの光学要素に組み合わされ、その後者がモノリスとして設計される場合、従来技術と比べてかなり低減される。

Claims (7)

  1. 一点に集束させる目的のための、一方が他方の上に配置された、2つ以上のハイパワーダイオードレーザー(1)の光ビームのバランスをとるための光学配置構成であって、
    一列に配置された複数のエミッターグループ(2)を有するハイパワーダイオードレーザー(1)、
    複数のエミッターグループ(2)の光ビームをエミッターのpn接合(ファースト軸)の方向で平行にするための第1円筒状レンズ(3)、および、
    複数のエミッターグループ(2)の数に等しい多数の異なるセグメントを備え、回折、屈折または反射によってファースト軸の方向に光ビームを偏向する方向要素(4)が各列の下流に配置されており、
    前記エミッターのpn接合と垂直をなす方向(スロー軸)での光ビームを平行にするための平行光学素子と、全光ビームを集束点に集束させるレンズ(7)とがあり、
    前記集束点が、前記スロー軸およびファースト軸の方向に対する垂直線として定義される光軸上にあり、
    pn接合と垂直をなす方向(スロー軸)での前記光ビームを平行にする前記平行光学素子が単一の第2円筒状レンズ(6)であり、
    前記方向要素(4)のセグメントが互いにスロー軸の方向に前記光ビームをそれぞれの場合で偏向するので、それらの主要光線が前記pn接合と垂直をなす方向で前記方向要素(4)から距離Aにおいて前記光軸と重なり、前記pn接合の方向の等距離において一方が他方の上に配置され、
    各方向要素(4)から距離Aの下流に配置されるのが、前記光ビームが互いに平行に走るようにそれらを偏向する再方向要素(5)である、光学配置構成。
  2. 前記ファースト軸に沿って前記ハイパワーダイオードレーザー(1)の距離を一致させる目的のために、前記第1円筒状レンズ(3)が、前記光軸に垂直な再方向要素(5)を横断する面に中間集束を実行する、請求の範囲第1項に記載の光学配置構成。
  3. 前記中間集束によって起こる比較的強い非点収差を補正する円筒状レンズ配列が、前記再方向要素(5)の上流または下流に直接配置される、請求の範囲第2項に記載の光学配置構成。
  4. 光学配列が、少なくとも3つの要素に前記スロー軸の面での前記ハイパワーダイオードレーザー(1)の放射を分割し、その結果、前記ファースト軸で並列してオフセットされた少なくとも3つの光ビームが、前記方向要素(4)の下流側でファースト軸方向の面に表れる、請求の範囲第1または2項のいずれかに記載の光学配置構成。
  5. それぞれの場合でのHP-DLの下流に配置された前記方向要素(4)と、前記再方向要素(5)とはモノリスとして設計される、請求の範囲第1項に記載の光学配置構成。
  6. 方向要素(4)の全てがモノリスとして設計される、請求の範囲第1項に記載の光学配置構成。
  7. 再方向要素(5)の全てがモノリスとして設計される、請求の範囲第1項に記載の光学配置構成。
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Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1166165B1 (de) * 1999-03-31 2002-09-11 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Optische anordnung zur symmetrierung der strahlung von zweidimensionalen arrays von laserdioden
DE19939750C2 (de) * 1999-08-21 2001-08-23 Laserline Ges Fuer Entwicklung Optische Anordnung zur Verwendung bei einer Laserdiodenanordnung sowie Laserdiodenanordnung mit einer solchen optischen Anordnung
DE19948889C1 (de) 1999-10-11 2001-06-07 Unique M O D E Ag Vorrichtung zur Symmetrierung der Strahlung von linearen optischen Emittern und Verwendung der Vorrichtung
EP1150097A1 (de) * 2000-04-26 2001-10-31 Leica Geosystems AG Optischer Entfernungsmesser
DE10062454B4 (de) * 2000-12-14 2007-10-11 My Optical Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überlagerung von Strahlenbündeln
DE10118788A1 (de) 2001-04-18 2002-10-24 Lissotschenko Vitalij Anordnung zur Kollimierung des von einer Laserlichtquelle ausgehenden Lichts sowie Strahltransformationsvorrichtung für eine derartige Anordnung
JP2002329935A (ja) * 2001-05-07 2002-11-15 Toshiba Corp レーザ光源装置、レーザ装置、レーザ出射方法およびレーザ光源装置の製造方法
KR100400548B1 (ko) * 2001-08-27 2003-10-08 엘지전자 주식회사 반사형 1차원 광 모듈레이터 및 이를 이용한 투사장치
WO2003033997A1 (de) * 2001-10-17 2003-04-24 Leica Geosystems Ag Optischer entfernungsmesser
US20150277636A1 (en) * 2001-11-02 2015-10-01 Neonode Inc. Compound lens structure for optical touch screen
DE10204939A1 (de) * 2002-02-07 2003-09-04 Parsytec Comp Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von flächigem parallelen Licht
US7010194B2 (en) * 2002-10-07 2006-03-07 Coherent, Inc. Method and apparatus for coupling radiation from a stack of diode-laser bars into a single-core optical fiber
US6993059B2 (en) * 2003-06-11 2006-01-31 Coherent, Inc. Apparatus for reducing spacing of beams delivered by stacked diode-laser bars
US7006549B2 (en) * 2003-06-11 2006-02-28 Coherent, Inc. Apparatus for reducing spacing of beams delivered by stacked diode-laser bars
LT5257B (lt) * 2003-12-19 2005-08-25 U�daroji akcin� bendrov� MGF "�viesos konversija" Ryškį išsaugojantis lazerinių pluoštų formuotuvas
EP1830443B1 (en) * 2006-03-03 2016-06-08 Fraunhofer USA, Inc. High power diode laser having multiple emitters and method for its production
US20070268572A1 (en) * 2006-05-20 2007-11-22 Newport Corporation Multiple emitter coupling devices and methods with beam transform system
US7830608B2 (en) * 2006-05-20 2010-11-09 Oclaro Photonics, Inc. Multiple emitter coupling devices and methods with beam transform system
US20070291373A1 (en) * 2006-06-15 2007-12-20 Newport Corporation Coupling devices and methods for laser emitters
US7680170B2 (en) * 2006-06-15 2010-03-16 Oclaro Photonics, Inc. Coupling devices and methods for stacked laser emitter arrays
US7515346B2 (en) 2006-07-18 2009-04-07 Coherent, Inc. High power and high brightness diode-laser array for material processing applications
US7866897B2 (en) * 2006-10-06 2011-01-11 Oclaro Photonics, Inc. Apparatus and method of coupling a fiber optic device to a laser
EP2003484B1 (en) * 2007-06-12 2018-04-11 Lumentum Operations LLC A Light Source
EP2232656A4 (en) * 2007-12-17 2014-04-16 Ii Vi Laser Entpr Gmbh LASER MASTER MODULES AND ASSEMBLY METHOD
DE102007061358B4 (de) * 2007-12-19 2012-02-16 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung
CN102089943B (zh) 2008-05-08 2017-05-03 奥兰若光子公司 高亮度二极管输出方法和装置
DE102009010693A1 (de) * 2009-02-26 2010-09-02 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Homogenisierung von Laserstrahlung
EP2253888B1 (en) * 2009-05-14 2013-10-16 Alstom Technology Ltd Burner of a gas turbine having a vortex generator with fuel lance
JP5740654B2 (ja) 2010-01-22 2015-06-24 トゥー−シックス レイザー エンタープライズ ゲーエムベーハー 遠視野ファイバ結合放射の均質化
US8644357B2 (en) 2011-01-11 2014-02-04 Ii-Vi Incorporated High reliability laser emitter modules
JP5914808B2 (ja) 2011-12-21 2016-05-11 パナソニックIpマネジメント株式会社 光源装置及び投写型映像表示装置
US9933127B2 (en) * 2013-08-08 2018-04-03 Georgiy Pavlovich Sapt Vehicle light
CN108886232B (zh) * 2015-12-25 2021-08-17 鸿海精密工业股份有限公司 线束光源及线束照射装置以及激光剥离方法
FR3047794B1 (fr) * 2016-02-16 2018-03-09 Valeo Vision Systeme de lentilles de projection d'au moins une source lumineuse
JP6611019B2 (ja) * 2018-02-27 2019-11-27 ウシオ電機株式会社 光源装置、プロジェクタ
WO2021112248A1 (ja) * 2019-12-06 2021-06-10 古河電気工業株式会社 発光装置、光源ユニット、光源装置、および光ファイバレーザ
WO2022018819A1 (ja) * 2020-07-21 2022-01-27 三菱電機株式会社 光源装置
US11669210B2 (en) 2020-09-30 2023-06-06 Neonode Inc. Optical touch sensor
WO2024075594A1 (ja) * 2022-10-05 2024-04-11 ヌヴォトンテクノロジージャパン株式会社 半導体レーザ装置
WO2024075595A1 (ja) * 2022-10-05 2024-04-11 ヌヴォトンテクノロジージャパン株式会社 半導体レーザ装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4185891A (en) * 1977-11-30 1980-01-29 Grumman Aerospace Corporation Laser diode collimation optics
DE4438368C3 (de) * 1994-10-27 2003-12-04 Fraunhofer Ges Forschung Anordnung zur Führung und Formung von Strahlen eines geradlinigen Laserdiodenarrays
AU4326196A (en) * 1995-01-11 1996-07-31 Dilas Diodenlaser Gmbh Optical arrangement for use in a laser diode system
DE19645150C2 (de) * 1996-10-28 2002-10-24 Fraunhofer Ges Forschung Optische Anordnung zur Symmetrierung der Strahlung von Laserdioden
US5784203A (en) * 1996-11-26 1998-07-21 Beckmann; Leo H. J. F. Method and apparatus for combining the radiation output from a linear array of radiation sources
US6044096A (en) * 1997-11-03 2000-03-28 Sdl, Inc. Packaged laser diode array system and method with reduced asymmetry

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