JP4439710B2 - 音響整合部材とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波を利用して気体や液体など流体の流量を測定する流量計測装置や、物体との距離を測定する距離計測装置などに用いる超音波送受波器に関するもので、特に超音波を送受信する手段と流体との音響インピーダンスの整合をとる音響整合部材とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
物体の音響インピーダンスは密度×音速で求められる。空気中の音響インピーダンスZAIRは約428kg/m2s、超音波を発生する手段である圧電振動子の音響インピーダンスZPZTは約30×106kg/m2sである。圧電振動子から空気中へ超音波を放射する場合、両者の音響インピーダンスの差異による音の反射が発生し、音の放射効率が低下する。これを改善するために用いるものが音響整合部材である。音響整合部材の音響インピーダンスZMは理論計算から、
【0003】
【数1】
【0004】
を満たす値が、音の反射がない状態になる理想値で、上記したZPZT及びZAIRの値を用いると、この値は約0.11×106kg/m2sとなる。
【0005】
図11は、音響整合部材の音響インピーダンスと圧電振動子から空気中に放射される音のエネルギーの割合の関係を示した特性図である。音響インピーダンス約0.11×106kg/m2sで、透過の割合が1となり反射のないことを示している。
【0006】
このような理想な音響インピーダンスを持つ音響整合部材を得るため音響整合部材を構成する材料は、密度が軽く、かつ、音速が遅いことが必要である。
【0007】
このため、従来の音響整合部材には図12に示すように、樹脂材料40にガラスバルーン41を混ぜて固めた構成のものがある。ガラスバルーンは中空であるので、非常に軽いという特徴がある。これを樹脂にまぜて固めて得られた構造体は、樹脂だけで固めて得られた構造体に比べ密度が軽くなる。また、用いるガラスバルーンの大きさは、音響整合部材を伝播する振動(音)の波長よりも、十分小さいもの(およそ振動の波長の1/10以下)が、振動伝播に影響を与えにくいことから選択されている。音速はおよそ2300m/sで、密度は1.2g/cm3の樹脂材料に、真比重0.13g/cm3のガラスバルーン(商標名「3Mガラス発泡体」で入手できる)を混ぜて固めると、密度0.56g/cm3、音速2100m/sの構造体が得られる。これの音響インピーダンスZCOMは1.18×106kg/m2sとなる。
【0008】
また別の音響整合層としてガラス層にガラス製マイクロバルーンを内有した構成のものがある。これの特徴は、音響整合層をガラスだけで構成するので、高温時にも物性の変化がないこということである。ただし、ガラスの音速は5000〜6000m/sec、密度は2.2g/cm3なので、このような構成で得られた構造体は、音速が早く、密度が大きくなり、音響インピーダンスは大きな値になるものと推定される。
【0009】
さらに他の音響整合部材としてガラスの中空球体だけで構成するものがあり、その製造方法はガラスの中空球体が軟化する温度に加熱して、圧縮することで中空球体のそれぞれの接触点で結合させる方法が述べられている。ガラスの中空球体は商標名「3Mガラス発泡体」(前述したものと同等なもの)を用い、得られた音響整合部材は音速900m/sec、音響インピーダンスZBGは約0.45×106kg/m2sの特性を持つことが明記されている。音響インピーダンスは音速×密度で表されるので、この音響整合部材は密度が0.5g/cm3となる。ガラスの音速は5000〜6000m/secであるが、中空球体とすることにより音速が900m/sまで下がる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来例に記載されている音響整合部材には次に示すような課題がある。
【0011】
前述した音響整合部材の音響インピーダンスZBGとZCOMとを、図9の特性図上にプロットすると、ZBGは記号△に位置し、ZCOMは記号□に位置し、透過の割合はZBGの場合が0.21、ZCOMの場合が0.05となり、ZCOMの場合に比べ、ZBGの場合は音の透過率が4倍となる。しかしながら、実際には4倍の出力を得られることはなく、両者ともほぼ同等なレベルである。これはZBGを得る構造体は、ZCOMを得る構造体と比較して、その音響整合部材を伝播している最中に音が減衰しやすいことにあると考えられる。反対にZMCOMを得る構造体はその音響整合部材を伝播している最中の音の減衰は小さいが、ZBGを得る構造体と比較して、音速が速いため音響インピーダンスが大きくなり、音が空気中へ放射されるときの反射が大きくなる。結局、実際には両音響整合部材より出力される音の大きさには大差がない。このため、ZBGやZCOMを得る構造体で構成される音響整合部材より、音の出力が大となる音響整合部材が求められている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、立体的な微笑片の集合体で音響整合部材を構成してあり、この音響整合部材は、微小片と液体を混合させ、前記液体を蒸発させて前記微小片の集合体を成形し、前記微小片が軟化する温度で加熱して、前記集合体を固形化することにより、製造する。
【0013】
上記発明によれば、前記微小片同士の接触部分が多いので微小片同士の結合が強くなり、密度の増加を抑えながら、音の減衰を抑えることができる。
【0014】
また、液体と微小片を混ぜることで、集合体における微小片を均一に分布させることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1にかかる音響整合部材は、立体的な微小片を集合して構成してあり、微笑片が中空球体を粉砕した構造なので、容易に空隙をつくることができ、複数の微小片からなる集合体のかさ密度を小さくできる。また、表面積を大きくとれるので、微小片同士の接触面積を大きくでき、結合を強くできる。
【0021】
また請求項2にかかる音響整合部材の製造方法は、請求項1記載の発明に加えて、音響整合部材の密度は中空球体の粉砕度合で調整することを特徴とする方法としてあり、微小片の大きさを変えると、微小片同士の接触面積や空隙が変わり、複数の微小片の集合体である音響整合部材の密度を変えることができる。中空球体を粉砕して微小片を構成する場合は、中空球体にかかる荷重、時間で粉砕度合を管理できるので、所望の密度を有する音響整合部材を簡単に作ることができる。
【0022】
本発明の請求項3にかかる音響整合部材は、請求項2記載の発明に加えて、中空球体の粉砕度合は粉砕後の体積と粉砕前の体積の比で調整する製造方法で作られる。
【0023】
粉砕前の体積と粉砕後の体積を管理することで微小片の大きさを調整できるので、荷重、時間などのバラツキ要因が少なく、密度バラツキの少ない音響整合部材を作ることができる。また、荷重管理が必要ないので、精度の高いプレスを用いる必要がなく製造コストを低減できる。また、時間管理が必要ないので、製造時間を短縮できる。
【0024】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【0025】
(実施例1)
図1は本発明の第一の実施例における音響整合部材の製造装置の一例を示している。
【0026】
微小片1は立体構造のガラスで構成される。立体構造については、特に限定するものではないが、かさ密度が材質の密度より小さいことが必要である。材質の密度に比べて微小片のかさ密度が小さいほど、微小片1の集合体に多くの空隙を設けることができるので、微小片1の集合体で構成される音響整合部材の密度を小さくできる。本実施例では、微小片1の大きさは、100μm以下で、厚さは数μmである。ガラスの密度は2.2g/cm3で、音速は約5000m/sである。しかし、微小片1を立体構造にしているので、微小片1の集合体のかさ密度は、石英ガラスの密度より小さくなる。なお、微小片1の材質は限定するものではなく、アルミ、銅、鉄などの金属、カーボン、セラミックなどを用いてもよい。
【0027】
液体2は蒸留水である。水の比重は1g/cm3である。液体2は蒸留水でなくても構わない。例えば、PVA(ポリビニルアルコール)と水の混合液にして粘性を持たせてもよい。粘性を有する液体を用いる場合は、微小片1と液体2との混合体を成型ケースで成型した後も、その形を容易に維持できる。
【0028】
成型ケース3の材質はテフロンである。テフロンは滑りやすく、成型後の微小片1と液体2の混合体を余計な力をかけずに取り出すことができる。従って、取り出すときに成型品を潰すことを防止できる。
底蓋4は、成型ケース3の一方の口を閉じて、微小片1と液体2からなる混合体を漏れないようするもので、テフロンの板やセロハンテープなどで構成している。
【0029】
押し棒5は微小片1と液体2の混合体を押して、液体2を取り除くとともに、微小片1の集合体を所定の密度に設定するものであり、本実施例では、材質をステンレスにしているが、特に限定するものではない。
【0030】
本実施例の音響整合部材の製造方法について図2のフローチャートを用いて説明する。
【0031】
ステップ11の混合処理では、石英ガラスで構成される複数の微小片1と蒸留水からなる液体2をビーカ内で十分にかき混ぜる。十分にかき混ぜることにより混合体内での微小片1の分布は殆ど均一にできる。液体2の量は任意に設定できるが、本実施例では、複数の微小片1と液体2の混合体を十分に混ぜたときに、この混合体が成型ケース3に流し込める状態になるようにしている。
【0032】
ステップ12の成型処理では、微小片1と液体2の混合体を成型ケース3に入れ、押し棒5で、この混合体を押し、余分な液体2を成型ケース3と押し棒5との間の隙間から押し出すとともに、微小片1の集合体の密度を調整する。
【0033】
ステップ13の乾燥処理では、液体2が沸騰しない温度で成型ケース3ごと加熱し、液体2を蒸発させる。
【0034】
ステップ14の成型品取り出し処理では、底蓋4を開け、押し棒5で微小片1の集合体を押して、成型ケース3より取り出す。
【0035】
ステップ15の加熱処理では、微小片1の軟化温度で加熱し、微小片1の集合体を固形化する。
【0036】
図3は、微小片1の集合体を固形化して構成された音響整合部材の内部構成図である。矢印で示した経路は音の伝搬経路を示している。図3に示すように、音は微小片1を通じて伝搬していくので、その伝搬経路は、音響整合部材の厚さよりも長くなり、音響整合部材の音速を遅くすることができる。微小片1は立体的な構造になっているため、空隙を作りながらも、複数の接触点を持つことができる。従って、接触面積が大きくなるので、微小片1同士の結合を強くすることができ、音の減衰を抑えることができる。また、微小片1と液体2を十分にかき混ぜた混合体を用いて成型したので、微小片1の分布が均一になり、音速むらを抑えることができる。
【0037】
以上のように、微小片1と液体2を混合させることで、微小片1の分布を均一にし、構造体の密度むら、音速むらを抑えることができる。また、微小片1を立体構造にするので、空隙を設けることができ、音響整合部材の密度を小さくしながらも、微小片1同士の接合を強くするので、音の減衰を抑えることができる。
【0038】
(実施例2)
図4は図2に示した音響整合部材の製造方法に用いる製造装置の一例を示している。
【0039】
なお、図1と同一符号のものは同一構造を有し、説明は省略する。
液体2は蒸留水であり、その量は微小片1が沈殿しやすいように、微小片1の総体積よりも十分に多くしている。蒸留水の比重は1g/cm3であり、微小片1の材質であるガラスの密度2.2g/cm3より小さいので、微小片1は沈殿することができる。微小片1の集合体を沈殿させるので、微小片1に余計な加重を与えることがなく、加重により生じる密度むらを小さくできる。
【0040】
また、重さ、大きさの異なる微小片1の集合体を沈殿により成型する場合、重力により重い微小片から沈殿し成型される。従って、複数の密度を有する層からなる音響整合部材を作ることができる。
【0041】
以上のように、微小片1を沈殿させて、音響整合部材を成型する方法は、微小片1の分布を均一にする以外にも、大きさの異なる微小片を有する場合には、層状に音響インピーダンスの異なる音響整合部材を構成することができる。
【0042】
(実施例3)
図5、図6は本発明の一実施例である音響整合部材を構成する微小中空球体を粉砕する前の状態を示している。
【0043】
図5において、微小中空球体31はガラスバルーン(商標名「3Mガラス発泡体」)で構成されている。このガラスバルーンのかさ密度は0.13g/cm3で、直径は100μm前後で、厚さは数μm程度である。
【0044】
金属ケース32、押し棒33はステンレスで構成されているが、材質はこれに限定するものではない。h1は押し棒33で押していないときの、微小中空球体31の集合体の高さである。
【0045】
図6は、図5の状態から押し棒を油圧プレスで所定高さh2まで押した状態を示している。微小中空球体31を圧縮することで、微小中空球体31は粉砕される。この粉砕された微小中空球体31のかけらは球体の一部であるので、立体構造を有する微小片34を得ることができる。
【0046】
なお、粉砕されなかった微小中空球体31については、微小片34と選別すれば、粉砕の際に再利用することができる。
【0047】
図7に選別した後の状態を示す。液体35は蒸留水であり、その密度(1kg/cm3)は、微小中空球体31の密度と微小片34の密度の間である。つまり、液体35より密度の小さい微小中空球体31は浮き、液体35より密度の大きい微小片34は沈むので、選別することができる。
【0048】
図6に示した微小片34の大きさは、微小中空球体31を圧縮して粉砕する前の体積と、粉砕後の体積の比、すなわちh1とh2の比で調整することができる。
【0049】
図8に、h2/h1を変えたときに得られる微小片34の顕微鏡写真を示す。(a)はh2/h1=0.2の時の微小片34である。(b)はh2/h1=0.33の時の微小片34である。(c)はh2/h1=0.5の時の微小片34である。
【0050】
図8に示すように、微小片34の大きさは微小中空球体31を圧縮して粉砕する前の体積と、粉砕後の体積の比で制御することができる。
【0051】
図9は、図6〜図8に示した微小片の製造方法を用いて音響整合部材を構成した場合の、h2/h1と密度、およびh2/h1と音の減衰率の関係を示している。なお、音の減衰率が大きいほど音の出力が小さくなるものとする。
【0052】
図9に示すように、h2/h1を小さくするほど、音響整合部材の密度は大きくなり、音の減衰率は小さくなる。つまり、h2/h1を小さくすると、微小片の大きさは小さくなり、わずかな空隙でも微小片が入りやすくなる。従って、音響整合部材の空隙が少なくなり、密度が大きくなる。しかし、微小片が隙間なく入ることにより、微小片同士の接触部分が多くなり、結合は強くなるので、音の減衰は抑えることができる。なお、図9に示した音響整合部材の特性は一例であり、これに限定するものではない。
【0053】
図10は、本実施例において、h2/h1=0.33で生成した微小片の集合体で構成された音響整合部材の断面構造を示す顕微鏡写真である。
【0054】
この音響整合部材の製造方法は、図2と同様である。この音響整合部材は、比重0.55g/cm3、音速1400m/s、音響インピーダンス0.77×106kg/m2sとなり、従来例に示した特願平1−255124のガラスバルーンのみで構成してなる音響整合部材よりも音響インピーダンスが大きいものの、音の減衰が小さいため、出力する音の大きさを大きくすることが可能である。
【0055】
実施例3は本発明の請求項5〜7の一実施例に相当する。
【0056】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の音響整合部材は、微小片を立体構造にしたものであり、微小片同士の間に空隙を設けることができるので、音響整合部材の密度を小さくする効果がある。また、本発明の音響整合部材の製造方法は、微小片を液体と混合することで、音響整合部材における微小片の分布を均一にし、空隙を有していて密度の小さい音響整合部材が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における音響整合部材の製造装置の構成図
【図2】同音響整合部材の製造方法のフローチャート
【図3】本発明の実施例1における音響整合部材の内部構成図
【図4】本発明の実施例2における音響整合部材の製造装置の構成図
【図5】本発明の実施例3における微小中空球体を粉砕する前の状態を示す説明図
【図6】本発明の実施例3における微小中空球体を粉砕した後の状態を示す説明図
【図7】本発明の実施例3における選別方法で分離した微小中空球体と微小片を示す構造図
【図8】(a)〜(c)は本発明の実施例3において、圧縮比率を変えて粉砕した微小片の構造を示す顕微鏡写真
【図9】本発明の実施例3における整合音響部材の密度、減衰率と微小中空球体の圧縮比率の関係を示す特性図
【図10】本発明の実施例3における音響整合部材の構造を示す顕微鏡写真
【図11】従来の音響整合部材の音響インピーダンスと音の透過の割合の関係を示す特性図
【図12】従来の音響整合部材の内部構成図
【符号の説明】
1 微小片
2 液体
3 成型ケース
4 底蓋
Claims (3)
- 立体的な微小片の集合体からなる音響整合部材であって、前記微小片は中空球体を粉砕した構造である音響整合部材。
- 請求項1記載の音響整合部材を製造する音響整合部材の製造方法であって、中空球体の粉砕度合で密度を調整することを特徴とする音響整合部材の製造方法。
- 中空球体の粉砕度合は粉砕前の体積と粉砕後の体積の比で制御することを特徴とする請求項2記載の音響整合部材の製造方法。
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