JP4440304B2 - 固体イオン源 - Google Patents
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- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
Description
(1)アーク放電に必要なガス圧、例えば0.8×10−1Paを得るため、融点が660℃のアルミニュウムでは坩堝の温度を約1600℃に昇温する必要がある。従って、これよりも融点が高い原料では、坩堝の耐久性を考慮すると、必要なガス圧を得ることが難しくなる。
(2)放電ガス圧が高いため、イオン引き出し穴を経てビームドリフト部へ漏洩した原料ガスがイオン被注入物の表面で固化して被覆膜となるおそれがある。この被覆膜が、ビームイオンのターゲット表面層への到達を阻害する。
2 固体原料
3 原料蒸発室
4 プラズマ室
5 イオン引き出し電極部
6 イオンビームドリフト部
7 変形PIG電極系
7a 熱陰極
7b 陽極
7c 対陰極
7d 第2陽極
8 真空容器
9 イオン反射板
10a 空心コイル
10b 空心コイル
11a 蒸気導入口
11b 隔壁
12 プラズマ電極
13 イオン加速電極
14 イオン減速電極
15 ガス吸着部材
16 イオン偏向磁石
17 低Zイオン消滅部材
18a 気体供給口
18b 放電室真空測定口
19 覗き窓
20a ベロー、
20b 電極間隙調整器
21 主排気口
22 原料蒸発室排気口
23 拡散ガス粒子
24 放電維持低Zガスイオン
25 高速金属イオンビーム
26 シャッター
27 RF電極
Claims (7)
- 内部が排気された真空容器と、
真空容器内に設けられ、固体原料を装荷した電子ビーム蒸発源を有する原料蒸発室と、
真空容器内に設けられ、熱陰極、対陰極、および陽極からなる3電極を備え、これら3電極が直流電源に接続され、原料蒸発室で発生させた原料ガスを導入し、3電極間で高周波の放電を起こしてプラズマを生成するプラズマ室と、
真空容器内に設けられたイオン引き出し電極部と
を具備し、原料蒸発室とプラズマ室とを、蒸気導入口を有する隔壁で区画すると共に、原料蒸発室に排気口を設け、排気口から排気することで原料蒸発室のガス圧をプラズマ室のガス圧よりも低くした固体イオン源。 - プラズマ室内に、上記3電極と、RF電極、または、マイクロウェーブ入力部の何れか一方とを併設した請求項1記載の固体イオン源。
- 対陰極に熱陰極よりも高い正電位を印加し、陽極に対陰極よりも高い正電位を印加した請求項1記載の固体イオン源。
- プラズマ室内に、対陰極のイオン引き出し電極部側で対陰極と対向し、あるいは熱陰極の原料蒸発室側で熱陰極と対向し、かつ対陰極よりも高い正電位を有する第2陽極を配置した請求項3記載の固体イオン源。
- プラズマ室の外周に磁場を形成した請求項1記載の固体イオン源。
- イオン引き出し電極部の後方に、中性ガスを吸着するガス吸着部材を配した請求項1記載の固体イオン源。
- イオン引き出し電極部の後方に、イオン偏向磁石と低Zイオン消滅部材を設けた請求項1記載の固体イオン源。
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