JP4436766B2 - フレキシブル基板上にポリマー導波路及び駆動増幅器を集積した広帯域光変調器 - Google Patents
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Description
ポリマーは通常、本質的に中心対称性であり、従って電気光学効果を示さない。しかしながらポリマーは、ポリマーホストに組み込むことができる光学的に高度に非線形な発色団/分子を分極することにより、電気光学効果を示すようにすることができる。このようにして、ポリマーベースのMZI104における光信号154及び156は、MMIC102、伝送線路124及び126、更に電極128及び130を介したRF変調信号132及び152によって変調される。光信号154及び156は、ビームコンバイナ116で結合され、従って出口チャネル118で出力として変調信号122を生じる。
102 モノリシック・マイクロ波集積回路
104 マッハ・ツェンダー干渉計
106 キャビティ
108 入力チャネル
110 第1の分岐路
112 第2の分岐路
114 ビームスプリッタ
116 ビームコンバイナ
118 出口経路
120 光信号
122 変調された光信号
124 出力用伝送線路
126 接地信号帰還用伝送線路
128 信号電極
130 接地電極
132、132a、132b RF変調信号
136、136a、136b 入力伝送線路
140 ポーリング電極
140a、140b 前置増幅器
142 回路接続
144 第1フレキシブル誘電体基板
148 第2フレキシブル誘電体基板
146 マイクロ波吸収プラスチックケース又はカプセル
150 接地帰還信号
152、152a、152b RF変調信号
154分割された光線
156 分割された光線
156 接着部(図11C)
158 第3フレキシブル誘電体基板
160a、160b 進行波増幅器
162a、162b 進行波増幅器
168 ダイマウント
168 熱交換器(図13E)
170 バイア接続部伝送線路
172 バンプ・マウント
174 封入材料(図13D)
174 第2フレキシブル誘電体基板(図13D)
176 第2フレキシブル誘電体基板
178 フレキシブル誘電体基板
180 キャビティ(図11C)
180 フレキシブル誘電体基板(図13E)
202 RF電力増幅器
204 位相オフセット回路
206 電力分配器
208 増幅器
212 インピーダンス整合
214 インピーダンス整合
216 電力コンバイナ
224 演算増幅回路
232 位相オフセット信号
234 位相オフセット信号伝送線路(DCバイアス)
240 受動素子
242 バイアス・ティー構造
248 ランド・パッド
302 ベア・ダイ
304 接着層
306 ダイマウント
308 ダイ装着基板
Claims (17)
- 第1の表面と相対する第2の表面とを有する第1のフレキシブル誘電体基板(144)と、
前記フレキシブル誘電体基板上に配置されるか又は内部に埋設されて、光信号(120)を受け入れるポリマー電気光学導波路と、
前記電気光学導波路に沿って配置された接地電極(130)と、
前記電気光学導波路に沿って前記接地電極(130)の反対側に配置された信号電極(128)と、
変調信号を受け入れる第1の変調器を含み、前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)上に配置された第1のマイクロチップと、
前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)上に配置され、前記接地電極(130)を前記変調器へ結合する第1のパターン付けされた金属被覆層と、
第1の表面と相対する第2の表面とを有し、前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)に沿って前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)の前記第1の表面上に積層された第2のフレキシブル誘電体基板(148)と、
前記第2のフレキシブル誘電体基板(148)上に配置され、前記信号電極を前記変調器へ結合する第2のパターン付けされた金属被覆層と、
を備える光電子集積回路(100)。 - 前記第1及び第2のパターン付けされた金属被覆層及び前記信号電極が、マイクロストリップ伝送線路を含む請求項1に記載の光電子集積回路100。
- 前記第1及び第2の誘電体基板が、ポリアミド・ポリマーから構成される請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記電気光学導波路が、マッハ・ツェンダー干渉計を含む請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記ポリマー電気光学導波路を分極するためのポーリング電極(140)を更に備える請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記変調器が、モノリシック・マイクロ波集積回路(102)を含む請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記変調器を冷却するために、前記マイクロチップとの熱的に接触する熱交換器を更に備える請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記電気光学導波路が、前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)の第1の表面に配置され、前記マイクロチップが前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)の第2の表面位置にある請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記電気光学導波路が、前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)と第2のフレキシブル誘電体基板(148)との間に配置されている請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記ポーリング電極(140)が、前記第1の誘電体基板の第2の表面に配置されている請求項5に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記ポリマー電気光学導波路が、ポリ(アクリル酸)、ポリ(アルキルメタクリレート)、ポリ(テトラフルオロエチレン)、シリコーン、又はアルキル基が1個〜約12個の炭素原子を有するこれらの混合物を含む請求項1に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記ポリ(アルキルメタクリレート)が、ポリ(メチルメタクリル酸)からなる請求項11に記載の光電子集積回路(100)。
- 前記第2のフレキシブル誘電体基板(148)に沿って配置された第3のフレキシブル誘電体基板と、
前記第3のフレキシブル誘電体基板上に配置され、前記接地電極(130)に結合された第2の変調器を含む第2のマイクロチップと、
を更に備え、
前記第1の変調器が前記信号電極に結合されている請求項1に記載の光電子集積回路(100)。 - 光電子集積回路(100)を製造する方法であって、
変調器を含むマイクロチップを第1のフレキシブル誘電体基板(144)に配置し、
ポリマー電気光学導波路を前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)上又は内部に配置し、
接地電極(130)を前記電気光学導波路に沿って配置し、
信号電極を前記電気光学導波路に沿って前記接地電極(130)と反対側に配置し、
第1のパターン付けされた金属被覆を前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)に施工することによって前記接地電極(130)と前記変調器とを結合し、
前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)に沿って第2のフレキシブル誘電体基板(148)を前記第1のフレキシブル誘電体基板(144)の前記第1の表面上に積層し、
前記第1及び第2のフレキシブル誘電体基板(144、148)において複数のビアホールを設け、
第2のパターン付けされた金属被覆を前記第2のフレキシブル誘電体基板(148)に施工することにより前記信号電極と前記変調器とを結合する、
ことを含む方法。 - 前記変調器を冷却するために、前記マイクロチップと熱接触する熱交換器を設けることを更に含む請求項14に記載の方法。
- 前記マイクロチップをマイクロ波吸収体内に封入することを更に含む請求項14に記載の方法。
- 前記ポリマー電気光学導波路を分極することを更に含む請求項14に記載の方法。
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