JP4451219B2 - Crystal oscillator - Google Patents
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Description
本発明は水晶振動子を技術分野とし、特に共晶合金を用いて保持した水晶振動子の電極構造に関する。 The present invention is directed to art crystal oscillator, particularly the electrode structure of a crystal oscillator that holds with KyoAkirago gold.
(発明の背景)水晶振動子は周波数制御素子として知られ、例えば通信機器の発振器に発振子として適用される。このようなものの一つに、共晶合金を用いて水晶片を保持し、金属容器内に密閉封入した高安定用の水晶振動子がある。 BACKGROUND OF THE INVENTION A crystal resonator is known as a frequency control element, and is applied as an oscillator to an oscillator of a communication device, for example. One of such, holds the crystal element using KyoAkirago gold, there is a crystal oscillator of high stability for a sealed enclosed in a metal container.
(従来技術の一例)第3図は一従来例を説明する水晶振動子の図で、同図(a)は断面図、同図(b)は要部平面図、同図(c)は一部拡大断面図である。 (Example of Prior Art) FIG. 3 is a diagram of a crystal resonator for explaining one conventional example. FIG. 3 (a) is a cross-sectional view, FIG. 3 (b) is a plan view of the main part, and FIG. FIG.
水晶振動子は金属ベース1、サポータ2、水晶片3及び金属カバー4を備えてなる。金属ベース1は外周にフランジ1bを有し、少なくとも一対の気密端子5がベース本体を貫通する。ここでは2対(計4本)の気密端子5がベース本体を貫通する。そして、各気密端子5のリード線が一主面側に突出し、他主面側に導出される。各気密端子5は同心円上の互いに直交する直線上の外周に位置する。
The crystal resonator includes a
サポータ2は例えばNiとして、L字状とした平板材からなる。そして、L字状の水平部を一主面に突出した気密端子(リード線)5の先端にレーザによって溶接する。この場合、L字状の水平部は中心方向として、垂直部の板面を各直線上間で対向させる。
The
水晶片3はSCカットやATカットからなり、円板状とする。そして、両主面に設けた主面電極6と、両主面にまたがって形成された端面電極7とを有する。主面電極6は両主面間で互いに対向する励振電極6aを有し、反対方向の両端側に引出電極6bを延出する。そして、これらは、蒸着によって形成され、第1下地層8aを例えばCrとして第1表面層9aをAuとする。
The
端面電極7は、引出電極6bの延出した水晶片3の一組の両端部及びこれと直交する他組の両端部に形成される。これらは、いずれも、NiCrとして両主面にまたがって形成される。なお、主面上にまたがる端面電極7は、一組の両端部では引出電極6b(主面電極6)上に重畳して、他組の両端部では水晶片3上に直接に形成される。
The
そして、水晶片3の一組及び他組の両端部の各側面(端面)と、各サポータ2の垂直部との間にAuGeとした共晶合金10を介在させる。例えばサポータ2の垂直部に溶融させて固着する。そして、4つのサポータ2に水晶片3の各側面を冶具等によって当接し、約400℃で加熱する。これにより、共晶合金10を溶融して水晶片3の主面を含む各端面をサポータ2に接合し、金属ベース1上に水晶片3を水平にして保持する。
Then, an
その後、金属カバー4を例えば冷間圧接(コールドウェルド)によって金属ベース1に接合し、水晶片3を密閉封入する。このようなものでは、例えば導電性接着剤を使用することなく水晶片3を共晶合金10によって接合するので、有機ガスが発生することなく振動特性を良好にする。このことから、高安定用の水晶振動子に適用される。
Thereafter, the metal cover 4 is joined to the
また、端面電極7をNiCrとして主面電極6(引出電極6b)のAuに重畳する。したがって、共晶合金10の溶融時にNiCrに遮蔽されて主面電極6(Au)の金喰われを防止する。仮に、NiCrが端面のみで主面電極6上にない場合には、主面電極6(Au)に共晶合金10が流入して所謂金喰われを生じる。そして、主面電極6(Au)の剥離を生じ、導通不良を引き起こす。
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の水晶振動子では、端面電極7をNiCrとするのみなので、共晶合金10との付着力が弱くて接合強度が小さい問題があった。例えば衝撃時にサポータ2から水晶片3が離脱して耐衝撃性を悪くする。
(Problems of the prior art) However, the crystal resonator having the above-described configuration has a problem that the bonding strength with the
このことから、例えば第4図に示したように、端面電極7のNiCrを第2下地層8bとしてAuからなる第2表面層9bを設けることが考えられた。但し、第2表面層9b(Au)よりも第2下地層8b(NiCr)を主面上で突出させる。しかし、この場合には、第2表面層9b(Au)が共晶合金10(AuGe)によって同様の金喰われを生じ、第2下地層8b(NiCr)との接合強度が小さくて剥離を引き起こす問題があった。
From this, for example, as shown in FIG. 4, it was considered to provide a
(発明の目的)本発明は剥離を防止して接合強度を高めた共晶合金による接合の水晶振動子を提供することを目的とする。 (Object of the Invention) An object of the present invention is to provide a crystal resonator bonded with a eutectic alloy which prevents peeling and increases the bonding strength.
本発明は、特許請求の範囲(請求項1)に示したように、水晶片と、前記水晶片の両主面に形成される第1下地層を有して第1表面層をAuとした主面電極と、前記主面電極上にまたがって前記水晶片の側面に形成される第2下地層及びAuからなる第2表面層を有する端面電極と、前記端面電極と少なくともAuを含む共晶合金によって接合して前記水晶片を水平方向に保持する平板状の金属サポータと、前記金属サポータの立設した金属ベースとを備え、前記第1及び第2下地層はいずれもCr又はNiCrとした水晶振動子であって、前記端面電極における前記第2下地層と前記第2表面層との間に中間層を設け、前記中間層は前記第2表面層よりも前記主面電極上で突出するとともに、前記中間層は前記第2下地層と第2表面層及び前記共晶合金との付着力を高めるPt又はTiとした構成とする。 The present invention has a crystal piece and a first base layer formed on both main surfaces of the crystal piece, and the first surface layer is Au as shown in the claims (Claim 1). A main surface electrode; an end surface electrode having a second surface layer made of Au and a second underlayer formed on a side surface of the crystal piece straddling the main surface electrode; and a eutectic containing at least the end surface electrode and Au. A flat plate metal supporter joined by an alloy to hold the crystal piece in the horizontal direction, and a metal base erected on the metal supporter, and the first and second underlayers are both Cr or NiCr. In the quartz resonator, an intermediate layer is provided between the second base layer and the second surface layer in the end face electrode, and the intermediate layer protrudes on the main surface electrode more than the second surface layer. together with the intermediate layer is the second underlayer and the second surface layer and the eutectic A structure in which a Pt or Ti enhances the adhesion of the gold.
このような構成であれば、端面電極の第2表面層はAuなので、Auを含む共晶合金との馴染みが良好で接合強度を高める。そして、端面電極の第2下地層と第2表面層との間に第2表面層及び共晶合金との付着力の高めるPt又はTiとした中間層を設けるので、第2表面層(Au)が金喰われを生じても中間層との接合強度を高くして剥離を防止する。 With such a configuration, since the second surface layer of the end face electrode is Au, the familiarity with the eutectic alloy containing Au is good and the bonding strength is increased. Then, an intermediate layer made of Pt or Ti for increasing the adhesion between the second surface layer and the eutectic alloy is provided between the second underlayer and the second surface layer of the end face electrode, so that the second surface layer (Au) Even if gold erosion occurs , the bonding strength with the intermediate layer is increased to prevent peeling.
また、中間層(Pt又はTi)は水晶片の主面上で第2表面層よりも突出するので、溶融時の共晶合金は主面電極である第1表面層(Au)への流入を防止して金喰われを防止する。したがって、共晶合金による全体としての接合強度も高く、主面電極の金喰われによる剥離もなくて、サポータと水晶片との接合を確実にする。 Further, since the intermediate layer (Pt or Ti) protrudes from the second surface layer on the main surface of the crystal piece, the eutectic alloy during melting does not flow into the first surface layer (Au) which is the main surface electrode. Prevent gold erosion. Therefore, the bonding strength as a whole by the eutectic alloy is also high, and there is no peeling due to the gold biting of the main surface electrode, and the bonding between the supporter and the crystal piece is ensured.
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第1図及び第2図は本発明の一実施例を説明する図で、第1図は水晶振動子の一部拡大断面図、第2図は作用を説明する一部拡大断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。 FIGS. 1 and 2 are views for explaining an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a partially enlarged sectional view of a crystal resonator, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view for explaining the operation. In addition, the same number is attached | subjected to the same part as a prior art example, and the description is simplified or abbreviate | omitted.
水晶振動子は前述したように、主面電極6を有する水晶片3の一組及び他組の両端部に設けた端面電極7とL字状とした各サポータ2とを共晶合金10(AuGe)によって接合し、金属ベース1上に水平に保持する。主面電極6は前述同様に第1下地層8aをCrとし、第1表面層9aをAuとする。また、各端面電極7は同様に第2下地層8bをNiCr及び第2表面層9bをAuとする。
As described above, the crystal resonator includes a set of
そして、ここでは、端面電極7における第2下地層8b(NiCr)と第2表面層9b(Au)との間にPtからなる中間層11を設ける。中間層11(Pt)は、一組の両端部では第2表面層9b(Au)よりも突出して、他組の両端部では第2表面層9bと同一長として形成する。そして、前述同様にして共晶合金10(AuGe)によって、水晶片3の一組及び他組の両端部である端面とサポータ2とを接合する。
In this case, the
このような構成であれば、発明の効果の欄で述べたように、端面電極7の第2表面層9bはAuと共晶合金10(AuGe)とは馴染みが良好で接合強度が高い。そして、端面電極7の中間層11(Pt)は、第2下地層8b(NiCr)と第2表面層9b(Au)及び共晶合金10(AuGe)との付着力が大きい。したがって、第2表面層9b(Au)が共晶合金10(AuGe)によって金喰われを生じても、共晶合金10(AuGe)及び第2表面層9b(Au)と中間層11(Pt)との接合強度が高いことから、剥離を防止する。
In such a configuration, as described in the column of the effect of the invention, the
また、中間層11(Pt)は水晶片3の主面上で第2表面層9b(Au)よりも突出するので、溶融時の共晶合金10(AuGe)は主面電極6の第1表面層9a(Au)への流入を防止する(第2図)。したがって、第1表面層9a(Au)の共晶合金10(AuGe)による金喰われを防止する。これらにより、共晶合金10(AuGe)による全体としての接合強度も高く、主面電極6の金喰われによる剥離もなくて、サポータ2と水晶片3との接合を確実にする。
Further, since the intermediate layer 11 (Pt) protrudes more than the
(他の事項)上記実施例では端面電極7の中間層11はPtとしたが、これ以外の例えばTiであってもよく、要は第2下地層8bと第2表面層9b及び共晶合金10との付着力を高める金属であればよい。また、主面電極6の第1下地電極8aはCrとして端面電極7の下地電極はNiCrとしたが、いずれもCr又はNiCrとしてもよい。
(Other matters) In the above embodiment, the
また、端面電極7は一組及び他組の両端部に設けたが、少なくとも主面電極6(引出電極6b)の延出した一組の両端部に設けて、この両端部のみを保持してもよい。そして、水晶片3は円状としたが、矩形状であったとしてもよいことは勿論である。さらに、共晶合金10はAuGeとしたが、例えばAuSn等であってもよく、基本的にはAuを含み融点温度が水晶の転移点温度573℃以下の共晶合金であればよい。
Further, the
1 金属ベース、2 サポータ、3 水晶片、4 金属カバー、5 気密端子、6 主面電極、7 端面電極、8 下地層、9 表面層、10 共晶合金、11 中間層。
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